专利名称：一种降低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型属于多晶硅尾气回收技术领域，具体涉及一种降低氯化氢吸收塔顶部 回收氢中氯硅烷含量的装置，是一种提高回收氢的品质的改进装置。
背景技术：
目前，多晶硅生产技术仍以改良西门子法为主，改良西门子法与西门子法的区别 在于利用干法回收工艺(即通常所说的⑶I)来回收多晶硅生产中产生的尾气，包括氯化 氢、氯硅烷、氢气等，真正实现了闭路循环。众所周知，多晶硅产品的纯度绝大部分依赖于原料即三氯氢硅和氢气的纯度，三 氯氢硅的纯度由精馏提纯来保证，氢气中回收氢的纯度由CDI系统来保证。传统的CDI是由尾气，包括氯化氢、氯硅烷、氢气，通过氯化氢吸收塔，用降温加 压的方法使绝大部分氯化氢被氯硅烷混合液吸收，氯化氢吸收塔顶部自带丝网除沫器， 使回收氢中夹带的氯硅烷混合液与之分离开来。但由于氯化氢吸收塔中的压力很高，达 1. ^MPa,这么大的压力使得丝网除沫器并不能完全滤除回收氢中的氯硅烷液体。这对于后 续的吸附柱来说，由于氯硅烷液体的附着，使得吸附柱活性炭的接触面积减少，吸附回收氢 中的氯化氢的能力也就跟着降低，从而降低了回收氢的品质，最终影响多晶硅产品的品质。为此，仍然需要对多晶硅生产工艺中的CDI系统进行改进，使其回收氢的品质进 一步提高，以达到多晶硅生产的需要。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种降 低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的装置，以实现提高回收氢的品质，同时提高多 晶硅产品的品质。解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是该降低氯化氢吸收塔顶部回收氢 中氯硅烷含量的装置，包括氯化氢吸收塔、气/气换热器、吸附柱及连接管道，其特征在于 还包括除雾器，在氯化氢吸收塔与气/气换热器之间通过管道连接除雾器，使生产中产生 的气体依次经过氯化氢吸收塔、除雾器、气/气换热器和吸附柱后被回收。优选的是，位于氯化氢吸收塔与气/气换热器之间的除雾器滤除氯化氢回收塔顶 部回收氢中夹带的氯硅烷。优选的是，所述氯化氢吸收塔用氯硅烷喷淋的方法把氢气中的氯化氢气体吸收。优选的是，回收氢经过气/气换热器后进入吸附柱，所述吸附柱用于吸附回收氢 中残留的氯化氢，使回收氢品质达到多晶硅生产的需要。在实用新型在氯化氢吸收塔与气/气换热器之间，新增一个除雾器，即在氯化氢 吸收塔与气/气换热器之间通过管道连接除雾器，这样，从氯化氢吸收塔顶部出来的回收 氢中夹带的少量的氯硅烷液体再经过除雾器，将几乎彻底滤除回收氢中夹带的氯硅烷液 体，大大提高了回收氢的品质，有利提高多晶硅产品的品质。
图1为本实用新型一个实施例中气体回收装置的连接示意图；图中1-生产尾气；2-氯化氢吸收塔；3-管道；4-除雾器；5-管道；6_气/气换热 器；7-管道；8-吸附柱；9-回收氢。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，
以下结合附图对本实用 新型作进一步详细描述。如图1所示，本实施例中，该用于降低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的 装置包括氯化氢吸收塔2、除雾器4、气/气换热器6和吸附柱8，在氯化氢吸收塔2与气/ 气换热器6之间通过管道3、5连接除雾器4。如图1所示，生产尾气通过管道依次流经氯化 氢吸收塔2、除雾器4、气/气换热器6和吸附柱8，各部件之间用管道连接。所述氯化氢吸收塔2用氯硅烷喷淋的方法把氢气中的氯化氢气体吸收。其特征在于位于氯化氢吸收塔2与气/气换热器6之间的除雾器4，滤除夹带的氯 娃焼。本实用新型在工作时，氯化氢吸收塔2用氯硅烷喷淋的方法把氢气中的氯化氢气 体吸收，由于所述在氯化氢吸收塔2和气/气换热器6之间设有除雾器4，从氯化氢吸收塔 3顶部出来的回收氢通过管道3进入除雾器4，氯化氢回收塔2顶部回收氢中夹带的氯硅烷 在除雾器4中进一步被滤除，大大降低了回收氢中氯硅烷的含量，提高了回收氢的品质，至 此，回收氢再通过后续的气/气换热器6、管道7，到达吸附柱8，利用吸附柱8把回收氢中 未被氯硅烷液体完全溶解的残留的氯化氢气体吸附，使回收氢的品质达到多晶硅生产的需 要。由以上对本实用新型实施例的详细描述，可以了解本实用新型极大地提高了回收 氢的纯度，使多晶硅生产中产生的尾气经过本实用新型装置后可直接回收利用，真正实现 了闭路循环。可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性 实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本 实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实 用新型的保护范围。
权利要求1. 一种降低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的装置，包括氯化氢吸收塔O)、 气/气换热器(6)、吸附柱(8)及连接管道，其特征在于还包括除雾器G)，在氯化氢吸收塔 (2)与气/气换热器(6)之间通过管道连接除雾器G)。
专利摘要本实用新型提供一种降低氯化氢吸收塔顶部回收氢中氯硅烷含量的装置，包括氯化氢吸收塔、气/气换热器、吸附柱及连接管道，还包括除雾器，在氯化氢吸收塔与气/气换热器之间通过管道连接除雾器，除雾器滤除氯化氢回收塔顶部回收氢中夹带的氯硅烷，回收氢经过气/气换热器(6)后进入吸附柱(8)，吸附柱(8)吸附回收氢中残留的氯化氢，使回收氢品质达到多晶硅生产的需要。
文档编号B01D53/18GK201889148SQ20112005145
公开日2011年7月6日 申请日期2011年3月1日 优先权日2011年3月1日
发明者侯雨, 李向丹, 杨连勇, 郭增昌, 银波 申请人:特变电工新疆硅业有限公司