专利名称：吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种烷类化工产品-高纯乙硼烷制备方法的工艺技术，特别是一种吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术，适合于化工合成乙硼烷。
背景技术：
目前，目前，微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，是推动科技进 步、产业发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心，其发 展水平和产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如乙硼烷)， 尤其是高纯电子气体作为电子化工材料这一新门类，是制约集成电路可靠性和成品率的重 要因素。随着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料(如乙硼烷)的纯 度要求已经提高到了 5N级(99. 999%),甚至7N以上，因此制备高纯电子特种气体技术更 显得迫在眉睫。乙硼烷的制备技术尚未完善，利记博彩app工艺复杂，较难掌握，生产的产品尚 不能全面满足相关电子产品的需要，质量差，问题多，只能用于制造低规格的产品，因此，给 用户带来了较大的麻烦，这种状况严重地制约了电子技术的发展。
发明内容
本发明所要解决的问题在于，克服现有技术的不足，提供了一种吸附分离提纯方 式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术。该技术不仅工艺合理，制备简单，而且产品质量好，生 产的乙硼烷纯度高达5N(99. 999% )以上，并解决了环境污染问题。本发明采用的技术方案是粗B2H6(乙硼烷)气瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾气吸 收器、产品收集器按其系统功能通过连接管线组装一体而构成。本发明采用吸附分离提纯方式制取高纯乙硼烷的工艺方法。主要是由发生乙硼烷的本发明装置连续供给粗乙硼烷，根据粗制乙硼烷的杂质含 量，采用低温吸附、升温脱附的办法将B2H6中的CH4、CO2等除去，制备高纯乙硼烷，经液化、 汽化系统形成成品。其优点是产品收率高，纯度高(99.0% -99.9% )，杂质少且容易分离，除产品本身 夕卜，不带有其他有害、有毒的副产物，操作也较方便，是高纯乙硼烷制备的理想技术。本发明的有益效果是，设计合理，使用方便，是理想的乙硼烷制备工艺技术。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。图1为本发明的结构示意图。附图编号为1、粗B2H6 (乙硼烷)气瓶，2、干燥器，3、吸附器，4、真空泵，5、尾气吸收 器，6、产品收集器，7、连接管线。
具体实施例方式参照图1，粗B2H6(乙硼烷)气瓶(1)、干燥器(2)、吸附器(3)、真空泵(4)、尾气吸 收器(5)、产品收集器(6)按其系统功能通过连接管线(7)组装一体而构成。
本发明采用吸附分离提纯方式制取高纯乙硼烷的工艺方法。主要是由发生乙硼烷的本发明装置连续供给粗乙硼烷，根据粗制乙硼烷的杂质含 量，采用低温吸附、升温脱附的办法将B2H6中的CH4、CO2等除去，制备高纯乙硼烷，经液化、 汽化系统形成成品。其优点是产品收率高，纯度高(99.0% -99.9% )，杂质少且容易分离，除产品本身 夕卜，不带有其他有害、有毒的副产物，操作也较方便，是高纯乙硼烷制备的理想技术。
权利要求
一种吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术，其特征在于粗B2H6(乙硼烷)气瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾气吸收器、产品收集器按其系统功能通过连接管线组装一体而构成。
全文摘要
本发明公开了一种吸附分离提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术，主要由粗B2H6(乙硼烷)气瓶、干燥器、吸附器、真空泵、尾气吸收器、产品收集器按其系统功能通过连接管线组装一体而构成。设计合理，使用方便，是理想的高纯乙硼烷制备工艺技术。
文档编号C01B6/10GK101955156SQ201010192538
公开日2011年1月26日 申请日期2010年6月7日 优先权日2010年6月7日
发明者李中元 申请人:天津市泰源工业气体有限公司