专利名称：靶盘存储装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种靶盘存储装置。
背景技术：
离子注入设备中靶盘(disk)的作用十分重要，用于承载晶片，在高速度旋转的同时进行离子注入。靶盘在使用中，表面会聚集颗粒物(particle)，时间过长会对晶片质量产生影响，因此需要每季度拆卸靶盘，以对靶盘腔室(disk chamber)和靶盘进行清洁和维护。当靶盘拆卸下来后在送洗的途中以及当靶盘清洗完毕被送回的过程中，如何妥善储存靶盘是一个重要问题。由于靶盘需要与晶片接触，因此清洗后的靶盘不能直接暴露在空气中，否则会影响靶盘的颗粒物，同时它属于精密仪器，不能在运输途中发生任何磕碰。有鉴于此，为了便于每季度对靶盘进行拆卸和送洗，避免靶盘在运输途中发生磕碰，并防止清洗后的靶盘长时间暴露在空气中，需要提供一种能妥善储存靶盘的装置。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种靶盘存储装置，以妥善储存靶盘，避免靶盘在带清洗过程中以及在运输途中发生磕碰，并防止清洗后的靶盘长时间暴露在空气中。本实用新型的技术解决方案是一种靶盘存储装置，包括底座；腔室，固定在所述底座上，用于存储一靶盘；气缸，固定于所述腔室的内侧，垂直于腔室表面；可折叠支架，活动连接至所述气缸，且所述可折叠支架一端用于固定所述靶盘；其中，所述可折叠支架能相对所述腔室在平行于所述腔室表面的方向上移动，所述气缸能带动所述可折叠支架沿垂直于所述腔室表面的方向移动。作为优选所述可折叠支架包括可折叠的第一杆和第二杆，所述第一杆和第二杆活动连接至所述气缸，所述第一杆和第二杆平行设置，且所述第一杆和第二杆的一端通过一第三杆相连，所述第一杆和第二杆的另一端通过一第四杆相连，所述第三杆用于固定所述靶盘。作为优选所述气缸为两个，分别与所述第一杆和第二杆活动连接。作为优选所述气缸顶部开设有滑槽，所述第一杆和第二杆分别穿设在两个气缸的滑槽中并可在滑槽内滑动。作为优选所述第三杆上设有螺纹孔。作为优选所述气缸能带动所述可折叠支架向腔室内移动并使可折叠支架收纳于腔室中，也能带动所述可折叠支架向腔室外移动并使可折叠支架完全处于腔室外。作为优选所述可折叠支架由钢材料制成。作为优选所述底座上设有车轮。作为优选所述车轮装有制动装置。[0020]作为优选所述腔室呈圆形。与现有技术相比，本实用新型采用固定于所述腔室的内侧并垂直于腔室表面的气缸、活动连接至所述气缸的可折叠支架，通过将靶盘固定在可折叠支架一端，再利用可折叠支架的水平向移动配合气缸的垂向收缩，将靶盘收纳在腔室内，使得本实用新型的靶盘存储装置在靶盘拆卸后待送洗的过程中以及靶盘运输过程中，能保证靶盘的稳定，避免靶盘受到外力伤害，防止清洗后的靶盘长时间暴露在空气中可以良好的保存，从而保证靶盘的质量。
图1是本实用新型靶盘存储装置的结构示意图。图2是本实用新型靶盘存储装置的装载靶盘的正视图。图3是本实用新型靶盘存储装置的装载靶盘的后视图。图4是本实用新型靶盘存储装置的靶盘平行移动的状态示意图。图5是本实用新型靶盘存储装置的收纳靶盘的状态示意图。
具体实施方式
本实用新型下面将结合附图作进一步详述在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。其次，本发明利用示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。图1示出了本实用新型的靶盘存储装置的结构示意图。请参阅图1、图2所示，在本实施例中，靶盘存储装置，包括底座1 ；腔室2，固定在所述底座1上，用于存储一靶盘5 ；气缸3，固定于所述腔室1的内侧，垂直于腔室1表面；可折叠支架4，活动连接至所述气缸3，且所述可折叠支架4 一端用于固定所述靶 5 ο根据本实用新型一较佳实施例，所述可折叠支架4呈口字型，包括可折叠的第一杆41和第二杆42、用于固定靶盘5的第三杆43和手持的第四杆44，所述第一杆41、第二杆42活动连接至所述气缸3且平行于底座1。所述第三杆43上设有螺纹孔431，从而通过螺丝与靶盘螺纹连接。所述气缸3为2个，一个连接于第一杆41，另一个连接于第二杆42。 所述气缸3顶部开设有滑槽(图中未示)，所述第一杆41和第二杆42分别穿设在两个气缸的滑槽中并可在滑槽内滑动。所述可折叠支架4由钢材料制成。所述可折叠支架4能相对所述腔室2在平行于所述腔室2表面的方向上移动，所述气缸3能带动所述可折叠支架4 沿垂直于所述腔室2表面的方向移动。具体的，所述气缸3能带动所述可折叠支架4向腔室2内移动并使可折叠支架4收纳于腔室2中，也能带动所述可折叠支架4向腔室2外移动并使可折叠支架4完全处于腔室2外。为了将卸载下来的靶盘5运送到安全位置，所述底座1上设有车轮(图中未示)。为了平稳，所述车轮上装有制动装置(图中未示)，所述车轮及车轮上的制动装置使得靶盘存储装置既可转移位置又可固定住。所述靶盘存储装置的使用过程如下如图2、图3所示，先把靶盘存储装置移动到离子注入机附近，再拆卸靶盘5，拆卸下来的靶盘5通过螺丝固定在第三杆43上，再手持第四杆44拉动第一杆41和第二杆42移动，如图4所示，靶盘5移动到腔室1的中间位置，再收缩气缸3，使靶盘5容置在腔室2内， 如图5所示，折叠第一杆41和第二杆42，使所述第一杆41和第二杆42收纳于靶盘5的上方，所述第一杆41和第二杆42也容置在腔室2内，再用塑料薄膜封装腔室2，以防止靶盘5 直接暴露在空气中。本实用新型采用固定于所述腔室2的内侧并垂直于腔室2表面的气缸3、活动连接至所述气缸2的可折叠支架4，通过将靶盘5固定在可折叠支架4 一端，再利用可折叠支架 4的水平向移动配合气缸3的垂向收缩，将靶盘5收纳在腔室2内，使得本实用新型的靶盘存储装置在靶盘拆卸后待送洗的过程中以及靶盘运输过程中，能保证靶盘5的稳定，避免靶盘5受到外力伤害，防止清洗后的靶盘5长时间暴露在空气中可以良好的保存，从而保证靶盘5的质量。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型权利要求的涵盖范围。
权利要求1.一种靶盘存储装置，其特征在于，包括底座；腔室，固定在所述底座上，用于存储一靶盘；气缸，固定于所述腔室的内侧，垂直于腔室表面；可折叠支架，活动连接至所述气缸，且所述可折叠支架一端用于固定所述靶盘；其中，所述可折叠支架能相对所述腔室在平行于所述腔室表面的方向上移动，所述气缸能带动所述可折叠支架沿垂直于所述腔室表面的方向移动。
2.根据权利要求1所述的靶盘存储装置，其特征在于所述可折叠支架包括可折叠的第一杆和第二杆，所述第一杆和第二杆活动连接至所述气缸，所述第一杆和第二杆平行设置，且所述第一杆和第二杆的一端通过一第三杆相连，所述第一杆和第二杆的另一端通过一第四杆相连，所述第三杆用于固定所述靶盘。
3.根据权利要求2所述的靶盘存储装置，其特征在于所述气缸为两个，分别与所述第一杆和第二杆活动连接。
4.根据权利要求2所述的靶盘存储装置，其特征在于所述气缸顶部开设有滑槽，所述第一杆和第二杆分别穿设在两个气缸的滑槽中并可在滑槽内滑动。
5.根据权利要求2所述的靶盘存储装置，其特征在于所述第三杆上设有螺纹孔。
6.根据权利要求1所述的靶盘存储装置，其特征在于所述气缸能带动所述可折叠支架向腔室内移动并使可折叠支架收纳于腔室中，也能带动所述可折叠支架向腔室外移动并使可折叠支架完全处于腔室外。
7.根据权利要求1所述的靶盘存储装置，其特征在于所述可折叠支架由钢材料制成。
8.根据权利要求1所述的靶盘存储装置，其特征在于所述底座上设有车轮。
9.根据权利要求8所述的靶盘存储装置，其特征在于所述车轮装有制动装置。
10.根据权利要求1所述的靶盘存储装置，其特征在于所述腔室呈圆形。
专利摘要本实用新型涉及一种靶盘存储装置，包括底座；腔室，固定在所述底座上，用于存储一靶盘；气缸，固定于所述腔室的内侧，垂直于腔室表面；可折叠支架，活动连接至所述气缸，且所述可折叠支架一端用于固定所述靶盘；其中，所述可折叠支架能相对所述腔室在平行于所述腔室表面的方向上移动，所述气缸能带动所述可折叠支架沿垂直于所述腔室表面的方向移动。本实用新型的靶盘存储装置可避免在靶盘拆卸后待送洗的过程中以及靶盘在运输途中发生磕碰，避免靶盘受到外力伤害，并防止清洗后的靶盘长时间暴露在空气中可以良好的保存，保证靶盘的质量。
文档编号B65D85/58GK202321251SQ20112046507
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月21日 优先权日2011年11月21日
发明者许鹖 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司