蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法
【专利摘要】本发明公开蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法。本发明的蒸发源移送单元包括：下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，线形的第一轨道在一个中心点与横穿蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向相垂直，线形的第二轨道在中心点与横穿蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向相垂直，曲线的第三轨道连接第一轨道和第二轨道；上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，线形的第四轨道与第一轨道相隔开来形成平行，线形的第五轨道与第二轨道相隔开来形成平行，曲线的第六轨道连接第四轨道和第五轨道；移送部，线形的蒸发源以相对于下侧轨道和上侧轨道形成垂直的方式结合，移送部沿着下侧轨道和上侧轨道进行往复移动。
【专利说明】
蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法
技术领域
[0001]本发明涉及一种蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法。更详细地，涉及一种有机物蒸镀装置及利用其的蒸镀方法，上述有机物蒸镀装置能够在一个腔室内对多个基板进行蒸镀工序，而在一个基板的蒸镀工序过程中，对其他基板进行移送工序或对齐工序，从而能够减少节拍时间(tact time)，并能够减少在对基板进行移送工序或对齐工序的过程中发生的有机物材料的损失。
【背景技术】
[0002]有机发光器件(OrganicLuminescence Emitting Device:0LED)作为利用只要在荧光性有机化合物中通电就会发光的电致发光现象的自我发光的自发光器件，由于不需要用于向非发光器件照射光的背光，因而能够制作轻量且薄型的平板显示装置。
[0003]这种利用有机发光器件的平板显示装置因反应速度快、观察角度广而正成为新一代显示装置。
[0004]尤其，因制作工序简单而具有能够比以往的液晶显示装置更能节约生产成本的优点。
[0005]在有机电致发光器件中，作为除阳电极及阴电极的剩余构成层的空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层及电子注入层等由有机薄膜形成，这种有机薄膜通过真空热蒸镀方法来蒸镀于基板上。
[0006]真空热蒸镀方法通过如下方式实现:向真空的腔室内移送基板，并在所移送的基板排列形成有规定图案的荫罩(shadow mask)后，向装有有机物的i甘祸施加热量，并在基板上蒸镀在坩祸中得到升华的有机物。
[0007]现有技术的真空热蒸镀方法存在如下问题:由于在一个腔室内对一个基板实施蒸镀工序，因此，在基板的移送工序和荫罩的对齐工序中，因中断针对基板的蒸镀工序而增加节拍时间(tack time)。
[0008]并且，在基板的移送工序和荫罩的对齐工序中，也因为有机物在坩祸中持续升华而存在有机物材料受损的问题。
【发明内容】
[0009]本发明要解决的技术问题
[0010]本发明提供能够在一个腔室内对多个基板进行蒸镀工序，而在一个基板的蒸镀工序过程中，对其他基板进行移送工序或对齐工序，从而能够减少节拍时间(tact time)，并能够减少在对基板进行移送工序或对齐工序的过程中发生的有机物材料的损失的蒸发源移送单元、蒸镀装置及利用其的蒸镀方法。
[0011]技术方案
[0012]根据本发明的一实施方式，本发明提供如下的蒸发源移送单元:上述蒸发源移送单元配置于蒸镀腔室的内部，用于移送线形的蒸发源，上述蒸发源移送单元包括:下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道在一个中心点与横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向形成垂直，上述第二轨道在上述中心点与横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向形成垂直，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道;上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动。
[0013]上述移送部可以包括:一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合，上述第一滑动部可以包括:移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合，上述第二滑动部可以包括:移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动;旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及滑动杆，以相对于上述旋转块进行滑动的方式与上述旋转块相结合。
[0014]本发明还可以包括源支架，上述源支架被上述第一滑动部和上述第二滑动部支撑，上述蒸发源能够与上述源支架相结合。
[0015]本发明还可以包括:齿轨，分别向上述下侧轨道及上侧轨道的外侧隔开规定间隔，并沿着上述上侧轨道及上述下侧轨道配置;小齿轮，与上述齿轨相啮合；以及马达部，与上述源支架相结合，用于向上述小齿轮提供旋转力。
[0016]根据本发明的再一实施方式，提供蒸镀装置，上述蒸镀装置包括:蒸镀腔室，被划分为第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，第一基板在一个中心点沿着第一放射方向在上述第一蒸镀区域进行引出引入，第二基板在上述中心点沿着第二放射方向在上述第二蒸镀区域进行引出引入;第一基板装载部，向上述第一放射方向装载并放置上述第一基板;第二基板装载部，向上述第二放射方向装载并放置上述第二基板;蒸发源，与上述第一基板或上述第二基板相向，并喷射蒸发物质；以及蒸发源移送单元，用于移送上述蒸发源，上述蒸发源移送单元包括:下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道与上述第一放射方向形成垂直，上述第二轨道与上述第二放射方向形成垂直，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道;上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动。
[0017]上述移送部可以包括:一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合，上述第一滑动部可以包括:移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合，上述第二滑动部可以包括:移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动;旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及滑动杆，以相对于上述第一放射方向向垂直方向滑动的方式与上述旋转块相结合。
[0018]上述蒸镀装置还可以包括源支架，上述源支架被上述第一滑动部和上述第二滑动部支撑，上述蒸发源能够与上述源支架相结合。
[0019]上述蒸镀装置还可以包括:齿轨，分别向上述上侧轨道的外侧隔开规定间隔，并沿着上述上侧轨道配置;小齿轮，与上述齿轨相啮合；以及马达部，与上述源支架相结合，用于向上述小齿轮提供旋转力。
[0020]根据本发明的另一实施方式，提供如下的蒸镀方法:作为利用上述蒸镀装置来对蒸发物质进行蒸镀的方法，上述蒸镀方法包括:向上述第一蒸镀区域的上述上侧轨道及上述下侧轨道的端部移送上述移送部的步骤；向上述第一放射方向装载上述第一基板，并在上述第一基板装载部放置上述第一基板的步骤;使上述移送部沿着上述第一轨道及上述第三轨道移动，并在上述第一基板蒸镀上述蒸发物质的步骤;与在上述第一基板蒸镀蒸发粒子的步骤一同向上述第二放射方向装载上述第二基板，并在上述第二基板装载部放置上述第二基板的步骤；以及使上述移送部经过曲线的上述第三轨道及上述第五轨道，并沿着上述第二轨道及上述第四轨道移动，并在上述第二基板蒸镀蒸发粒子的步骤。
[0021]本发明在上述第一基板蒸镀蒸发物质的步骤之后，还可以包括:从上述蒸镀腔室引出已完成蒸镀的上述第一基板，并向上述第一放射方向装载新的第一基板，在上述第一基板装载部放置新的第一基板的步骤。
[0022]有益效果
[0023]根据本发明的实施例，能够在一个腔室内对多个基板进行蒸镀工序，而在一个基板的蒸镀工序过程中，对其他基板进行移送工序或对齐工序，从而能够减少节拍时间(tacttime)，并能够减少在对基板进行移送工序或对齐工序的过程中发生的有机物材料的损失。
【附图说明】
[0024]图1为用于说明本发明一实施例的蒸镀装置的结构的横向剖视图。
[0025]图2为用于说明本发明一实施例的蒸镀装置的结构的纵向剖视图。
[0026]图3为简要示出本发明一实施例的蒸发源移送单元的俯视图。
[0027]图4为对图2的A部分进行放大的图。
[0028]图5为简要示出本发明一实施例的蒸发源移送单元的侧视图。
[0029]图6至图8为用于说明本发明一实施例的蒸发源移送单元的工作过程的图。
【具体实施方式】
[0030]本发明能够实施多种变换，并能够具有多种实施例，在附图中例示特定的实施例，并在详细说明中进行详细的说明。但是，这并不用于将本发明限定于特定的实施形态，而是应被理解为包括本发明的思想及技术范围所包含的所有变换技术方案、等同技术方案至替代技术方案。在对本发明进行说明的过程中，在判断对相关的公知技术的具体说明会不必要地混淆本发明的要旨的情况下，省略对此的详细说明。
[0031]以下，参照附图对本发明的蒸发源移送单元及蒸镀装置的实施例进行详细说明，在参照附图进行说明的过程中。对相同或相对应的结构要素赋予相同的附图标记，并省略对此的重复说明。
[0032]图1为用于说明本发明一实施例的蒸镀装置的结构的横向剖视图，图2为用于说明本发明一实施例的蒸镀装置的结构的纵向剖视图。而且，图3为简要示出本发明一实施例的蒸发源移送单元的俯视图。
[0033]在图1至图3中示出了蒸发源移送单元10、蒸镀腔室12、第一蒸镀区域14、第二蒸镀区域16、中心点18、第一放射方向20、第二放射方向22、转移室24、机械臂26、第一基板装载部28、第二基板装载部30、第一基板32、掩膜33、第二基板34、下侧轨道36、上侧轨道38、蒸发源40、第一轨道42、第二轨道44、第三轨道46、第四轨道48、第五轨道50、第六轨道52、移送部54、第一滑动部56、第二滑动部58及源支架60。
[0034]本实施例的蒸镀装置包括:蒸镀腔室12，被划分为第一蒸镀区域14和第二蒸镀区域16，在一个中心点18中，第一基板32沿着第一放射方向20在上述第一蒸镀区域14进行引出引入，在上述中心点18中，第二基板34沿着第二放射方向22在上述第二蒸镀区域16进行引出引入;第一基板装载部28，向上述第一放射方向20装载并放置上述第一基板32;第二基板装载部30，向上述第二放射方向22装载并放置上述第二基板34;蒸发源40，与上述第一基板32或上述第二基板34相向，并喷射蒸发物质；以及蒸发源移送单元10，用于移送上述蒸发源40。而且，上述蒸发源移送单元10包括:下侧轨道36，包括线形的第一轨道42、线形的第二轨道44及曲线的第三轨道46，上述第一轨道42与上述第一放射方向20形成垂直，上述第二轨道44与上述第二放射方向22形成垂直，上述第三轨道46用于连接上述第一轨道42和上述第二轨道44;上侧轨道38，包括线形的第四轨道48、线形的第五轨道50及曲线的第六轨道52，上述第四轨道48与上述第一轨道42相隔开来形成平行，上述第五轨道50与上述第二轨道44相隔开来形成平行，上述第六轨道52用于连接上述第四轨道48和上述第五轨道50;以及移送部54，上述线形的蒸发源40以相对于上述下侧轨道36和上述上侧轨道38形成垂直的方式相结合，上述移送部54沿着上述下侧轨道36道和上述上侧轨道38进行往复移动。
[0035]蒸镀腔室12能够被划分为第一蒸镀区域14和第二蒸镀区域16，并在一个中心点18中，第一基板32沿着第一放射方向20在第一蒸镀区域14进行引出引入，在上述中心点18中，第二基板34沿着第二放射方向22在第二蒸镀区域16进行引出引入。
[0036]蒸镀腔室12作为在其内部对基板进行蒸发物质的蒸镀的地方，上述蒸镀腔室12的内部能够借助真空栗来维持真空状态。在大气压状态下，在形成蒸发物质的情况下，上述蒸镀腔室12的内部也可以维持大气压状态。蒸镀腔室12能够被划分为多个蒸镀区域，以便能够在一个蒸镀腔室12内对多个基板进行蒸镀。在此，蒸发物质意味着在对源物质进行加热时发生汽化或升华后产生的汽状的物质，能够包含对有机物进行加热来获得的汽状的有机物。
[0037]蒸镀区域意味着能够根据蒸发源40的移动来对一个基板执行蒸发物质的蒸镀的虚拟空间，参照图1，通过由图1的一点锁线表示的中心线，蒸镀腔室12能够被划分为第一蒸镀区域14和第二蒸镀区域16。在第一蒸镀区域14中，对第一基板32进行蒸发物质的蒸镀，而在与第一蒸镀区域14相邻的第二蒸镀区域16中，对第二基板34进行蒸发物质的蒸镀。
[0038]第一基板32在一个中心点18沿着第一放射方向20在蒸镀腔室12的第一蒸镀区域14进行引入或引出，第二基板34在上述中心点18沿着第二放射方向22在蒸镀腔室12的第二蒸镀区域16进行引入或引出。即，第一基板32和第二基板34以相对于蒸镀腔室12具有规定的倾斜度的方式进行引入或引出。
[0039]在群集型(clustertype)的蒸镀系统中，基板能够通过与蒸镀腔室12相连接的转移室24内的机械臂26来在蒸镀腔室12内进行引入或引出，而在这种情况下，基板在机械臂26的旋转中心沿着放射方向在蒸镀腔室12进行引出引入，因此，基板能够相对于蒸镀腔室12具有规定的倾斜度来进行引出引入。因此，在第一基板32和第二基板34通过机械臂26来在蒸镀腔室12进行引入或引出的情况下，相对于构成中心点18的机械臂26的旋转中心，第一基板32沿着第一放射方向20在蒸镀腔室12进行引出引入，第二基板34相对于构成中心点18的机械臂26的旋转中心，沿着不同于第一放射方向20的第二放射方向22在蒸镀腔室12进行引出引入。因此，第一放射方向20和第二放射方向22以中心点18为中心形成规定角度。
[0040]只不过，并不局限于第一基板32和第二基板34通过机械臂26来在蒸镀腔室12进行引出引入，在第一基板32和第二基板34在蒸镀腔室12中相互具有倾斜度来进行引出引入的情况下，可以适用本实施例的蒸镀装置。例如，在第一基板32和第二基板34通过两个机械臂26来在蒸镀腔室12进行引出引入的情况下，机械臂26的旋转中心并不构成上述的中心点18，而是由第一基板32和第二基板34的倾斜方向所形成的虚拟的两个倾斜线相遇的点构成中心点18。
[0041]在第一基板装载部28及第二基板装载部30分别装载并放置有第一基板32和第二基板34。在本实施例中，在第一基板装载部28及第二基板装载部30的下部分别附着有第一基板32及第二基板34，以便从蒸发源40向上喷出蒸发物质，从而能够在基板进行蒸发物质的蒸镀。
[0042]若在第一基板装载部28及第二基板装载部30分别装载并放置有第一基板32和第二基板34，则在各个基板装载部中，能够在基板的表面配置有掩膜33，并且，基板和掩膜33能够相互对齐。
[0043]蒸发源移送单元10与线形的蒸发源40相结合，蒸发源40借助蒸发源移送单元10来在第一蒸镀区域14和第二蒸镀区域16之间进行移动，并对基板进行蒸发物质的蒸镀。
[0044]蒸发源移送单元10包括下侧轨道36和上侧轨道38，上述下侧轨道36包括:线形的第一轨道42，与第一放射方向20形成垂直；线形的第二轨道44，与第二放射方向22形成垂直；以及曲线的第三轨道46，用于连接第一轨道42和第二轨道44，上述上侧轨道38包括:线形的第四轨道48，与第一轨道42相隔开来形成平行;线形的第五轨道50，与第二轨道44相隔开来形成平行；以及曲线的第六轨道52，用于连接第四轨道48和第五轨道50。
[0045]下侧轨道36和上侧轨道38相互隔开规定间隔，下侧轨道36和上侧轨道38能够稳定地支撑线形的蒸发源40。随着进行蒸镀的玻璃基板实现大型化，线形的蒸发源40也实现大型化，由此，蒸发源40的重量得到增加。因此，既为了稳定地支撑变重的蒸发源40，又为了顺畅地引导移动，使下侧轨道36和上侧轨道38成为一对。
[0046]下侧轨道36的第一轨道42和上侧轨道38的第四轨道48在第一蒸镀区域14形成直线区间，下侧轨道36的第二轨道44和上侧轨道38的第五轨道50在第二蒸镀区域16形成直线区间。第一蒸镀区域14的直线区间相对于第一放射方向20形成垂直，第二蒸镀区域16的直线区间相对于第二放射方向22形成垂直。由此，第一蒸镀区域14的直线区间和第二蒸镀区域16的直线区间扭曲与第一放射方向20、中心点18、第二放射方向22所形成的角度相对应的角度。因此，需要用于连接直线区间的曲线区间。即，下侧轨道36的第一轨道42和第二轨道44与曲线的第三轨道46相连接，上侧轨道38的第四轨道48和第五轨道50与曲线的第六轨道52相连接。此时，由于下侧轨道36和上侧轨道38的隔开距离，第六轨道52以大于第三轨道46的曲率半径连接第四轨道48和第五轨道50。
[0047]在此，垂直的含义并不意味着几何学或数学中的垂直，而是意味着考虑到加工误差或移送误差的垂直。
[0048]移送部54沿着下侧轨道36和上侧轨道38进行往复移动，线形的蒸发源40以与下侧轨道36和上侧轨道38形成垂直的方式与移送部54相结合。因此，若在线形的蒸发源40以与直线区间形成垂直的方式与移送部54相结合的状态下沿着直线区间移动，则基板从单边方向朝向相向的另一边方向移动，并对整个基板进行蒸镀。
[0049]移送部54在第一蒸镀区域14的下侧轨道36和上侧轨道38的直线区间进行移动，并在经过下侧轨道36和上侧轨道38的曲线区间后，在第二蒸镀区域16的下侧轨道36和上侧轨道38的直线区间进行移动。并且，向反方向在第二蒸镀区域16的下侧轨道36和上侧轨道38的直线区间进行移动，并在经过下侧轨道36和上侧轨道38的曲线区间后，在第一蒸镀区域14的下侧轨道36和上侧轨道38的直线区间进行移动。像这样，移送部54沿着下侧轨道36和上侧轨道38反复进行往返运动。
[0050]以下，对蒸发源移送单元10的各个结构进行仔细观察。
[0051]对利用如上所述的蒸镀装置来对在基板蒸镀蒸发物质的过程如下:首先，向第一蒸镀区域14的上侧轨道38及下侧轨道36的端部移动移送部54。随着移送部54从第一蒸镀区域14向第二蒸镀区域16移动，形成针对基板的蒸镀，因此，向第一蒸镀区域14的上侧轨道38及下侧轨道36的端部(参照图3，第一蒸镀区域14的右侧端部)移动移送部54。
[0052]然后，向第一放射方向20装载第一基板32，并放置于第一基板装载部28。在第一基板32借助机械臂26来放置于蒸镀腔室12的第一基板装载部28的情况下，第一基板32针对构成中心点18的机械臂26的旋转中心沿着第一放射方向20放置于第一基板装载部28。在本步骤中，若第一基板32放置于第一基板装载部28，则在第一基板32的表面配置掩膜33，从而实现第一基板32和掩膜33的对齐。在第一基板32的装载过程中，还可以向第一蒸镀区域14的上侧轨道38及下侧轨道36的端部移动移送部54。
[0053]然后，使移送部54沿着第一轨道42及第三轨道46移动，从而在第一基板32蒸镀蒸发物质。随着使垂直地配置于直线区间的线形的蒸发源40沿着第一蒸镀区域14的下侧轨道36和上侧轨道38的直线区间移动，一边向与第一基板32的单边方向相向的另一边方向移动，一边对整个基板进行蒸镀。
[0054]若结束在第一基板32蒸镀蒸发物质的过程，则从蒸镀腔室12引出完成蒸镀的第一基板32，并向第一放射方向20装载新的第一基板32来放置于第一基板装载部28。
[0055]然后，与在第一基板32蒸镀蒸发粒子的步骤一同向第二放射方向22装载第二基板34来放置于第二基板装载部30。在对第一基板32进行蒸镀工序的过程中，使第二基板34放置于第二基板装载部30，从而能够减少节拍时间，并在对第一基板32进行蒸镀工序的过程中，实现第二基板34的装载，从而能够减少蒸发物质材料的损失。在本步骤中，若第二基板34放置于第二基板装载部30，则将掩膜33配置于第二基板34的表面，并实现第二基板34和掩膜33的对齐。
[0056]在本实施例中，“一同”不仅意味着在时间上相同，而且还意味着针对第一基板32的蒸镀工序和第二基板34的装载工序以重叠的方式实现。
[0057]然后，使移送部54经过曲线的第三轨道46及第五轨道50，并沿着第二轨道44及第四轨道48移动，从而使蒸发粒子蒸镀于第二基板34。移送部54—边经过第一蒸镀区域14的直线区间，一边经过曲线区间，并进入第二蒸镀区域16的直线区间，使得进入第二直线区间的移送部54沿着第二蒸镀区域16的下侧轨道36和上侧轨道38的直线区间移动，由此，从第二基板34的单边方向向相向的另一边方向移动，并实现对整个基板的蒸镀。
[0058]若结束对第二基板34的蒸镀工序，则从蒸镀腔室12向第二放射方向22引出结束蒸发物质的蒸镀的第二基板34，并在第二基板装载部30装载并放置新的第二基板34。若在第二基板装载部30放置新的第二基板34，则与掩膜33相对齐，并为了之后的蒸镀工序而等待备用。
[0059]根据上述的方法，在一个腔室内对多个基板进行蒸镀工序，在对一个基板进行蒸镀工序的过程中，对其他基板进行移送工序或对齐工序，从而能够减少节拍时间(tacttime)，并能够减少对基板进行移送工序或对齐工序的过程中发生的蒸发物质材料的损失。
[0060]以下，对蒸发源移送单元10的各结构进行仔细观察。图4为对图2的A部分进行放大的图，图5为简要示出本发明一实施例的蒸发源移送单元10的侧视图，图6至图8为用于说明本发明一实施例的蒸发源移送单元10的工作过程的图。
[0061]在图4至图8中示出了下侧轨道36、上侧轨道38、第一轨道42、第二轨道44、第三轨道46、第四轨道48、第五轨道50、第六轨道52、移送部54、第一滑动部56、第二滑动部58、源支架60、移动块62、68、旋转块64、70、滑动杆66、齿轨72、小齿轮74及马达部76。
[0062]下侧轨道36包括:线形的第一轨道42，在一个中心点18与横穿蒸镀腔室12的虚拟的第一放射方向20形成垂直;线形的第二轨道44，在中心点18与横穿蒸镀腔室12的虚拟的第二放射方向22形成垂直；以及曲线的第三轨道46，用于连接第一轨道42和第二轨道44。
[0063]上侧轨道38包括:线形的第四轨道48，与第一轨道42相隔开来形成平行;线形的第五轨道50，与第二轨道44相隔开来形成平行；以及曲线的第六轨道52，用于连接第四轨道48和第五轨道50。
[0064]下侧轨道36的第一轨道42和上侧轨道38的第四轨道48形成直线区间，下侧轨道36的第二轨道44和上侧轨道38的第五轨道50在第二蒸镀区域16形成直线区间。
[0065]由第一轨道42和第四轨道48形成的直线区间与虚拟的第一放射方向20形成垂直，由第二轨道44和第五轨道50形成的直线区间与虚拟的第二放射方向22形成垂直。由此，与第一放射方向20相垂直的直线区间和与第二放射方向22相垂直的直线区间扭曲与第一放射方向20、中心点18、第二放射方向22所形成的角度相对应的角度。因此，需要用于连接直线区间的曲线区间。即，下侧轨道36的第一轨道42和第二轨道44与曲线的第三轨道46相连接，上侧轨道38的第四轨道48和第五轨道50与曲线的第六轨道52相连接。此时，由于下侧轨道36和上侧轨道38的隔开距离，第六轨道52以大于第三轨道46的曲率半径连接第四轨道48和第五轨道50。
[0066]曲线的第三轨道46及第六轨道52可以形成完整的曲线轨道或依次连接多个直线轨道来配置成曲线形态。
[0067]移送部54沿着与下侧轨道36和上侧轨道38的第一放射方向20相垂直的直线区间、曲线区间、与第二放射方向22相垂直的直线区间进行往复移动。
[0068]移送部54包括:一对第一滑动部56，分别以沿着下侧轨道36和上侧轨道38进行移动的方式与下侧轨道36和上侧轨道38相向并相结合；以及一对第二滑动部58，分别与一对第一滑动部56相隔开，并以沿着下侧轨道36和上侧轨道38移动的方式与下侧轨道36和上侧轨道38相向并相结合。
[0069]第一滑动部56包括:移动块68，沿着下侧轨道36或上侧轨道38移动；以及旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与移动块68的上侧相结合，第二滑动部58包括:移动块62，沿着下侧轨道36或上侧轨道38移动;旋转块64，以能够向水平方向进行旋转的方式与移动块62的上侧相结合；以及滑动杆66，以相对于上述旋转块64进行滑动的方式与上述旋转块64相结合。
[0070]如图3所示，在本实施例中提出了在每个轨道中以第一滑动部56为中心由两个第二滑动部58配置于两侧的形态。
[0071]第一滑动部56及第二滑动部58的移动块62、68与下侧轨道36和上侧轨道38相结合，并沿着各轨道移动。能够在移动块62、68形成有与轨道的形状相对应的凹槽，并能够在移动块62、68的凹槽插入轨道来防止移动块62、68的脱离。
[0072]第一滑动部56的旋转块70与第一滑动部56的移动块68的上侧相结合，并向水平方向旋转。在移动块68和旋转块70之间结合有圆形的轴承，从而能够使旋转块70相对于移动块68顺畅地进行旋转。
[0073]第二滑动部58的旋转块64也与第二滑动部58的移动块62的上侧相结合来向水平方向进行旋转。
[0074]第二滑动部58的滑动杆66能够与第二滑动部58的旋转块64相结合，并能够相对于旋转块64向水平方向进行往返滑动。在旋转块64和相对于上述旋转块64进行滑动的滑动杆66之间设置有用于向水平方向顺畅地引导直线移动的轴承，从而能够进行稳定的滑动。
[0075]在配置于下侧轨道36和上侧轨道38的第一滑动部56和第二滑动部58中，线形的蒸发源40以相对于下侧轨道36和上侧轨道38形成垂直的方式相结合。本实施例提出设置有额外的源支架60，并在源支架60结合蒸发源40的形态。即，属于在配置于下侧轨道36和上侧轨道38的第一滑动部56和第二滑动部58结合源支架60，并在源支架60结合线形的蒸发源40的形态。
[0076]另一方面，为了使移送部54移动而用于提供驱动力的驱动部可以包括:齿轨72，分别向下侧轨道36及上侧轨道38的外侧隔开规定间隔，并沿着上侧轨道38及上述下侧轨道36配置;小齿轮74，与齿轨72相啮合；以及马达部76，与源支架60相结合，用于向小齿轮74提供旋转力。
[0077]齿轨72在下侧轨道36和上侧轨道38的外侧分别沿着上侧轨道38及上述下侧轨道36配置，并且，各齿轨72与小齿轮74相啮合。用于向小齿轮74提供旋转力的马达等马达部76分别与源支架60的上端和下端相结合，并向小齿轮74提供旋转力。
[0078]配置于下侧轨道36的外侧的驱动部用于控制源支架60的下端的移动，配置于上侧轨道38的外侧的驱动部用于控制源支架60的上端的移动。
[0079]参照图6至图8，对蒸发源移送单元10的工作过程进行说明如下:在蒸发源移送单元10的右侧的直线区间中，移送部54以相同的速度在源支架60的下端和上端移动。而且，如图6所示，将进入曲线区间，而随着位于移送部54的前端的第二滑动部58进入曲线区间，最前端的第二滑动部58的旋转块64进行旋转，并由滑动杆66相对于旋转块64向上进行滑动。此时，下侧轨道36的曲线区间以小的曲率半径形成得较短，上侧轨道38的曲线区间以大的曲率半径形成得较长，因此，与源支架60的下端相比，源支架60的上端以快的速度移动。然后，通过移送部54的持续的移动，位于最前端的第二滑动部58的后端的第一滑动部56的旋转块70进行旋转，并由第一滑动部56进入曲线区间。图7作为示出移送部54位于曲线区间的中央的状态的图，通过移送部54的持续的移动，最后端的第二滑动部58进入曲线区间，最后端的第二滑动部58的旋转块64进行旋转，并且由滑动杆66相对于旋转块64向上进行滑动。然后，如图8所示，随着移送部54的持续的移动，使得最前端的第二滑动部58进入左侧的直线区间，最前端的第二滑动部58的旋转块64进行旋转，并由滑动杆66相对于旋转块64向下滑动，并返回原位置。而且，通过移送部54的持续的移动，位于最前端的第二滑动部58的后端的第一滑动部56的旋转块70进行旋转，并由第一滑动部56进入直线区间。而且，通过移送部54的持续的移动，最后端的第二滑动部58进入直线区间，并由最后端的第二滑动部58的旋转块64进行旋转，由滑动杆66相对于旋转块64向下滑动，并返回原位置。若完全进入左侧的直线区间，则各个旋转块64、70和滑动杆66返回原位置，并且，移送部54沿着左侧的直线区间移动。如上所述，当移送部54经过曲线区间时，需要使移送部54的下端和上端的移动速度及移动距离变得不同，因此，分别与移送部54的下端和上端相结合的驱动部能够调节移送部54的下端和上端的移动速度及移动距离。
[0080]以上，虽然参照本发明的特定的实施例来进行了说明，但只要是本发明所属技术领域的普通技术人员就可以理解在不脱离发明要求保护范围所记载的本发明的思想及技术领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。
[0081]本发明的发明要求保护范围内存在除所述实施例之外的多个实施例。
【主权项】
1.一种蒸发源移送单元，配置于蒸镀腔室的内部，用于移送线形的蒸发源，上述蒸发源移送单元的特征在于，包括: 下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道在一个中心点与横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向形成垂直，上述第二轨道在上述中心点与横穿上述蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向形成垂直，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道； 上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及 移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动。2.根据权利要求1所述的蒸发源移送单元，其特征在于， 上述移送部包括: 一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及 一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合， 上述第一滑动部包括: 移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及 旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合， 上述第二滑动部包括: 移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动； 旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及 滑动杆，以相对于上述旋转块进行滑动的方式与上述旋转块相结合。3.根据权利要求2所述的蒸发源移送单元，其特征在于， 还包括源支架，上述源支架被上述第一滑动部和上述第二滑动部支撑， 上述蒸发源与上述源支架相结合。4.根据权利要求4所述的蒸发源移送单元，其特征在于，还包括: 齿轨，分别向上述下侧轨道及上侧轨道的外侧隔开规定间隔，并沿着上述上侧轨道及上述下侧轨道配置； 小齿轮，与上述齿轨相啮合；以及 马达部，与上述源支架相结合，用于向上述小齿轮提供旋转力。5.一种蒸镀装置，其特征在于，包括: 蒸镀腔室，被划分为第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，第一基板在一个中心点沿着第一放射方向在上述第一蒸镀区域进行引出引入，第二基板在上述中心点沿着第二放射方向在上述第二蒸镀区域进行引出引入； 第一基板装载部，向上述第一放射方向装载并放置上述第一基板； 第二基板装载部，向上述第二放射方向装载并放置上述第二基板； 蒸发源，与上述第一基板或上述第二基板相向，并喷射蒸发物质；以及 蒸发源移送单元，用于移送上述蒸发源， 上述蒸发源移送单元包括: 下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，上述第一轨道与上述第一放射方向形成垂直，上述第二轨道与上述第二放射方向形成垂直，上述第三轨道用于连接上述第一轨道和上述第二轨道； 上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，上述第四轨道与上述第一轨道相隔开来形成平行，上述第五轨道与上述第二轨道相隔开来形成平行，上述第六轨道用于连接上述第四轨道和上述第五轨道；以及 移送部，上述线形的蒸发源以相对于上述下侧轨道和上述上侧轨道形成垂直的方式相结合，上述移送部沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道进行往复移动。6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于， 上述移送部包括: 一对第一滑动部，分别以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合；以及 一对第二滑动部，分别与上述一对第一滑动部相隔开，并以沿着上述下侧轨道和上述上侧轨道移动的方式与上述下侧轨道和上述上侧轨道相向并相结合， 上述第一滑动部包括: 移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动；以及 旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合， 上述第二滑动部包括: 移动块，沿着上述下侧轨道或上述上侧轨道移动； 旋转块，以能够向水平方向进行旋转的方式与上述移动块的上侧相结合；以及 滑动杆，以相对于上述第一放射方向向垂直方向滑动的方式与上述旋转块相结合。7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于， 还包括源支架，上述源支架被上述第一滑动部和上述第二滑动部支撑， 上述蒸发源与上述源支架相结合。8.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括: 齿轨，分别向上述上侧轨道的外侧隔开规定间隔，并沿着上述上侧轨道配置； 小齿轮，与上述齿轨相啮合；以及 马达部，与上述源支架相结合，用于向上述小齿轮提供旋转力。9.一种蒸镀方法，利用根据权利要求5所述的蒸镀装置来对蒸发物质进行蒸镀，上述蒸镀方法的特征在于，包括: 向上述第一蒸镀区域的上述上侧轨道及上述下侧轨道的端部移送上述移送部的步骤；向上述第一放射方向装载上述第一基板，并在上述第一基板装载部放置上述第一基板的步骤； 使上述移送部沿着上述第一轨道及上述第三轨道移动，并在上述第一基板蒸镀上述蒸发物质的步骤； 与在上述第一基板蒸镀蒸发粒子的步骤一同向上述第二放射方向装载上述第二基板，并在上述第二基板装载部放置上述第二基板的步骤;以及 使上述移送部经过曲线的上述第三轨道及上述第五轨道，并沿着上述第二轨道及上述第四轨道移动，并在上述第二基板蒸镀蒸发粒子的步骤。10.根据权利要求9所述的蒸镀方法，其特征在于， 在上述第一基板蒸镀蒸发物质的步骤之后，还包括: 从上述蒸镀腔室引出已完成蒸镀的上述第一基板，并向上述第一放射方向装载新的第一基板，在上述第一基板装载部放置新的第一基板的步骤。
【文档编号】C23C14/24GK105874096SQ201380081651
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2013年12月16日
【发明人】尹钟甲
【申请人】铣益系统有限责任公司