一种真空溅射镀膜基片的装夹装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子产品ΙΤ0镀膜加工生产设备，尤其是一种真空溅射镀膜基片的装夹装置。
【背景技术】
[0002]现有ΙΤ0真空溅射镀膜基片装夹装备，形式多样，有镶嵌式的，有开放式的。开放式的，结构简单，装夹基片方便，通用性强，造价便宜，但是镀膜产品质量受影响，不能生产高品质产品；镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，产品的质装夹基片方便量有保证，但是通用性差，每种产品要对应一套，造价昂贵；不论镶嵌式的还是开放的，目前都不做到单面和双面镀膜的通用性，都需要两套装夹装备；鉴于上述原因，ΙΤ0真空溅射镀膜基片装夹装备的镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，单面和双面镀膜需要两套装夹装备，需要改进镶嵌式真空溅射镀膜基片装夹装备，现发明出一种真空溅射镀膜基片的装夹装置。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是为了克服现有ΙΤ0真空溅射镀膜基片装夹装备的镶嵌式的，结构复杂，装夹基片稍难，单面和双面镀膜需要两套装夹装备，需要改进镶嵌式真空溅射镀膜基片装夹装备，通过合理设计，提供一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，特殊设计的横梁通过连接片固定到竖梁上，弹性夹具通过螺钉连接到横梁上，单面产品或双面产品，徒手固定在弹性夹具上；单面和双面产品，装夹装备兼容，不同规格的产品，只要移动横梁，并重新固定，便可使用；横梁上下的挡片和基片之间的适当间距，可以防止绕射，生产的效率高。
[0004]本实用新型为了实现上述目的，采用如下技术方案:一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，是由:双面基片、双面下弹性卡、双面上弹性卡、横梁、竖梁、单面上弹性卡、单面下弹性卡、单面基片构成；如图所示，竖梁一侧设置至少两根横梁，横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；中部横梁上面对称设置两个双面下弹性卡、上方横梁下面对称设置两个双面上弹性卡，双面上弹性卡与双面下弹性卡的卡头对应设置，双面下弹性卡与双面上弹性卡之间设置双面基片；上方横梁下面与中部横梁上面设置一组双面上弹性卡与双面下弹性卡；上方横梁的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡、中部横梁的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡，单面上弹性卡与单面下弹性卡的卡头对应设置，单面上弹性卡与单面下弹性卡之间设置单面基片；竖梁一侧设置至少两根横梁，上下相邻两根横梁之间对应基片的规格设置，两根横梁之间设置双面基片；横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁侧梁之间设置单面基片。
[0005]有益效果:单面或双面镀膜共用一套装夹装备，通用性强；更换产品品种，方便快捷；徒手快速装卸基片，减少人力资源的使用；解决绕射问题，可以生产低阻高档产品；结构简单，加工容易，造价便宜，永久使用。
[0006]本实用新型的竖梁是和移动小车是一体的，特殊设计的横梁通过连接片固定到竖梁上，弹性夹具通过螺钉连接到横梁上，单面产品或双面产品，徒手固定在弹性夹具上；单面和双面产品，装夹装备兼容，不同规格的产品，只要移动横梁，并重新固定，便可使用；横梁上下的挡片和基片之间的适当间距，可以防止绕射。
【附图说明】
[0007]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0008]图1是，总装结构示意图；
[0009]图2是，侧视剖面结构示意图；
[0010]图3是，安装双面基片的结构示意图；
[0011]图4是，安装单面基片结构示意图；
[0012]图1、2、3、4中:双面基片1、双面下弹性卡2、双面上弹性卡3、横梁4、竖梁5、单面上弹性卡6、单面下弹性卡7、单面基片8。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图与【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明:
[0014]如图所示，竖梁5 —侧设置至少两根横梁4，横梁4设置为十字型，十字型横梁4两侧分别设置侧梁；中部横梁4上面对称设置两个双面下弹性卡2、上方横梁4下面对称设置两个双面上弹性卡3，双面上弹性卡3与双面下弹性卡2的卡头对应设置，双面下弹性卡2与双面上弹性卡3之间设置双面基片1 ;上方横梁4下面与中部横梁4上面设置一组双面上弹性卡3与双面下弹性卡2 ;
[0015]上方横梁4的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡6、中部横梁4的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡7，单面上弹性卡6与单面下弹性卡7的卡头对应设置，单面上弹性卡6与单面下弹性卡7之间设置单面基片8 ;
[0016]竖梁5 —侧设置至少两根横梁4，上下相邻两根横梁4之间对应基片的规格设置，两根横梁4之间设置双面基片1 ;横梁4设置为十字型，十字型横梁4两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁4侧梁之间设置单面基片8。
【主权项】
1.一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，是由:双面基片(1)、双面下弹性卡(2)、双面上弹性卡(3)、横梁(4)、竖梁(5)、单面上弹性卡￠)、单面下弹性卡(7)、单面基片(8)构成；其特征在于:如图所示，竖梁(5) —侧设置至少两根横梁(4)，横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；中部横梁(4)上面对称设置两个双面下弹性卡(2)、上方横梁(4)下面对称设置两个双面上弹性卡(3)，双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)的卡头对应设置，双面下弹性卡(2)与双面上弹性卡(3)之间设置双面基片(1);上方横梁(4)下面与中部横梁(4)上面设置一组双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)。2.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，其特征在于:上方横梁(4)的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡￠)、中部横梁(4)的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡(7)，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)的卡头对应设置，单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)之间设置单面基片(8)。3.根据权利要求1中所述的一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，其特征在于:竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，上下相邻两根横梁(4)之间对应基片的规格设置，两根横梁(4)之间设置双面基片(1);横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；同一侧的两根横梁(4)侧梁之间设置单面基片(8)。
【专利摘要】一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，是由：竖梁一侧设置至少两根横梁，横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；中部横梁上面对称设置两个双面下弹性卡、上方横梁下面对称设置两个双面上弹性卡，双面下弹性卡与双面上弹性卡之间设置双面基片；上方横梁下面与中部横梁上面设置一组双面上弹性卡与双面下弹性卡；上方横梁的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡、中部横梁的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡，单面上弹性卡与单面下弹性卡之间设置单面基片；单面或双面镀膜共用一套装夹装备，通用性强；更换产品品种，方便快捷；解决绕射问题，可以生产低阻高档产品；结构简单，造价便宜，永久使用。
【IPC分类】C23C14/50
【公开号】CN205011833
【申请号】CN201520668550
【发明人】王新, 牛建国
【申请人】洛阳新兆电子有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年8月23日