专利名称：硅烷液化、汽化装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种化工产品的制备装置，特别是一种硅烷液化、汽化装置，适合 于硅烷提高纯度。
背景技术：
目前，微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，是推动科技进步、产业 发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心，其发展水平和 产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如硅烷)，尤其是高纯 电子气体作为电子化工材料这一新门类，是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随 着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料(如硅烷)的纯度要求已经提 高到了 6N级(99. 9999% )，甚至7N以上，因此制备高纯电子特种气体技术更显得迫在眉 睫。而有能力生产6N级以上高纯电子气体的只有少数国家，而高纯气体在电子产品、航空 航天、高效太阳能电池、军事工业方面有着广泛的应用，硅烷的制备技术尚未完善，制作方 法工艺复杂，较难掌握，生产的产品尚不能全面满足相关电子产品的需要，质量差，问题多， 只能用于制造低规格的产品，因此，给用户带来了较大的麻烦，这种状况严重地制约了电子 技术的发展。
发明内容本实用新型所要解决的问题在于，克服现有技术的不足，提供了一种硅烷液化、汽 化装置。该装置不仅设计合理，制作简单，而且为硅烷提高纯度打下了基础。本实用新型采用的技术方案是高纯硅烷成品出口、过滤器、减压阀、高纯氮气和 氢气储罐、15MPa压力表、真空规管、真空泵、流量计2、硅烷液化瓶、2. 5MPa压力表、取样口、 流量计l、lMPa压力表、提纯硅烷进装置入口、水力泵按其系统功能通过其中间连接的阀门 的连接管线组装一体而构成。压力为IMPa的提纯硅烷通过提纯硅烷进装置入口进入液化瓶的气流，只有两种 组分，硅烷和氢气。SiH4约占60%，H2约为40%，两种气体分离过程在硅烷液化瓶中进行。 经真空规管、真空泵、水力泵对系统压力、温度进行调整，使出硅烷液化瓶硅烷气的压力由 2. 5MPa升高到15MPa，SiH4的液化温度-112. 15°C, H2的液化温度-2530C0在液氮_196°C 的环境中，硅烷与氢分成气、液两相。将气、液两相进行充分分离，重新使液态硅烷汽化后， 经过滤器装瓶，便得到高纯(5N)、高压(6.5MPa)的硅烷气体。本实用新型的有益效果是，设计合理，使用方便，是硅烷产品液化、汽化，提高质量 的理想装置。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型的结构示意图。[0009]附图编号为1、高纯硅烷成品出口，2、过滤器，3、减压阀，4、高纯氮气和氢气储罐， 5、15MPa压力表，6、真空规管，7、真空泵，8、流量计2，9、硅烷液化瓶，10、2. 5MPa压力表，11、 取样口，12、流量计1，13UMPa压力表，14、提纯硅烷进装置入口，15连接管线，16、阀门，17、 水力泵。
具体实施方式
参照
图1，高纯硅烷成品出口(1)、过滤器(2)、减压阀(3)、高纯氮气和氢气储罐 (4)、15MPa压力表(5)、真空规管(6)、真空泵(7)、流量计2(8)、硅烷液化瓶(9)、2. 5MPa压 力表(10)、取样口(11)、流量计1(12)、lMPa压力表(13)、提纯硅烷进装置入口(14)、水力 泵(17)按其系统功能通过其中间连接的阀门(16)的连接管线(15)组装一体而构成。压力为IMPa的提纯硅烷通过提纯硅烷进装置入口(14)进入装置的硅烷液化瓶 (9)的气流，只有两种组分，硅烷和氢气。SiH4约占60%，H2约为40%，两种气体分离过程在 硅烷液化瓶(9)中进行。经真空规管(6)、真空泵(7)、水力泵(17)对系统压力、温度进行调 整，使出硅烷液化瓶(9)硅烷气的压力由2. 5MPa升高到15MPa，SiH4的液化温度-112. 15°C, H2的液化温度_253°C。在液氮_196°C的环境中，硅烷与氢分成气、液两相。将气、液两相进 行充分分离，高纯氮气和氢气经减压阀(3)减压进入高纯氮气和氢气储罐(4)中存储保管， 重新使液态硅烷汽化后，经过滤器(2)装瓶，便得到高纯(5N)、高压(6.5MPa)的硅烷气体。
权利要求一种硅烷液化、汽化装置，其特征在于高纯硅烷成品出口、过滤器、减压阀、高纯氮气和氢气储罐、15MPa压力表、真空规管、真空泵、流量计2、硅烷液化瓶、2.5MPa压力表、取样口、流量计1、1MPa压力表、提纯硅烷进装置入口、水力泵按其系统功能通过其中间连接的阀门的连接管线组装一体而构成。
专利摘要本实用新型公开了一种硅烷液化、汽化装置，主要由高纯硅烷成品出口、过滤器、减压阀、高纯氮气和氢气储罐、15MPa压力表、真空规管、真空泵、流量计2、硅烷液化瓶、2.5MPa压力表、取样口、流量计1、1MPa压力表、提纯硅烷进装置入口、水力泵按其系统功能通过其中间连接的阀门的连接管线组装一体而构成。该装置不仅设计合理，制作简单，而且为硅烷提高质量提供了理想的工具。
文档编号C01B33/04GK201648003SQ20102013420
公开日2010年11月24日 申请日期2010年3月18日 优先权日2010年3月18日
发明者李中元 申请人:天津市泰亨气体有限公司