长晶炉水循环系统的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种长晶炉水循环系统，属于晶体生长设备的技术领域。
【背景技术】
[0002]长晶炉是一种常见的晶体生长设备，主要包括炉体、炉体部件、上法兰、下法兰、左抽空管、右抽空管、电缆、扩散泵和冷阱。
[0003]因为长晶炉的炉体内部需要融化高熔点的晶体生长原料，其内部工作温度极高。为了避免高温对炉体及其外围设备，尤其是其控制设备造成损伤。通常需要对炉体进行冷却。然而，现有的水循环系统的设计缺陷经常会导致炉体冷却不均匀和不耐高温的电缆冷却不足，而导致控制系统失效的问题。
【实用新型内容】
[0004]实用新型目的:本实用新型的目的在于提供一种能够对炉体均匀冷却的长晶炉水循环系统。
[0005]技术方案:本实用新型长晶炉水循环系统，包括进水管道、出水管道、第一水冷支路、第二水冷支路、第三水冷支路，进水管道分别联通各水冷支路再联通至出水管道，第一水冷支路设置于长晶炉的炉体上部处，第二水冷支路设置于设置于长晶炉的炉体中部处，第三水冷支路设置于长晶炉的炉体下部处。现有技术当中经常为对炉体采用一条水冷支路进行整体冷却。虽然炉体整体耐温较高，但是因为一条水冷支路在水冷的末端水温已经较高，冷却效果并不好。因此在此采用三条分立的水冷支路分别冷却长晶炉的上部、中部和下部以达到更均匀的冷却效果。
[0006]进一步地，还包括第一预留水冷支路。预留水冷支路给未来可能会需要添加的扩展设备，以增强设计的灵活性。
[0007]进一步地，还包括第一水压表、第一温度表、第二水压表、第二温度表，第一水压表与第一温度表设置于进水管道处，第二水压表和第二温度表设置于出水管道处。通过水压表和温度表可以了解水循环系统的工作状态。
[0008]进一步地，还包括第四水冷支路、第五水冷支路、第六水冷支路、第七水冷支路、第八水冷支路、第九水冷支路、第十水冷支路，其中，第四水冷支路、第五水冷支路、第六水冷支路设置于长晶炉炉体上部的电缆处，第七水冷支路、第八水冷支路、第九水冷支路设置于炉体中部的电缆处，第十水冷支路设置于炉体下部的电缆处。因为电缆不耐高温，需要冷却到较低的温度以保证电缆及控制系统的正常工作。炉体上部共设置6根水冷电缆，每一路水冷支路串联连接两根水冷电缆，共设置三路水冷支路；同时，炉体中部也设置有6根水冷电缆，连接和冷却方式与炉体上部相同，而下部电缆温度低于中部电缆和上部电缆，因此依然只需要设置一路水冷支路即可满足电缆的冷却要求。
[0009]进一步地，还包括第十一水冷支路、第十二水冷支路、第十三水冷支路、第十四水冷支路、第十五水冷支路、第十六水冷支路、第十七水冷支路，其中括第十一水冷支路设置于长晶炉的炉体附件处，第十二水冷支路设置于长晶炉的上法兰处，第十三水冷支路设置于长晶炉的下法兰处，第十四水冷支路设置于长晶炉的左抽空管处，第十五水冷支路设置于长晶炉的右抽空管处、第十六水冷支路设置于长晶炉的扩散泵处、第第十七水冷支路设置于长晶炉的冷阱处。
[0010]进一步地，各水冷支路均设置有流量计、球阀。
[0011]进一步地，各水冷支路球阀的数量均为两个。
[0012]进一步地，进水管道和出水管道末端均设置有堵头。
[0013]本实用新型与现有技术相比，其有益效果是:通过设置水循环系统，使得炉体温度更加均匀，并且能够保证电缆的正常工作温度。
【附图说明】
[0014]图1为本发明长晶炉水循环系统结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于实施例。
[0016]实施例1:
[0017]如图1所示，本实施例的包括进水管道1、出水管道2、第一水冷支路3、第二水冷支路4、第三水冷支路5、第四水冷支路12、第五水冷支路13、第六水冷支路14、第七水冷支路15、第八水冷支路16、第九水冷支路17、第十水冷支路18、第^^一水冷支路13、第十二水冷支路13、第十三水冷支路14、第十四水冷支路15、第十五水冷支路16、第十六水冷支路24、第十七水冷支路25、第一水压表8、第一温度表9、第二水压表10、第二温度表11和第一预留水冷支路6。进水管道I分别联通各水冷支路再联通至出水管道2，第一水冷支路3设置于长晶炉的炉体上部处，第二水冷支路4设置于设置于长晶炉的炉体中部处，第三水冷支路设置于长晶炉的炉体下部处。第一水压表8与第一温度表9设置于进水管道I处，第二水压表10和第二温度表11设置于出水管道处。第四水冷支路12、第五水冷支路13、第六水冷支路14设置于长晶炉炉体上部的电缆处，第七水冷支路15、第八水冷支路16、第九水冷支路17设置于炉体中部的电缆处，第十水冷支路18设置于炉体下部的电缆处。括第十一水冷支路13设置于长晶炉的炉体附件处，第十二水冷支路13设置于长晶炉的上法兰处，第十三水冷支路14设置于长晶炉的下法兰处，第十四水冷支路15设置于长晶炉的左抽空管处，第十五水冷支路16设置于长晶炉的右抽空管处、第十六水冷支路24设置于长晶炉的扩散泵处、第第十七水冷支路25设置于长晶炉的冷阱处。各水冷支路均设置有流量计、球阀。各水冷支路球阀的数量均为两个。进水管道I和出水管道2末端均设置有堵头7。
[0018]如上，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。
【主权项】
1.一种长晶炉水循环系统，其特征在于，包括进水管道(I)、出水管道(2)、第一水冷支路(3)、第二水冷支路(4)、第三水冷支路(5)，所述进水管道(I)分别联通各水冷支路再联通至所述出水管道(2)，所述第一水冷支路(3)设置于长晶炉的炉体上部处，所述第二水冷支路(4)设置于所述设置于长晶炉的炉体中部处，所述第三水冷支路设置于长晶炉的炉体下部处。2.根据权利要求1所述的长晶炉水循环系统，其特征在于，还包括第一预留水冷支路(6)。3.根据权利要求1所述的长晶炉水循环系统，其特征在于，还包括第一水压表(8)、第一温度表(9)、第二水压表(10)、第二温度表(11)，所述第一水压表(8)与第一温度表(9)设置于所述进水管道(I)处，所述第二水压表(10)和第二温度表(11)设置于所述出水管道处。4.根据权利要求1所述的长晶炉水循环系统，其特征在于，还包括第四水冷支路(12)、第五水冷支路(13)、第六水冷支路(14)、第七水冷支路(15)、第八水冷支路(16)、第九水冷支路(17)、第十水冷支路(18)，其中，第四水冷支路(12)、第五水冷支路(13)、第六水冷支路(14)设置于长晶炉炉体上部的电缆处，所述第七水冷支路(15)、第八水冷支路(16)、第九水冷支路(17)设置于炉体中部的电缆处，所述第十水冷支路(18)设置于炉体下部的电缆处。5.根据权利要求4所述的长晶炉水循环系统，其特征在于，还包括第十一水冷支路(13)、第十二水冷支路(13)、第十三水冷支路(14)、第十四水冷支路(15)、第十五水冷支路(16)、第十六水冷支路(24)、第十七水冷支路(25)，其中所述括第^^一水冷支路(13)设置于长晶炉的炉体附件处，所述第十二水冷支路(13)设置于长晶炉的上法兰处，所述第十三水冷支路(14)设置于长晶炉的下法兰处，所述第十四水冷支路(15)设置于长晶炉的左抽空管处，所述第十五水冷支路(16)设置于长晶炉的右抽空管处、所述第十六水冷支路(24)设置于长晶炉的扩散泵处、所述第十七水冷支路(25)设置于长晶炉的冷阱处。6.根据权利要求1?5任一所述的长晶炉水循环系统，其特征在于，各水冷支路均设置有流量计、球阀。7.根据权利要求6所述的长晶炉水循环系统，其特征在于，各水冷支路球阀的数量均为两个。8.根据权利要求7所述的长晶炉水循环系统，其特征在于，所述的进水管道(I)和出水管道(2)末端均设置有堵头(7)。
【专利摘要】本实用新型公开一种长晶炉水循环系统，包括进水管道、出水管道、第一水冷支路、第二水冷支路、第三水冷支路，所述进水管道分别联通各水冷支路再联通至所述出水管道，所述第一水冷支路设置于所述长晶炉的炉体上部处，所述第二水冷支路设置于所述长晶炉的炉体中部处，所述第三水冷支路设置于所述长晶炉的炉体下部处。本实用新型通过设置水循环系统，使得炉体温度更加均匀，并且能够保证电缆及扩散泵的正常工作温度。
【IPC分类】C30B35/00
【公开号】CN204661865
【申请号】CN201520149383
【发明人】李辉, 姜宏伟, 张洪涛
【申请人】南京晶升能源设备有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年3月16日