专利名称：物品运送设备的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种设有天桥运送车和中间搁板的物品运送设备，上述天桥运送车以由配设在天桥ー侧的行走轨道弓I导支撑的状态沿着行走路径行走自如，并且使支撑物品的把持部升降自如，在与设在地面ー侧的物品交接部之间自如地移载物品，上述中间搁板配置在上述物品交接部的上方、上述天桥运送车的下方，临时放置相对于上述物品交接部移载的物品。
背景技术：
在上述物品运送设备中，通过天桥运送车以由把持部把持着物品的状态沿着行走路径行走移动，将相对于物品交接部运入的物品、从物品交接部运出的物品在多个物品交接部之间运送。天桥运送车一般设有多个，各天桥运送车停止在由管理运送作业的控制器作为运送起始处指定的物品交接部、作为运送目的处指定的物品交接部的正上方，通过使把持部升降而在与物品交接部之间移载物品。在物品由天桥运送车相对于作为运送目的处的物品交接部运送，而物品交接部不再能够接收物品的情况下，后续的天桥运送车必须要待机到物品交接部成为能够接收物品的状态，成为天桥运送车拥堵的原因。为此，以往是在物品交接部的上方、天桥运送车的下方配置临时放置相对于物品交接部移载的物品的中间搁板，将物品临时放置在中间搁板上，从而防止了天桥运送车的拥堵。而且，通过在物品交接部的周边配设中间搁板，能够在必要的时候相对于物品交接部迅速地运入以及运出。作为设有中间搁板的物品运送设备的以往例子，有设置经由设定在物品交接部的正上方的交接部用停止位置的直线状的第I路径，和与该第I路径平行且设定在其横宽方向上不同的位置的直线状的第2路径，将中间搁板仅配置在第2路径的正下方的设备(例如參照专利文献I的图2)。在上述以往例子的物品运送设备中，在第I路径上行走的天桥运送车使把持部在第I路径以及第2路径的横宽方向上滑动自如，在第I路径上行走的天桥运送车进行物品相对于位于第I路径的正下方的物品交接部的移载，和物品相对于配置在第I路径的横宽方向上不同的位置的中间搁板的移载，在第2路径上行走的天桥运送车仅进行相对于位于第2路径的正下方的中间搁板的移载。专利文献I特开2006-224944号公报
在上述以往例子的物品运送设备中，在将临时放置在中间搁板上的物品向物品交接部运入的情况下，使未保持有物品的天桥运送车沿着第I路径行走到设定在该物品交接部的正上方的交接部用停止位置，使把持部滑动移动以及升降移动，将中间搁板上的物品向物品交接部移载。而且，在将物品从物品交接部运出情况下，同样使未保持有物品的天桥运送车沿着第I路径行走到设定在该物品交接部的正上方的交接部用停止位置，使把持部升降移动，将物品从物品交接部运出。进而，在将从物品交接部运出的物品临时放置在中间搁板上的情况下，保持停止在第I路径上该交接部用停止位置使把持部滑动移动以及升降移动，将物品临时放直在中间摘板上。这样，由于物品相对于物品交接部的运入和物品从物品交接部的运出，以及物品在中间搁板上的临时放置和临时放置在中间搁板上的物品向物品交接部的运入全部是由在第I路径上行走的天桥运送车进行，所以在第I路径上行走的天桥运送车的作业负荷增大。因此有作业将集中于在第I路径上行走的天桥运送车上而产生拥堵的可能性。而且，由于仅在第2路径的正下方存在中间搁板，所以能够临时放置的物品数量少，即使为了增加能够临时放置的物品数量而增加中间搁板，也是在行走方向上离开物品交接部的位置设置中间搁板，在第I路径上行走的天桥运送车将中间搁板的物品向物品交接部运入之际的运送距离加长。因此，有物品不能够迅速地相对于物品交接部运入的可能性。
发明内容
本发明是鉴于上述实情而提出的，其目的在于提供ー种物品运送设备，能够将物品迅速地相对于物品交接部运入、运出，井能够尽量防止第I路径上的天桥运送车的拥堵。为了实现该目的，本发明所涉及的物品运送设备具备天桥运送车，以由配设在天桥ー侧的行走轨道引导支撑的状态沿着行走路径行走自如，并且使支撑物品的把持部升降自如，在与设在地面ー侧的物品交接部之间自如地移载物品；和中间搁板，配置在上述物品交接部的上方、上述天桥运送车的下方，临时放置相对于上述物品交接部移载的物品。作为上述行走路径，设有经由设定在上述物品交接部的正上方的交接部用停止位置的直线状的第I路径，和与上述第路径平行、在上述第I路径的横宽方向上设定在不同的位置的直线状的第2路径；作为上述中间搁板，设有在上述第I路径的正下方、位于在上述天桥运送车的行走方向上与上述物品交接部不同的位置的第I路径侧中间搁板，和位于上述第2路径的正下方的第2路径侧中间搁板；设有中间移载装置，该中间移载装置使支撑物品的移载装置用把持部在上下方向上升降自如且在上述第I路径以及上述第2路径的横宽方向上滑动自如，在与上述第I路径侧中间搁板之间、与上述第2路径侧中间搁板之间、以及与上述物品交接部之间自如地移载物品；作为上述中间移载装置，设有第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置中的至少ー种，该第I路径侧中间移载装置设置成以在上述天桥运送车的行走方向上观察时与上述第I路径以及上述第I路径侧中间搁板上下重合的状态，在上述第I路径与上述第I路径侧中间搁板之间的高度上沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如，上述第2路径侧中间移载装置设置成以在上述天桥运送车的行走方向上观察时与上述第2路径以及上述第2路径侧中间搁板上下重合的状态，在上述第2路径与上述第2路径侧中间搁板之间的高度上沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如。根据这种结构，若在第I路径上行走的天桥运送车处于由把持部把持着物品的状态，则通过使停止于交接部用停止位置使把持部下降，能够将物品向设在地面ー侧的物品交接部运入。同样，若处于未由把持部把持着物品的状态，则通过停止于交接部用停止位置使把持部下降，能够将物品从设在地面ー侧的物品交接部运出。这样，在第I路径上行走的天桥运送车能够通过与交接部用停止位置的物品交接部之间的物品的运入、运出，和沿着通向交接部用停止位置的行走路径的行走动作运送物品。而且，由于作为临时放置相对于物品交接部移载的物品的中间搁板，设有第I路径侧中间搁板以及第2路径侧中间搁板，所以在第I路径上行走的天桥运送车若处于由把持部把持着物品的状态，则通过停止干与交接部用停止位置在行走方向上不同的位置使把持部下降，能够将物品临时放置在位于正下方的第I路径侧中间搁板上，若处于未由把持部把持着物品的状态，则通过停止干与交接部用停止位置在行走方向上不同的位置使把持部下降，能够接收临时放置在位于正下方的第I路径侧中间搁板上的物品。同样，在第2路径上行走的天桥运送车能够将物品临时放置在位于正下方的第2路径侧中间搁板上，或者接收临时放置在第2路径侧中间搁板上的物品。并且，由于作为使移载装置用把持部在上下方向上升降自如、在第I路径以及第2路径的横宽方向上滑动自如，在与第I路径侧中间搁板之间、与第2路径侧中间搁板之间、以及与物品交接部之间自如地移载物品的中间移载装置，设有第I路径侧中间移载装置或者第2中间移载装置中的至少ー种，所以在第I路径上行走的天桥运送车既能够通过第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置将临时放置在第I路径侧中间搁板上的物品相对于物品交接部运入，也能够向第2路径侧中间搁板移动。同样，在第2路径上行走的天桥运送车既能够通过第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置将临时放 置在第2路径侧中间搁板上的物品相对于物品交接部运入，也能够向第2路径侧中间搁板移动。这样一来，例如，天桥运送车不必进行从中间搁板向物品交接部运入以及从物品交接部向中间搁板运出即能够进行物品从运送起始处的运送(例如从其它的物品交接部运送)或物品向运送目的处运送(例如向其它的物品交接部运送)。当然，在第I路径上行走的天桥运送车也能够直接进行物品相对于物品交接部的运入、运出。这样，由于物品相对于物品交接部的运入、运出的全部或者一部分能够由第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置进行，所以在第I路径上行走的天桥运送车只要进行物品相对于物品交接部的运入以及物品从物品交接部的运出，以及物品向中间搁板上的临时放置以及临时放置在中间搁板上的物品向物品交接部的运入的一部分即可而无需全部进行。因此，能够使在第I路径上行走的天桥运送车的作业负荷减轻。因此，与以往那样仅在第2路径的正下方设置中间搁板，在第I路径上行走的天桥运送车使把持部在第I路径以及第2路径的横宽方向上滑动自如的结构不同，能够避免在第I路径上行走的天桥运送车上作业负荷过大。这样ー来，能够尽量防止天桥运送车集中在第I路径上行走而产生的拥堵。而且，通过作为中间搁板，设置位于第I路径的正下方的第I路径侧中间搁板以及位于第2路径的正下方的第2路径侧中间搁板，在设有多个中间搁板的情况下，能够将中间搁板配设在距物品交接部在行走路径方向上靠近的位置，所以既能够通过在第I路径上行走的天桥运送车及第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置将临时放置在中间搁板上的物品迅速地相对于物品交接部运入，也能够通过在第I路径上行走的天桥运送车及第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置将物品交接部的物品迅速地运出而临时放置在中间搁板上。另外，由于作为中间搁板，设有位于第I路径的正下方的第I路径侧中间搁板以及位于第2路径的正下方的第2路径侧中间搁板，所以在第I路径上行走的天桥运送车及在第2路径上行走的天桥运送车能够分别利用位于正下方的中间搁板。因此，由于在第I路径上行走的天桥运送车及在第2路径上行走的天桥运送车无需为了物品相对于中间搁板的移载而设置使把持部在路径宽度方向上滑动相当于第I路径与第2路径的设置间隔的距离的机构，所以能够简单地构成天桥运送车。以上，获得了能够将物品迅速地相对于物品交接部运入、运出，并且能够尽量防止第I路径上的天桥运送车拥堵的产生的物品运送设备。在本发明所涉及的物品运送设备的实施方式中，优选地是，设有上述第I路径侧中间移载装置以及上述第2路径侧中间移载装置双方；上 述第I路径侧中间移载装置构成为使上述移载装置用把持部在上述第I路径的正下方的第I路径侧位置与上述第2路径的正下方的第2路径侧位置之间进退自如，在使上述移载装置用把持部位于上述第I路径侧位置的状态下沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如；上述第2路径侧中间移载装置构成为使上述移载装置用把持部在上述第2路径侧位置与上述I路径侧位置之间进退自如，在使上述移载装置用把持部位于上述第2路径侧位置的状态下沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如。根据这种结构，在进行物品相对于物品交接部的运入、运出的情况下，第I路径侧中间移载装置在使移载装置用把持部位于第I路径侧位置的状态下沿着天桥运送车的行走方向移动，第2路径侧中间移载装置在使移载装置用把持部位于第2路径侧位置的状态下沿着天桥运送车的行走方向移动。因此，由于第I路径侧中间移载装置以及第2路径侧中间移载装置能够相互不产生干渉地沿着行走方向移动，所以能够顺畅地进行物品相对于物品交接部的运入、运出。而且，由于由天桥运送车临时放置在中间搁板上的物品能够通过第I路径侧中间移载装置以及第2路径侧中间移载装置双方的中间移载装置中的某ー个运入物品交接部，而且，能够由这双方的中间移载装置的某ー个将物品从物品交接部运出并临时放置在中间搁板上，所以能够通过第I路径侧中间移载装置以及第2路径侧中间移载装置双方的中间移载装置适时地进行物品相对于物品交接部的运入、运出。在本发明所涉及的物品运送设备的实施方式中，优选地是，作为上述物品交接部，设有在上述第I路径以及上述第2路径的横宽方向上分离的ー侧的物品交接部和另ー侧的物品交接部；以在上述第I路径以及上述第2路径的横宽方向上隔开间隔的状态平行地配置与上述ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径，和与上述另ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径；与上述ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径中的至少ー个，和与上述另ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径的至少ー个的两端部分别与换乘用路径相连；上述天桥运送车经由上述换乘用路径在与上述ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径中与上述换乘用路径相连的路径，和与上述另ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径中与上述换乘用路径相连的路径之间移动自如；设有移送机构，在与上述ー侧的物品交接部相对应地设置的上述中间移载装置，和与上述另ー侧的物品交接部相对应地设置的上述中间移载装置之间，在上述第2路径以及上述第2路径的横宽方向上自如地运送物品。根据这种结构，天桥运送车沿着与ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径以及第2路径中与换乘用路径相连的路径，和与另ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径以及第2路径中与换乘用路径相连的路径，以及换乘用路径行走，能够在与ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径以及第2路径中与换乘用路径相连的路径，和与另ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径以及第2路径中与换乘用路径相连的路径之间移动。因此，天桥运送车能够将从ー侧的物品交接部运出的物品或者由中间移载装置从该ー侧的物品交接部运出并临时放置在中间搁板上的物品临时放置在向另ー侧的物品交接部运入或者针对该另ー侧的物品交接部的中间搁板上。而且，根据上述结构，由于设有移送机构，在与ー侧的物品交接部相对应地设置中间移载装置，和与另ー侧的物品交接部相对应地设置的中间移载装置之间、在第I路径以及第2路径的横宽方向上自如地运送物品，所以通过移送机构将物品从与ー侧的物品交接部相对应地设置的中间移载装置向与另ー侧的物品交接部相对应地设置的中间移载装置运送，能够通过与另ー侧的物品交接部相对应地设置的中间移载装置将由天桥运送车或中间移载装置从ー侧的物品交接部运出的物品或者从该ー侧的物品交接部运出并临时放置在中间搁板上的物品向另ー侧的物品交接部运入或者临时放置在该另ー侧的物品交接部的中间搁板上。因此，即使天桥运送车不行走到连接有换乘用路径的第I路径或第2路径的端部，以在换乘用路径上行走的迂回的方式运送物品，也能够将物品从与ー侧的物品交接部相对应地设置的中间搁板向与另一侧的物品交接部以及与其相对应地设置的中间搁板上。这样,能够进ー步减小天桥运送车的负荷，并且能够将从ー侧的物品交接部运出的物品迅速地向另ー侧的物品交接部运入。在本发明所涉及的物品运送设备的实施方式中，优选地是，上述移送机构由运送输送机构成，在与上述ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径侧中间移载装置或者上述第2路径侧中间移载装置之间交接物品的ー侧的移载位置自如地载置支撑物品，并且将物品自如地载置运送到在与上述另ー侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径侧中间移载装置或者上述第2路径侧中间移载装置之间交接物品的另ー侧移载位置。
根据这种结构，与ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置通过在停止于ー侧移载位置的正上方的状态下使移载装置用把持部在上下方向上升降，从上方相对于运送输送机转交物品。成为由ー侧的移载位置载置支撑物品的状态的运送输送机将物品载置运送到另ー侧移载位置。并且，与另ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置在停止于另ー侧移载装置的正上方的状态下使移载载置用把持部在上下方向上升降，在另ー侧移载位置接收运送输送机所载置支撑的物品。这样，与ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置通过不必对向ー侧移载位置的正上方的移动或使移载装置用把持部在上下方向上升降这种现有的结构施加大大的变更即能够实现的功能，能够在与移送机构之间交接物品。在将ー侧移载位置的正上方作为停止位置而重新设定的情况下，也可以设置硬件(例如位置检测传感器)或软件(例如基于行走路径上的位置信息的位置判别程序)的位置检测机构。与另ー侧的物品交接部相对应地设置的第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置也同样。这样，在设置在针对ー侧的物品交接部的中间移载装置与针对另ー侧的物品交接部的中间移载装置之间自如地运送物品的运送机构之际，能够利用中间移载装置的现有的结构来构成运送机构。而且，在本发明所涉及的物品运送设备的实施方式中，优选地是，上述第I路径和上述第2路径设成互为相同的高度，上述第I路径侧中间搁板以及上述第2路径侧中间搁板设成互为相同的高度。这样ー来，装备整体的构造及移载作业等简单。
图I是实施方式所涉及的物品运送设备的整体俯视 图2是图I的局部放大俯视 图3是图I的局部放大侧视图； 图4是从行走方向观察天桥运送车的主视 图5是图4的局部放大主视 图6是表示运送输送机的配置状态的俯视 图7是表示运送输送机的配置状态的主视 图8是说明中间移载装置的停止位置的俯视 图9是控制方框 图10是表示其它实施方式所涉及的运送机构的俯视图。附图标记说明
I :行走轨道，2 :天桥运送车，3 :把持部，4 :物品交接部，5 :中间搁板，5η :第I路径侧中间搁板，5f :第2路径侧中间搁板，6 :中间移载装置，6n :第I路径侧中间移载装置，6f :第2路径侧中间移载装置，7 :移载装置用把持部，56 :运送输送机(运送机构)，W :物品，LI 第I路径，L2 :第2路径，LP1、LP2、LP3 :换乘用路径，Qla, Q2a、Q3a :交接部用停止位置。
具体实施例方式基于附图对本发明所涉及的物品运送设备的实施方式进行说明。〔整体结构〕
图I是本实施方式所涉及的物品运送设备的整体俯视图，图2是图I中纸面左上部分的放大俯视图。在此，纸面左上部分为将图配置成以正确的方向看到添加在图中所示的各要素上的附图标记的情况下的左上部分。同样，在以下的说明中，在使用纸面的左、右、上、下等表示的情况下意味着纸面同样配置之际的纸面内的方向。纸面的上下方向意味着在纸面内的方向上与纸面左右方向垂直的方向。该物品运送设备设在半导体制造エ厂中，将收容多片半导体晶片的FOUP等基板收纳容器作为物品W运送的多个天桥运送车2设成以由配设在天桥ー侧的行走轨道I引导支撑的状态沿着行走路径向ー个方向行走自如。行走轨道I以仅高出地面设定高度的高度配设成俯视如图I所示。这样ー来，在天桥ー侧设有在纸面左右方向上排列的三个环状路径LPl LP3。这些环状路径LPl LP3分别是整体地在长度方向上延伸，具有沿着该长度方向延伸的两个直线部分和在端部将这些直线部分彼此连结的两个曲线部分。在第I环状路径LPl与第2环状路径LP2之间，以在纸面上下方向上排列的状态设定有多个由与环状路径的长度方向垂直地延伸的直线状的第I路径LI以及第2路径L2构成的ー对路径。同样，在第2环状路径LP2与第3环状路径LP3之间也设有多对(由第I路径LI和第2路径L2构成的)路径。行走轨道I如图4所示，具备在相对于天桥运送车2的行走方向在水平方向上正交的横宽方向上隔开间隔地配置的一对轨道部件la、lb。一对轨道部件la、lb由设在天桥上的多对轨道支撑部件9悬吊支撑。配置在环状路径LPl与LP2之间的第I路径LI以及第2路径L2的ー侧端部通过连接部分K与环状路径LPl相连，另ー侧端部通过连接部分K与环状路径LP2相连。同样，配置在环状路径LP2与LP3之间的第I路径LI以及第2路径L2的一侧端部通过连接部分K与环状路径LP2相连，另ー侧端部通过连接部分K与环状路径LP3相连。这样ー来，天桥运送车2能够从第I路径LI、第2路径L2向环状路径LPl LP3行走移动，而且能够从环状路径LPl LP3向第I路径LI、第2路径L2行走移动。如图I所示，第2环状路径LP2由在多个部位相互连接的双重环路形路径(即ー个环状路径的整体配置在另ー个环状路径中)构成。由于多个天桥运送车2仅向ー个方向行走，所以在图I以及图2的纸面中上下排 列的第I路径LI以及第2路径L2上的天桥运送车2的行走方向相互为逆向。作为在图I以及图2的纸面左右方向(即与环状路径的长度方向垂直的方向)上排列设置的多个处理装置3所装备的物品交接部的エ位4的正上方，沿着这些エ位4的排列方向(图I以及图2的纸面左右方向)配设有第I路径LI。在第I路径LI的横宽方向(图I以及图2的纸面上下方向、即环状路径的长度方向)上不同的位置，与第I路径LI平行地设定有第2路径L2。〔处理装置〕
在第I环状路径LPl与第2环状路径LP2之间，以及第2环状路径LP2与第3环状路径LP3之间，以沿着图I以及图2的纸面上下左右方向成列的状态在地面上配置有多个处理装置8，该处理装置8取出收容在基板收纳容器中的半导体晶片，进行相对于半导体晶片的加工或检查的处理。在处理装置8的端部设有エ位4，处理装置8经由该エ位4在与天桥运送车2或后述的中间移载装置6之间交接物品W。处理装置8在图I以及图2的纸面上下方向上以エ位4对向的姿势成对地排列。例如，相对于图2的纸面左上的处理装置8设置的エ位4与相对于纸面左下的处理装置8设置的エ位4在纸面上下方向上对向。这样，作为エ位4，设有在第I路径LI以及第2路径L2的排列方向上离开的一侧的エ位4与另ー侧的エ位4。与一侧的エ位4相对应地设置的第I路径LI以及第2路径L2，和与另ー侧的エ位4相对应地设置的第I路径LI以及第2路径L2以在第I路径LI以及第2路径L2的横宽方向上隔开间隔的状态平行地配置，所有第I路径LI以及第2路径L2均是其两端部与环状路径LPl LP3相连。因此，通过在配置在环状路径LPl与环状路径LP2之间的第I路径LI与第2路径L2上行走的天桥运送车2，环状路径LPl与环状路径LP2作为用于向其它的第I路径LI、第2路径L2移动的换乘用的路径发挥功能。同样，通过在配置在环状路径LP2与环状路径LP3之间的第I路径LI或者第2路径L2上行走的天桥运送车2，环状路径LP2与环状路径LP3作为用于向其它的第I路径LI、第2路径L2移动的换乘用的路径发挥功能。如图2 图4所示，エ位4设成在处理装置8的端部以比处理装置8的高度低的高度自如地载置支撑物品W。由天桥运送车2、中间移载装置6转交到エ位4的物品W取入处理装置8的内部，处理结束后的物品W再次向エ位4送出，由天桥运送车2、中间移载装置6接收。
在本实施方式中，エ位4的行走方向的长度设定成能够将三个物品W以在天桥运送车2的行走方向上邻接排列的状态载置支撑。即，在エ位4上设定有三个物品交接位置，在行走路径I上，作为天桥运送车2相对于这些物品交接位置交接(即移载)物品W时停止的交接部用停止位置Q1，以自第I路径LI上天桥运送车2的行走方向的上游依次在エ位4上的三个物品交接位置各自的正上方设定有第I交接部用停止位置Qla，第2交接部用停止位置Qlb，以及第2交接部用停止位置Qlc这三个停止位置。〔中间搁板〕
如图I 图4所示，在第I路径LI以及第2路径L2的正下方，在上下方向上位于エ位4的上方、天桥运送车2的下方配置有临时放置向エ位4转交的物品W或从エ位4接收的物品W (即暂时放置物品W)的中间搁板5。在本实施方式中，作为处理装置8，以沿着第I路径LI或第2路径L2上的天桥运送车2的行走方向排列的状态相互邻接地配置有第I处理 装置8a以及第2处理装置Sb，多个中间搁板5从这些处理装置8的ー侧的处理装置8的上方侧区域配设到另ー侧的处理装置8的上方侧区域。作为中间搁板5，设有位于第I路径LI的正下方、在天桥运送车2的行走方向上与エ位4不同的位置的第I路径侧中间搁板5n，以及位于第2路径L2的正下方的第2路径侧中间搁板5f。如图3以及图4所示，中间搁板5以从自天桥上悬吊支撑的缓冲用框体55的下部向下方ー侧突出的状态设置。如图6所示，缓冲用框体55具备在第I行走路径LI上行走的天桥运送车2的行走方向上位于上游ー侧的上游侧部分55a，和位于下游ー侧的下游侧部分55b，其各自如图4、图5以及图6所示，以在行走路径的横宽方向上排列的状态具备第I路径侧框体55η和第2路径侧框体55f。由于上游侧部分55a与下游侧部分55b是同样的结构，因而以下以上游侧部分55a为代表进行说明。上游侧部分55a上的第I路径侧框体55η以及第2路径侧框体55f在上下方向上隔开间隔地配置有框状的水平框部件25，在天桥运送车2的横宽方向以及行走方向的多个部位由纵向连结部件26连接构成。水平框部件25由将沿着第I路径LI以及第2路径L2的长度方向的多个纵向水平部件25Y，和沿着第I路径LI以及第2路径L2的宽度方向的横向水平部件25T相互连接的框体构成。另外，纵向水平部件25Y以及纵向连结部件26从上游侧部分55a连接到下游侧部分55b。第I路径侧框体55η以及第2路径侧框体55f通过多根搁板悬吊件24从天桥上悬吊支撑。搁板悬吊件24比悬吊支撑行走轨道I的轨道支撑部件9仅长出相当干天桥运送车2的上下高度的量。这样ー来，天桥运送车2的第I路径LI、第2路径L2在行走方向上观察时位于多个搁板悬吊件24之间，上游侧部分55a的第I路径侧框体55η位干天桥运送车2的第I路径LI的正下方，上游侧部分55a的第2路径侧框体55f位于天桥运送车2的第2路径L2的正下方。如图6所示，在上游侧部分55a的第I路径侧框体55η上，在行走在第I路径LI上的天桥运送车2的行走方向上的上游ー侧和下游ー侧的端部均设有形成第I路径侧中间搁板5η的中间搁板部件27。而且，在上游侧部分55a的第2路径侧框体55f上除了在行走在第2路径L2上的天桥运送车2的行走方向上的下游ー侧的端部之外的四个部位设有形成第2路径侧中间搁板5f的中间搁板部件27。如图5以及图6所示，中间搁板部件27具备装备有三根定位销28的水平载置面部分27a，从该载置面部分27a的一侧的端部朝向上方的连接板部分27b，以及从该载置面部分27a的另一侧的端部朝向上方的连接板部分27c，上述定位销28卡合在形成在物品W的底面上的定位用的三个卡合槽中而对物品W进行定位。一侧的连接板部分27b的上端与纵向水平部件25Y相连，另一侧的连接板部分27c的上端与通过连结托架29相对于在横宽方向上与一侧的纵向水平部件25Y邻接的其它的纵向水平部件25Y相连，从而中间搁板部件27以载置面部分27a位于从缓冲用框体55的下端仅向下物品W的高度的量的状态固定在缓冲用框体55上。根据这种结构，物品W以物品W的正面(基板收纳容器的前面的开口所在的面)朝向一侧的连接板部分27b的姿势(图5中朝向正面右方向的姿势)由载置面部分27a载置支撑。如图2以及图6所示，通过缓冲用框体55的上游侧部分55a上的位于第I路径LI一侧的两个第I路径侧中间搁板5n和位于第2路径L2 —侧的四个第2路径侧中间搁板5f以及第I处理装置8a的工位4，构成了与第I处理装置8a相对应地设置的作为一组的移载对象群的第I移载对象群Gl。同样，通过缓冲用框体55的下游侧部分55b上的位 于第I路径LI 一侧的两个第I路径侧中间搁板5n和位于第2路径L2 —侧的四个第2路径侧中间搁板5f以及第2处理装置8b的工位4,构成了与第2处理装置8b相对应地设置的作为一组的移载对象群的第2移载对象群G2。这样，相对于第I处理装置8a以及第2处理装置Sb分别设有一组的移载对象群。并且，针对第I移载对象群Gl中工位4以外的移载对象，设定有在第I路径LI上行走的天桥运送车2停止的停止位置以及在第2路径L2上行走的天桥运送车2停止的停止位置。即，作为相对于第I移载对象群Gl的停止位置，除了与工位4的三个物品交接位置相对应的三处的交接部用停止位置Qla Qlc之外，在与沿着第I路径LI的方向上的最上游的第I交接部用停止位置Qla在上游一侧邻接的位置以及在与沿着第I路径LI的方向上的最下游的交接部用停止位置Qlc在下游一侧邻接的位置，设定有用于在第I路径LI上行走的天桥运送车2在与第I路径侧中间搁板5n之间移载物品W的第I路径侧中间搁板用停止位置Qn2。而且，在第2路径L2上与四个第2路径侧中间搁板5f相对应的四处设定有用于在第2路径L2上行走的天桥运送车2与第2路径侧中间搁板5f之间移载物品W的第2路径侧中间搁板用停止位置Q2f。针对相对于第2移载对象群G2的停止位置也同样。〔天桥运送车〕
如图3、图4以及图7所示，天桥运送车2包括具备在行走轨道I上行走的行走驱动轮的行走部10，和悬吊支撑在行走部10上且支撑物品W升降移动以及转向移动自如的主体部11，以位于一对轨道部件la、lb之间的状态设有连结行走部10和主体部11的连结体。另夕卜，在行走部10上设有驱动行走驱动轮旋转的行走用马达51 (参照图9)。 如图4所示，主体部11具备保持物品W的把持部3，使支撑把持部3的升降用支撑体22升降移动的升降操纵机构12，按照每一个升降用支撑体22使把持部3绕上下轴心转向的图外的转向操作机构，以及覆盖由把持部3保持的物品W的上方、前后方向双方和左右方向的一个方向的罩体13。而且，在主体部11上设有位于一对轨道部件la、lb之间的受电线圈14，通过将交流电通入沿着行走轨道I配设的供电线15而产生磁场，通过该磁场在受电线圈14中产生天桥运送车15 —侧所必须的电力，以非接触状态相对于天桥运送车2进行供电。升降操作机构12具备升降用马达52 (参照图9)以及旋转卷筒，通过升降用马达52的旋转动作,旋转卷筒向一个方向及其相反方向旋转驱动而卷取以及送出卷取带16,从而操作升降用支撑体22上下升降自如。转向操作机构具备转向用马达53 (参照图9)，通过该转向用马达53的旋转驱动，操作升降用支撑体22绕上下轴心转向。在升降用支撑体22上设有切换机构，通过把持用马达54 (操作图9)的动作，将把持部3的姿势切换操作成把持物品W的把持姿势或解除把持的把持解除姿势。根据以上这种结构，天桥运送车2通过以由行走轨道I引导支撑的状态向一个方向行走移动而沿着第I路径LI和第2路径L2以及环状路径LPl LP3行走自如。在第I路径LI上行走的天桥运送车2停止于多个交接部用停止位置Qla Qlc中的某一个位置的状态下，通过升降操作机构12操作升降用支撑体22升降，通过转向操作机构操作升降用支撑体22转向，通过切换机构将把持部3切换操作成把持姿势或把持解除姿·势，从而在与位于正下方的工位4的物品交接位置之间移载物品W，同样，在停止于多个第I路径侧中间搁板用停止位置中某一个位置的状态下，在与位于正下方的第I路径侧中间搁板5n之间移载物品W。在第2路径L2上行走的天桥运送车2停止于多个第2路径侧中间搁板用停止位置中的某一个位置的状态下，通过升降操作机构12操作升降用支撑体22升降，通过转向操作机构操作升降用支撑体22转向，通过切换机构将把持部3切换操作成把持姿势或把持解除姿势，从而在与位于正下方的第2路径侧中间搁板5f之间移载物品W。在图3以及图4中，在第I路径LI上行走的天桥运送车2停止于上游侧部分55a的三处交接部用停止位置Qla Qlc中在图3中箭头a所示的行走方向上最上游一侧的交接部用停止位置Qla，在第I路径L2上行走的天桥运送车2停止于下游侧部分55b的四处第2路径侧中间搁板用停止位置Q2f中在图3中箭头b所示的行走方向上最上游一侧的中间搁板用停止位置Q2f。〔中间移载装置〕
如图3 图7所示，设有将设置了中间搁板5的缓冲用框体55作为设置对象的中间移载装置6。作为中间移载装置6，相对于一个缓冲用框体55设有一台第I中间移载装置6n和一台第2中间移载装置6f。第I中间移载装置6n设成以在天桥运送车2的行走方向上观察时与第I路径LI以及第I路径侧中间搁板5n为上下重合的状态(即，在天桥运送车2的行走方向上观察时位于第I路径LI与第I路径侧中间搁板5n之间的状态，优选是位于第I路径LI的正下方、第I路径侧中间搁板5n的正上方的状态)、以第I路径与第I路径侧中间搁板5n之间的高度在沿着天桥运送车2的行走方向的方向上往返移动自如。第2中间移载装置6f设成以在天桥运送车2的行走方向上观察时与第2路径L2以及第2路径侧中间搁板5f为上下重合的状态(即，在天桥运送车2的行走方向上观察时位于第2路径L2与第2路径侧中间搁板5f之间的状态，优选是位于第2路径L2的正下方、第2路径侧中间搁板5f的正上方的状态)、以第2路径与第2路径侧中间搁板5f之间的高度在沿着天桥运送车2的行走方向的方向上往返移动自如。第I中间移载装置6n与第2中间移载装置6f均设成以其移动方向在缓冲用框体55的整个范围内往返移动自如。这样一来，第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f分别通过在上游侧部分55a以及下游侧部分55b的整个范围内往返移动，相对于与第I处理装置8a相对应地设置的第I移载对象群Gl以及与第2处理装置Sb相对应地设置的第2移载对象群G2的任一个均自如地移载物品W。以下进行详细说明。第I中间移载装置6n如图5所示装备有支撑物品W且上下方向移动自如的移载装置用把持部7，并具备操作该移载装置用把持部7在移载装置横宽方向(第I路径LI与第2路径L2的横宽方向、图5中纸面左右方向)上横行的横行操作机构31。第I中间移载装置6n构成为通过横行操作机构31使移载装置用把持部7在作为第I路径LI的正下方的第I路径侧位置的后退位置与作为第2路径L2的正下方的第2路径侧位置的突出位置之间进退自如，并且在使移载装置用把持部7位于后退位置的状态下沿着天桥运送车2的行走方向移动自如。这样一来，防止了与移载动作中的天桥运送车2的干涉及与装置移载装置6f的干涉。图4表示了在天桥运送车2的行走方向上观察第I中间移载装置6n与第2中间移载装置6f使移载装置用把持部7后退到后退位置的状态，图5表示了在天桥运送车2的行走方向上观察第I中间移载装置6n与第2中间移载装置6f均为停止的状态、使移载装置用把持部7相互突出到突出位置的状态。如图3 图5所示，在缓冲用框体55上设有支撑第I中间移载装置6n且引导沿着天桥运送车2的行走方向的移动的引导支撑体17，该引导支撑体17构成为停止于交接部用停止位置Ql以及中间搁板用停止位置Q2的状态的天桥运送车2移载物品W时形成把持部3以及物品W能够上下方向通过的空间。具体地说，引导支撑体17由以形成保持着物品W的天桥运送车2的把持部3能够上下方向通过的间隙的状态在第I中间移载装置6n的移载装置横宽方向上隔开间隔配置的一对下部移动轨道18、19构成。一对下部引导轨道18、19安装在连结位于缓冲用框体55上部在行走方向的两端部的一对横向水平部件25T的两根轨道安装部件20、21的下表面上。在设于第I中间移载装置6n的上部的移动基材32的移载装置宽度方向的两端部，以固定状态设有滑动自如地卡合在一对下部引导轨道18、19上的滑块34、35。在行走方向上观察时移载基材32的一侧的端部上安装有被操作托架33。被操作托架33具备将下端部折曲形成的水平部分33a，如图3以及图5所示，被操作托架33连接在卷绕在绕水平轴心旋转的带齿驱动滑轮36a以及从动滑轮36b上的纵向卷绕面的移动操作用同步皮带38的上侧卷绕部分的上表面。并且，通过驱动使移动操作用同步皮带38卷绕动作的移动操作用马达37向一个方向及相反方向旋转，能够操作移动基材32沿着一对下部引导轨道18、19往返直线运动。即，通过控制移动操作用马达37的旋转动作，能够控制第I中间移载装置6n的移动。另外，中间移载装置6的移动的定位控制既可以作为移动操作用马达37使用伺服马达并通过伺服控制进行，也可以作为检测配置在沿着第I中间移载装置6n的行走方向的移动路径上的移载用的停止位置的位置检测机构而与各停止位置相对应地设置多个光电传感器，基于这些传感器的检测信息进行定位控制。如图5所不,在第I中间移载装置6n的移动基材32的上表面上设有操作导块39、在移载装置横宽方向上移动自如的滚珠丝杠40。导块39连结在操作升降支撑体41在移载装置宽度方向进退的多级式的滑叉(slide fork) 42的基础叉(base fork)的进退方向的后退侧端部上。滑叉42例如具备基础叉，能够相对于该基础叉横向滑动移动的中间叉，以及能够相对于该中间叉横向滑动移动的主叉(primary fork)。滑叉42的各级以通过直线移动引导机构相互卡合的状态由联接皮带43联动连结，能够通过相对于基础叉的进退操作而使经由升降操作机构45以及转向操作机构46与主叉相连的升降支撑体41进退。并且，通过驱动使滚珠丝杠40的丝杠40a旋转的横行操作用马达44向一个方向及其相反方向旋转，能够操作导块39沿着移载装置横宽方向(即与第I路径以及第2路径的长度方向垂直的方向)往返移动。这样，由横行操作用马达44、滚珠丝杠40、以及滑叉42构成操作中间移载装置6的移载装置用把持部7在移载装置横宽方向上横行的横行操作机构31。升降操作机构45构成为通过驱动升降用马达47向一个方向及其相反方向旋转，使旋转卷筒48旋转，将卷取带49送出以及卷取，能够操作升降支撑体41上下升降。转向操作机构46驱动转向用马达50旋转，操作移载装置用把持部7绕上下轴心转向。这样一来，能够相对于工位4、中间搁板5的物品W的俯视姿势调节成适当的姿势。 根据这种结构，第I中间移载装置6n如图8所示，在停止于缓冲用框体55的上游侧部分55a以及下游侧部分55b的各自上设定在两个第I路径侧中间搁板5n各自的正上方的两处移载用停止位置Pnl、Pn5以及在第I中间移载装置6n的移动方向上设定在这些移载用的停止位置之间的三处移载用停止位置Pn2 Pn4的某一处的状态下，使移载装置用把持部7横向移动以及升降，在与第I路径侧中间搁板5n之间、与第2路径侧中间搁板5f之间、以及与工位4的各物品交接位置之间自如地移载物品W。第2中间移载装置6f是除了横行操作机构31操作移载装置用把持部7进退的方向为逆方向这一点之外与第I中间移载装置6n为同样的结构。并且，第2中间移载装置6f在停止于缓冲用框体55的上游侧部分55a以及下游侧部分55b的各自上设定在四个第2路径侧中间搁板5f各自的正上方的四处移载用停止位置Pf2 Pf5以及两个第I路径侧中间搁板5n中在天桥运送车2的行走方向上与缓冲用框体55的内侧的第I路径侧中间搁板5n相对应的移载用停止位置Pfl的某一处的状态下，使移载装置用把持部7横向移动以及升降，在与第I路径侧中间搁板5n之间、与第2路径侧中间搁板5f之间、以及与工位4的各物品交接位置之间自如地移载物品W。〔运送输送机〕
在天桥运送车2的行走方向上缓冲用框体55的中间部、图I以及图2中在纸面上下方 向上对向配置的一侧的工位4 (图2中所示的四个工位4中左上的工位)与另一侧的工位
4(图2中左下的工位)之间设有运送输送机56,该运送输送机56在与一侧的工位4相对应地设置的移载对象群和与另一侧的工位4相对应地设置的移载对象群之间自如地运送物品W。同样,设有运送输送机56,该运送输送机56在与图2中右上的工位4相对应地设置的移载对象群和与右下的工位4相对应地设置的移载对象群之间自如地运送物品W。如图7所示，这一对运送输送机56以分别悬吊支撑在缓冲用框体55的上游侧部分55a与下游侧部分55b上的状态连接。由于两者为相同的结构，因此以下以与缓冲用框体55的上游侧部分55a相连的运送输送机56为代表进行说明。运送输送机56如图6以及图7所不,具备将与一侧以及另一侧的工位4相对应地设置的缓冲用框体55相互连接的运送路径部分57，和使自如地载置支撑物品W的物品载置台56升降且转向自如、并使上述运送路径部分57往返移动自如的运送用移动体59。运送路径部分57的一侧的端部和与一侧的工位4相对应地设置的缓冲用框体55相连，运送路径部分57的另一侧的端部和与另一侧的工位4相对应地设置的缓冲用框体55相连，运送输送机56由两缓冲用框体55悬吊支撑。另外，为了增强也可以通过与搁板悬吊件24同样的部件连接运送输送机56的中间部和天桥。运送用移动体59如图9所示,具备驱动驱动轮旋转的行走用马达61,驱动物品载置台58升降的升降用马达62，以及驱动物品载置台58转向的转向用马达63。在物品载置台58上，与形成中间搁板5的中间搁板部件27同样，朝向上方突出地设有卡合在形成于物品W的底面上的定位用的三个卡合槽中而对物品W进行定位的三根定位销。运送路径部分57由壳体构成，在其上表面部形成有沿着长度方向的狭缝60。运送用移动体59为了防止尘埃向外部飞散而配置在运送路径部分57的壳体的内部，运送用移动体59的物品载置台58由插入狭缝60中的图外的支撑轴连接支撑，在上表面部的上方相 对于运送用移动体主体升降自如。并且，运送用移动体59以通过驱动驱动轮向一个方向及其相反方向旋转而由图外的导向机构引导的状态在运送路径部分57的内部沿着其长度方向往返移动自如。如图8所示，在与一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f各自的移动路径中天桥运送车2的行走方向上运送输送机56所在的部位设有输送机移载位置Pc，用于第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f在与输送机56的一侧的工位4 一侧的端部之间移载物品W。同样，在与另一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f各自的移动路径中天桥运送车2的行走方向上运送输送机56所在的部位设有输送机移载位置Pc，用于第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f在与运送输送机56的另一侧的工位4 一侧的端部之间移载物品W。与一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n、第2中间移载装置6f在停止于各自的移动路径中设定的输送机移载位置Pc的状态下,在与设在运送输送机56的一侧的端部、即一侧移载位置的卸货台64之间移载物品W。同样，与另一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n、第2中间移载装置6f在停止于各自的移动路径中设定的输送机移载位置Pc的状态下，在与设在运送输送机56的另一侧的端部、即另一侧移载位置的卸货台64之间移载物品W。在本实施方式中，输送机移载位置Pc设定在与上游侧部分55的移载用停止位置Pn5、Pf5及下游侧部分55b的移载用停止位置Pnl、Pfl在第I中间移载装置6n及第2中间移载装置6f的移动方向上相同的位置。而且，由于输送机移载位置Pc位于第2路径L2的正下方，所以第I中间移载装置6n使移载装置用把持部7突出到突出位置，在与运送用移动体59之间移载物品W。第2中间移载装置6f保持使移载装置用把持部7位于后退位置在与运送用移动体59之间移载物品W。如图4、图6以及图7所不,在运送输送机56的一侧移载位置以及另一侧移载位置双方上设有自如地载置支撑物品W的卸货台64。在卸货台64上向上方突出地设有对物品W进行定位的三根定位销。这些定位销配置成在运送用移动体59与物品载置台58上不同的位置卡合在物品W的底面上，使物品载置台58从在卸货台64上定位的物品W的下方上升，能够在物品载置台58上以定位的状态支撑，能够使物品W的位置以及姿势不偏离地进行将物品W从卸货台64上接收到运送用移动体59上的装货移载。同样，能够相反地进行使物品W的位置以及姿势不偏离地进行将物品W从运送用移动体59上转交在卸货台64上的卸货移载。这样，本实施方式中设有运送机构，在与一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f、和与另一方的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f之间沿着第I路径LI以及第2路径L2的横宽方向运送物品W，该运送机构由运送输送机56构成，在与一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f之间交接物品W的一侧移载位置自如地载置支撑物品W，并且将物品自如地载置运送到在与另一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f之间交接物品W的另一侧移载位置。 进而,在本实施方式中，运送输送机56具备运送用移动体59,在设有自如地载置支撑由与一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f交接的物品W的卸货台64的一侧移载位置，以及设有自如地载置支撑由与另一侧的工位4相对应地设置的第I中间移载装置6n以及第2中间移载装置6f交接的物品W的卸货台64的另一侧移载位置自如地移载物品W，并且在一侧移载位置与另一侧移载位置之间自如地载置运送物品W。 图9是物品运送设备的控制方框图。天桥运送车2所装备的天桥运送控制器VCq，中间移载装置6所装备的中间移载装置控制器VCp，以及运送输送机56所装备的输送机控制器VCr通过无线通讯与主控制器HC相连。主控制器HC管理物品W的处理行程，根据来自各处理装置的运送要求，设定针对各物品W的运送起始处以及运送目的处并发出运送指令，以恰当地运送物品W。并且，基于主控制器HC所发出的运送指令，通过上述各控制器控制天桥运送车2，中间移载装置6，以及运送输送机56的动作。主控制器HC例如当物品W由某一处理装置6的处理结束时，发出用于从工位4中运出该处理结束的物品W、向下一工序的处理装置8运送的运送指令。由朝向该工位4或与(属于与该工位4的移载对象群所属相同的缓冲用框体55的移载对象群)邻接的工位4运送其它的物品W中的天桥运送车2，将该其它物品W临时放置在该缓冲用框体55的中间搁板5上，从而即使不存在待机状态的天桥运送车2，也能够迅速地进行该运出作业。而且，通过进行相对于中间搁板5的临时放置，作为设备整体，能够尽量避免天桥运送车2以不保持物品W的空状态行走的浪费。在本实施方式中，在第I路径LI以及第2路径L2双方的正下方设有中间搁板5，由于在第I路径LI或第2路径L2上行走的天桥运送车2均仅进行相对于其自身正下方的移载，所以能够避免移载作业的负荷集中于在第I路径上行走的天桥运送车2上的不良情况。而且，由于处理装置8的相对于工位4的物品W的移载作业能够灵活使用在设于行走方向上与该工位4邻接的工位4的整个范围内的缓冲用框体55上设置的多个中间搁板5，所以能够尽量不产生因中间搁板5的数量少而天桥运送车2向工位4运入的物品W或运出的物品W不能够临时放置在中间搁板5上的事态地进行上述物品W的移载作业。而且，通过在第I路径LI以及第2路径L2双方的正下方设置中间移载装置6，能够谋求天桥运送车2的移载作业的负荷的进一步减轻。进而，在将物品W从针对工位4的移载对象群向针对对向的工位4的移载对象群运送的情况下，能够取代以往那样由天桥运送车2以经由环状路径LPl LP3的途径运送的途径，而能够由针对对向的两工位4的中间移载装置彼此利用运送输送机56迅速地移载物品W。〔其它实施方式〕
以上，基于发明的实施方式具体地说明了发明人完成的发明，但本发明并不仅限于上述实施方式，能够在不脱离其宗旨的范围内进行各种变更。以下，对本发明的其它实施方式进行说明。(I)在上述实施方式中，例示了第2路径L2的两端部与作为换乘用路径的环状路径LPl LP3相连，但第2路径L2的两端部也可以不与某一路径相连。在这种情况下，在第2路径L2上行走的天桥运送车2在第2路径L2上往返行走。(2 )在上述实施方式中，例示了中间移载装置6在相邻的多个工位4共用缓冲用框体55，在该缓冲用框体55的上游侧部分55a以及下游侧部分55b双方的范围内移动自如， 但也可以代之为相对于单一的工位4设置专用的缓冲用框体55，中间移载装置6以其移动方向在针对单一的工位4的缓冲用框体55的范围内移动自如。(3)在上述实施方式中，天桥运送车可以构成为使把持部在行走路径的宽度方向上滑动自如。(4)在上述实施方式中，例示了第I中间移载装置6n、第2中间移载装置6f在使移载装置用把持部7后退到后退位置的状态下沿着天桥运送车2的行走方向移动自如，但只要是第I中间移载装置6n、第2中间移载装置6f不与对方侧的中间移载装置以及进行移载动作的天桥运送车2产生干涉，则也可以构成容许使移载装置用把持部7突出到突出位置的状态下的移动，及一边进行移载装置用把持部7的进退动作一边移动。(5)在上述实施方式中，例示了相对于一个缓冲用框体55分别设置一台第I中间移载装置6n、第2中间移载装置6f，但也可以相对于一个缓冲用框体55设置多台第I中间移载装置6n、第2中间移载装置6f。(6)在上述实施方式中，例示了作为运送输送机构成为在运送路径部分上移动自如的运送用移动体运送物品，但也可以取代这种结构而作为运送输送机构成为皮带输送机那样通过运送作用体卷绕动作或往返动作而运送物品。(7)在上述实施方式中，例示了由运送输送机构成移送机构，但也可以像图10中所例示的那样，由在与行走路径的长度方向垂直的方向上排列的一对物品交接部的缓冲用框体之间配设的转交轨道、和在该转交轨道上换乘自如的中间移载装置构成移送机构。在图10的例子中，移送机构由转交轨道和第2路径侧中间移载装置构成，但移送机构也能够由转交轨道和第I路径侧中间移载装置构成。在任何一种情况下，均优选设置将中间移载装置的移动方向从沿着天桥运送车的行走方向切换成沿着行走路径的横宽方向的移动方向切换机构。以下，对具体例子进行说明。如图10所示，在中间移载装置6构成为由沿着天桥运送车2的行走方向的上部轨道65悬吊支撑的状态行走自如的结构中，在沿着相对于天桥运送车2的第I路径LI以及第2路径L2的长度方向垂直的方向排列的一对工位4的缓冲用框体55之间，以与上部轨道65相同的高度配设有转交轨道67。作为这缓冲用轨道55各自的第2中间移载装置6f的上部轨道65的一部分，绕上下轴心旋转自如的移动方向切换轨道66 (移动方向切换机构)配置在转交轨道67的两端部。根据这种结构，通过使保持着物品W的第2中间移载装置6f沿着天桥运送车2的行走方向行走到设置有移动方向切换轨道66的部位，以悬吊支撑在移动方向切换轨道66上的状态停止，之后将移动方向切换轨道66从沿着天桥运送车2的第I路径LI以及第2路径L2的方向切换成沿着第I路径LI以及第2路径L2的横宽方向，第2中间移载装置6f能够从一侧的缓冲用框体55沿着转交轨道67移动到另一侧的缓冲用框体55。在第2中间移载装置6f到达另一侧的缓冲用框体55后，通过将另一侧的缓冲用轨道55的移动方向切换轨道66从沿着天桥运送车2的第I路径LI以及第2路径L2的横宽方向切换到沿着第I路径LI以及第2路径L2的方向，第2中间移载装置6f沿着另一侧的缓冲用框体55的上部轨道65移动，相对于另一侧的工位4的物品交接位置或针对该工 位4的缓冲用框体的中间搁板5移载物品W。这样，能够在针对一侧的工位4的缓冲用框体55和针对另一侧的工位4的缓冲用框体55上利用相同的第2中间移载装置6f。
权利要求
1.一种物品运送设备，具备天桥运送车，以由配设在天桥一侧的行走轨道引导支撑的状态沿着行走路径行走自如，并且使支撑物品的把持部升降自如，在与设在地面一侧的物品交接部之间自如地移载物品，和中间搁板，配置在上述物品交接部的上方、上述天桥运送车的下方，临时放置相对于上述物品交接部移载的物品；其特征在于， 作为上述行走路径，设有经由设定在上述物品交接部的正上方的交接部用停止位置的直线状的第I路径，和与上述第路径平行、在上述第I路径的横宽方向上设定在不同的位置的直线状的第2路径； 作为上述中间搁板，设有在上述第I路径的正下方、位于在上述天桥运送车的行走方向上与上述物品交接部不同的位置的第I路径侧中间搁板，和位于上述第2路径的正下方的第2路径侧中间搁板； 设有中间移载装置，该中间移载装置使支撑物品的移载装置用把持部在上下方向上升降自如且在上述第I路径以及上述第2路径的横宽方向上滑动自如，在与上述第I路径侧中间搁板之间、与上述第2路径侧中间搁板之间、以及与上述物品交接部之间自如地移载物品； 作为上述中间移载装置，设有第I路径侧中间移载装置或者第2路径侧中间移载装置的至少一种，该第I路径侧中间移载装置设置成以在上述天桥运送车的行走方向上观察时与上述第I路径以及上述第I路径侧中间搁板上下重合的状态，在上述第I路径与上述第I路径侧中间搁板之间的高度上沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如，上述第2路径侧中间移载装置设置成以在上述天桥运送车的行走方向上观察时与上述第2路径以及上述第2路径侧中间搁板上下重合的状态，在上述第2路径与上述第2路径侧中间搁板之间的高度上沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如。
2.如权利要求I所述的物品运送设备，其特征在于， 设有上述第I路径侧中间移载装置以及上述第2路径侧中间移载装置双方， 上述第I路径侧中间移载装置构成为使上述移载装置用把持部在上述第I路径的正下方的第I路径侧位置与上述第2路径的正下方的第2路径侧位置之间进退自如，在使上述移载装置用把持部位于上述第I路径侧位置的状态下沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如； 上述第2路径侧中间移载装置构成为使上述移载装置用把持部在上述第2路径侧位置与上述I路径侧位置之间进退自如，在使上述移载装置用把持部位于上述第2路径侧位置的状态下沿着上述天桥运送车的行走方向移动自如。
3.如权利要求I或2所述的物品运送设备，其特征在于， 作为上述物品交接部，设有在上述第I路径以及上述第2路径的横宽方向上分离的一侧的物品交接部和另一侧的物品交接部； 以在上述第I路径以及上述第2路径的横宽方向上隔开间隔的状态平行地配置与上述一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径，和与上述另一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径； 与上述一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径中的至少一个，和与上述另一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径的至少一个的两端部分别与换乘用路径相连；上述天桥运送车经由上述换乘用路径在与上述一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径中与上述换乘用路径相连的路径，和与上述另一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径以及上述第2路径中与上述换乘用路径相连的路径之间移动自如； 设有移送机构，在与上述一侧的物品交接部相对应地设置的上述中间移载装置，和与上述另一侧的物品交接部相对应地设置的上述中间移载装置之间，在上述第2路径以及上述第2路径的横宽方向上自如地运送物品。
4.如权利要求3所述的物品运送设备，其特征在于， 上述移送机构由运送输送机构成，在与上述一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径侧中间移载装置或者上述第2路径侧中间移载装置之间交接物品的一侧的移载位置自如地载置支撑物品，并且将物品自如地载置运送到在与上述另一侧的物品交接部相对应地设置的上述第I路径侧中间移载装置或者上述第2路径侧中间移载装置之间交接物品的另一侧移载位置。
5.如权利要求I或2所述的物品运送设备，其特征在于， 上述第I路径和上述第2路径设成互为相同的高度，上述第I路径侧中间搁板以及上述第2路径侧中间搁板设成互为相同的高度。
全文摘要
一种物品运送设备，能够迅速地相对于物品交接部运入、运出物品，尽量防止第1路径上天桥运送车的拥堵。物品运送设备设有天桥运送车(2)，沿着直线状的第1路径和与第1路径平行的直线状的第2路径行走自如，第1路径的正下方的第1路径侧中间搁板(5n)，第2路径的正下方的第2路径侧中间搁板(5f)，以及第1路径侧中间移载装置(6n)或者第2路径侧中间移载装置(6f)的至少一种作为中间移载装置，使移载装置用把持部(7)在上下方向上升降自如且在横宽方向上滑动自如，在与第1路径侧中间搁板(5n)之间、与第2路径侧中间搁板(5f)之间、以及与物品交接部(4)之间自如地移载物品(W)。
文档编号B65G47/52GK102673964SQ20121006996
公开日2012年9月19日 申请日期2012年3月16日 优先权日2011年3月17日
发明者小川大介, 柴田优 申请人:株式会社大福