用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件的利记博彩app
【专利摘要】本发明公开了一种用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其包括悬空设置的轨道和悬吊于轨道上的输送车，在输送车车身的槽底面位置的车身内设有磁性部件，在轨道的底面设置可被该磁性部件吸引的金属条，在轨道侧面的线缆与该金属条或与输送车的磁性部件之间设有磁性屏蔽件。本发明通过轨道金属条、输送车磁性部件的设置，相互吸引，提高了其在轨道上行驶的稳定性和安全性，也提升了输送车的载重能力；磁性屏蔽件有效避免磁性部件产生的磁场对供电线缆造成的干扰。
【专利说明】用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送设备【技术领域】，尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中的轨道和输送车组件。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统(Automated Material HandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送娃片的纽带的重要性也日益凸显出来。
[0003]现有技术中，用于300mm硅片制造的一种主流AMHS是采用悬吊式搬送系统，其包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备(STOCKER)和一个或多个空中升降机输送车(Overhead Hoist Transport,简称0HT),用于在娃片制造区域的各工位之间传送娃片。存放在STOCKER中的娃片被装入盒式容器,例如前端开口片盒(Front Opening Unified Pod,简称F0UP)，随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT输送车。输送车一般是通过非接触供电方式供电，其工作原理就是在轨道的一侧铺设特殊的线缆，输送车通过切割这个线缆产生的磁力线获得供电。
[0004]其中，所有的这些传输都是基于悬垂在天花板上的轨道来实现，而随着硅片尺寸的变大，300mm硅片盒正向450mm的尺寸发展，硅片盒FOUP的重量在增加，因此对OHT输送车的承载能力及稳定性提出了新的要求。现有的悬吊式输送车大多采用安装在车顶的车轮悬吊在轨道上行驶。考虑到轨道上需要保留空间来安装连接杆，以将轨道固定在AMHS空间的天花板，车轮只能安装在轨道顶面靠近两侧的地方，使得车轮与轨道的接触面有限。随着硅片盒重量的增加，这一不足可能会产生安全性隐患。
[0005]综上所述，需要提出一种新的悬吊式轨道和输送车来提高输送车的承载能力并提高其悬吊在轨道上的稳定性和安全性。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件。
[0007]为实现上述目的，本发明提供一种用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其包括悬空设置的轨道和悬吊于轨道上的输送车，该轨道的一个侧面设有向输送车供电的线缆，该输送车包括车身、车轮、硅片盒取放机构以及连接机构，该车身顶部具有供轨道穿过的槽，该槽的两侧具有车轮安装部，该车轮设置在车轮安装部上，该输送车悬吊于轨道上行驶时车轮轮面抵贴轨道的顶面并滚动，该车身槽侧与该线缆对应位置还设有取电装置并与线缆组成供电组件，该连接机构分别连接车身与硅片盒取放机构，其中，在该输送车车身的槽底面位置的车身内设有磁性部件，在该轨道的底面设置可被该磁性部件吸引的金属条并与磁性部件组成磁吸组件，在该供电组件与磁吸组件之间设有磁性屏蔽件以防止两者磁场干扰。
[0008]进一步地，该磁性屏蔽件固定在轨道上。
[0009]进一步地，该磁性屏蔽件固定在该磁吸组件上方的轨道底面上或固定在供电组件一侧的轨道侧面内，并遮挡住该磁吸组件和供电组件之间以任何直线可以相通的范围。
[0010]进一步地，该磁性屏蔽件的材料选自不导磁的不锈钢、硅钢或玻璃钢。
[0011]进一步地，该金属条固定于轨道底面的上或下表面，该输送车车身在该槽的底面处具有壳层，该磁性部件固定在壳层上。
[0012]进一步地，该磁性部件为磁性材料，或为通电后可产生磁性的电磁件。
[0013]进一步地，该槽底面处的壳层向上设有至少一个缓冲部件。
[0014]进一步地，该输送车车身在该槽的侧面处也具有壳层，该槽的两个侧面处的壳层向槽内方向均设有至少一个缓冲部件。
[0015]进一步地，该缓冲部件为滚珠或滚轮，并通过弹性件固定在壳层上。
[0016]进一步地，该车轮通过弹性件固定在车轮安装部上，该连接机构包括一升降机构，以使硅片盒取放机构上下升降。
[0017]本发明采用以上技术方案，提供一种新的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，通过在轨道底面设置金属条，在车身内靠近轨道的位置设置磁性部件，可以对金属条产生吸引作用，依靠这样的吸引力，抵消部分输送车的自重，使输送车牢牢悬吊在轨道之上，提高了其在轨道上行驶的稳定性和安全性，也提升了输送车的载重能力；其次，本发明仅产生输送车车身与轨道之间的吸引力，除了可忽略不计重量的磁性部件，不增加轨道和输送车的总重量，不会增加悬空输送系统额外的负重；再者，磁性屏蔽件的设置可以有效避免磁性部件产生的磁场对供电线缆造成的干扰，使得对输送车的供电保持稳定。本发明结构简单，适于工业化。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中:
[0019]图1是本发明第一实施例的轨道和输送车组件结构示意图；
[0020]图2是本发明第二实施例的轨道和输送车组件结构示意图；以及
[0021]图3是本发明第三实施例的轨道和输送车组件结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]第一实施例
[0023]请参阅图1，本实施例的轨道和输送车组件用于AMHS悬吊式输送系统，其中，轨道9的右侧面设有向输送车供电的第一线缆921，输送车包括第一车身11、第一车轮14、第一硅片盒取放机构16和第一连接机构15，第一车身11顶部具有供轨道9穿过的第一槽12，第一槽12为方形且有上开口以供连接轨道9的连接杆91通过，第一槽12两侧分别具有第一车轮安装部13，第一车轮安装部13的剖面呈倒L型，如图1所示，且在俯视角度有30cm的长度(未图示)，其顶部均向下装有第一车轮14，每个第一车轮安装部13下的第一车轮14具有5个小轮，以使输送车悬吊于轨道上行驶时车轮的轮面可以抵贴轨道的顶面，并使车轮滚动，而两列共十个小轮使得输送车与轨道有十个接触点，使其在行驶过程中保持稳定。
[0024]第一槽12的右侧壁对应第一线缆921的位置还设有第一取电装置17，并与第一线缆921组成供电组件，用以对输送车供电。第一槽12的底面位置的第一车身11内设有磁铁18，磁铁18固定在第一车身11内，轨道9底面的上表面固定有可被磁铁18吸引的金属铁条93并与磁铁18组成磁吸组件。在金属铁条93的上方固定有一层不锈钢片922，其完全覆盖磁吸组件，因此可以遮挡住磁吸组件与供电组件之间以任何直线可以相通的范围，即磁吸组件与供电组件之间没有可以直线连通的地方，都被不锈钢片922所遮挡，用于屏蔽磁铁18和金属铁条93产生的磁场对供电组件的影响。
[0025]本实施例的磁铁18使用钕铁硼磁铁，在其他实施例中，还可采用铁氧体磁铁、铝镍钴磁铁、钐钴等其他已知本身具有磁性的材料；金属铁条还可由其他可被磁铁等磁性材料所吸引的已知金属材质；也可由其他不导磁的材料代替本实施例的不锈钢片，如硅钢、玻璃钢等。
[0026]在其他实施例中，车轮安装部的长度以及设置小轮的数量可根据实际情况调节，如较小的输送车配备15cm长的车轮安装部和两列共6个小轮。
[0027]在其他实施例中，槽的形状不限于方形，还可以是长方形或其他根据轨道形状而改变的形状；车轮安装部的形状也不限于倒L型，只要是可以将车轮向下安装，使车轮可以抵贴轨道顶面并滚动的构型都在本发明保护范围之内。
[0028]第二实施例
[0029]请参阅图2，本实施例的轨道和输送车组件用于AMHS悬吊式输送系统，其中，轨道9的右侧面设有向输送车供电的第二线缆941，输送车包括第二车身21、第二车轮24、第二硅片盒取放机构26和第二连接机构25，第二车身21顶部具有供轨道9穿过的第二槽22，第二槽22为方形且有上开口以供连接轨道9的连接杆91通过，第二槽22两侧分别具有第二车轮安装部23，第二车轮安装部23的剖面呈倒L型，如图2所示，且在俯视角度有20cm的长度(未图示)，其顶部均向下装有第二车轮24，每个第二车轮安装部23下的第二车轮24具有3个小轮，以使输送车悬吊于轨道上行驶时车轮的轮面可以抵贴轨道的顶面，并使车轮滚动，而两列共六个小轮使得输送车与轨道有六个接触点，使其在行驶过程中保持稳定。
[0030]第二槽22的右侧壁对应第二线缆941的位置还设有第二取电装置27，并与第二线缆941成供电组件，用以对输送车供电。第二车身21在第二槽22的底面和侧面具有壳层，底面壳层211正对轨道9的正下方，电磁铁28则固定在该底面壳层211上并于第二车身21以内，轨道9底面的下表面固定有可被通电后的电磁铁28所吸引的氧化铁条95并与电磁铁28组成磁吸组件。在轨道9底面的上表面还设置有一层硅钢片96，其完全覆盖磁吸组件，因此可以遮挡住磁吸组件与供电组件之间以任何直线可以相通的范围，即磁吸组件与供电组件之间没有可以直线连通的地方，都被硅钢片96所遮挡，用以屏蔽电磁铁28和氧化铁条95所产生的磁场对供电组件的影响。
[0031]本实施例中，第二槽22下的底面壳层211向上还设有两列每列两个滚珠212，第二槽22两侧的侧面壳层213向槽内方向还都设有一列两个滚轮214，滚珠212和滚轮214与壳层的连接处都设有弹簧。滚珠和滚轮的设置可以增加轨道与车身的接触点，使输送车的行驶更加稳定，而弹簧或其他弹性件的设置可以使轨道或输送车晃动的时候，为两者提供一个缓冲，避免两者撞击造成的部件损坏或安全隐患。
[0032]第三实施例
[0033]请参阅图3，本实施例的轨道及输送车的设置与第一实施例基本相同，但是以竖向的玻璃钢片923代替了第一实施例中横向的不锈钢片922，并且，玻璃钢片923是竖向固定在供电组件一侧的轨道侧面内。玻璃钢片923完全覆盖供电组件，因此可以遮挡住磁吸组件与供电组件之间以任何直线可以相通的范围，即磁吸组件与供电组件之间没有可以直线连通的地方，都被玻璃钢片923所遮挡，用于屏蔽磁铁18和金属铁条93产生的磁场对供电组件的影响。
[0034]第四实施例
[0035]本实施例输送车的设置与第二实施例相同，但在第二车轮24和第二车轮安装部23的连接处设置了弹簧，用以给予车轮和轨道相接触而产生震动的缓冲；同时，在第二连接机构25上设置升降机构，使得第二硅片盒取放机构26可以上下升降，便于取放不同高度的硅片盒。
【权利要求】
1.一种用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:其包括悬空设置的轨道和悬吊于轨道上的输送车，该轨道的一个侧面设有向输送车供电的线缆，该输送车包括车身、车轮、硅片盒取放机构以及连接机构，该车身顶部具有供轨道穿过的槽，该槽的两侧具有车轮安装部，该车轮设置在车轮安装部上，该输送车悬吊于轨道上行驶时车轮轮面抵贴轨道的顶面并滚动，该车身槽侧与该线缆对应位置还设有取电装置并与线缆组成供电组件，该连接机构分别连接车身与硅片盒取放机构，其中，在该输送车车身的槽底面位置的车身内设有磁性部件，在该轨道的底面设置可被该磁性部件吸引的金属条并与磁性部件组成磁吸组件，在该供电组件与磁吸组件之间设有磁性屏蔽件以防止两者磁场干扰。
2.根据权利要求1所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该磁性屏蔽件固定在轨道上。
3.根据权利要求2所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该磁性屏蔽件固定在该磁吸组件上方的轨道底面上或固定在供电组件一侧的轨道侧面内，并遮挡住该磁吸组件和供电组件之间以任何直线可以相通的范围。
4.根据权利要求1至3任一项所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该磁性屏蔽件的材料选自不导磁的不锈钢、硅钢或玻璃钢。
5.根据权利要求4所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该金属条固定于轨道底面的上或下表面，该输送车车身在该槽的底面处具有壳层，该磁性部件固定在壳层上。
6.根据权利要求5所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该磁性部件为磁性材料，或为通电后可产生磁性的电磁件。
7.根据权利要求5所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该槽底面处的壳层向上设有至少一个缓冲部件。
8.根据权利要求5所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该输送车车身在该槽的侧面处也具有壳层，该槽的两个侧面处的壳层向槽内方向均设有至少一个缓冲部件。
9.根据权利要求7或8所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该缓冲部件为滚珠或滚轮，并通过弹性件固定在壳层上。
10.根据权利要求5所述的用于自动化物料传输系统的轨道和输送车组件，其特征在于:该车轮通过弹性件固定在车轮安装部上，该连接机构包括一升降机构，以使硅片盒取放机构上下升降。
【文档编号】B65G35/00GK103482318SQ201310460447
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2013年9月30日 优先权日:2013年9月30日
【发明者】李小刚 申请人:上海集成电路研发中心有限公司