一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子的利记博彩app
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种刷子，尤其是涉及一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子。
【背景技术】
[0002] 硅片进行有蜡抛光后，需用用刷子对抛光垫进行刷洗，以防止抛光液在抛光垫上 长时间滞留而形成结晶，而结晶会对硅片产生损伤，降低抛光质量。另外，对抛光垫进行 刷洗有助于其表面结构的回复，延长了抛光垫的使用寿命，也保证了硅片抛光效果的一致 性。现有的刷子是设备自带的一小型刷子，每次抛光完成后会自动对抛光垫进行刷洗，但其 不能彻底清除抛光垫表面空隙中残余的抛光液和细微的结晶，不利于抛光垫表面结构的回 复。另外，由于自带刷子尺寸较小，刷洗过程中使得抛光垫受力不均，这会对抛光垫的表面 状态产生一定影响。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的是提供一种结构简单、提高抛光质量的有蜡抛光的抛光垫专用刷 子。
[0004] 本发明的技术方案是：一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，包括圆盘状的刷体，所述 刷体的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体的底面分布有刷毛，所述刷毛呈环形分布。
[0005] 优选地，所述刷体的材质为聚氯乙烯，所述刷毛的材质为尼龙。
[0006] 优选地，所述刷体的直径为48cm，厚度为3cm，所述刷毛的长度为I. 5cm。
[0007] 本发明具有的优点和积极效果是：
[0008] 由于采用上述技术方案，保持了抛光垫的洁净，保持了抛光速率和抛光质量，也提 高了抛光垫的使用寿命。由此可见，本方案的使用提高了产品的合格率和生产效率，同时减 低了能耗，节约了成本，提高了效益。
【附图说明】
[0009] 图1是本发明的结构示意图；
[0010] 图2是本发明的仰视图；
[0011] 图3是本发明的俯视图。
【具体实施方式】
[0012] 下面结合附图及【具体实施方式】对本发明作进一步说明。
[0013] 如图1至图3所示，本发明包括圆盘状的刷体1，所述刷体1的顶面带有若干凹陷， 所述刷体1的底面分布有刷毛2,所述刷毛2呈环形分布。
[0014] 所述刷体1的材质为聚氯乙烯，所述刷毛2的材质为尼龙。
[0015] 所述刷体1的直径为48cm，厚度为3cm，所述刷毛2的长度为I. 5cm。
[0016] 使用时，将本发明放置在待清洁的抛光垫上，将机械臂与本发明的顶面相连接(可 以通过吸附的方式连接)，带动本发明以一定的运动轨迹运动，对旋转的抛光垫进行清洗。 本发明对抛光垫上的抛光液和结晶清洁得更为彻底，而且有助于抛光垫表面绒孔结构的回 复，有助于延长抛光垫的使用寿命和抛光质量的提高。
[0017] 实验一：选择200片相同的6寸娃片进行试验，晶向〈111>，拉晶方式：FZ，掺杂兀 素：P，厚度：630632iim。下表为使用本发明前后检测项的数值。
【主权项】
1. 一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于：包括圆盘状的刷体（1)，所述刷体 (1)的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体（1)的底面分布有刷毛（2)，所述刷毛（2)呈环形 分布。
2. 根据权利要求1所述的有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于：所述刷体（1)的材 质为聚氯乙烯，所述刷毛（2)的材质为尼龙。
3. 根据权利要求1或2所述的有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于：所述刷体（1) 的直径为48cm，厚度为3cm，所述刷毛（2)的长度为I. 5cm。
【专利摘要】本发明提供一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，包括圆盘状的刷体，所述刷体的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体的底面分布有刷毛，所述刷毛呈环形分布，所述刷体的材质为聚氯乙烯，所述刷毛的材质为尼龙。本发明的有益效果是：由于采用上述技术方案，保持了抛光垫的洁净，保持了抛光速率和抛光质量，也提高了抛光垫的使用寿命。由此可见，本方案的使用提高了产品的合格率和生产效率，同时减低了能耗，节约了成本，提高了效益。
【IPC分类】B24B53-017
【公开号】CN104690648
【申请号】CN201310661231
【发明人】张宇, 王力, 石明, 曲涛, 李翔
【申请人】天津中环领先材料技术有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2013年12月5日