一种高纯化学品生产冷却装置的利记博彩app

文档序号:5037203阅读:336来源:国知局
专利名称:一种高纯化学品生产冷却装置的利记博彩app
技术领域
本实用新型涉及到一种冷却装置,尤其涉及生产高纯化学品的冷却装置。
背景技术
高纯化学品主要广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器、半导体等微电子工业等方面,用作清洗和蚀刻剂,其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、可靠性有很大的影响。随着我国微电子工业的高速发展,电子化学品的需求越来越大。韩国的Kim C U等人开发了一个冷却结晶法生产高纯化学品的技术。但该方法温度过低,能耗高,生产条件苛刻,只能间歇性生产,没有看见进一步生产报道 (KR2003042108)。另外有日本的山崎康夫等人用浸渍冷却结晶法来制备高纯化学品。但该方法对设备要求高,能耗高,产品收率低,只能间歇性生产,不能实现连续性生产(特开平3-193614、 特开平 3-1237009、特开平 12-026111)。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述间歇性生产高纯化学品,而提供的一种连续生产高纯化学品的冷却装置。本实用新型的技术方案是该生产高纯化学品冷却装置包括换热器、循环泵、缓冲罐和结晶器;换热器一侧的下部设有冷媒进口,另一侧的上部设有冷媒出口 ;换热器顶部的进口和缓冲罐的下部的出口通过循环泵相连;缓冲罐的顶部有原料进口,另有细晶进口与结晶器上部的溢流口相连通,细晶通过溢流口进入缓冲罐;结晶器的一侧下部设有冷媒进口,另一侧上部则设有冷媒出口 ;换热器底部的出口与结晶器中部的进口通过管道相连,原料在换热器内降温后可进入结晶器养晶、提纯。上述换热器是列管式换热器,冷媒流经管间,原料流经管内。上述结晶器内装有搅拌器,可通过调整其速率和电子化学品进入量的大小,实现结晶器晶体养晶、长大、分层。所述冷媒是乙二醇的水溶液或水。本实用新型的冷却装置的操作流程是原料通过原料进口进缓冲罐后,通过循环泵进入换热器降温,进入结晶器结晶提纯,细晶通过溢流口进入缓冲罐和原料混合进行再次降温结晶提纯,大颗粒晶体通过结晶器底部放料阀排出。本实用新型的优点是工艺流程短,能耗低,清洁无污染;操作过程易控制,生产过程中无磷的损耗;产量高,生产成本低,得到的电子化学品纯度高,具有很高的经济效益和社会效益。

[0013]图1为生产高纯化学品生产冷却装置示意图。图中,1为换热器,2为缓冲罐,3为结晶器,4为冷媒进口,5为进口,6为冷媒出口, 7为出口,8为循环泵,9为原料进口,10为细晶进口,11为溢流口,12为冷媒进口,13为冷媒出口,14为进口,15为搅拌器,16为原料出口。
具体实施方式
实施例生产高纯磷酸的冷却装置包括换热器1、循环泵8、缓冲罐2和结晶器3 ;换热器 1 一侧的下部设有冷媒进口 4,另一侧的上部设有冷媒出口 6 ;换热器1的顶部的进口 5和缓冲罐2的下部的原料出口 16通过循环泵8相连;缓冲罐2的顶部有原料进口 9,另有细晶进口 10与结晶器3上部的溢流口 11相连通;结晶器3的一侧下部设有冷媒进口 12,另一侧上部则设有冷媒出口 13;换热器1的底部的出口 7与结晶器3的中部的进口 14相连。 换热器1是列管式换热器。结晶器3内装有搅拌器15。
权利要求1.一种高纯化学品生产冷却装置,其特征在于它包括换热器(1)、循环泵(8)、缓冲罐 (2)和结晶器(3);换热器(1) 一侧的下部设有冷媒进口 G),另一侧的上部设有冷媒出口 (6);换热器⑴的顶部的进口(5)和缓冲罐⑵的下部的出口(16)通过循环泵⑶相连; 缓冲罐⑵的顶部有原料进口(9),另有细晶进口(10)与结晶器(3)上部的溢流口(11)相连通;结晶器(3)的一侧下部设有冷媒进口(12),另一侧上部则设有冷媒出口(1 ;换热器(1)的底部的出口(7)与结晶器(3)的中部的进口(14)相连。
2.根据权利要求1所述的高纯化学品生产冷却装置,其特征在于换热器(1)是列管式换热器。
3.根据权利要求1所述的高纯化学品生产冷却装置,其特征在于结晶器(3)内装有搅拌器(15)。
专利摘要本实用新型公开了一种高纯化学品生产冷却装置。该生产高纯化学品冷却装置包括换热器(1)、循环泵(8)、缓冲罐(2)和结晶器(3);换热器(1)设有冷媒进口(4)和冷媒出口(6);换热器(1)的顶部和缓冲罐(2)的下部的通过循环泵(8)相连;缓冲罐(2)的顶部有原料进口(9),另有细晶进口(10)与结晶器(3)上部的溢流口(4)相连通;结晶器设有冷媒进口(12)和冷媒出口(13);换热器(1)的底部的与结晶器(3)的中部相连。使用该装置生产成本低,得到的产品纯度高,具有很高的经济效益和社会效益。
文档编号B01D9/02GK202223928SQ20112023309
公开日2012年5月23日 申请日期2011年7月5日 优先权日2011年7月5日
发明者刘飞, 孟文祥, 李天祥, 杨正光, 杨毅 申请人:瓮福(集团)有限责任公司
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