专利名称：湿式蚀刻用夹具的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及湿式蚀刻用夹具，尤其是涉及吸引并保持板状的被加工物的湿式蚀刻用夹具。
背景技术：
太阳能发电的发电成本还是很高，作为太阳能电池，谋求削减材料成本、制造成本的同时提高转换效率。因此，谋求占材料成本的大部分的晶圆的薄型化。通过晶圆的薄型化，光的吸收层变少，并且表面的相对的重要性增加。由此，为制造转换效率高的太阳能电池，光的限制技术和表背面的钝化(惰性化)技术变得重要。当前的晶体硅太阳能电池几乎都是通过在受光面上设置被称为表面织构(以下记
作Tex.)的微小凹凸来降低表面的反射率，在背面设置有与所使用的晶圆相同的导电型的高浓度扩散层，通过其交界处具有的内置电场使背面钝化。将该背面的扩散层称为BSF(Back SurfaceField :背面区)层。一般使用p型晶圆，通过在背面印刷、焙烧Al膏而形成BSF层(以下将该BSF称为A1-BSF)。但是，公知晶圆的薄型化和Al-BSF的兼容性不太好，成为妨碍晶圆的薄型化的主要原因。更具体来说，Al和Si存在热膨胀率的差异，从而在焙烧后的晶圆中存在内部应力。由此，随着晶圆变薄，电池的翘曲变得明显，对随后的模块制作工序带来影响。由此，作为代替Al-BSF的技术，研究了通过绝缘膜钝化背面的技术。公知在通过绝缘膜钝化背面的类型的太阳能电池中，当存在背面的Tex.时，成为使背面钝化特性劣化的主要原因，优选背面不存在Tex.。Tex.形成从量产性高的角度考虑大多采用湿式蚀刻。在进行湿式蚀刻的情况下，仅在晶圆的表面上形成Tex.,为防止向背面形成Tex.,需要在用抗蚀剂等掩蔽晶圆的一面的状态下进行蚀刻。但是，为进行抗蚀剂的形成、除去，产生制造成本增加的问题。作为解决这样的问题的对策，例如专利文献I、专利文献2公开了通过在吸附板状的被加工物的状态下浸溃在药液中来蚀刻被加工物的一面的技术。现有技术文献专利文献I :日本特开平03-102728号公报专利文献2 :日本特开平09-246235号公报
发明内容
发明所要解决的课题但是，在上述公开的技术中，被加工物和真空泵、管等以大致I对I的关系设置，从而存在难以应对太阳能电池的大量生产的问题。例如，一次批量处理100张以上的被加工物的情况下，准备与该张数相应的真空泵等是不现实的。本发明是鉴于上述情况而研发的，其目的是提供一种能够应对太阳能电池的大量生产且能够实现抑制制造成本的湿式蚀刻用夹具。
用于解决课题的手段为解决上述课题，实现目的，本发明的湿式蚀刻用夹具，在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持被加工物，其特征在于，具有保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引口的吸引部、和以包围吸引部的周围的方式设置且能够以包围被加工物的第一面的规定区域的方式与第一面紧密接触的第一紧密接触部；与吸引口连通的排气通路；止回阀，被设置于排气通路，切断空气向吸引部的流动，并允许来自吸引部的空气的流动。发明效果根据本发明的湿式蚀刻用夹具，能够发挥应对太阳能电池的大量生产且实现抑制制造成本的效果。
图I是表示本发明的实施方式I的湿式蚀刻用夹具的外观的主视图。图2是图I所示的湿式蚀刻用夹具的侧视图。图3是沿图I所示的A-A线的向视剖视图。图4是表示将晶圆保持在湿式蚀刻用夹具上的状态的图。图5是保持晶圆的湿式蚀刻用夹具的剖视图。图6是保持晶圆的湿式蚀刻用夹具的主视图。图7是表示湿式蚀刻用夹具被收容在料盒中的状态的俯视图。图8是沿图7所示的B-B线的向视剖视图。图9是沿图7所示的C-C线的向视图。图10是表示使晶圆从湿式蚀刻用夹具脱离的状态的图。
具体实施例方式以下，基于附图详细说明本发明的湿式蚀刻用夹具的实施方式。此外，本发明不被该实施方式所限定。实施方式I图I是表示本发明的实施方式I的湿式蚀刻用夹具的外观的主视图。图2是图I所示的湿式蚀刻用夹具的侧视图。图3是沿图I所示的A-A线的向视剖视图。湿式蚀刻用夹具I具有主体2、止回阀12、O形环15、16。主体2呈大致长方体形状。构成主体2的多个面中的相互朝向相反方向的两个面作为保持被加工物的保持面4发挥功能。在保持面4上以包围保持面4的大致整个区域的方式安装有环状的第一 O形环(第一紧密接触部)15。这里，被第一 O形环15包围的区域的形状及面积与被加工物的一个面(后述的晶圆7的第一面7a，还参照图4)的形状及面积大致相同。由此，能够以包围被加工物的一个面的大致整个区域(规定的区域)的方式，使第一O形环15与该一个面紧密接触。另外，在保持面4上，在第一 O形环15的内侧安装有环状的第二 O形环(第二紧密接触部)16。各O形环15、16由例如橡胶等弹性材料构成。在保持面4中的第一 O形环15和第二 O形环16之间形成有槽5。另外，在槽5的底面5a上并列地形成有用于吸引空气的吸引口 17。槽5作为形成有吸引口 17的吸引部发挥功能，但吸引部不必须是槽形状，保持面4整体也可以平坦地形成。该情况下，第一 O形环15和第二 O形环16之间的区域也作为形成有吸引口 17的吸引部发挥功能。另外，吸引口 17也可以仅设置I个。在主体2的内部形成有与吸引口 17连通的排气通路6。在主体2上形成有与从真空泵(未图示)延伸的管(未图示)连接的连接口 U。排气通路6的一端侧与吸引口 17连通，另一端侧与连接口 11连通。湿式蚀刻用夹具I的连接口 11位于上方的状态成为通常的使用状态。以下，在提到上方、下方的情况下，是指湿式蚀刻用夹具I的通常的使用状态下的上方、下方。主体2以保持面4彼此的间隔朝向下方变窄的方式形成。因此，如图2所示，从侧面观察主体2时，成为朝向下方变细的形状。在主体2上，在与保持面4不同的侧方的面上形成有伸出部13。伸出部13作为在后述的料盒内对湿式蚀刻用夹具I进行定位的定位部发挥功能。
止回阀12被设置在排气通路6的中途。止回阀12允许从吸引口 17向连接口 11的空气的流动(箭头P所示的流动)，切断从连接口 11向吸引口 17的空气的流动(箭头Q所示的流动)。图4是表示使晶圆保持在湿式蚀刻用夹具I上的状态的图。图5是保持晶圆的湿式蚀刻用夹具I的剖视图。图6是保持晶圆的湿式蚀刻用夹具I的主视图。如图4所示，使用形成有用于载置作为被加工物的晶圆7的载置槽8a的晶圆设定用夹具8，使晶圆7保持在湿式蚀刻用夹具I上。晶圆设定用夹具8的载置槽8a沿保持面4的坡度形成，宽度朝向底面变窄。晶圆7靠在载置槽8a的两壁上，插入湿式蚀刻用夹具1，由此能够使各O形环15、16与晶圆7的第一面7a紧密接触。此外，因为在图4中示出了完全地插入湿式蚀刻用夹具I之前的状态，所以各O形环15、16和晶圆7还没有紧密接触。从图4所示的状态进一步插入湿式蚀刻用夹具1，由此能够使各O形环15、16和晶圆7紧密接触。而且，在晶圆7与各O形环15、16紧密接触的状态下，与连接口 11连接并通过真空泵从吸引口 17吸引空气。形成在保持面4上的槽5和晶圆7之间的空间被减压，由此，晶圆7被吸附并被保持在湿式蚀刻用夹具I上。这样，由各O形环15、16和形成有吸引口17的槽5构成保持晶圆7的保持部。这里，由于在排气通路6的中途设置有止回阀12，所以只要槽5和晶圆7之间的空间被减压，此后，空气就不会从连接口侧流入。即使解除真空泵和连接口 11的连接，保持晶圆7的状态也被维持。因此，不需要与湿式蚀刻用夹具I的数量相匹配地准备真空泵、管，能够应对晶圆7的大量处理，能够有助于抑制太阳能电池的制造成本。另外，由于能够用I个湿式蚀刻用夹具I保持多个晶圆7，所以能够更容易地应对晶圆7的大量处理。保持晶圆7的状态的湿式蚀刻用夹具I被收容在料盒中。图7是表示湿式蚀刻用夹具被收容在料盒中的状态的俯视图。图8是沿图7所示的B-B线的向视剖视图。图9是沿图7所示的C-C线的向视图。湿式蚀刻用夹具I以使被保持的晶圆7彼此面对的方式并列地被收容在料盒9内。此时，湿式蚀刻用夹具I的伸出部13嵌合在形成于料盒9的保持槽9a中，由此，实现料盒9内的湿式蚀刻用夹具I的定位。另外，由于伸出部13嵌合在保持槽9a中，所以料盒9内的湿式蚀刻用夹具I的移动被限制，从而能够防止相邻的晶圆彼此碰撞而损坏。通过使收容有湿式蚀刻用夹具I的料盒9浸溃在药液中，能够蚀刻晶圆7。这里，晶圆7的第一面7a的几乎全部区域被第一 O形环15包围，从而不与药液接触而不进行蚀亥IJ。因此，能够仅在第一面7a的相反侧的面上形成蚀刻产生的Tex.。此外，通过改变第一O形环15的形状、大小，能够改变晶圆7的第一面7a中的被第一 O形环15包围的规定区域的形状、大小。即，通过改变第一 O形环15的形状、大小，能够使晶圆7的第一面7a中的被药液蚀刻的区域成为所期望的形状、大小。另外，在第一O形环15的内侧设置有第二O形环16，在它们之间形成有吸引口 17，从而晶圆7的第一面7a中的实际被吸附的仅是外周部分。因此，与不设置第二 O形环16而吸引晶圆7的整体的情况相比，能够抑制晶圆7的接曲，并能够实现防止晶圆7的损坏、蚀刻处理的均匀化。图10是表示使晶圆7从湿式蚀刻用夹具I脱离的状态的图。晶圆7的蚀刻结束·后，从料盒9取出湿式蚀刻用夹具1，使晶圆7从湿式蚀刻用夹具I脱离。例如，预先在主体2上形成与连接口 11相独立的与排气通路6连通的连通口，通过打开设置在该连通口上的阀，使空气流入排气通路6内，解除晶圆7和槽5之间的减压。如上所述，保持面4彼此以朝向下方相互的间隔变窄的方式形成，从而晶圆7也以朝向下方相互的间隔变窄的方式被保持(还参照图5)。因此，晶圆7从湿式蚀刻用夹具I脱离时，向箭头R所示的方向倾倒，该倾倒方向大致唯一地确定。由于晶圆7的倾倒方向唯一地确定，所以难以引起脱离后的晶圆7彼此的接触，例如，能够顺畅地进行脱离后的晶圆7的拾取等作业。另外，由于能够容易地把握脱离后的晶圆7的行为，所以也能够容易地把握脱离后的晶圆7彼此不会碰撞的湿式蚀刻用夹具I的间隔。此外，也可以不设置第二 O形环16地构成保持部。在晶圆7难以挠曲的情况下，例如晶圆7的面积小的情况等，即使不设置第二 O形环16地吸引晶圆整体，晶圆7的变形也不易成为问题。工业实用性如上所述，本发明的湿式蚀刻用夹具对于晶圆的湿式蚀刻是有用的，尤其适用于仅湿式蚀刻晶圆的一面的情况。附图标记的说明I 湿式蚀刻用夹具2 主体4 保持面5 槽5a 底面6 排气通路7 晶圆7a 第一面8 晶圆设定用夹具8a 载置槽9 料盒
9a保持槽11连接口12止回阀13伸出部15第一 O形环(第一紧密接触部)16第二 O形环(第二紧密接触部)17吸引口 P、Q、R 箭头
权利要求
1.ー种湿式蚀刻用夹具，在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持所述被加工物，其特征在于，具有 保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引ロ的吸引部、和以包围所述吸引部的周围的方式设置且能够以包围所述被加工物的第一面的规定区域的方式与所述第一面紧密接触的第一紧密接触部； 与所述吸引ロ连通的排气通路； 止回阀，其被设置于所述排气通路，切断空气向所述吸引部的流动，并允许来自所述吸引部的空气的流动。
2.如权利要求I所述的湿式蚀刻用夹具，其特征在干， 具有朝向相互相反方向的至少两个所述保持部， 所述两个保持部形成为，在进行所述被加工物的湿式蚀刻时，使被所述保持部保持的所述被加工物彼此的间隔朝向下方变窄。
3.如权利要求I或2所述的湿式蚀刻用夹具，其特征在干， 所述保持部还具有以环状设置在所述第一紧密接触部的内侧的第二紧密接触部， 所述吸引ロ被设置在所述第一紧密接触部和所述第二紧密接触部之间。
全文摘要
本发明的湿式蚀刻用夹具(1)在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持被加工物，其中，具有保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引口(17)的吸引部、和以包围吸引部的周围的方式设置且能够以包围被加工物的第一面的规定区域的方式与第一面紧密接触的第一紧密接触部(15)；与吸引口连通的排气通路；止回阀(12)，被设置于排气通路，切断空气向吸引部的流动，并允许来自吸引部的空气的流动。
文档编号B65G49/06GK102859663SQ20108006642
公开日2013年1月2日 申请日期2010年4月26日 优先权日2010年4月26日
发明者西本阳一郎 申请人:三菱电机株式会社