专利名称：一种废水排放控制系统以及废水排放系统的利记博彩app
一种废水排放控制系统以及废水排放系统
技术领域：
本发明涉及一种废水排放控制系统以及废水排放系统。背景技术：
化学机械抛光是一种对圆片进行平坦化加工的工艺。化学机械抛光设备在跑货时，使用NH4OH对圆片进行清洗，产生包含氨水的污水，而不跑货只产生工艺水(Ultra pure water，UPW)。传统化学机械抛光设备所产生的废水(包括氨水和工艺水)均接入氨水排放管路，最终一起流入氨水处理系统。而实际上只有氨水才需要排放到氨水处理系统中，工艺水不需要进行特别处理。
发明内容基于此，有必要提供一种将氨水和工艺水排放到不同管路的废水排放控制系统。此外，还提供一种将氨水和工艺水排放到不同管路的废水排放系统。一种废水排放控制系统，包括污水排放管路，此外，还包括工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。优选的，所述污水排放管路和工艺水排放管路上分别设置气动阀门，所述控制单元通过控制所述气动阀门实现污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。优选的，所述系统控制信号包括产生污水时的污水排放信号和停止产生污水时的工艺水排放信号；所述控制单元根据所述污水排放信号，开启设置在污水排放管路上的气动阀门， 关闭设置在工艺水排放管路上的气动阀门；所述控制单元根据所述工艺水排放信号，关闭设置在污水排放管路上的气动阀门，开启设置在工艺水排放管路的气动阀门。优选的，其特征在于，所述控制单元包括接收系统控制信号的可编程控制器和控制所述气动阀门开启和关闭的电磁阀。一种废水排放系统，包括产生废水并发出系统控制信号的化学机械抛光设备、与所述化学机械抛光设备连接的污水排放管路，此外，还包括与所述化学机械抛光设备连接的工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。优选的，所述污水排放管路和工艺水排放管路上分别设置一气动阀门，所述控制单元通过控制所述气动阀门实现污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。优选的，所述系统控制信号包括产生污水时的污水排放信号和停止产生污水时的工艺水排放信号；所述控制单元根据所述污水排放信号，开启设置在污水排放管路上的气动阀门， 关闭设置在工艺水排放管路上的气动阀门；所述控制单元根据所述工艺水排放信号，关闭设置在污水排放管路上的气动阀门，开启设置在工艺水排放管路的气动阀门。
优选的，所述控制单元包括接收系统控制信号的可编程控制器和控制所述气动阀门开启和关闭的电磁阀。优选的，所述废水排放系统还包括与污水排放管路连接并对污水进行无害化处理的污水处理管路。优选的，所述废水排放系统还包括与工艺水排放管路连接并将排出的工艺水回收的回收管路。这种废水排放系统让化学机械抛光设备废水合理排放，不仅降低了废水处理系统的工作压力，还能对工艺水进行回收，降低了系统运行成本的同时节省了资源。
图1为废水排放控制系统的一实施例的结构图。图2为废水排放系统的一实施例的结构图。
具体实施方式下面主要结合附图对废水排放控制系统、废水排放系统进行进一步的说明。如图1所示的废水排放控制系统，包括污水排放管路120、工艺水排放管路130、可编程控制器140、电磁阀150和分别设置在污水排放管路和工艺水排放管路上的气动阀门 162,164ο上述废水排放控制系统的可编程控制器140接收系统控制信号，并将接收到的系统控制信号发送给电磁阀150，电磁阀150根据系统控制信号控制气动阀门142、144的开启和关闭。如图2所示的一种废水排放系统，包括化学机械抛光设备210、与化学机械抛光设备210连接的污水排放管路220、与化学机械抛光设备210连接的工艺水排放管路230、接收系统控制信号并将所述系统控制信号发出的可编程控制器Μ0、接收可编程控制器MO 发出的系统控制信号的电磁阀250和分别设置在污水排放管路220和工艺水排放管路130 上用来控制管路开启和关闭的两个气动阀门沈2、沈4，电磁阀250控制气动阀门沈2、264的开启和关闭。优选的，废水排放系统还包括与污水排放管路连接的对污水进行无害化处理的污水处理管路和与工艺水排放管路连接并将排出的工艺水回收的回收管路。废水排放系统工作具体过程如下化学机械抛光设备210开始跑货时，发出污水排放信号，可编程控制器240接收污水排放信号并将污水排放信号发送给电磁阀250，电磁阀250接收污水排放信号并控制设置于污水排放管路220的气动阀门262开启污水排放管路220，设置于工艺水排放管路230 的气动阀门264关闭工艺水排放管路230，化学机械抛光设备210跑货产生的污水进入污水排放管路220 ；化学机械抛光设备210停止跑货时，发出工艺水排放信号，可编程控制器240接收工艺水排放信号并将工艺水排放信号发送给电磁阀250，电磁阀250接收工艺水排放信号并控制设置于污水排放管路220的气动阀门262关闭污水排放管路220，设置于工艺水排放管路230的气动阀门264开启工艺水排放管路230，化学机械抛光设备210产生的工艺水进入工艺水排放管路230。优选的，污水进入污水排放管路后流入对污水进行无害化处理污水处理管路，工艺水进入工艺水排放管路后流入回收工艺水的回收管路。本实施例中，污水为氨水，在其他的实施例中，污水可以是硫酸铵废水、氯化铵废水等。在具体的实施例中，化学机械抛光设备氨水喷头喷出氨水对圆片进行清洗的同时，发出污水排放信号；化学机械抛光设备氨水喷头停止喷出氨水的同时，发出工艺水排放信号。通过采用电磁阀控制废水排放，能够有效的将废水分流。这种废水排放系统让化学机械抛光设备产生的废水得到合理排放，不仅降低了废水处理系统的工作压力，还能对工艺水进行回收，降低了系统运行成本的同时节省了资源。以上所述实施例仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求
1.一种废水排放控制系统，包括污水排放管路，其特征在于，还包括工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。
2.如权利要求1所述的废水排放控制系统，其特征在于，所述污水排放管路和工艺水排放管路上分别设置气动阀门，所述控制单元通过控制所述气动阀门实现污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。
3.如权利要求2所述的废水排放控制系统，其特征在于，所述系统控制信号包括产生污水时的污水排放信号和停止产生污水时的工艺水排放信号；所述控制单元根据所述污水排放信号，开启设置在污水排放管路上的气动阀门，关闭设置在工艺水排放管路上的气动阀门；所述控制单元根据所述工艺水排放信号，关闭设置在污水排放管路上的气动阀门，开启设置在工艺水排放管路的气动阀门。
4.如权利要求1 3中任意一项所述的废水排放控制系统，其特征在于，所述控制单元包括接收系统控制信号的可编程控制器和控制所述气动阀门开启和关闭的电磁阀。
5.一种废水排放系统，包括产生废水并发出系统控制信号的化学机械抛光设备、与所述化学机械抛光设备连接的污水排放管路，其特征在于，还包括与所述化学机械抛光设备连接的工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。
6.如权利要求5所述的废水排放系统，其特征在于，所述污水排放管路和工艺水排放管路上分别设置一气动阀门，所述控制单元通过控制所述气动阀门实现污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。
7.如权利要求6所述的废水排放系统，其特征在于，所述系统控制信号包括产生污水时的污水排放信号和停止产生污水时的工艺水排放信号；所述控制单元根据所述污水排放信号，开启设置在污水排放管路上的气动阀门，关闭设置在工艺水排放管路上的气动阀门；所述控制单元根据所述工艺水排放信号，关闭设置在污水排放管路上的气动阀门，开启设置在工艺水排放管路的气动阀门。
8.如权利要求5 7任意一项所述的废水排放系统，其特征在于，所述控制单元包括接收系统控制信号的可编程控制器和控制所述气动阀门开启和关闭的电磁阀。
9.如权利要求8所述的废水排放系统，其特征在于，所述废水排放系统还包括与污水排放管路连接并对污水进行无害化处理的污水处理管路。
10.如权利要求9所述的废水排放系统，其特征在于，所述废水排放系统还包括与工艺水排放管路连接并将排出的工艺水回收的回收管路。
全文摘要
本发明公开了一种废水排放控制系统，包括污水排放管路，此外，还包括工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。这种废水排放系统让化学机械抛光设备废水得到合理排放，不仅降低了废水处理系统的工作压力，还能对工艺水进行回收，降低了系统运行成本的同时节省了资源。本发明还提供一种废水排放系统。
文档编号C02F1/00GK102464359SQ20101053100
公开日2012年5月23日 申请日期2010年11月3日 优先权日2010年11月3日
发明者袁晓君 申请人:无锡华润上华半导体有限公司, 无锡华润上华科技有限公司