专利名称：物质相转变的方法
物质相转变的方法
技术领域：
本发明涉及一种物质和物质混合物的相转变(phase transformation)方法。
通过使用U型槽来汽化三氯化铝是已知的(DE2928805)，所述U型槽有平的端面并 且借助加热棒从外面加热。
上述方法的一个缺点是，由于所述槽和转动件的的制备材料的磨损和腐蚀，三氯 化铝的侵蚀性盐熔体导致想得到的气体三氯化铝的污染。
该已知方法的另一缺点是必须提供非常大体积的装置，以达到合适的生产能力并 为相转变提供足够大的热量和表面积。相应地，其用来开启和关闭装置的长反应时间对系 统的反应动力学有不利的影响。
而且，操作大体积装置需要复杂的安全观念，以避免例如过度压力，所述过度压力 例如是在加热系统运行时阀门关闭或由凝华作用导致的可移动的、未充分加热的控制阀堵 塞或结垢所引起的。
另外，传动轴必须从外面以气密的方式密封，这只能借助昂贵的结构和采用复杂 的操作来完成。
还有的已知装置概念基于反应器内部的旋转部分(US5，711，089和DE196 13 125 Cl)，其同样有像磨损和腐蚀那样的缺点。还有已知的向外开放的系统(DE199 04 196 Cl) 同样不适用于侵蚀性和腐蚀性金属盐。
DE10242797A1公开了一种辐射(radiation)引起相转变的装置，其包括具有容器 或管状反应壁的反应器，方便向反应器中引入和从反应器中取出待转化的物质或物质混合 物、以及在反应器外的电磁辐射源，其中辐射源是红外线(IR)\可见光(VIS)\紫外线(UV) 或微波辐射器，反应器壁至少一个区域包括辐射透射材料，设置所述辐射器以保护其免受 产品损害，辐射热无需接触直接传入产品中。
这种装置的缺点是只能处理很少的量。
W096/2^67描述了一种用于螺旋传送机中的含聚合物的大批货物(bulk goods) 的热处理装置，其中来自热辐射源的热量直接输入螺旋传送机的传送作用区中传送的材料 上。
W095/13130描述了一种在倾斜的圆筒中生产粒状材料的方法，其中在圆筒的内部 沿整个圆筒的长度设置红外辐射器。像从CH478591A1中得知的螺杆螺纹(screw flight) 可以附在圆筒内部。
这些文件均没有描述物质转化，例如三氯化铝升华以及气体产物的进一步处理。
DE102005022707A1描述了一种辐射引起的物质和物质混合物的相转变方法，其中 物质或物质混合物在螺旋管中移动，借助电磁辐射源辐射，产物从旋转螺旋管中移出。
这种方法的缺点是存在未解决的在旋转螺旋管的密封问题。
因此本发明的目的是开发一种没有这些缺点的方法和装置。
本发明提供了一种用于物质和物质混合物相转变的方法，其特征在于将物质或物 质混合物引入等离子体反应器中，将物质或物质混合物转化为较高能量相，且将产物以气 体形式或作为合适形式的气溶胶从等离子体反应器中移出和/或传送到其使用处。
本发明的方法和本发明的装置可以用于物理相转变，特别是金属盐、金属硝酸盐 和/或金属醇盐和其它可汽化的金属有机化合物的汽化和升华。物质或物质混合物可以固 相例如粒状形态、以液相或悬浮液形式，引入反应器。
为了本发明的目的，相转变是当引入能量时物质或物质混合物经历的转变。
因此相转变可以是，特别地，汽化，升华，熔化，干燥和/或形成气溶胶，即气相和 液相或固相的混合物。
本发明的方法可以用于，例如，用于汽化金属卤化物例如SiCl4、TiCl4, SnCl4, VdCl4 ；金属硝酸盐，金属醇盐；用于固体例如选自金属卤化物A1C13、ZrCl4, NbCl4, InCl3、 FeCl3的金属盐的升华；用于固体例如选自YCl3、SnCl2、NbCl5、FeCl2的金属盐的熔化和，如 果需要，随后的汽化；用于启动化学反应。
在本发明的一个优选实施方式中，本发明的方法可以用于三氯化铝的升华。
在本发明的一个实施方式中，等离子体反应器可以在大气压下在20到400°C操 作。
在本发明的一个实施方式中，相转变可以发生在有特别气氛的反应器中。
所述特别气氛可以是，例如减压下、大气压下、高于大气压的压力下。气体气氛和 气压可以自由选择。
等离子体处理是文献中已知的方法。已知等离子体处理和本发明方法的区别在 于，本发明的方法不是将电弧用作升华/汽化的热源，而是使用放电(discharge)产生的电 离气体。产生等离子体的放电发生在等离子区域外。这使低温汽化/升华成为可能。高能 等离子体区域导致升华发生。
然而，在反应器内的高温以防止凝华是必要的。
作为等离子体，可以用所有不与升华材料进行任何反应的气体，例如氩、氮、氦。
等离子体中不存在氧。
升华可以在0. 0001到Ibar的压力下进行。
根据本发明，氮可以用作物质或物质混合物的等离子体气体和载气。
反应器可以有任何设计。只需要保证反应器能够在高温和腐蚀性环境中使用。
反应器的反应室可以具有物质或物质混合物的一个入口，和较高能量相的物质或 物质混合物的一个出口。
此外，反应器可以有插入等离子体喷嘴的一个或多个开口。
本发明的方法以及可以根据本发明使用的一台反应器示意地显示在
图1中。
根据图1，在等离子体反应器达到升华温度后，固体三氯化铝借助进料螺杆1进入 等离子体反应器4。
等离子体反应器4借助等离子体发生器2和插入等离子体喷嘴开口 7中的等离子 体喷嘴3加热，温度通过温度传感器5测量。三氯化铝通过与电离气体接触而升华。
升华的三氯化铝通过热气体出口 6从等离子体反应器4中排出，其被加热到 220°C，并传送到其使用处。
等离子体发生器可以使用，例如，来自Plasmatreat的等离子体发生器TO 3001。
等离子体喷嘴3，可以使用，例如，来自Plasmatreat的等离子体喷嘴PFW 10。
本发明的方法可以汽化三氯化铝，即使是较大量的三氯化铝。
权利要求
1.物质和物质混合物相转变的方法，其特征在于将物质或物质混合物引入等离子体反 应器中，将物质或物质混合物转化为较高能量相，且将产物以气体形式或作为合适形式的 气溶胶从等离子体反应器中移出和/或传送到其使用处。
2.根据权利要求1的方法，其特征在于使用金属盐、金属硝酸盐和/或金属醇盐和其它 可汽化的金属有机化合物作为所述物质。
3.权利要求1或2的方法，其特征在于汽化金属卤化物例如SiCl4、TiCl4、SnCl4、VdCl4 或金属硝酸盐或金属醇盐。
4.权利要求1或2的方法，其特征在于升华金属卤化物例如々1(13、&(14、他(14、化(13、 FeCl30
5.权利要求1或2的方法，其特征在于熔化金属盐例如YCl3、SnCl2、NbCl5、！^eCl2，并任 选随后汽化所述金属盐。
6.权利要求4的方法，其特征在于升华三氯化铝。
7.权利要求1到6任一项的方法，其特征在于相转变发生在由放电产生的电离气体中。
全文摘要
物质和物质混合物相转变的方法，其中将物质或物质混合物引入等离子体反应器中，将物质或物质混合物转化为较高能量相，且将产物以气体形式从等离子体反应器中移出。所述方法可以用于金属盐、金属硝酸盐和/或金属醇盐和其它可汽化的金属有机化合物的升华。
文档编号B01D1/00GK102036724SQ200980118403
公开日2011年4月27日 申请日期2009年5月7日 优先权日2008年5月19日
发明者A·L·米歇尔德阿雷瓦洛, D·克纳, M·纳格尔, P·施滕纳, S·菲德勒 申请人:赢创德固赛有限公司