专利名称：真空层叠装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及具有加压膜体的真空层叠装置。
背景技术：
作为防止具有加压膜体的真空层叠装置的加压膜体的劣化的技术，有例如专利文献1。专利文献1涉及真空层叠装置，具有相对置且可接近远离的上板及下板、设置于该上板或下板的任一方的对置面上的加压膜体、形成当该上板及/或下板邻接时借助被挟持于另一方的对置面与上述加压膜体之间而使成形材料被收容的成形空间的框体、加热成形材料的加热机构、使上述成形空间被抽真空的减压机构、及操作上述加压膜体而在任意时机对收容于上述成形空间内的成形材料进行加压的加压膜体操作机构，成形空间内减压用的上述减压机构以沿着上述框体的内周缘横跨全周地开口的方式、设置在形成成形空间时与上述框体抵接的上述上板或下板的任一另一方的对置面上，挠性部件设成比上述减压机构的开口更突出于内侧，而介于吸引机构的开口及加压膜体之间。
但是，根据专利文献1的技术，虽可以防止加压膜体的劣化，但是真空层叠装置的加压膜体的安装构造复杂，成本高且加压膜体的更换作业困难。
专利文献1日本特开平10-175229号公报发明内容本发明为了解决上述问题而提出，其目的在于提供一种具有劣化少的加压膜体的简易结构的真空层叠装置。
本发明的真空层叠装置，具有相对置且能够接近远离的上盘及下盘，上述上盘及/或下盘接近时，在设于上述上盘或下盘的任一方的对置面上的加压膜体与另一方的对置面之间形成的真空腔内，借助上述加压膜体对成形材料加压，对上述成形材料加热而使其层叠成形，其特征在于，上述加压膜体由弹性体构成，其中央部的硬度比周边部的硬度低。
根据本发明的真空层叠装置，因为结构简易且具有劣化少的加压膜体，所以真空层叠装置可以长期间地稳定运转。
图1是本发明的真空层叠装置的层叠成形时的局部纵剖视图。
图2是加压膜体的俯视图。
图3是图2的A-A向放大剖视图。
图4是其他加压膜体的放大剖视图。
标号说明1 上板2 绝热板3 加热器4 保持板5 膜体6 上盘7 成形材料8 加压膜体9 正面板10 加热器11 绝热板12 下板13 O形环14 O形环15 框体16 安装板17 下盘18 吸引室19 吸引·加压室20 间隙21 周边部22 周边部23 中央部
24中央部25真空层叠装置26加压膜体具体实施方式
根据附图，详细说明本发明的实施例。图1是本发明的真空层叠装置的层叠成形时的局部纵剖视图。图2是加压膜体的俯视图。图3是图2的A-A向放大剖视图。图4是其他加压膜体的放大剖视图。
真空层叠装置25具有上盘6及下盘17，可上升及下降自如的下盘17相对于固定的上盘6能够接近/远离。但是，也可以不固定上盘6而固定下盘17，也可以两者都可动。
上盘6包括在中心部具有凹部的上板1、以及依次被层叠、固定于上板1的凹部底面的绝热板2、加热器3、保持板4及膜体5。膜体5的表面的高度与上板1的凹部外周缘的高度大致相同。上板1的凹部内壁面与绝热板2、加热器3、保持板4及膜体5的各端面之间的空间、即吸引室18通过开闭阀与真空泵(都未图示)连通。
下盘17包括在中心部具有凹部的下板12、以及依次层叠、固定于下板12的凹部底面的绝热板11、加热器10及正面板9、粘接于安装板16的加压膜体8、通过安装板16将加压膜体8紧贴于下板12的外周缘表面的框体15、密封框体15与上板1之间的抵接面的O形环13、及密封下板12的外周缘表面与安装板16之间的紧贴面的O形环14。下板12的凹部内壁面及绝热板11的端面之间的空间、即吸引·加压室19通过开闭阀与真空泵及空压源(都未图示)连通。又，加压膜体8虽例示设置于下盘17，但也可以构成为使下板及上板相反地配设，将加压膜体设置于上板。
成形材料7的代表例为将配线基板等与绝缘材料或光致抗蚀剂等树脂材料重叠而得到的材料，上盘6及下盘17分离时，经由未图示的搬运薄膜等供给至加压膜体8的上表面。这时，加压膜体8借助吸引·加压室19的真空吸引，密接于铝制的正面板9的刻设有多个槽的上表面。若上盘6及下盘17接近并使框体15抵接于上板1，则形成由加压膜体8的上表面、膜体5的表面、及框体15的内壁面所划分出的空间即真空腔。真空腔通过间隙20与吸引室18连通，所以若真空吸引吸引室18，则真空腔内也成为真空状态。
接着，解除吸引·加压室19的真空，进一步使吸引·加压室19与空压源连接，加压膜体8离开正面板9朝上方鼓出，将成形材料7按压于上盘6的膜体5。成形材料7被加热器3、10加热且被加压膜体8加压，使成形材料7的树脂材料层叠成形在配线基板上。
加压膜体8，如图2及图3所示，是厚度3mm的弹性体即硅橡胶膜。加压膜体8将其外周端部烧结粘接在厚度1.6mm的框状的不锈钢板即安装板16的内周端部上，除了距安装板16的内周数mm的宽度部分。
加压膜体8如图1所示，成形材料7的加压时在框体15的高度部分处延伸，进一步被间隙20部分吸引而极度弯曲。因此，在抵接于框体15的高度部分的面的加压膜体8的部分及其附近部，加压膜体8的材料的劣化很严重，加压膜体8的破损大多发生在该部位。加压膜体8的包覆成形材料7的部分虽也延伸，但是成形材料7的厚度与加压膜体8的厚度或框体15的高度相比很薄，所以没有产生劣化的问题。
在此，弹性体的加压膜体8的硬度，在加压膜体8的中央部23处比较低，在加压膜体8的周边部21处比较高。具体来说，加压膜体8的中央部23是加压膜体8接触于上盘6的成形面即膜体5的部分。加压膜体8的中央部23在真空条件下包覆并加压成形材料7，为了使树脂材料充分分布到在成形材料7的存在于配线基板表面的凹凸，要求硬度低且埋入性良好。优选硬度是30度以下，更优选是20度。即，加压膜体8的中央部23的大小，是将在上盘6的膜体5表面上可包覆成形材料7的状态下的成形材料7的形状区域设为最小，相当于作为膜体5表面与框体15的角部之间的间隙20的入口的、从真空腔超出的部分的区域设为最大。另一方面，加压膜体8的周边部21位于中央部23的外侧，如上述包含加压膜体8延伸·弯曲处的部分。加压膜体8的周边部21与中央部23同样为低硬度时，对于弯曲的影响比对于延伸的影响大，加压膜体8会进入间隙20而使加压膜体8极度劣化。因此，在延伸无问题的范围内，提高加压膜体8的周边部21的硬度来减轻弯曲的程度，从而防止劣化。加压膜体8的周边部21的优选硬度，虽依存于加压膜体8的厚度或框体15的高度，但在40度～60度之间，在此实施例中为50度。又，也可以在周边部21及中央部23之间或在周边部21的外侧，设置与周边部21或中央部23的硬度不同的部件。
如图4所示的放大剖视图，表示其他实施例的加压膜体26。加压膜体8使中央部23邻接设在周边部21的内侧，与之相对，加压膜体26使朝安装板16的粘接面侧的整个面为周边部22、设在加压膜体26的成形材料7侧(周边部22)中央部的凹部为中央部24。通过这样地构成，仅要求层叠成形所需的埋入性的部分为低硬度。
在以往的真空层叠装置中，加压的膜体的破损只有数万成形周期，但是根据上述实施例的真空层叠装置，可运转十万成形周期以上。
本发明不限定于以上说明的实施例，在未脱离发明的宗旨的范围内可以进行各种的变更。
权利要求
1.一种真空层叠装置，具有相对置且能够接近远离的上盘及下盘，上述上盘及/或下盘接近时，在设于上述上盘或下盘的任一方的对置面的加压膜体与另一方的对置面之间形成的真空腔内，借助上述加压膜体对成形材料进行加压，对上述成形材料加热而使其层叠成形，其特征在于，上述加压膜体由弹性体构成，其中央部的硬度比周边部的硬度低。
2.如权利要求1所述的真空层叠装置，其特征在于，上述加压膜体的中央部中，硬度比周边部的硬度低的部分至少是上述加压膜体与上述成形材料接触一侧的面。
3.如权利要求1所述的真空层叠装置，其特征在于，上述加压膜体的中央部的大小，将处于能够在上述上盘或下盘的另一方的对置面上包覆上述成形材料的状态的上述成形材料的形状区域设为最小，将与上述真空腔的从上述另一方的对置面超出的部分相当的区域设为最大。
全文摘要
提供一种真空层叠装置，其具有劣化少的加压膜体且结构简易。真空层叠装置(25)具有相对置且可接近远离的上盘(6)及下盘(17)，上述上盘(6)及/或下盘(17)接近时，在设于上述上盘(6)或下盘(17)的任一方的对置面的加压膜体(8)与另一方的对置面之间形成的真空腔内，借助上述加压膜体(8)加压成形材料(7)并将上述成形材料(7)加热而使其层叠成形，其特征在于，上述加压膜体(8)由弹性体构成，其中央部(24)的硬度比周边部(22)的硬度低。
文档编号B29C43/18GK101092057SQ20071011037
公开日2007年12月26日 申请日期2007年6月15日 优先权日2006年6月19日
发明者河野高幸, 山本隆幸 申请人:株式会社名机制作所