一种pecvd工件架的电极板挡板的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种PECVD工件架的电极板挡板，特别涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池在制作过程中所用到的PECVD工件架的电极板挡板。
【背景技术】
[0002]21世纪初之前，太阳能电池主要以硅系太阳能电池为主，超过89%的光伏市场由硅系列太阳能电池所占领，但近年以来，晶体硅太阳能电池的主要原料多晶硅价格快速上涨，因此，业内人士自热而然将目光转向了成本较低的薄膜电池。薄膜太阳电池可以使用在价格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨，金属片等不同材料当基板来制造，形成可产生电压的薄膜厚度仅需数微米，目前转换效率最高可达13%以上。在生产非晶硅薄膜电池中，通常会用到等离子体增强化学气体沉积法PECVD在基板上度设非晶硅层(p-1-n层)，在该工序中需要用到PECVD工件架来进行非晶硅薄膜层的镀设。
[0003]现有的PECVD工件架设有若干个电极板，中间装载有TCO基片，电极板两端之间的长度一般要大于TCO基片的长度，电极板与TCO基板配合时电极板与TCO基板贴合的部分称为电极板工作段，而电极板两端裸露在外的部分称为电极板裸露段，每次沉积完成后电极板裸露段都会被镀上薄膜，若不及时处理经多次镀膜后膜层脱落将产生硅粉。硅粉飘落于基片表面，使镀膜过程形成针孔，进而导致镀膜时金属电极与基片短路，造成电池低功率。目前实用新型201420076271.0公开了《一种PECVD工件架及其电极板》，该实用新型包括用于形成电极板工作段的电极板本体、设置于电极板本体的前后两端且用于形成电极板裸露段的本体端件，本体端件与电极板本体通过可拆装的螺钉紧固连接，这样就可以定期拆除电极板本体端件来清除表面镀上的膜层，清除较彻底，但是这样就增加了 PECVD工件架的制造成本，不适合大规模的普及使用，且对现有PECVD工件架存在的薄膜问题没法进行很好的解决。因此如何能够彻底且方便地除去电极板两端的膜层是目前本领域技术人员亟需解决的技术问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种PECVD工件架的电极板挡板，目的旨在解决PECVD工件架的电极板裸露边缘经多次镀膜后产生硅粉的问题，从而提高产品质量。
[0005]为了达到以上目的，本实用新型采取的方案如下:
[0006]—种PECVD工件架的电极板挡板，所述的电极板挡板呈U型，所述的电极板挡板和P电极板前后两端形成过渡配合；所述电极板挡板的高度和电极板的高度一致；所述电极板挡板U型内槽两侧的侧面积不小于电极板两侧裸露段的面积。
[0007]保养时对上述电极片挡板拆卸后进行打磨清洗即可再次使用，若电极片挡板镀膜层加厚无法打磨时则浸泡在NaOH溶液中进行浸泡清洁。
[0008]用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果:
[0009](I)提高了清洁效率的同时节省了人力，仅需要将电极片挡板从电极板拆下打磨或浸泡在NaOH溶液中进行浸泡清洁，降低了人力维护成本。
[0010](2)减少了电极板边缘硅粉的产生，继而减少PECVD镀膜针孔透空的形成，提高了非晶硅薄膜转化效率。
[0011](3)减少了对PECVD工件架大保养的次数，使设备的使用寿命延长，提高了生产产會K。
【附图说明】
[0012]为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
[0013]图1是本实用新型PECVD工件架电极板挡板组装示意图；
[0014]图2是本实用新型PECVD工件架电极板的示意图；
[0015]图中:1、电极板挡板；2、电极板；21、电极板裸露段；22、电极板工作段；3、正极板正面挡板；4、正极板反面挡板；5、负极板正面挡板；6、负极板反面挡板；
[0016]L31、正极板正面挡板高度；L32、正极板正面挡板高长度；L41、正极板反面挡板高度；L42、正极板反面挡板高长度；L51、负极板正面挡板高度；L52、负极板正面挡板长度；L61、负极板反面挡板高度；L62、负极板反面挡板长度。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明:
[0018]一种PECVD工件架的电极板挡板，所述的电极板挡板I呈U型，所述的电极板挡板I连接在PECVD工件架的电极板2前后两端；所述的电极板挡板I的U型内槽和电极板2形成过渡配合；所述电极板挡板I的高度和电极板2的高度一致；所述电极板挡板I的U型内槽两侧的侧面积不小于电极板2两侧的电极板裸露段21的面积。
[0019]所述的电极板挡板包括正极板正面挡板3、正极板反面挡板4、负极板正面挡板5和负极板反面挡板6。所述的电极板挡板的厚度为0.6mm ;所述的电极板挡板的U型内槽宽度为6mm。所述的正极板正面挡板3的高度L31为638mm，所述正极板正面挡板3的长度L32为21mm ;所述的正极板反面挡板4的高度L41为631mm，所述正极板反面挡板4的长度L42为16mm ;所述的负极板正面挡板5的高度L51为638mm，所述负极板反面挡板5的长度L52为Ilmm ;所述的负极板反面挡板6的高度L61为638mm，所述负极板反面挡板6的长度L62 为 11mnin
[0020]以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种PECVD工件架的电极板挡板，其特征在于:所述的电极板挡板⑴呈U型，所述的电极板挡板(I)和电极板(2)前后两端形成过渡配合；所述的电极板挡板(I)包括正极板正面挡板(3)、正极板反面挡板(4)、负极板正面挡板(5)和负极板反面挡板￠);所述正极板正面挡板(3)的长度(L32)为21mm ;所述正极板反面挡板(4)的长度(L42)为16mm ;所述负极板正面挡板(5)的长度(L52)为Ilmm ;所述负极板反面挡板￠)的长度(L62)为Ilmm02.根据权利要求1所述的电极板挡板，其特征在于:所述电极板挡板(I)的U型内槽两侧的侧面积不小于电极板(2)两侧的电极板裸露段(21)的面积；所述电极板挡板(I)的高度和电极板(2)的高度一致；所述的电极板挡板(I)厚度为0.5?1mm。
【专利摘要】本实用新型涉及一种PECVD工件架的电极板挡板，所述的电极板挡板呈U型，所述的电极板挡板和电极板前后两端形成过渡配合；所述电极板挡板的高度和电极板的高度一致；所述电极板挡板U型内槽两侧的侧面积不小于电极板两侧电极板裸露段的面积。采用本实用新型的PECVD工件架保养时只需对上述电极片挡板拆卸后进行打磨清洗即可再次使用，若电极片挡板镀膜层加厚无法打磨时则浸泡在NaOH溶液中进行浸泡清洁，提高了清洁效率，减少了电极板边缘硅粉的产生，继而减少PECVD镀膜针孔透空的形成，提高了非晶硅薄膜转化效率；另一方面也节省了人力，减少了对PECVD工件架大保养的次数，使设备的使用寿命延长，提高了生产产能。
【IPC分类】C23C16/458
【公开号】CN205115596
【申请号】CN201520384491
【发明人】陆亮亮, 田振超, 郭必玉
【申请人】江苏武进汉能光伏有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年6月4日