磁控镀膜机腔罩结构的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型公开一种磁控镀膜机腔罩结构，按国际专利分类表(IPC)划分属于磁控镀膜机制造技术领域。
【背景技术】
[0002]薄膜技术是表面工程的三大技术之一，而真空镀膜是薄膜技术的主要技术手段。目前，柔性基底材料如聚对苯二甲酸乙二醋(Polyethylene terephthalate，PET)随着触摸屏行业的技术革新而迅速发展起来，柔性基材镀膜一般采用卷绕式镀膜技术实现，现有的卷绕镀膜机结构复杂，尤其是真空腔室内布局不合理，影响镀膜生产良率及质量。
【发明内容】
[0003]针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种磁控镀膜机腔罩结构，具有结构合理、镀膜效率高等优点。
[0004]为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的:
[0005]一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。
[0006]进一步，所述机壳体靶镀区的侧壁设有多个磁控靶，每一磁控靶对应着若干气体喷出嘴。
[0007]进一步，所述机芯卷绕部分包括放卷传动组件、收卷传动组件和主辊筒，放卷传动组件和收卷传动组件对称设于主辊筒两侧:放卷传动组件包括放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊，按照薄膜输送方向，放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侧；收卷传动组件包括第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收料辊，按照薄膜输送方向，第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒的输出侧。
[0008]本实用新型机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，使设备上下膜及操作维护更方便。本实用新型具有结构合理、镀膜效率高等优点。
【附图说明】
[0009]图1是镀膜机示意图。
[0010]图2是本实用新型结构图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0012]实施例:请参阅图1及图2，一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体1，机壳体I侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体I内上部为收放区11，下部为靶镀区12，所述收放区11与靶镀区12均为弧状空间，收放区11的内径大于靶镀区12内径，靶镀区12与收放区11结合处形成向中心延伸的突台结构100，机壳体I的收放区侧壁设有深冷管2，机壳体顶部设有气流通道3。机壳体I靶镀区的侧壁设有多个磁控靶4，每一磁控靶对应着若干气体喷出嘴。机壳体外壁设有多个抽真空用的分子泵，机壳体上还设有观察窗口 101。本实用新型相配合的机芯卷绕部分包括放卷传动组件5、收卷传动组件6和主辊筒7，放卷传动组件5和收卷传动组件6对称设于主辊筒7两侧:放卷传动组件5包括放料辊51、第一导辊52、放卷张力棍53、第二导棍54和第三导棍55，按照薄膜输送方向，放料棍、第一导棍、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侧；收卷传动组件6包括第四导辊61、第五导辊62、收卷张力辊63、第六导辊64和收料辊65，按照薄膜输送方向，第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒的输出侧。
[0013]本实用新型机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，使设备上下膜及操作维护更方便。
[0014]以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
【主权项】
1.一种磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于:包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。
2.根据权利要求1所述的磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于:所述机壳体靶镀区的侧壁设有多个磁控靶，每一磁控靶对应着若干气体喷出嘴。
3.根据权利要求1或2所述的磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于:所述机芯卷绕部分包括放卷传动组件、收卷传动组件和主辊筒，放卷传动组件和收卷传动组件对称设于主辊筒两侧:放卷传动组件包括放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊，按照薄膜输送方向，放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侦h收卷传动组件包括第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收料辊，按照薄膜输送方向，第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒的输出侧。
【专利摘要】本实用新型公开一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。本实用新型机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，具有结构合理、上下膜操作方便、镀膜效率高等优点。
【IPC分类】C23C14-35
【公开号】CN204509451
【申请号】CN201520063134
【发明人】闫会朝, 丁磊, 李晓哲
【申请人】厦门玉通光电有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年1月29日