一种观察窗结构的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型属于PVD镀膜设备技术领域，特别涉及一种观察窗结构。
【背景技术】
[0002]PVD镀膜设备中都会在镀膜腔体侧壁设置观察窗，目的是在镀膜时观察腔体内部的实时状况，观察窗主要由三部分组成:1、观察窗玻璃，一般为石英玻璃，作用是方便真空密封，并且透明能透过它观察腔体内部状况。2、挡板，一般为不锈钢薄板，既挡住腔体内温度辐射到观察窗玻璃上，避免因为温度辐射导致石英玻璃温度升高而炸裂；又挡住所镀膜的材料溅射到玻璃上进而降低玻璃的透明度，避免因玻璃被镀上膜之后不透明，从而失去观察的功能。3、扭动装置，此装置连接观察窗的挡板，在需要观察时开启挡板，在不需要观察时关闭挡板。
[0003]但是，在现有的观察窗设置中，扭动装置通常是在观察窗管道侧壁开一个孔，然后通过骨架油封来密封真空，直接扭动转轴带动挡板旋转，这种设置有两种弊端:一、由于腔体内部和外界有通孔的存在，所以就存在真空漏气的可能；二、真空室对观察窗的挡板的长期热辐射，热量会通过转轴传递到骨架油封上，加速骨架油封的老化，也可能造成真空漏气，使镀膜存在风险。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于:针对现有技术的不足，而提供一种观察窗结构，该结构设置的扭动装置是通过磁力间接扭动实现挡板的旋转，不需在观察窗的管道开孔，从而杜绝真空漏气的隐患。
[0005]为实现上述目的，本实用新型的技术方案是:
[0006]一种观察窗结构，它安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。
[0007]作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述扭动装置通过转轴与所述挡板转动连接。
[0008]作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述扭动装置包括具有中空腔的扭动本体、开设于所述扭动本体的驱动磁铁槽及安装于所述驱动磁铁槽内的驱动磁铁块，所述中空腔为圆形结构，所述驱动磁铁槽的数量设置为四个，四个所述驱动磁铁槽均匀分布于所述中空腔的周围。
[0009]作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述转轴包括挡板连接部及与所述挡板连接部连接为一体的磁力受驱部，所述磁力受驱部具有受驱动铁槽，所述受驱动铁槽的数量设置为四个，每个所述受驱动铁槽内均安装有受驱动块。
[0010]作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，四个所述受驱动铁槽分别对应于四个所述驱动磁铁槽。
[0011]作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述挡板的形状设置为圆形结构。
[0012]所述观察窗玻璃通过密封垫圈安装于所述观察窗法兰内。
[0013]本实用新型的有益效果在于:本实用新型提供的观察窗结构安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。本实用新型的扭动装置是通过磁力间接扭动实现挡板的旋转，不需在观察窗的管道开孔，从而杜绝真空漏气的隐患，提高了操作的安全性。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的结构示意图。
[0015]图2为本实用新型安装在PVD镀膜设备中的结构示意图。
[0016]图3为本实用新型中扭动装置的结构示意图。
[0017]图4为本实用新型中驱动磁铁块的结构示意图。
[0018]图5为本实用新型中转轴的结构示意图。
[0019]图6为本实用新型中磁力受驱部的结构示意图。
[0020]图7为本实用新型中受驱动块的结构示意图。
【具体实施方式】
[0021]下面结合【具体实施方式】和说明书附图，对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0022]如图1~7所示，一种观察窗结构，安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰1、观察窗玻璃2、挡板3和扭动装置4，观察窗玻璃2安装于观察窗法兰I内，具体地，观察窗玻璃2通过密封垫圈7安装于观察窗法兰I内，密封垫圈7的材料为氟橡胶，具有优异的耐热性、抗氧化性、耐油性、耐腐蚀性和耐大气老化性；扭动装置4转动连接于挡板3，具体地，扭动装置4通过转轴6与挡板3转动连接，从而实现挡板3的转动；挡板3位于PVD镀膜设备的镀膜腔体5内，挡板3对应于观察窗玻璃2，扭动装置4设置于PVD镀膜设备的镀膜腔体5外，扭动装置4设置为磁力式扭动装置，在磁力式扭动装置的旋转动作下，实现了挡板3的开启和关闭，解决了现有技术在观察窗的管道开孔带来的问题，从而杜绝真空漏气的隐患，提高了操作的安全性。
[0023]优选地，扭动装置4包括具有中空腔41的扭动本体42、开设于扭动本体42的驱动磁铁槽43及安装于驱动磁铁槽43内的驱动磁铁块44，中空腔41为圆形结构，驱动磁铁槽43的数量设置为四个，驱动磁铁块44数量也设置为四个，四个驱动磁铁块44分别安装在四个驱动磁铁槽43内，且四个驱动磁铁槽43均匀分布于中空腔41的周围，驱动磁铁槽43的材料为汝铁硼。转轴6包括挡板连接部61及与挡板连接部61连接为一体的磁力受驱部62，磁力受驱部62具有受驱动铁槽621，受驱动铁槽621的数量设置为四个，每个受驱动铁槽621内均安装有受驱动块622，受驱动块622为表面镀铬的碳钢，因为碳钢不会这么容易退磁，而且碳钢又容易生锈。四个受驱动铁槽621分别对应于四个驱动磁铁槽43。四个驱动磁铁块44设置为内凹结构，四个受驱动块622设置为外凸结构，四个驱动磁铁块44和四个受驱动块622在相互匹配，在扭动装置4工作时，实现快速开启或关闭挡板3。
[0024]优选地，挡板3的形状设置为圆形结构，可根据需要对挡板3设置为其他任何形状。
[0025]本实用新型的工作过程是:操作者旋转扭动装置4，使得扭动装置4内驱动磁铁块44和转轴6中磁力受驱部62的受驱动块622配合，在磁力的作用下带动转轴6运动，同时转轴6联动挡板3，实现挡板3的开启或关闭。
[0026]根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上述的【具体实施方式】，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作出的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。
【主权项】
1.一种观察窗结构，安装于PVD镀膜设备中，其特征在于:包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。2.根据权利要求1所述的观察窗结构，其特征在于:所述扭动装置通过转轴与所述挡板转动连接。3.根据权利要求2所述的观察窗结构，其特征在于:所述扭动装置包括具有中空腔的扭动本体、开设于所述扭动本体的驱动磁铁槽及安装于所述驱动磁铁槽内的驱动磁铁块，所述中空腔为圆形结构，所述驱动磁铁槽的数量设置为四个，四个所述驱动磁铁槽均匀分布于所述中空腔的周围。4.根据权利要求3所述的观察窗结构，其特征在于:所述转轴包括挡板连接部及与所述挡板连接部连接为一体的磁力受驱部，所述磁力受驱部具有受驱动铁槽，所述受驱动铁槽的数量设置为四个，每个所述受驱动铁槽内均安装有受驱动块。5.根据权利要求4所述的观察窗结构，其特征在于:四个所述受驱动铁槽分别对应于四个所述驱动磁铁槽。6.根据权利要求1所述的观察窗结构，其特征在于:所述挡板的形状设置为圆形结构。7.根据权利要求1所述的观察窗结构，其特征在于:所述观察窗玻璃通过密封垫圈安装于所述观察窗法兰内。
【专利摘要】本实用新型属于PVD镀膜设备技术领域，特别涉及一种观察窗结构，它安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。本实用新型的扭动装置是通过磁力间接扭动实现挡板的旋转，不需在观察窗的管道开孔，从而杜绝真空漏气的隐患，提高了操作的安全性。
【IPC分类】C23C14/52
【公开号】CN204661821
【申请号】CN201520340533
【发明人】王俊锋, 陈凯
【申请人】东莞市瑞鼎纳米科技有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年5月25日