一种蒸镀装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种蒸镀装置，包括对蒸镀材料进行加热以产生蒸镀气体的坩埚，以及使得蒸镀气体从所述坩埚中喷出的多个喷嘴，所述蒸镀装置还包括与所述喷嘴一一对应、用于监测对应喷嘴是否堵塞的监测感应器。本实用新型的有益效果是：及时的判断是否有喷嘴堵塞，且准确的判断被堵塞的喷嘴的位置，以便及时对堵塞的喷嘴进行疏通，避免产品不良。
【专利说明】
一种蒸镀装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]OLED是目前最先进的显示屏幕也是技术难度最大的显示器件。相比于LCD屏幕，OLED屏幕可以实现柔性显示以及更健康环保，越来越受到消费者和市场的追捧。蒸镀技术目前是OLED显示器件量产的主流技术。蒸镀技术就是在高真空的环境中对材料进行加热，使得材料熔融汽化或者直接升华后沉积到玻璃基本表面。
[0003]目前任何的蒸镀设备都会有一定的几率出现材料塞孔喷嘴的现象。这是由于材料，设备，温度等原因使得材料在喷嘴处冷凝发生塞孔，使得喷嘴处速率降低，甚至会发生材料完全将喷嘴塞孔。一旦喷嘴发生塞孔，而又没有及时发现和处理会使得该材料在玻璃基板上的成膜厚度不均，最终导致OLED器件的寿命和效率下降。这种情况之下，只能被迫停止生产，将设备温度降到室温，破真空，由人员将塞孔处理后才可以恢复生产，这一流程需要花费几十个小时，不仅造成了材料的损失，同时也降低生产效率，打乱了生产计划。
【实用新型内容】
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种蒸镀装置，及时的判断是否有喷嘴堵塞，且准确的判断被堵塞的喷嘴的位置，避免基板上的成膜厚度不均。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种蒸镀装置，包括对蒸镀材料进行加热以产生蒸镀气体的坩祸，以及使得蒸镀气体从所述坩祸中喷出的多个喷嘴，所述蒸镀装置还包括与所述喷嘴一一对应、用于监测对应喷嘴是否堵塞的监测感应器。
[0006]进一步的，所述蒸镀装置还包括:用于对堵塞的喷嘴进行疏通的疏通结构。
[0007]进一步的，所述坩祸包括用于将蒸镀材料加热以产生蒸镀气体的内坩祸，以及设置于所述内坩祸外围的外坩祸，所述外坩祸上沿所述外坩祸的长度方向设有多个所述喷嘴。
[0008]进一步的，相邻两个所述喷嘴之间设置有用于限制喷嘴蒸镀区域以使得相邻的所述喷嘴的蒸镀区域互不影响的喷嘴限制板，所述喷嘴限制板设于所述外坩祸上。
[0009]进一步的，所述监测感应器通过固定连接件固定于所述喷嘴限制板的一侧。
[0010]进一步的，所述疏通结构包括:
[0011 ]用于进入堵塞的喷嘴内，对喷嘴进行疏通的疏通棒；
[0012]用于驱动所述疏通棒在多个喷嘴之间移动，以将所述疏通棒运送至堵塞的喷嘴的位置的第一驱动单元；
[0013]用于驱动所述疏通棒在喷嘴的深度方向移动以对堵塞的喷嘴进行疏通的第二驱动单元。
[0014]进一步的，所述疏通结构包括:
[0015]用于通过对堵塞的喷嘴进行加热以疏通的疏通棒；
[0016]用于驱动所述疏通棒在多个喷嘴之间移动，以将所述疏通棒运送至堵塞的喷嘴的位置的第一驱动单元。
[0017]进一步的，所述疏通结构包括:
[0018]用于进入堵塞的喷嘴内，同时对喷嘴进行加热以疏通喷嘴的疏通棒；
[0019]用于驱动所述疏通棒在多个喷嘴之间移动，以将所述疏通棒运送至堵塞的喷嘴的位置的第一驱动单元；
[0020]用于驱动所述疏通棒在喷嘴的深度方向移动以对堵塞的喷嘴进行疏通的第二驱动单元。
[0021 ]进一步的，所述疏通棒为一横截面积小于所述喷嘴的面积的柱体结构。
[0022]进一步的，所述疏通棒对堵塞的喷嘴进行加热的温度为30度-500度。
[0023]本实用新型的有益效果是:及时的判断是否有喷嘴堵塞，且准确的判断被堵塞的喷嘴的位置，以便及时对堵塞的喷嘴进行疏通，避免产品不良。
【附图说明】
[0024]图1表示本实用新型实施例中蒸镀装置结构示意图；
[0025]图2表示本实用新型实施例中蒸镀装置部分结构剖视结构示意图；
[0026]图3表示本实用新型实施例中喷嘴蒸镀区域示意图。
【具体实施方式】
[0027]以下结合附图对本实用新型的特征和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本实用新型，并非以此限定本实用新型保护范围。
[0028]如图1至图3所示，本实施例提供一种蒸镀装置，包括对蒸镀材料进行加热以产生蒸镀气体的坩祸，以及使得蒸镀气体从所述坩祸中喷出的多个喷嘴3，所述多个喷嘴3之间相互独立、蒸镀区域互不影响，所述蒸镀装置还包括与所述喷嘴3—一对应、用于监测对应喷嘴3是否堵塞的监测感应器2。
[0029]多个喷嘴3之间是相互独立的，蒸镀区域互不影响，如图3所示，A区域不受其他喷嘴3的影响，每一个喷嘴3对应一个监测感应器2，当一个喷嘴3发生塞孔时，对应的监测感应器2侦测到的速率明显降低，当喷嘴3全部塞孔时，监测感应器2无速率，这样可以及时的判断是否有喷嘴3堵塞，且准确的判断被堵塞的喷嘴3的位置，以使得被堵塞的喷嘴3可以被及时处理，避免基板上成膜厚度不均导致OLED器件的寿命和效率下降。
[0030]进一步的，所述坩祸包括用于将蒸镀材料加热以产生蒸镀气体的内坩祸6，以及设置于所述内坩祸6外围的外坩祸4，所述外坩祸4上沿所述外坩祸4的长度方向设有多个所述喷嘴3，如图2所示。
[0031]蒸镀工艺条件下，内坩祸6的材料受热气化或升华后经外坩祸4上的喷嘴3喷出后在玻璃衬底上成膜。
[0032]进一步的，相邻两个所述喷嘴3之间设置有用于限制喷嘴3蒸镀区域的喷嘴3限制板I，所述喷嘴3限制板I设于所述外坩祸4上。
[0033]限制板I的设置实现所述多个喷嘴3之间相互独立、蒸镀区域互不影响，喷嘴3间的限制板I使得在一定范围内一个喷嘴3的蒸镀区域不受其他喷嘴3的无影响，每一个喷嘴3对应唯一的监测感应器2，监测感应器2位于无其他喷嘴3影响的区域内，用于单独监测相应喷嘴3的蒸镀速率，排除其他喷嘴3的干扰。
[0034]本实施例中，所述监测感应器2通过固定连接件固定于所述喷嘴3限制板I的一侧。如图1和图2所示，固定连接件为设置在喷嘴3限制板I 一侧的条形连接板，条形连接板被喷嘴3限制板I分割成对应于每个喷嘴3的多个区域，每个区域内设有一个监测感应器2。
[0035]进一步的，所述蒸镀装置还包括:用于对堵塞的喷嘴3进行疏通的疏通结构。
[0036]疏通结构的设置及时对堵塞的喷嘴3进行疏通，不必停止生产即可完成对堵塞喷嘴3的疏通，提尚生广效率。
[0037]所述疏通结构的具体结构形式可以有多种，只要实现对堵塞的喷嘴3的疏通即可，以下介绍本实施例中疏通结构的几种结构形式。
[0038]结构形式一:所述疏通结构包括:
[0039]用于进入堵塞的喷嘴3内，对喷嘴3进行疏通的疏通棒5;
[0040]用于驱动所述疏通棒5在多个喷嘴3之间移动，以将所述疏通棒5运送至堵塞的喷嘴3的位置的第一驱动单元；
[0041]用于驱动所述疏通棒5在喷嘴3的深度方向移动以对堵塞的喷嘴3进行疏通的第二驱动单元。
[0042]第一驱动单元的设置可以使得疏通棒5可以移动到任一喷嘴3的位置，以便疏通棒5移动到堵塞的喷嘴3，第二驱动单元的设置使得疏通棒5通过机械力对堵塞的喷嘴3进行疏通，便捷高效。
[0043]进一步的，所述疏通棒5为一横截面积小于所述喷嘴3的面积的柱体结构。
[0044]结构形式二:所述疏通结构包括:
[0045]用于通过对堵塞的喷嘴3进行加热以疏通的疏通棒5;
[0046]用于驱动所述疏通棒5在多个喷嘴3之间移动，以将所述疏通棒5运送至堵塞的喷嘴3的位置的第一驱动单元。
[0047]通过第一驱动单元的设置快速、准确的将疏通棒5移动到堵塞的喷嘴3对应的位置，然后通过加热的方式对堵塞的喷嘴3进行疏通。
[0048]进一步的，所述疏通棒5对堵塞的喷嘴3进行加热的温度为30度-500度。
[0049]结构形式三:所述疏通结构包括:
[0050]用于进入堵塞的喷嘴3内，同时对喷嘴3进行加热以疏通喷嘴3的疏通棒5;
[0051]用于驱动所述疏通棒5在多个喷嘴3之间移动，以将所述疏通棒5运送至堵塞的喷嘴3的位置的第一驱动单元；
[0052]用于驱动所述疏通棒5在喷嘴3的深度方向移动以对堵塞的喷嘴3进行疏通的第二驱动单元。
[0053]同时采用机械力和加热的方式对堵塞的喷嘴3进行疏通，进一步的提高疏通的效率。
[0054]一旦某个喷嘴3发生塞孔，疏塞棒在第一驱动单元的带动下移动至发生塞孔的喷嘴3位置，疏塞棒既可以升温加热，对发生塞孔的喷嘴3进行热处理，使材料蒸发解决塞孔，或者通过第二驱动单元的驱动直接利用机械力疏通塞孔，也可以两种方式同时使用，提高效率。
[0055]本实施例中，所述第一驱动单元包括电机，以及与电机连接的伸缩式连接杆。
[0056]所述第二驱动单元包括与所述伸缩式连接杆连接、并可带动所述伸缩式连接杆在与喷嘴3的深度方向相平行的方向移动的升降结构。
[0057]以上所述为本实用新型较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。
【主权项】
1.一种蒸镀装置，包括对蒸镀材料进行加热以产生蒸镀气体的坩祸，以及使得蒸镀气体从所述坩祸中喷出的多个喷嘴，其特征在于，所述蒸镀装置还包括与所述喷嘴一一对应、用于监测对应喷嘴是否堵塞的监测感应器。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括:用于对堵塞的喷嘴进行疏通的疏通结构。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩祸包括用于将蒸镀材料加热以产生蒸镀气体的内坩祸，以及设置于所述内坩祸外围的外坩祸，所述外坩祸上沿所述外坩祸的长度方向设有多个所述喷嘴。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，相邻两个所述喷嘴之间设置有用于限制喷嘴蒸镀区域以使得相邻的所述喷嘴的蒸镀区域互不影响的喷嘴限制板，所述喷嘴限制板设于所述外坩祸上。5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述监测感应器通过固定连接件固定于所述喷嘴限制板的一侧。6.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述疏通结构包括: 用于进入堵塞的喷嘴内，对喷嘴进行疏通的疏通棒； 用于驱动所述疏通棒在多个喷嘴之间移动，以将所述疏通棒运送至堵塞的喷嘴的位置的第一驱动单元； 用于驱动所述疏通棒在喷嘴的深度方向移动以对堵塞的喷嘴进行疏通的第二驱动单J L ο7.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述疏通结构包括: 用于通过对堵塞的喷嘴进行加热以疏通的疏通棒； 用于驱动所述疏通棒在多个喷嘴之间移动，以将所述疏通棒运送至堵塞的喷嘴的位置的第一驱动单元。8.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述疏通结构包括: 用于进入堵塞的喷嘴内，同时对喷嘴进行加热以疏通喷嘴的疏通棒； 用于驱动所述疏通棒在多个喷嘴之间移动，以将所述疏通棒运送至堵塞的喷嘴的位置的第一驱动单元； 用于驱动所述疏通棒在喷嘴的深度方向移动以对堵塞的喷嘴进行疏通的第二驱动单J L ο9.根据权利要求6或8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述疏通棒为一横截面积小于所述喷嘴的面积的柱体结构。10.根据权利要求7或8的所述的蒸镀装置，其特征在于，所述疏通棒对堵塞的喷嘴进行加热的温度为30度-500度。
【文档编号】C23C14/24GK205662590SQ201620583798
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年6月14日
【发明人】李元虎, 郭书鹏, 邹清华, 王玉
【申请人】合肥鑫晟光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司