专利名称：光刻胶涂胶单元的托盘的利记博彩app
技术领域：
[0001]本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体来说，本实用新型涉及一种光刻胶涂胶单元的托盘。
背景技术：
半导体工艺机台的光刻胶涂胶单元原先所用的托盘为了清洗内壁，需要用稀释液进行冲洗。而托盘连接稀释液的为快速接头。图I为现有技术中一种装有快速接头的光刻胶涂胶单元的托盘的俯视图，而图2为图I中所示的光刻胶涂胶单元的托盘的正视图。结合图I和图2所示，可见该托盘100可以包括托盘本体101、快速接头102。其中，快速接头102通过托盘本体101上的一通孔105螺纹连接于托盘本体101上，用于引导稀释液清洗托盘100的内壁。该快速接头102从通孔105中穿出。由于每次托盘清洗时需拆下该快速接头102或者该快速接头102容易被其他东西多次触碰到，时间长了快速接头102的螺丝丝牙都已滑牙，安装后很容易会发生稀释液的溅出，并会对产品的质量造成不稳定，引起不必要的产品报废，增加了公司的不必要的开支。如购买新的一套托盘的话价钱又很贵，并且时间长了也会发生同类的现象。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种光刻胶涂胶单元的托盘，避免托盘与快速接头之间的连接口螺丝滑牙造成的稀释液溅出。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光刻胶涂胶单元的托盘，包括托盘本体；快速接头，螺纹连接于所述托盘本体上，引导稀释液清洗所述托盘的内壁；定位支架，固定连接于所述托盘本体的外壁，所述定位支架上有一通孔，所述快速接头从所述通孔中穿出；多个固定螺丝，螺纹连接于所述托盘本体上，将所述定位支架与所述托盘本体相固定。可选地，所述定位支架整体呈丁字形状。可选地，所述固定螺丝的数量为2 3个。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点本实用新型通过在光刻胶涂胶单元的托盘上设置定位支架，将快速接头与托盘本体相固定，从而以很低的成本避免光刻胶涂胶单元的托盘与快速接头之间的连接口螺丝滑牙造成的稀释液溅出，避免了产品的返工和报废，并能延长托盘的使用寿命，节省了生产开支，保证产品质量的稳定性。
[0015]本实用新型的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过
以下结合附图和实施例的描述而变得更加明显，其中图I为现有技术中一种装有快速接头的光刻胶涂胶单元的托盘的俯视图；图2为图I中所示的光刻胶涂胶单元的托盘的正视图；图3为本实用新型一个实施例的装有快速接头的光刻胶涂胶单元的托盘的俯视图；图4为图3中所示的光刻胶涂胶单元的托盘的正视图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步说明，在以下的描述中阐述了 更多的细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型显然能够以多种不同于此描述地其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本实用新型的保护范围。图3为本实用新型一个实施例的装有快速接头的光刻胶涂胶单元的托盘的俯视图，而图4为图3中所示的光刻胶涂胶单元的托盘的正视图。结合图3和图4所示，该光刻胶涂胶单元的托盘200可以包括托盘本体201、快速接头202、定位支架203以及多个固定螺丝204。其中，快速接头202，螺纹连接于托盘本体201上，用于引导稀释液清洗托盘200的内壁。定位支架203固定连接于托盘本体201的外壁，定位支架203上有一通孔205，快速接头202从通孔205中穿出。多个固定螺丝204螺纹连接于托盘本体201上，将定位支架203与托盘本体201相固定。在本实施例中，定位支架203整体呈丁字形状。固定螺丝204的数量可以为2 3个。考虑到定位支架203相对于托盘本体201的稳定性，优选采用3个固定螺丝，即丁字形的定位支架203的每一叶片上均旋有固定螺丝204，从而将定位支架203与托盘本体201牢固连接。本实用新型通过在光刻胶涂胶单元的托盘上设置定位支架，将快速接头与托盘本体相固定，从而以很低的成本避免光刻胶涂胶单元的托盘与快速接头之间的连接口螺丝滑牙造成的稀释液溅出，避免了产品的返工和报废，并能延长托盘的使用寿命，节省了生产开支，保证产品质量的稳定性。本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化及修饰，均落入本实用新型权利要求所界定的保护范围之内。
权利要求1.一种光刻胶涂胶单元的托盘，其特征在于，包括 托盘本体； 快速接头，螺纹连接于所述托盘本体上，引导稀释液清洗所述托盘的内壁； 定位支架，固定连接于所述托盘本体的外壁，所述定位支架上有一通孔，所述快速接头从所述通孔中穿出； 多个固定螺丝，螺纹连接于所述托盘本体上，将所述定位支架与所述托盘本体相固定。
2.根据权利要求I所述的光刻胶涂胶单元的托盘，其特征在于，所述定位支架整体呈丁字形状。
3.根据权利要求I或2所述的光刻胶涂胶单元的托盘，其特征在于，所述固定螺丝的数量为2 3个。
专利摘要本实用新型提供一种光刻胶涂胶单元的托盘，包括托盘本体；快速接头，螺纹连接于托盘本体上，引导稀释液清洗托盘的内壁；定位支架，固定连接于托盘本体的外壁，定位支架上有一通孔，快速接头从通孔中穿出；多个固定螺丝，螺纹连接于托盘本体上，将定位支架与托盘本体相固定。本实用新型通过在光刻胶涂胶单元的托盘上设置定位支架，将快速接头与托盘本体相固定，从而以很低的成本避免光刻胶涂胶单元的托盘与快速接头之间的连接口螺丝滑牙造成的稀释液溅出，避免了产品的返工和报废，并能延长托盘的使用寿命，节省了生产开支，保证产品质量的稳定性。
文档编号B65D19/38GK202368870SQ20112044980
公开日2012年8月8日 申请日期2011年11月14日 优先权日2011年11月14日
发明者孙斌, 张宏旸, 杨洁 申请人:上海先进半导体制造股份有限公司