镀膜机充气装置的制造方法
【专利摘要】镀膜机充气装置，包括阀体，所述阀体顶部安装气缸，该气缸通过螺丝与阀体固定，气缸的气缸轴底端安装阀盖，该阀盖与阀体底部的出气口配合，气缸轴上套有弹簧，气缸通过气缸接头连接供气装置；所述阀体的进气管道上安装铜消声过滤器；该镀膜机充气装置通过弹簧压紧阀盖，初始状态下阀盖通过弹簧弹力被压紧在阀体的底部出气口上，当需要打开出气口时，气缸动作，克服弹簧弹力将阀盖上移即可，避免了因为停电或气压不足时可能造成的气缸阀门关的不紧闭，阀体的紧闭性较好；且阀体的进气管道上安装铜消声过滤器，空气经过铜消声器后进入管路，再进入真空室，防止对真空室造成污染的同时消除噪音污染，值得大力推广。
【专利说明】
镀膜机充气装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及镀膜加工设备领域，尤其是一种镀膜机充气装置。
【背景技术】
[0002]镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]镀膜机的真空室需要配备充气装置，如图1所示，现有的充气装置是由一个双向的气缸2顶住阀盖5，从而封堵充气管路，当停电或气压不足时，可能造成气缸阀门关的不紧闭，阀体的紧闭性较差；另一个缺点是进气口 11上没有过滤装置，空气直接进入的真空室，可能对真空室造成污染。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型旨在提供一种通过弹簧压紧阀盖，保障阀体的紧闭性，且能够过滤进气的镀膜机充气装置。
[0005]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:镀膜机充气装置，包括阀体，所述阀体顶部安装气缸，该气缸通过螺丝与阀体固定，气缸的气缸轴底端安装阀盖，该阀盖与阀体底部的出气口配合，气缸轴上套有弹簧，气缸通过气缸接头连接供气装置;所述阀体的进气管道上安装铜消声过滤器。
[0006]作为本实用新型的进一步方案:所述阀盖的底部设有密封圈。
[0007]作为本实用新型的进一步方案:所述阀体底部的出气口连通真空箱体管道。
[0008]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:该镀膜机充气装置通过弹簧压紧阀盖，初始状态下阀盖通过弹簧弹力被压紧在阀体的底部出气口上，当需要打开出气口时，气缸动作，克服弹簧弹力将阀盖上移即可，避免了因为停电或气压不足时可能造成的气缸阀门关的不紧闭，阀体的紧闭性较好;且阀体的进气管道上安装铜消声过滤器，空气经过铜消声器后进入管路，再进入真空室，防止对真空室造成污染的同时消除噪音污染，值得大力推广。
【附图说明】
[0009]图1为现有的充气装置的结构示意图；
[0010]图2为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0012]请参阅图1-2，本实用新型实施例中，镀膜机充气装置，包括阀体I，所述阀体I顶部安装气缸2，该气缸2通过螺丝3与阀体I固定，气缸2的气缸轴4底端安装阀盖5，该阀盖5与阀体I底部的出气口配合，气缸轴4上套有弹簧6，气缸2为单向气缸，通过气缸接头21连接供气装置，初始状态下阀盖5通过弹簧6弹力被压紧在阀体I的底部出气口上，当需要打开出气口时，气缸2动作，克服弹簧6弹力将阀盖5上移即可;所述阀体I的进气管道上安装铜消声过滤器7，空气经过铜消声器后进入管路，再进入真空室，防止对真空室造成污染的同时消除噪音污染。
[0013]进一步，所述阀盖5的底部设有密封圈8。
[0014]进一步，所述阀体I底部的出气口连通真空箱体管道9。
[0015]对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0016]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
【主权项】
1.镀膜机充气装置，包括阀体(1 )，其特征在于，所述阀体(1)顶部安装气缸(2)，该气缸(2 )通过螺丝(3 )与阀体(1)固定，气缸(2 )的气缸轴(4 )底端安装阀盖(5 )，该阀盖(5 )与阀体(I)底部的出气口配合，气缸轴(4)上套有弹簧(6)，气缸(2)通过气缸接头(21)连接供气装置;所述阀体(I)的进气管道上安装铜消声过滤器(7)。2.根据权利要求1所述的镀膜机充气装置，其特征在于，所述阀盖(5)的底部设有密封圈(8).3.根据权利要求1所述的镀膜机充气装置，其特征在于，所述阀体(I)底部的出气口连通真空箱体管道(9)。
【文档编号】C23C14/22GK205529001SQ201620124878
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年2月17日
【发明人】朱文斌
【申请人】苏州灵菱照明镀膜科技有限公司