一种vb/vgf法制备晶体用立封管支撑固定装置的制造方法
【技术领域】
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[0001]本实用新型涉及VB/VGF法制备晶体技术领域，具体涉及一种VB/VGF法制备晶体用立封管支撑固定装置。
【背景技术】
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[0002]VB/VGF法是目前量产锑化镉、砷化镓、磷化铟等晶体的主流技术。VB/VGF法制备晶体一般需要经过以下步骤:将多晶料、籽晶装入PBN坩祸，然后放入立封管内，石英帽盖合，用氢氧焰进行焊接密封，再将密封好的立封管放入单晶炉，进行单晶生长过程，单晶生长完毕后，将立封管从炉内取出，敲碎立封管或对立封管进行切割，取出立封管内装有晶体的PBN坩祸。在破坏立封管的过程中，存在下述几个问题:1、VB/VGF法制备晶体所用的立封管本身为圆柱形且底端有一个细的籽晶槽保护套，难以保持稳定；2、立封管可能仍有一定的余温，不利于对其进行控制；因此，在敲管过程中操作难度较大，容易对立封管内的PBN坩祸及坩祸内的晶体造成损伤，另外也可能会给操作人员带来伤害。
【实用新型内容】:
[0003]为了解决【背景技术】存在的问题，本实用新型旨在提出一种VB/VGF法制备晶体用立封管支撑固定装置。该装置简单快捷地完成对立封管的支撑及固定，减小操作难度，保障操作人员的安全；减少立封管内的PBN坩祸及晶体的损伤几率，降低生产成本。
[0004]本实用新型的技术方案是:VB/VGF法制备晶体用立封管支撑固定装置包括底座，所述的底座的中心位置设有籽晶槽保护套掉落孔，底座通过螺丝孔及螺栓固定有支撑管，支撑管内腔依次安装有管状粒面氟橡胶内芯及漏斗形石英棉内芯，管状粒面氟橡胶内芯及漏斗形石英棉内芯的外壁分别与支撑管的内壁紧配合，管状粒面氟橡胶内芯中心为籽晶槽保护套放置腔，管状粒面氟橡胶内芯中心为立封管管体放置腔。
[0005]上述方案中的底座由带有5个圆孔的平台和4个支撑腿组成。
[0006]本实用新型具有如下有益效果:由于采取上述方案，该装置可获得以下效果:(1)设计了立封管支撑固定装置，确保实施过程操作简单，降低操作人员工作难度，保障操作人员人身安全；(2)该装置可将有效起到支撑和固定的作用，有利于下一步工作的进行；(3)该装置还可起到缓冲和保护的作用，可大幅度减少立封管内的PBN坩祸及坩祸内的晶体的损坏几率，降低生产成本，提高晶体成品率。
【附图说明】
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[0007]附图1是本实用新型的结构示意图；
[0008]附图2是附图1的俯视图；
[0009]附图3是附图1的主视图。
[0010]图中1-底座平台，2-螺丝孔，3-籽晶槽保护套掉落孔，4-籽晶槽保护套放置腔，5_石英棉内芯，6-支撑管，7-粒面氟橡胶内芯，8-立封管管体放置腔，9-支撑腿。【具体实施方式】:
[0011]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0012]由图1结合图2?图3所示，VB/VGF法制备晶体用立封管支撑固定装置包括底座，所述的底座包括底座平台1和支撑腿9组成，所述的底座平台1的中心位置设有籽晶槽保护套掉落孔3，籽晶槽保护套掉落孔3是为了防止立封管底端的籽晶槽保护套掉落后难以取出，底座平台1通过螺丝孔2及螺栓固定有支撑管6，支撑管6内腔依次安装有粒面氟橡胶内芯7及石英棉内芯5，粒面氟橡胶内芯7由耐高温的粒面氟橡胶制成，目的在于增大立封管与粒面氟橡胶内芯7之间的摩擦力，石英棉内芯5由石英棉制成，对籽晶槽可起到缓冲及保护的作用，粒面氟橡胶内芯7及石英棉内芯5的外壁分别与支撑管6的内壁紧配合，粒面氟橡胶内芯7围成圆柱形立封管管体放置腔8，立封管放置在立封管管体放置腔8内，立封管管体放置腔8的内径要略大于立封管管体的外径，高度为立封管管体长度的20% -40%左右。石英棉内芯5围成漏斗形籽晶槽保护套放置腔4，籽晶槽保护套放置腔4的直径要略大于立封管籽晶槽保护套的外径，高度要略高于立封管籽晶槽保护套的长度。底座由带有5个圆孔的底座平台1和4个支撑腿9组成。
【主权项】
1.一种VB/VGF法制备晶体用立封管支撑固定装置，包括底座，其特征在于:所述的底座包括底座平台(1)和支撑腿(9)，所述的底座平台(1)的中心位置设有籽晶槽保护套掉落孔(3)，底座平台⑴通过螺丝孔(2)及螺栓固定支撑管(6)，支撑管(6)内腔依次安装有粒面氟橡胶内芯(7)及石英棉内芯(5)，粒面氟橡胶内芯(7)及石英棉内芯(5)的外壁分别与支撑管(6)的内壁紧配合，粒面氟橡胶内芯(7)围成圆柱形立封管管体放置腔(8)，石英棉内芯(5)围成漏斗形籽晶槽保护套放置腔(4)。2.根椐权利要求1所述的VB/VGF法制备晶体用立封管支撑固定装置，其特征在于:底座由带有5个圆孔的底座平台(1)和4个支撑腿(9)组成。
【专利摘要】本实用新型提出一种VB/VGF法制备晶体用立封管支撑固定装置。所述的底座平台的中心位置设有籽晶槽保护套掉落孔(3)，底座(1)通过螺丝孔(2)及螺栓固定有支撑管(6)，支撑管(6)内腔依次安装有管状粒面氟橡胶内芯(7)及漏斗形石英棉内芯(5)，管状粒面氟橡胶内芯(7)及漏斗形石英棉内芯(5)的外壁分别与支撑管(6)的内壁紧配合，管状粒面氟橡胶内芯(7)中心为籽晶槽保护套放置腔(4)，管状粒面氟橡胶内芯中心为立封管管体放置腔(8)。该装置简单快捷地完成对立封管的支撑及固定，减小操作难度，保障操作人员的安全；减少立封管内的PBN坩埚及坩埚内的晶体的损坏几率，降低生产成本，提高晶体成品率。
【IPC分类】C30B11/00
【公开号】CN205035485
【申请号】CN201520753170
【发明人】于会永
【申请人】大庆佳昌晶能信息材料有限公司
【公开日】2016年2月17日
【申请日】2015年9月25日