含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用的利记博彩app

文档序号:3630127阅读:246来源:国知局
专利名称:含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用的利记博彩app
技术领域
本发明涉及一种含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用。
背景技术
彩色光阻剂主要由颜料液、碱溶性成膜树脂、多官能度单体和光引发剂构成(参见中国专利申请CN101613276A)。甲基丙烯酸类树脂是彩色光阻剂中通常使用的成膜树脂,其具有高度的透明性及分辨率。在甲基丙烯酸类成膜树脂侧链上具有一定比例的双键,所以能够在自由基聚合引发剂的作用下发生高分子链间的聚合,或者与小分子发生交联反应。通常引入的双键为甲基丙烯酸双键,所发生的聚合为自由基聚合,而自由基聚合易受到氧的阻聚作用的干扰,有时导致彩色光阻剂的感度下降,显影性差。

发明内容
鉴于上述彩色光阻剂的感度下降,显影性差的问题,本发明提供一种含有乙烯基醚基团的共聚物、其制备方法以及利用该共聚物制备得到的彩色光阻剂,具体方案如下。一种含有乙烯基醚基团的共聚物,其由通式1、I1、111所示的结构单元组成,
权利要求
1.一种含有乙烯基醚基团的共聚物,其特征在于,由通式1、IIJII所示的结构单元组成,
2.根据权利要求1所述的共聚物,其特征在于,所述共聚物为无规共聚物或嵌段共聚物。
3.根据权利要求1或2所述的共聚物,其特征在于,Xy z=4 一 6:2 — 3:2 — 4,所述共聚物的重均分子量为14000-17000。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的共聚物,其特征在于,R2为甲基、乙基或丁内酯基,η为2-4的正整数。
5.制备权利要求1-4中任一项所述的共聚物的方法,其特征在于,包括以下步骤(1)由甲基丙烯酸、通式VI所示的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氯共聚得到共聚物I;
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,步骤(I)如下进行甲基丙烯酸、通式VI所示的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氯在引发剂的作用下,于50-90°C下反应8-20h,得到共聚物I ;所述步骤(2)如下进行在35-50°C下将通式V所示的乙烯基醚经l_3h滴加到所述共聚物I中,反应5-20小时,得到所述共聚物。
7.权利要求1至4中任一项所述的共聚物在制备彩色光阻剂中的应用。
8.一种彩色光阻剂,其特征在于,包含权利要求1至4中任一项所述的共聚物。
9.根据权利要求8所述的彩色光阻剂,其特征在于,还包括自由基聚合引发剂和阳离子聚合引发剂。
10.根据权利要求9所述的彩色光阻剂,其特征在于,所述自由基聚合引发剂为选自1-羟基环己基苯基甲酮、2-甲基-1- (4-甲硫基苯基)-2_吗啉基-1-丙酮和2-异丙基硫杂蒽酮中的一种或几种;所述阳离子聚合引发剂为选自AlCl3、BF3、SnCl4、PAG-201、ZnCl2*TiBr4中的一种或几种。
全文摘要
本发明提供一种含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用,所述共聚物由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元组成,其中,R1为O或HN,R2为碳原子数1-4的烷基、环己基或通式Ⅳ所示的基团(m表示1-3的正整数),n为1-4的正整数,通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元的摩尔数分别为x、y、z,并且xyz=3-81-41-5,所述共聚物的重均分子量为5000-20000。添加有该共聚物的彩色光阻剂能够提高感度。并且,该共聚物在碱性溶液中具有溶解性,所以,添加有该共聚物的彩色光阻剂具有良好的显影性。
文档编号C08F220/02GK103012652SQ20121054670
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月14日 优先权日2012年12月14日
发明者刘陆, 舒适, 齐永莲, 徐传祥 申请人:京东方科技集团股份有限公司
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