专利名称：一种载带封装处理器的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种载带封装处理器，其可以对以带状形式相互对准的载带封装(简称为TCP)上的测试片(test pad)进行顺序和间歇传送，并将它们与测针相接触，从而用于半导体集成电路的测试。
采用了特别设计的TCP处理器，其用于沿TCP带X的纵向顺序和间歇地传送载带封装1。这里，半导体集成电路测试装置提供了测针(未示出)，其与各TCP1的测试片1b之间充分接触以进行指定的性能测试。具体地说，TCP处理器提供了链轮传送器，其具有轮和位于轮的圆周表面上的凸齿(或链轮齿)。也就是说，TCP处理器驱动链轮传送器使其轮旋转，使得凸齿顺序地和TCP带X上的齿孔1e相接合。因此，就可以以相对较高的定位精度沿其纵向传送TCP带X。有一个明确的要求是，应操作TCP处理器使测试片1d尽可能精确地与测针相接触。因此，TCP处理器通过链轮传送器来进行TCP带X的顺序和间歇传送，保证相对于测针间歇性停止的TCP的精确定位。在多种文献如日本公开实用新型公报No.Hei4-34467中公布了对测试片1b与测针之间的定位精度的改进。
上述文献介绍了一种技术，其中引入了定位针，以在TAB和电极(或TCP和测针)之间建立指定的定位关系。通常，在链轮传送器和定位针之间会存在小间隙，因此，很难在TAB和电极之间建立十分精确的定位。近来，半导体芯片的电路元件的集成度提高的很快，因此，各TCP中测试片的数目也相应地增加。也就是说，测试片的间距存在着变小的趋势。因此，在TCP处理器中首要的问题是在TAB和电极之间建立十分精确的定位。
近来，另一个趋势是薄膜衬底1a的厚度变小。为此，当链轮传送器的凸齿与TCP带X的齿孔1e相接合时，存在着齿孔1e会发生变形或部分损坏的问题。这个问题尤其在TCP带是由厚度为25μm左右的较薄薄膜衬底组成时更为严重。因此，十分需要发展一种崭新的技术，能保证TCP带的顺序和间歇传送，不会引起齿孔变形或部分损坏，同时在传送的间歇停止处保证相对高的定位精度。
本发明的另一个目的是提供一种TCP处理器，其能保证TCP带的顺序和间歇传送，不会引起齿孔变形或部分损坏，同时在传送的间歇停止处保证相对高的定位精度。
本发明的TCP处理器基本上设计成可传送TCP带，使多个TCP在薄膜衬底上对准，因此各TCP的测试片可以相对于测针精确地定位，以用于半导体集成电路的测试。
在本发明的第一方面，链轮传送器可进行同步和间歇性旋转，沿TCP带的纵向传送TCP带，因此，顺序传送的各TCP基本上在第一推动器和夹子之间的中间位置暂时停止。TCP被紧紧夹持在第一推动器和夹子之间，然后随着与第一推动器相连的第二推动器的下降而被向下推动。TCP的测试片与安装在探针板上的测针相接触并可靠地连接。这里，电荷耦合装置(CCD)的照相机拍摄TCP的指定部分的图像，在此指定部分中TCP的引线从探针板背侧看去厚度变粗。所拍摄的图像与指定的基准图像相比较，并就其外形进行图形匹配。为在这些图像中实现完全的匹配，对TCP的定位以两维方式进行精确调节。具体地说，TCP可稍微地水平移动，纠正在拍摄图像和基准图像之间所检测到的X轴和Y轴的定位偏差。
在本发明的第二方面，TCP带X在一对滚轮之间在压力下被紧紧夹持，通过滚轮间的摩擦力传送。这就防止了厚度较薄的TCP带的齿孔的变形或损坏。TCP带X的传送值(即传送距离)由链轮和旋转编码器检测。也就是说，旋转编码器检测在传送中凸齿与TCP带的齿孔顺序地接合的链轮的旋转。另外，控制单元对分别由电机驱动的滚轮的旋转进行反馈控制，使得所检测到的传送值通常恒定，或其通常符合指定的目标值。因此，就可能实现TCP带的平稳传送，保证测针和在测试中会暂时停止的载带封装的测试片之间的定位具有所需精度。
本发明的第一实施例基本包括三种元件，即传送元件、加压元件和停止位置调节元件。在
图1所示的TCP处理器中，输入侧链轮传送器4和输出侧链轮传送器5构成了传送元件；第一推动器2、夹子3和第二推动器6构成了加压元件；图像处理单元11、控制单元12和X-Y运动机构7构成了停止位置调节元件。
在上文中已结合图6介绍了TCP带X，其中多个TCP1以带状形式对准并相互连接，这种带状形式还具有条状的辅助传送区域1A。另外，各TCP1包括薄膜衬底1a、测试片1b、半导体芯片1c和引线1d。此外，在TCP带X的辅助传送区域1A上以相等的间距设有齿孔1e。
各输入侧链轮传送器4和输出侧链轮传送器5由端部均设有齿轮的圆柱体构成。轮和轮之间隔开指定的距离，此距离基本等于TCP带X的辅助传送区域1A间的距离。另外，链轮传送器4和5设置成沿TCP带X的指定传送方向基本上相互平行。因此，TCP带X在其纵向上暂时地固定在链轮传送器4和5之间的位置。在链轮传送器4和5的轮的圆周表面上设有凸齿(或链轮齿)，凸齿之间设置成相等间距。当TCP带X在TCP处理器中定位时，链轮传送器4和5的轮的圆周表面上的凸齿和TCP带X的齿孔1e充分地接合。然后，链轮传送器4和5进行同步和间歇地旋转，使得TCP带X在其纵向上顺序和间歇地传送，如图1中箭头所示。因此，TCP带X的TCP1从输入侧链轮传送器4顺序和间歇地传送到输出侧链轮传送器5。由于TCP带X的间歇传送，各TCP1在与测针9相对的指定停止位置处精确地定位和暂时地停止，测针9基本上设置在输入侧链轮传送器4和输出侧链轮传送器5之间的中间位置的下方。
第一推动器2和夹子3沿TCP带X的传送方向设置在输入侧链轮传送器4和输出侧链轮传送器5之间。夹子3是与第二推动器6相连的中空支座，并设置在TCP带X的下方。第一推动器2和第二推动器6相连，可以在垂直方向上自由地上下运动。第一推动器2设置在TCP带X的上方。也就是说，TCP带X设置成被第一推动器2和夹子3垂直地夹在中间。当第一推动器2下降到低于夹子3时，TCP带X的两侧可以在第一推动器2和中空夹子3之间紧密地夹住。
第二推动器6可使将TCP带X紧密地夹在中间的第一推动器2和夹子3上下运动。当它们向下运动时，TCP带X被压住并向下运动，使得TCP1的测试片1b和测针9直接接触。
上述传送元件和加压元件通常设置在X-Y运动机构7之上。通过使传送元件和加压元件在X-Y平面(或水平面)内微小运动，X-Y运动机构7可以精确地调节测针9和TCP1(更明确地说是测试片1b)之间建立的定位。X-Y运动机构7是一个X-Y脉冲运动台，其例如可使用两个脉冲电动机来操作X轴和Y轴的驱动。脉冲电动机响应于控制单元12发出的驱动信号(或脉冲信号)而操作。
探针板8设置并固定在基本上位于输入侧链轮传送器4和输出侧链轮传送器5之间的中间位置，并位于夹子3的下面。在探针板8的表面上设有指定排列的测针9，其对应于TCP1的测试片1b而设置。这些测针9是具有弹性的触头，并与通过导线测试TCP1操作的半导体集成电路测试装置(未示出)相连。
在探针板8的中心部分设有开口，允许CCD照相机10对TCP1进行图像拍摄。CCD照相机10整体地包括了用于照明的光源。CCD照相机10固定地设置在探针板8的下方，因此可以拍摄上方的TCP1的图像。特别地，可以调节CCD照相机10的位置和放大率，以保证对TCP1内引线1d的厚度变粗处的特定部分进行图像拍摄。
在代表了由CCD照相机10所拍摄的TCP1图像的图像信号的基础上，图像处理单元11对TCP1特定部分的图像G1和预先存储的代表TCP1正常位置的基准图像G2进行图形匹配处理。然后，图像处理单元11生成代表了图形匹配度的偏差信号，并将其输出给控制单元12。具体地说，图像处理单元11从CCD照相机10所拍摄的特定部分的图像G1中抽取外形或轮廓。因此，通过比较所抽取的轮廓和基准图像G2的轮廓，图像处理单元11可以进行图形匹配。另外，图像处理单元11还生成代表了图形匹配状态的图像信号，并将其输出给显示器13。
控制单元12在图像处理单元11输出的偏差信号的基础上控制X-Y运动机构7。也就是说，控制单元12对X-Y运动机构7进行反馈控制，在TCP1的拍摄图像G1的基础上实现了对TCP1定位的精确调节。显示器13显示上述的图形匹配状态，换句话说，它显示代表了拍摄图像G1和预先存储在图像处理单元11中的基准图像G2之间差别的图像。因此，显示器13允许操作者人工地调节X-Y运动机构7。
接着，将结合图1、图2A到2C和图3对本实施例的TCP处理器的整体操作进行介绍。
首先，将结合图1和图2A到2C介绍TCP处理器的传送操作和夹紧操作。通过分别地控制输入侧链轮传送器4和输出侧链轮传送器5的旋转，可以实现TCP带X的同步和间歇旋转。每次TCP处理器进行同步和间歇旋转，使得TCP带X以指定长度从输入侧链轮传送器4传送到输出侧链轮传送器5时，各TCP1向前运动和暂时地停止在探针板8的正上方。图2A到2C显示了TCP处理器的指定部分(即2，3，8和9)和暂时停止的TCP1之间的关系，这些视图是沿TCP带X的纵向方向的侧视图。如图2A所示，TCP1处于暂时停止状态的初始阶段，此时TCP1暂时地停止在探针板8的正上方，TCP1基本上位于比第一推动器2和夹子3之间的中间位置更高的位置。
然后，只有输入侧链轮传送器4以相反方向稍微地旋转，这样就对TCP带X施加了一定的反张力。在这种状态下，第一推动器2下降，使得TCP1被紧紧地夹持在第一推动器2和夹子3之间，如图2B所示。也就是说，TCP1被夹持在第一推动器2的下表面和夹子3的上表面之间。由于TCP带X被施加了反张力，TCP带X不会松开，并基本上保持平面形状。因此，就可以可靠地将“平面”的TCP1夹持在第一推动器2和夹子3之间。
在相对于TCP1建立了夹紧状态后，第二推动器6下降，使得夹在第一推动器2和夹子3之间的TCP1进一步地向下运动。因此，TCP1的测试片1b分别与安装在探针板8上的测针9在压力下相接触。也就是说，图2C显示了接触状态，TCP1的测试片1b完全地与探针板8上的测针9相接触且连接。
接着，TCP处理器对TCP1相对于测针9的定位进行精确调节，这将结合图1、图2A到2C和图3进行介绍。
在本实施例中，CCD照相机10对处于夹紧状态的TCP1的特定部分拍摄下侧图像，换句话说，它拍摄TCP1中引线1d厚度会变粗的部分的图像。在TCP1特定部分的拍摄图像G1的基础上，TCP处理器在水平面内对TCP1相对于测针9的定位进行精确调节。拍摄图像G1通过图像处理单元11与基准图像G2进行图形匹配。然后，图像处理单元11生成代表图形匹配度的偏差信号，并将其输出给控制单元12。控制单元12在偏差信号的基础上生成驱动信号。因此，X-Y运动机构7响应于此驱动信号而被驱动。
图3显示了在显示器13的屏幕上显示的拍摄图像G1和基准图像G2之间图形匹配状态的一个示例。图3显示了拍摄图像G1和基准图像G2之间在X轴和Y轴方向上的位置偏差，其中X轴方向对应于TCP带X的纵向，而Y轴方向对应于TCP带X的宽度方向(或者是正交于纵向的方向)。具体地说，在X轴方向上发生位置偏差Δx，在Y轴方向上发生位置偏差Δy。这里，当拍摄图像G1和基准图像G2的轮廓完全地相互匹配时，就形成了完全图形匹配状态。在完全图形匹配状态中，TCP1最优地定位成与探针板8相连，使得所有的测试片1b和测针9充分地接触。
图像处理单元11计算摄图像G1和基准图像G2之间的偏差值，从而生成与偏差值对应的偏差信号，并将其输出给控制单元12。为纠正偏差值，控制单元12计算出分别供应给X-Y运动机构7中用于X轴和Y轴驱动的上述脉冲电动机的脉冲数目。因此，控制单元12生成具有计算出的脉冲数目的驱动信号，并将其输出给X-Y运动机构7。也就是说，驱动X轴的脉冲电动机响应于所计算出的用于纠正X轴位置偏差Δx的脉冲数而被驱动，驱动Y轴的脉冲电动机响应于所计算出的用于纠正Y轴位置偏差Δy的脉冲数而被驱动。因此，偏差值被纠正，使得TCP1相对探针板8上的测针9最优地定位。
接着，将对基准图像G2进行补充介绍。也就是说，基准图像G2是“第一”TCP的特定部分的拍摄图像，第一TCP是在半导体集成电路测试装置对TCP带X进行测试之前相对于测针9精确定位的TCP。因此，第一TCP特定部分的拍摄图像作为基准图像G2而存储在图像处理单元11的存储器(未示出)内。当TCP带X在输入侧链轮传送器4和输出侧链轮传送器5之间顺序和间歇地传送时，各TCP1可进行精确地定位，使得测试片与探针板8上的测针9可靠地接触并连接。这里，只有TCP带X的第一TCP才能通过操作者人工地操作X-Y运动机构7来相对于测针9定位。
在上述介绍中，操作者在与CCD照相机10相连的显示器13的屏幕上目测确认通过人工操作已相对于测针9精确定位的第一TCP的特定部分的拍摄图像。然后，拍摄图像存储在图像处理单元11的存储器中。至于从第二个到最后一个TCP，对它们的定位自动地进行上述精确调节。
用于精确调节TCP定位的实际方法可取决于所需的定位精度和传送元件所能实现的定位精度。最好不要对第一TCP后面所有的TCP进行连续的精确调节。也就是说，只有当在测试片1b和测针9之间出现了连接错误时，才使用停止位置调节元件来重新进行精确调节。或者，可以对第一TCP后指定数目的TCP进行精确调节。通过在TCP定位的精确调节中采用合适的测量方法，可以提高TCP带X测试的产量。第二实施例下面将介绍根据本发明第二实施例的TCP处理器机构的核心部件。图4A是显示了第二实施例的TCP处理器机构的一些部件的正视图。图4B是显示了向前传送TCP带的TCP处理器机构的平面图。图4C是显示了用于TCP处理器中TCP带的滚轮和电机相接合的侧视图。在这些图中，标号22A和22B表示滚轮，标号23A和23B表示电动机，标号24表示在圆周表面上具有凸齿(或链轮齿)的链轮，标号25表示旋转编码器。
图5显示了第二实施例的TCP处理器的电子结构。这里，标号26A和26B表示电动机驱动器，标号27表示控制单元。
上述部件分成两种元件，即传送元件和传送值检测元件。也就是说，传送元件由滚轮22A，22B，电动机23A，23B和电动机驱动器26A，26B构成；传送值检测元件由链轮24和旋转编码器25构成。
例如，滚轮22A和22B均为具有指定弹性的橡胶轮。它们设置成可紧紧地将TCP带X夹持在中间，并以一定压力下压TCP带X的辅助传送区域1A(见图6)。通过旋转，滚轮22A和22B沿TCP带X的纵向传送TCP带X。具体地说，滚轮22A与电动机23A的旋转轴相连，滚轮22B与电动机23B的旋转轴相连，控制单元27控制滚轮22A和22B各自旋转。
链轮24设置成随着TCP带X沿其纵向运动，其凸齿与TCP带X的辅助传送区域1A的齿孔1e顺序地相接合。也就是说，链轮24响应于TCP带X的传送值(或传送距离)而旋转。旋转编码器25与链轮24的轴相连。也就是说，它检测链轮24的旋转值，即TCP带X的传送距离(或传送值)。检测到的链轮24的旋转值传送给控制单元27。
在控制单元27的控制下，电动机23A由电动机驱动器26A所驱动，电动机23B由电动机驱动器26B所驱动。也就是说，控制单元27在传送值检测元件所检测到的TCP带X的传送值的基础上控制电动机驱动器26A和26B，使得TCP1在与测针9相对的位置处停止(见图1)。
接着将详细地介绍TCP处理器的整体操作。第二实施例的TCP处理器不采用第一实施例的TCP处理器中采用的链轮传动器4和5来传送TCP带X。换句话说，第二实施例的TCP处理器通过滚轮22A和22B传送TCP带X，滚轮22A和22B压在TCP带X上，并将其紧密地夹在中间，并通过电动机驱动器26A和26B带动旋转。也就是说，TCP带X与滚轮22A和22B相接触，并且在压力下夹在滚轮22A和22B中间，通过TCP带X指定表面区域上的摩擦，产生了TCP带X的传送力。因此，TCP带X响应于滚轮22A和22B产生的传送力而沿其纵向传送。当在传送过程中链轮传动器的凸齿与TCP带X的齿孔1e顺序地接合时，齿孔1e的损坏可能引起TCP带X的损坏。
本实施例独特地通过夹紧在滚轮22A和22B之间的TCP带X上产生的摩擦力来传送TCP带X。然而，由于在TCP带X和滚轮22A，22B之间可能发生一些“滑动”，因此在滚轮22A，22B的旋转值和TCP带X的传送值之间可能会发生一些错误。
为了消除上述错误，控制单元27在传送值检测元件所检测到的传送值，即代表TCP带X传送距离的物理值的基础上对电动机驱动器26A和26B进行反馈控制，也就是说，控制单元27控制电动机驱动器26A和26B，使得传送值变得正常地稳定，或者传送值通常与指定的目标值相匹配。因此，第二实施例的TCP处理器可以顺序和间歇地传送TCP带X，同时保证测试片1b和测针9之间建立所需的定位精度。通过简单地采用上述反馈控制，本发明可以显著地减少测试片1b和测针9之间不希望发生的定位精度降低。
由于在不脱离本发明的精神和核心特征的前提下本发明可以几种形式进行，因此本实施例只是说明性的而不是限制性的。本发明的范围由所附的权利要求而不是由上述的介绍限定。因此，权利要求包括了在权利要求的范围或等效物内进行的所有变化。
权利要求
1.一种载带封装(TCP)处理器，其可以顺序和间歇地传送TCP带(X)，使多个所述载带封装(1)对准，可使各所述载带封装的测试片(1b)暂时地停止，并与和半导体集成电路测试装置相连的测针(9)相接触，所述TCP处理器包括传送元件(4，5)，可顺序和间歇地传送所述TCP带，并可暂时停止所述TCP带的各所述载带封装，并使其位于与所述测针相对的位置；加压元件(2，3，6)，可向下压所述TCP带的载带封装，使得所述TCP的测试片分别与所述测针相接触；图像拍摄装置(10)，其固定在指定位置，可以拍摄所述载带封装的图像；和位置调节元件(7，11，12)，可以调节所述载带封装的定位，使得所述载带封装的拍摄图像(G1)与基准图像(G2)相匹配，所述基准图像代表了其测试片与所述测针相接触以进行测试的所述载带封装的标准定位。
2.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，所述位置调节元件包括图像处理单元(11)，用于在所述拍摄图像和基准图像之间进行图形匹配，从而生成代表图形匹配度的偏差信号，控制单元(2)，可根据所述偏差信号生成驱动信号，和X-Y运动机构(7)，可在所述驱动信号的基础上相对所述测针调节所述载带封装的两维定位。
3.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，所述基准图像是TCP带的相对所述测针精确定位的第一载带封装的拍摄图像，其预先存储在所述图像处理单元内。
4.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，所述图像拍摄装置相对至少一条引线(1d)拍摄图像，所述引线将半导体芯片(1c)和所述载带封装上的所述测试片相互连接。
5.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，所述图像拍摄装置包括CCD照相机和用于照明的光源。
6.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，所述传送元件包括输入侧链轮传送器(4)和输出侧链轮传送器(5)，所述TCP带在它们之间顺序和间歇地向前传送。
7.如权利要求6所述的TCP处理器，其特征在于，当所述传送元件传送和暂时停止所述TCP带，使得所述载带封装在所述加压元件被触发前停止于相对所述测针的位置上时，所述输入侧链轮传送器稍微向后旋转，从而对所述TCP带施加反张力。
8.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，所述加压元件包括夹子(3)，其位于向前传送的所述TCP带的下方，第一推动器(2)，其通常位于向前传送的所述TCP带的上方，当所述TCP带的载带封装暂时停止于相对所述测针的位置上时，所述第一推动器下降，从而和所述夹子一起夹紧所述TCP带的端部，第二推动器(3)，其可以在所述第一推动器操作后朝所述测针下压所述载带封装。
9.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，一旦所述位置调节元件完成了所述TCP带的第一载带封装的定位调节，所述位置调节元件被释放，而当至少一对所述测试片和测针发生连接错误时，所述位置调节元件再次激活。
10.如权利要求1所述的TCP处理器，其特征在于，一旦所述位置调节元件完成了所述TCP带的第一载带封装的定位调节，所述位置调节元件被顺序测试的指定数目所述载带封装周期性地激活。
11.一种TCP处理器的定位方法，所述TCP处理器可以顺序和间歇地传送TCP带(X)，使多个所述载带封装(1)对准，可使各所述载带封装的测试片(1b)暂时停止，并与和半导体集成电路测试装置相连的测针(9)相接触，所述方法包括步骤通过固定在指定位置上的图像拍摄装置来拍摄所述载带封装的图像；和调节停止的所述载带封装相对于所述测针的定位，使得拍摄图像(G1)与基准图像(G2)相匹配，所述基准图像代表了其测试片与测针相接触以进行测试的所述载带封装的标准定位。
12.如权利要求11所述的TCP处理器的定位方法，其特征在于，根据所述拍摄图像和基准图像进行图形匹配处理。
13.如权利要求11所述的TCP处理器的定位方法，其特征在于，以两维方式调节所述载带封装相对于所述测针的定位。
14.如权利要求11所述的TCP处理器的定位方法，其特征在于，所述基准图像是TCP带上相对于所述测针精确地定位的第一载带封装的拍摄图像，其已预先存储。
15.如权利要求11所述的TCP处理器的定位方法，其特征在于，所述拍摄图像相对至少一条引线(1d)产生，所述引线将半导体芯片(1c)和所述载带封装上的所述测试片相互连接。
16.如权利要求11所述的TCP处理器的定位方法，其特征在于，所述方法还包括步骤当所述载带封装相对于所述测针停止时，对所述TCP带施加反张力。
17.如权利要求11所述的TCP处理器的定位方法，其特征在于，所述方法还包括步骤当所述载带封装相对于所述测针停止时，夹紧TCP带靠近所述测针的端部；和朝所述测针压下所述载带封装。
18.如权利要求11所述的TCP处理器的定位方法，其特征在于，在所述TCP带的第一载带封装的定位调节完成后，所述位置调节元件被释放，而当至少一对所述测试片和测针发生连接错误时，所述位置调节元件再次激活。
19.如权利要求11所述的TCP处理器，其特征在于，在所述TCP带的第一载带封装的定位调节完成后，所述位置调节元件被顺序测试的指定数目所述载带封装周期性地激活。
20.一种载带封装(TCP)处理器，其可以顺序和间歇地传送TCP带(X)，使多个所述载带封装(1)对准，可使各所述载带封装的测试片(1b)暂时停止，并与和半导体集成电路测试装置相连的测针(9)相接触，所述TCP处理器包括传送元件(22A，22B，23A，23B，26A，26B)，通过旋转将所述TCP带夹在中间的一对滚轮(22A，22B)，可顺序和间歇地传送所述TCP带；传送值检测元件(4，5)，可检测代表沿其纵向方向传送的TCP的传送距离的传送值；和控制元件(27)，可根据所述传送值控制所述TCP带的顺序和间歇性传送，使得所述TCP带的载带封装精确地停止在与所述测针相对的位置。
21.如权利要求20所述的TCP处理器，其特征在于，所述传送元件包括将所述TCP带夹在中间的一对滚轮(22A，22B)和它们的旋转驱动元件(23A，23B，26A，26B)，所述旋转驱动元件在所述控制元件的控制下驱动所述滚轮旋转。
22.如权利要求21所述的TCP处理器，其特征在于，所述旋转驱动元件包括一对分别使所述滚轮旋转的电动机(23A，23B)，以及一对分别使所述电动机旋转的电动机驱动器(26A，26B)。
23.如权利要求20所述的TCP处理器，其特征在于，所述滚轮为橡胶滚轮。
24.如权利要求20所述的TCP处理器，其特征在于，所述传送值检测元件包括链轮(24)，其凸齿在传送过程中与所述TCP带的齿孔(1e)顺序地相接合，所述传送值检测元件还包括旋转编码器(25)，其与所述链轮的轴相连，检测所述轴的旋转作为所述传送值。
全文摘要
TCP处理器传送TCP带(X),将多个TCP(1)在薄膜衬底上对准,使得各TCP的测试片相对于测针(9)精确地定位,以便用于半导体集成电路测试。这里,链轮(4,5)可实现TCP带沿其纵向方向传送;然后,TCP带暂时停止,使得TCP被夹紧且朝测针下降。CCD照相机(10)拍摄TCP的图像(G1),并将其与基准图像(G2)比较,从而对TCP相对测针的定位进行两维的精确调节。或者,TCP带通过一对滚轮在滚轮间产生的摩擦来传送TCP带。根据TCP带的传送值对滚轮的旋转进行反馈控制。因此,可以保证测针和载带封装的测试片之间具有所需精度的定位,而不会使TCP带变形或损坏。
文档编号B65G49/07GK1378261SQ02108530
公开日2002年11月6日 申请日期2002年3月27日 优先权日2001年3月27日
发明者牧下裕之, 新村年弘 申请人:安藤电气株式会社