专利名称：气浮式基板输送装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种基板输送装置，尤其涉及一种气浮式基板输送装置。
背景技术：
在有机发光显示器件、太阳能电池板的制造过程中一般涉及一系列与基板有关的 工序，此处的基板和在下文中所提到的基板均指扁平状的板，基板可以是玻璃基板、硅基板 等或者在其表面处理过的玻璃基板、硅基板等。一般的工序都要经过清洗、镀膜、热处理等。 通常的若干的工序需要在若干处理装置间执行，处理装置可以包括若干腔室和若干零部 件，因此需要在若干处理装置间进行若干次基板的输送。主要的基板输送形态可以分为接触式和非接触式，一般的接触式输送基板的系统 是将基板装在密闭的匣状外壳内进行输送，通常也会采用自动化的输送系统，比如小车输 送、机器人输送、皮带输送、钢带输送等。接触式输送通常是使用机械力来作为传输动力，在 输送过程中很容易传动件磨损发生偏摆和噪音现象、增大了维修成本，且各输送组件间的 彼此摩擦，亦会造成粉粒污染制作工艺环境，影响制作工艺品质。而非接触式传输，则是指 使用非接触力来作为输送动力的传输方式，如气浮和磁力等。在有机发光显示器件、太阳能电池板的生产线中，玻璃基板传输工作平台是一个 重要组成部分。传统的传输工作平台采用大量的滚轮、滚珠顶杆和吸盘，玻璃基板和平台之 间是相互接触的。这样的平台无论是用于传输还是加工，速度都很慢，而且很容易导致玻璃 出现刮伤、污染和变形等缺陷。随着产品的升级换代，玻璃的面积越来越大，传统的接触式 传输加工平台已经难以满足要求。因此，急需一种采用非接触输送方式，特别是气浮式输送的基板输送机构，该气浮 式基板输送装置运行时无污染、无噪音、机件耗损小、输送安全稳定性高。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种无污染、无噪音、机件耗损小、输送安全稳定性高 的气浮式基板输送装置。为了实现上述目的，本实用新型所述气浮式基板输送装置包括气爪和气浮载台， 所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，所述气浮载台包括气板，所述气板上 具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述 气板边缘逐渐增大。较佳地，所述喷气孔密度从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。理论上在气 浮载台是处在一个相对的封闭空间内的，但是现实生产中，在相对的封闭空间内也会存在 一定的漏气问题或者其它一些问题，通俗的说从气板上喷出的气体容易集中到基板下部的 中间位置，而基板下部的中心位置就会在应力的影响下变形，导致基板出现不良品。为了解 决上述的气体容易集中到基板下部中心位置导致基板变形的问题，通过在气板沿中心向气 板边缘依次增大气板上喷气孔的密度从而增大基板边缘的气体的喷气量和浮力，使基板始终处于平整的悬浮状态。较佳地，所述气板上表面的喷气孔孔径从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增 大。通过在气板上表面沿中心向气板边缘依次增大喷气孔的孔径，从而增大基板边缘的气 体的喷气量和浮力，使基板始终处于平整的悬浮状态。较佳地，所述气板上还包括与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述泄气孔密度从 所述气板中心向所述气板边缘逐渐减小。这样可以在气体从气浮载台的气板上喷出的同时 进行泄气，保持了基板下部的表面受到均衡的浮力，并使得所述气板的泄气量从气板边缘 向气板中心逐渐增大，防止由于气板上喷出的气体容易集中到基板下部的中心位置，而使 得气板中心的喷气量多于气板边缘的喷气量造成基板的变形。较佳地，所述气板上还包括与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述气板上表面的 泄气孔孔径从所述气板中心向气板边缘逐渐减小。这样使得所述气板的泄气量从气板边缘 向气板中心逐渐增大，防止由于气板上喷出的气体容易集中到基板下部的中心位置，而使 得气板中心的喷气量多于气板边缘的喷气量造成基板的变形。较佳地，所述泄气孔上表面孔径小于所述泄气孔下表面孔径。这样做可以更好的 引导气流从气板流出，以达到泄气的目的，从而保持了基板下表面受到均衡的浮力，基板在 输送过程正处于平整的悬浮状态。较佳地，所述喷气孔上表面孔径大于所述喷气孔下表面孔径。这样做可以更好的 引导气流吹向基板，使基板在输送过程正处于平整的悬浮状态。较佳地，所述气板上表面两端的喷气孔密度大于所述气板中间的喷气孔密度。气 浮式基板输送装置传送基板时，所述气爪夹持基板的边缘部直接拖动基板移动，并通过气 浮单元将基板保持在非接触的气浮状态，即基板在喷气孔的喷气产生的浮力作用下，悬浮 在所述气板上方，然而在基板从气浮载台移进或者移出时，喷气孔喷出的气体会发生流失， 使得气板相对于基板的浮力因此而减小，而增大气板上表面两端的喷气孔密度的做法使得 所述气板上表面两端的喷气量大于所述气板中间的喷气量，保持基板始终处于悬浮状态， 避免基板两端的变形。较佳地，所述气板上表面两端的喷气孔孔径大于所述气板中间的喷气孔孔径。与 增大所述气板两端的喷气孔密度目的相同，增大喷气孔孔径也可以做到使得所述气板上表 面两端的喷气量大于所述气板中间的喷气量，从而保持基板始终处于悬浮状态，避免基板 两端的变形。本实用新型的气浮式基板输送装置通过气板使基板悬浮于气浮载台上方，再通过 气爪夹持基板的工艺边移动基板，完成基板的输送作业，与现有技术相比，第一，本实用新 型气浮式基板输送装置保证在输送过程中，基板的有效部分处于非接触的气浮状态，使得 输送基板的过程中超静音，在输送过程中能耗及机件的损耗少，节省维修成本，免维修。第 二，本实用新型的气浮载台处于一个相对封闭空间内，使得本实用新型运行时发尘量少，基 板污染大大减少，甚至可以达到零污染。第三，本实用新型包括夹持固定基板的气爪和悬 浮基板的气浮载台，输送基板时，基板被气爪夹持固定并悬浮于气板上，然后在悬浮的状态 下被气爪移动到适当位置，完成基板的输送，因此，本实用新型气浮式基板输送装置安装方 便、灵活，结构布局紧凑、合理、可靠，输送效率高。第四，本实用新型气板上表面的喷气量从 所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大，解决了基板输送时气体容易集中到基板下部中心位置导致基板变形的问题，使基板始终处于平整的悬浮状态。因此，本实用新型气浮式基板 输送装置具有无噪音、无污染、免维修、输送效率高，在输送过程中避免基板变形。
图1是本实用新型气浮式基板输送装置的结构示意图。图2是本实用新型气浮式基板输送装置第一实施例的示意图。图3是图2沿A-A线的剖视图。图4是本实用新型气浮式基板输送装置第二实施例的示意图。图5是图4沿B-B线的剖视图。图6是本实用新型气浮式基板输送装置第三实施例的示意图。图7是图6沿C-C线的剖视图。图8是本实用新型气浮式基板输送装置第四实施例的示意图。图9a_图9c是本实用新型气浮式基板输送装置输送基板的示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型气浮式基板输送装置10包括气爪11和气浮载台，所述气 浮载台包括气板12，所述气爪11与驱动源(图中未示)相连，驱动源用于控制气爪11动 作，所述气爪11用于将基板100夹持并固定于所述气板12上，所述气板12上具有与充气系 统(图中未示)相连的若干个喷气孔，且所述气板12上表面的喷气量从所述气板中心向所 述气板边缘逐渐增大，输送基板100时，若干个喷气孔沿箭头方向喷气，基板100在喷气产 生的浮力作用下，悬浮在所述气板12上方，最后直接使用气爪11拖动悬浮状态的基本100 移动即可。本实用新型具体实施例如下参考图2和图3，描述本实用新型的第一实施例，所述浮式基板输送机构10包括气 爪11和气浮载台，所述气浮载台包括气板12，所述气板12上具有与充气系统(图中未示) 相连的若干个喷气孔21，且所述气板12上表面喷气孔21密度的从所述气板12中心向所述 气板12边缘逐渐增大。理论上在气浮载台是处在一个相对的封闭空间内的，但是现实生产 中，在相对的封闭空间内也会存在一定的漏气问题或者其它一些问题，通俗的说从气板12 上喷出的气体容易集中到基板100下部的中间位置，而基板100下部的中心位置在应力的 作用下变形，导致基板100出现不良品，而通过在气板12沿中心向气板12边缘依次增大气 板12上喷气孔21的密度，从而增大基板100边缘的气体的喷气量和浮力，使基板100始终 处于平整的悬浮状态。具体地，所述气板12上表面两端(基板100从气板12移进、移出的位置)喷气孔 21的密度大于气板12中间喷气孔21的密度。实际中，喷气孔21流出气体会在基板100移 进、移出处发生流失，浮力即因此而减小，上述增大喷气孔21密度是为了增大气体的喷气 量和浮力，保持基板100始终处于悬浮状态，避免基板100的两端产生变形。具体地，所述喷气孔21上表面孔径大于所述喷气孔21下表面孔径，这样做可以更 好的引导气流吹向基板100，使基板100在输送过程正处于平整的悬浮状态。参考图4和图5，描述本实用新型的第二实施例，所述浮式基板输送机构10包括气 爪11和气浮载台，所述气浮载台包括气板13，所述气板13上具有与充气系统(图中未示)
5相连的若干个喷气孔31，且所述气板13上表面的喷气孔31孔径从所述气板13中心向所述 气板13边缘逐渐增大。通过增大气板13边缘处喷气孔31的孔径，从而增大基板100边缘 的气体的喷气量和浮力，使基板100始终处于平整的悬浮状态。具体地，所述气板13上表面喷气孔31的密度从所述气板中心向所述气板边缘逐 渐增大。进一步增大了气板边缘的喷气量，从而增大基板100边缘的气体的喷气量和浮力， 使基板100始终处于平整的悬浮状态。具体地，所述气板13上表面两端喷气孔31的孔径大于气板13中间喷气孔31的 孔径，使得所述气板13上表面两端喷气量大于气板13中间的喷气量，从而避免基板100从 气浮载台移进或者移出时，因气体的流失而发生变形，保持基板100始终处于悬浮状态。具体地，所述气板13上表面两端喷气孔31的密度大于气板13中间喷气孔31的 密度，进一步增大了气板13上表面两端的喷气量，从而避免基板100从气浮载台移进或者 移出时，因气体的流失而发生变形，保持基板100始终处于悬浮状态。具体地，所述喷气孔31上表面孔径大于所述喷气孔31下表面孔径，这样做可以更 好的引导气流吹向基板100，使基板100在输送过程正处于平整的悬浮状态。参考图6和图7，描述本实用新型的第三实施例，所述浮式基板输送机构10包括气 爪11和气浮载台，所述气浮载台包括气板14，所述气板14上具有喷气孔41和泄气孔42， 所述喷气孔41与充气系统(图中未示)相连，所述泄气孔42与抽气系统相连，所述泄气孔 42密度从所述气板14中心向所述气板14边缘逐渐减小。这样可以在气体从喷气孔41上 喷出的同时进行泄气，保持了基板100下部的表面受到均衡的浮力，防止由于气板14上喷 出的气体容易集中到基板100下部的中心位置，而使得气板14中心的喷气量多于气板14 边缘的喷气量造成基板100的变形。具体地，所述喷气孔41密度从所述气板14中心向所述气板14边缘逐渐增大，这 样可以防止由于气板14上喷出的气体容易集中到基板100下部的中心位置，而使得气板14 中心的喷气量多于气板14边缘的喷气量造成基板100的变形。具体地，所述气板14上表面两端喷气孔41的密度大于气板14中间喷气孔41的 密度，使得所述气板14上表面两端喷气量大于气板14中间的喷气量，从而避免基板100从 气浮载台移进或者移出时，因气体的流失而发生变形，保持基板100始终处于悬浮状态。具体地，所述喷气孔41上表面孔径大于所述喷气孔41下表面孔径，这样做可以更 好的引导气流吹向基板100，使基板100在输送过程正处于平整的悬浮状态。具体地，所述泄气孔42上表面孔径小于所述泄气孔42下表面孔径。这样做可以 更好的引导气流从气板14流出，以达到泄气的目的，从而保持了基板100下表面受到均衡 的浮力，基板100在输送过程正处于平整的悬浮状态。参考图8，描述本实用新型的第四实施例，所述浮式基板输送机构10包括气爪11 和气浮载台，所述气浮载台包括气板15，所述气板15上具有喷气孔51和泄气孔52，所述喷 气孔51与充气系统(图中未示)相连，所述泄气孔52与抽气系统相连，所述气板15上表 面泄气孔52的孔径逐渐从所述气板15中心向所述气板15边缘减小。这样可以在气体从 喷气孔41上喷出的同时进行泄气，并通过减小气板15边缘的泄气孔孔径，保持基板100下 部的表面受到均衡的浮力，防止由于气板14上喷出的气体容易集中到基板100下部的中心 位置，而使得气板14中心的喷气量多于气板14边缘的喷气量造成基板100的变形。[0041]具体地，所述泄气孔52密度从所述气板15中心向所述气板15边缘逐渐减小。这 样可以通过增加气板15中心处的泄气孔52密度，增大气板15中心的喷气量，防止由于气 板15上喷出的气体容易集中到基板100下部的中心位置，致使基板100变形。具体地，所述气板15上表面的喷气孔51孔径从所述气板15中心向所述气板15 边缘逐渐增大。通过在气板15上表面沿中心向气板边缘依次增大喷气孔51的孔径，从而 增大基板100边缘的气体的喷气量和浮力，使基板100始终处于平整的悬浮状态。具体地，所述喷气孔51密度从所述气板15中心向所述气板15边缘逐渐增大，这 样可以防止由于气板15上喷出的气体容易集中到基板100下部的中心位置，而使得气板15 中心的喷气量多于气板15边缘的喷气量造成基板100的变形。具体地，所述气板15上表面两端喷气孔51的密度大于气板15中间喷气孔51的 密度，使得所述气板15上表面两端喷气量大于气板15中间的喷气量，从而避免基板100从 气浮载台移进或者移出时，因气体的流失而发生变形，保持基板100始终处于悬浮状态。具体地，所述气板15上表面两端喷气孔51的孔径大于气板15中间喷气孔51的 孔径，使得所述气板15上表面两端喷气量大于气板15中间的喷气量，从而避免基板100从 气浮载台移进或者移出时，因气体的流失而发生变形，保持基板100始终处于悬浮状态。具体地，所述喷气孔51上表面孔径大于所述喷气孔51下表面孔径，这样做可以更 好的引导气流吹向基板100，使基板100在输送过程正处于平整的悬浮状态。具体地，所述泄气孔52上表面孔径小于所述泄气孔52下表面孔径。这样做可以 更好的引导气流从气板15流出，以达到泄气的目的，从而保持了基板100下表面受到均衡 的浮力，基板100在输送过程正处于平整的悬浮状态。参考图9a-图9c，描述本实用新型悬浮式基板输送机构10输送基板100的过程， 其中，图9a是气爪11夹持基板100的工艺边并带动基板100在气浮载台上移动的示意图； 图9b是气爪11夹持基板100的工艺边并带动基板100移动到气板12中间的示意图；图 9c是气爪11夹持基板100的工艺边并带动基板100移出气板12的示意图。输送基板100 时，先将基板100夹持固定到气爪11上，基板100在喷气孔21的作用下处于悬浮状态，再 使用气爪11夹持基板100并带动基板100在气浮载台上移动，直至所述基板100被移至适 当位置，控制驱动源打开气爪11，将基板100取件。本实用新型气板12上表面的喷气量从 所述气板12中心向所述气板12边缘逐渐增大，解决了基板100输送时气体容易集中到基 板100下部中心位置导致基板100变形的问题，使基板100始终处于平整的悬浮状态。其中，气爪11可滑动连接于气板12的一侧边上，所述驱动源控制所述气爪11打 开或爪紧基板100，并驱动气爪11沿气板12的侧边滑动。另，本实用新型的四组实施例可 以相互变换或者组合，凡是关于此的等同变换均落入本实用新型的保护范围。以上所揭露的仅为本实用新型的优选实施例而已，当然不能以此来限定本实用新 型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖 的范围。
权利要求一种气浮式基板输送装置，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，其特征在于所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
2 如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述喷气孔密度从所述气 板中心向所述气板边缘逐渐增大。
3.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述气板上表面的喷气孔 孔径从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
4.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述气板上还包括与抽气 系统相连的若干个泄气孔，所述泄气孔密度从所述气板中心向所述气板边缘逐渐减小。
5.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述气板上还包括与抽气 系统相连的若干个泄气孔，所述气板上表面的泄气孔孔径从所述气板中心向所述气板边缘 逐渐减小。
6.如权利要求4或5所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述泄气孔上表面孔 径小于所述泄气孔下表面孔径。
7.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述喷气孔上表面孔径大 于所述喷气孔下表面孔径。
8.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述气板上表面两端的喷 气孔密度大于所述气板中间的喷气孔密度。
9.如权利要求1所述的气浮式基板输送装置，其特征在于所述气板上表面两端的喷 气孔孔径大于所述气板中间的喷气孔孔径。
专利摘要本实用新型公开了一种气浮式基板输送装置，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持并固定于所述气浮载台上，所述气浮载台包括气板，所述气板上具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。本实用新型气浮式基板输送装置的气板上表面边缘的喷气量大于气板中心的喷气量，解决了基板输送时气体容易集中到基板下部中心位置导致基板变形的问题，使基板始终处于平整的悬浮状态；另，本实用新型气浮式基板输送装置采用非接触式输送方式，具有无噪音、无污染、免维修、输送效率高的优点。
文档编号B65G47/06GK201626700SQ20092021584
公开日2010年11月10日 申请日期2009年12月31日 优先权日2009年12月31日
发明者杨明生, 范振华, 蓝劾, 覃海 申请人:东莞宏威数码机械有限公司