沉积装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明的实施例涉及沉积装置。
【背景技术】
[0002]在显示装置中，有机发光显示装置不仅具有宽视角、优秀的对比度而且还具有快速的响应速度，因此作为次世代显示装置而备受瞩目。
[0003]有机发光显示装置具有中间层，该中间层包括彼此相对的第一电极和第二电极以及置于第一电极与第二电极之间的发光层。此时，可以以多种方法形成所述电极和中间层，其中的一种方法为独立沉积方式。为了使用沉积方法制造有机发光显示装置，将精细金属掩模(fine metal mask，简称为FMM)粘附到待形成有机层的基板面上，然后通过沉积有机层等的材料以形成预定图案的有机层，其中精细金属掩模具有与待形成的有机层等的图案相同的图案。
[0004]上述的【背景技术】为发明人以推导本发明为目的而保有的技术信息、或者为在推导本发明的过程中所获得的技术信息，其并不一定属于在申请本发明之前已经向公众公开的公知技术。
【发明内容】
[0005]本发明的实施例提供了沉积装置。
[0006]本发明的一实施例涉及用于将薄膜沉积到基板上的沉积装置，所述沉积装置包括:第一加载部，用于将所述基板与用于沉积第一图案层的掩模进行结合；第一沉积单元，与所述第一加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第一沉积部和用于传送所述基板的第一传送部；以及第一卸载部，与所述第一沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述用于沉积第一图案层的掩模进行分离，其中所述第一传送部沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。
[0007]在本实施例中，所述沉积装置还可以包括:第一返回部，用于将在所述第一卸载部中被分离的所述用于沉积第一图案层的掩模传送到第一加载部。
[0008]在本实施例中，可以以“U”字形态形成所述第一传送部。
[0009]在本实施例中，所述第一返回部的长度可以小于所述第一传送部的长度。
[0010]在本实施例中，所述沉积装置还可以包括:第二加载部，用于将所述基板与第二图案层沉积用掩模进行结合；第二沉积单元，与所述第二加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第二沉积部和用于传送所述基板的第二传送部；以及第二卸载部，与所述第二沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述第二图案层沉积用掩模进行分离，其中所述第二传送部可以沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。
[0011]在本实施例中，所述沉积装置还可以包括:第二返回部，用于将在所述第二卸载部中被分离的所述第二图案层沉积用掩模传送到第二加载部。
[0012]在本实施例中，所述沉积装置还可以包括:第一连接部，用于连接所述第一卸载部与所述第二加载部。
[0013]在本实施例中，所述沉积装置还可以包括:第三加载部，用于将所述基板与第三图案层沉积用掩模进行结合；第三沉积单元，与所述第三加载部相连，并且包括用于喷射沉积物质的第三沉积部和用于传送所述基板的第三传送部；以及第三卸载部，与所述第三沉积单元相连，并且用于将所述基板与所述第三图案层沉积用掩模进行分离，其中所述第三传送部可以沿着第一方向传送所述基板，之后沿着与所述第一方向不同的第二方向传送所述基板，然后再沿着与所述第一方向和第二方向不同的第三方向传送所述基板。
[0014]在本实施例中，所述沉积装置还可以包括:第三返回部，用于将在所述第三卸载部中被分离的所述第三图案层沉积用掩模传送到第三加载部。
[0015]在本实施例中，所述沉积装置还可以包括:第二连接部，用于连接所述第二卸载部与所述第三加载部。
[0016]在本实施例中，所述第一方向与所述第二方向可以实际上垂直。
[0017]在本实施例中，可以由多个腔室构成所述第一传送部，所述腔室是可分离的。
[0018]在本实施例中，第一沉积部可以包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质。
[0019]在本实施例中，第二沉积部可以包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质，其中所述沉积物质与用于在所述第一沉积部中形成层的沉积物质不同。
[0020]在本实施例中，第三沉积部可以包括用于形成红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层中任一种层的沉积物质，其中所述沉积物质与用于在所述第一沉积部和所述第二沉积部中形成层的沉积物质不同。
[0021]通过下面的附图、所附权利要求书和发明的详细说明，上述方面、特征和效果以外的其他方面、特征和效果将变得明确。
[0022]通过本发明实施例的沉积装置，可以改善空间效率和制造效率。
【附图说明】
[0023]图1是根据本发明一实施例的沉积装置的系统结构的简要平面示意图。
[0024]图2是图1的第一沉积部的系统结构的简要立体示意图。
[0025]图3是图1的第一沉积部的系统结构的简要概念示意图。
[0026]图4是根据本发明另一实施例的沉积装置的系统结构的简要平面示意图。
[0027]图5是使用图1的沉积装置制造的有源矩阵型有机发光显示装置的局部剖面图。
[0028]附图标记说明
[0029]5:图案层沉积用掩模50:基板
[0030]100、100'丨:第一沉积组件110:第一加载部
[0031]120:第一沉积单元130:第一传送部
[0032]134:旋转部
[0033]135'、235'、335':延伸沉积单元
[0034]140:第一沉积部150:第一卸载部
[0035]160:第一返回部200、20(V:第二沉积组件
[0036]210:第二加载部220:第二沉积单元
[0037]230:第二传送部240:第二沉积部
[0038]250:第二卸载部260:第二返回部
[0039]300、300':第三沉积组件 310:第三加载部
[0040]320:第三沉积单元330:第三传送部
[0041]340:第三沉积部350:第三卸载部
[0042]360:第三返回部1000，2000:沉积装置
【具体实施方式】
[0043]本发明可以有多种变形并且可以具有多种实施例，其中将特定实施例图示在附图中并通过详细说明对特定实施例进行了说明。通过参照附图以及详细后述的实施例，可以明确本发明的效果和特征、以及实现该效果和特点的方法。但是本发明并不限定于下面所公开的实施例，而是可以以多种形态实施本发明。在下面的实施例中，“第一”、“第二”等术语并不具有限定性含义，其使用目的在于将一个构件区别于另一构件。此外，除非另有明确说明，则单数的表述包括复数的表述。此外，“包括”或“具有”等术语是指存在说明书中所记载的特征或构件，而不是提前排除了附加一个以上的其他特征或构件的可能性。此外，在附图中为了便于说明，构件的大小可以被放大或缩小。例如，为了便于说明，可以以任意地示出了附图的各构件的大小和厚度，且本发明并不是必须限定于附图所示的情形。
[0044]下面将参照附图对本发明的实施例进行详细说明，其中对于相同或对应的构件赋予了相同的附图标记，并且将省略对此进行的重复说明。
[0045]图1是根据本发明一实施例的沉积装置的系统结构的简要平面示意图，图2是图1的第一沉积部的系统结构的简要立体示意图，图3是图1的第一沉积部的系统结构的简