专利名称：用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种送气装置，进一步是指用于金属有机物化学气相淀积(mocvd)设备反应室内的大面积喷淋装置。
背景技术：
气相淀积(vpe)、液相淀积(lpe)、分子束淀积(mbe)和金属有机物气 相淀积(m0cvd)都是常用的外延技术，大量实践证明，mocvd是适合生长半导 体照明用led材料外延片的良好技术，也是一种工业化的经济实用技术，其生 长的基本原理是在一块加热至适当温度的衬底(GaAs、 Si、蓝宝石或其它材 料)上，含有iii族和v族元素的气态化合物有控制的输送到衬底表面，生长出 具有特定组分、特定厚度、特定电学和光学参数的薄膜淀积材料。mocvd淀积生长依赖于mo源的蒸气输运和加热区中m族和v族化合物的后续反应，若将这两类化合物直接送往反应室内的衬底上方，则源气体难以混 合均匀，生长的淀积材料组分和厚度均匀性不能达到要求；另外， 一起送气容 易造成预反应，使得源气体消耗量无法测定，生成的组分和厚度难于监控，同 时极大浪费源气体。
发明内容
本发明要解决的技术问题是，针对现有技术存在的不足，提出一种用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头，它可实现分别送入iii族与v 族的源气体，保证源气体在喷入反应室之前相互隔离，在到达衬底上方发生反 应时混合均匀。本发明的技术解决方案是，所述用于金属有机物化学气相淀积设备的大面
积梳状喷淋头有两组梳状喷淋头，其中第一组梳状喷淋头由装有进气接头的气体A总管和多根平行排列的气体A通气支管组成，所述各气体A通气支管的一 端同所述气体A总管连通而另一端为封闭端，第二组梳状喷淋头由装有进气接 头的气体B总管和多根平行排列的气体B通气支管组成，所述各气体B通气支 管的一端同所述气体B总管连通而另一端为封闭端，其结构特点是，所述气体 A通气支管与气体B通气支管交替排列且连接成整体结构，所述气体A总管与 气体B总管分别位于该整体结构对应两侧，构成所述整体结构的各气体A通气 支管和各气体B通气支管的同一侧开有若干喷淋孔。 以下对本发明做出进一步说明。参见图1和图2，本发明有两组梳状喷淋头，其中第一组梳状喷淋头由装 有进气接头1的气体A总管2和多根平行排列的气体A通气支管3组成，所述 各气体A通气支管3的一端同所述气体A总管2连通而另一端为封闭端，第二 组梳状喷淋头由装有进气接头4的气体B总管5和多根平行排列的气体B通气 支管6组成，所述各气体B通气支管6的一端同所述气体B总管5连通而另一 端为封闭端，其结构特点是，所述气体A通气支管3与气体B通气支管6交替 排列且连接成整体结构，所述气体A总管与气体B总管分别位于该整体结构对 应两侧，构成所述整体结构的各气体A通气支管3和各气体B通气支管6的同 一侧开有若干喷淋孔7、 8。本发明的大面积梳状喷淋头整体结构可以做成图1所示的方形，也可做成 图4所示的圆形体，还可以做成其它适合的形状。本发明的工作原理是气体A和气体B分别从两个通道(即气体A总管2 和气体B总管5)送入，整个喷淋头本体设置了两个独立的源气送气腔，同时 气体是通过隔离的细管上密集的喷淋孔喷出，使得气体在到达衬底前能充分均
匀混合，最后生长的组分和厚度易于监控。由以上可知，本发明为用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头，它有效实现了分别送入in族与v族的源气体，保证源气体在喷入反应室 之前相互隔离，在到达衬底上方发生反应时混合均匀。
图1是本发明一种实施例的方形结构示意图；图2是组成图1所示装置的一组梳状喷淋头的结构示意图；图3是图1或图4中装置中部圆形部分的放大图；图4是本发明另一种实施例的圆形结构示意图。在附图中1、 4一进气接头， 2—气体A总管， 3—气体A通气支管， 5—气体B总管， 6—气体B通气支管，7、 8—喷淋孔， 9一圆弧形气体总管。
具体实施例方式按照图1至图3和上述结构的大面积梳状喷淋头，为用于金属有机物化学 气相淀积(MOCVD)设备反应室内的送气装置，它有两组梳状喷淋头，其中 第一组梳状喷淋头由装有进气接头1的气体A总管2和多根平行排列的气体A 通气支管3组成，所述各气体A通气支管3的一端同所述气体A总管2连通而 另一端为封闭端，第二组梳状喷淋头由装有进气接头4的气体B总管5和多根 平行排列的气体B通气支管6组成，所述各气体B通气支管6的一端同所述气 体B总管5连通而另一端为封闭端，其结构特点是，所述气体A通气支管3与 气体B通气支管6交替排列且连接成整体结构，所述气体A总管与气体B总管 分别位于该整体结构对应两侧，构成所述整体结构的各气体A通气支管3和各 气体B通气支管6的同一侧开有若干喷淋孔7、 8。进气接头l、 4采用标准VCR接头，焊接在相应的气体A总管2和气体B 总管5上；气体A总管2和气体B总管5采用不锈钢或其它材料板材加工，其 上开有圆孔便于与气体A通气支管3或气体B通气支管6焊接，焊接前气体A 通气支管3及气体B通气支管6的一端均已焊有封堵小圆片而使该端成为封闭 端。所有气体A通气支管3与气体B通气支管6之间需满焊，所有焊接工作做 完后，在每根独立的气体A通气支管3及气体B通气支管6上开圆形喷淋孔7、 8。
权利要求
1. 一种用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头，它有两组梳状喷淋头，其中第一组梳状喷淋头由装有进气接头(1)的气体A总管(2) 和多根平行排列的气体A通气支管(3)组成，所述各气体A通气支管(3)的 一端同所述气体A总管(2)连通而另一端为封闭端，第二组梳状喷淋头由装有 进气接头(4)的气体B总管(5)和多根平行排列的气体B通气支管(6)组成， 所述各气体B通气支管(6)的一端同所述气体B总管(5)连通而另一端为封 闭端，其特征是，所述气体A通气支管(3)与气体B通气支管(6)交替排列 且连接成整体结构，所述气体A总管与气体B总管分别位于该整体结构对应两 侧，构成所述整体结构的各气体A通气支管(3)和各气体B通气支管(6)的 同一侧开有若干喷淋孔(7、 8)。
2.根据权利要求1所述用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷 淋头，其特征在于，它为方形或圆形体。
全文摘要
一种用于金属有机物化学气相淀积设备的大面积梳状喷淋头，它有两组梳状喷淋头，第一组梳状喷淋头由装有进气接头的气体A总管和多根平行排列的气体A通气支管组成，各气体A通气支管的一端同气体A总管连通而另一端为封闭端，第二组梳状喷淋头由装有进气接头的气体B总管和多根平行排列的气体B通气支管组成，各气体B通气支管的一端同气体B总管连通而另一端为封闭端，气体A通气支管与气体B通气支管交替排列且连接成整体结构，气体A总管与气体B总管分别位于该整体结构对应两侧，各气体A通气支管和各气体B通气支管开有若干喷淋孔。它有效实现了送入两种源气体且使其在喷入反应室之前相互隔离，在到达衬底上方发生反应时混合均匀。
文档编号B05B1/14GK101122012SQ20071003544
公开日2008年2月13日 申请日期2007年7月27日 优先权日2007年7月27日
发明者李学文, 王慧勇, 胡晓宇 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所