液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）制程，其包含瓶体、进气管、出气管及加料口。瓶体具有预定容积的容置空间，进气管密闭的穿设于瓶体的顶部，进气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端位于容置空间内，且位于容置空间的底部。出气管密闭的穿设于瓶体的顶部，出气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端固定于瓶体的壁面上。加料口设置于瓶体的顶部，且位于进气管及出气管之间。本实用新型可有效延长三甲基镓的使用时间，减少更换次数，从而提高MOCVD机台的量产能力，提高三甲基镓的利用率，降低使用成本。同时，还可降低液体高纯金属有机化合物三甲基镓的制造和包装成本。
【专利说明】液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器
【技术领域】
[0001]本实用新型是有关于一种应用于有机金属化学气相沉积技术(MOCVD)的容器，特别是指一种因有机金属化学气相沉积技术的制程设备大型化而改进的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器。
【背景技术】
[0002]高纯三甲基镓是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)过程中生长光电子材料的重要原料，三甲基镓广泛地应用于生长氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)、磷化铝镓铟(AlGaInP)等化合物半导体薄膜材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。因此，MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天技术等多个领域，是一项高新材料生产技术。纯净的三甲基镓在室温下为液体，具有很高的化学活性，遇空气自燃，遇水则发生爆炸，用于金属有机化学气相沉积技术时需要将其封装在特制的钢瓶内，然后通过控制钢瓶温度，再通过持续流动的载气将所述温度下的三甲基镓饱和蒸气压带入光电子材料生长系统。
[0003]然而，随着金属有机化学气相沉积技术的的日益成熟与发展，应用于金属有机化学气相沉积技术的生产设备也逐渐大型化。现行的三甲基镓封装容器大多为4kg以下的规格，此类规格封装容器在使用时存在一些问题，主要有:1、此类封装容器容积相对较小，单位容积的加工成本较高，从而造成MO源制造商的三甲基镓包装成本居高不下；2、此类封装容器可装入高纯三甲基镓的量较少，应用于大型设备时(如Veeco的Max Bright),单瓶使用周期只有20天左右，因此需要较频繁的更换MO源封装容器，更换MO源封装容器会造成数小时的停机时间，降低MOCVD设备的量产能力，增加更换MO源时由于人员误操作导致的事故发生的几率；3、由于每只封装容器都会有少量昂贵的MO源残留而不能被完全使用，对于大型设备MO源消耗量大，此情况尤为突出。因此，所属领域中一直期待着可针对设备大型化而量身定制的液体高纯金属有机化合物封装容器的出现。
[0004]综观前所述，本实用新型的创作人思索并设计一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，经多年苦心潜心研究，以针对现有技术的缺失加以改善，进而增进产业上的实施利用。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，以解决使用MO源时需经常更换造成成本较高和制造MO源时包装成本较高的问题。
[0006]本实用新型的技术方案是:一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积制程的大型设备，其包含了一瓶体、一进气管、一出气管及一加料口。瓶体具有一容置空间，且容置空间的容积为13?15升。进气管密闭的穿设于瓶体的顶部，进气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端位于容置空间内，且位于邻近容置空间的底部。出气管密闭的穿设于瓶体的顶部，出气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端固定于瓶体的壁面上。加料口设置于瓶体的顶部，且位于进气管及出气管的间。
[0007]较佳地，容置空间的总容积可为15升，三甲基镓的填装量为12升，为容置空间的总容积的百分之八十。
[0008]较佳地，瓶体的外径可为250~270_。
[0009]较佳地，瓶体的外径可为260mm。
[0010]较佳地,瓶体的高度可为345~365mm。
[0011]较佳地,瓶体的高度可为355mm。
[0012]较佳地，还包含一底座，其设置于瓶体的底部。
[0013]较佳地，还可包含一提把模块，其设置于瓶体的顶部。
[0014]较佳地，提把模块可包含复数个连接杆及一弧状提把，连接杆的一端固设于瓶体的顶部，连接杆的另一端固设于弧状提把。
[0015]较佳地，各连接杆的中心与瓶体的中心可连成一假想线，且各假想线的夹角可为120 度。
[0016]较佳地，弧状提把可为C字型结构。
[0017]较佳地，进气管的管路上更设有一进气阀，出气管的管路上更设有一出气阀。
[0018]较佳地，液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器供容置纯度大于或等于99.9999%的三甲基镓。
[0019]较佳地，进气管的一端、出气管的一端及加料口可分别设置有一 VCR接头。
[0020]本实用新型的有益效果是:本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器藉由针对金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)的制程设备逐渐的大型化，以设定配置对应的预定容积的瓶体结构，故有效的降低了制造MO源的单位包装成本，延长了金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)的大型化制程设备的三甲基镓的使用时间，藉此，可有效减少生产线上更换三甲基镓封装容器所消耗的时间，提高三甲基镓的使用效率，从而有效地减少资源的浪费。
[0021]【【专利附图】
【附图说明】】
[0022]图1为本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的剖视图。
[0023]图2为本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的俯视图。
[0024]其中:1:液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器；
[0025]10:瓶体；
[0026]11:容置空间；
[0027]12:瓶体的顶部；
[0028]13:瓶体的底部；
[0029]20:进气管；
[0030]21:进气管的一端；
[0031]22:进气管的另一端；
[0032]23:进气阀；
[0033]30:出气管；
[0034]31:出气管的一端；
[0035]32:出气管的另一端；[0036]33:出气阀；
[0037]40:加料口；
[0038]50:底座；
[0039]60:提把模块；
[0040]61:连接杆；
[0041]62:弧状提把。
[0042]【【具体实施方式】】
[0043]为利贵审查员了解本实用新型的技术特征、内容与优点及其所能达成的功效，兹将本实用新型配合附图，并以实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的图式，其主旨仅为示意及辅助说明之用，未必为本实用新型实施后的真实比例与精准配置，故不应就所附的图式的比例与配置关系解读、局限本实用新型于实际实施上的权利范围，合先叙明。
[0044]以下将参照相关图式，说明依本实用新型液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的实施例，为使便于理解，下述实施例中的相同元件以相同的符号标示来说明。
[0045]请一并参阅图1及图2，其为本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的剖视图及俯视图。
[0046]如图所示，本实 用新型揭示一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其为针对金属有机化学气相沉积制程的设备的逐渐大型化而量身定制。液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I包含了一瓶体10、一进气管20、一出气管30及一加料口 40。其中瓶体IO具有一容置空间11，且容置空间11具有一总容积，其为13~15公升(L )，而瓶体10的罐装量为其总容积的百分之八十。较佳地，瓶体10的罐装量(即容置空间11的总容积)可为15公升，而此时，瓶体10的罐装量即为12公升。进气管20密闭的穿设于瓶体10的顶部12，进气管20的一端21显露于瓶体10外，而进气管20的另一端22则位于容置空间11内，且较佳地，进气管20的另一端22位于邻近容置空间11的底部。出气管30同样地密闭的穿设于瓶体10的顶部12，出气管30的一端31同样地显露于瓶体10外，而进气管30的另一端则固定于瓶体10的顶部12的壁面上。加料口 40设置于瓶体10的顶部12，且位于进气管20及出气管30之间，而当俯视观之本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I时，进气管20、出气管30及加料口 40三者可连成一假想三角形形状，如图2所示。
[0047]其中特别需要说明的是，进气管20的一端21、出气管30的一端31及加料口 40上可设置有一接头，即如图所绘示，且其较佳为VCR接头。藉此，可使进气管20的一端21、出气管30的一端31利于与金属有机化学气相沉积制程所使用的载气气路进行连接，而加料口 40亦利于与添加液体高纯金属有机化合物的管路连接。
[0048]另外，在瓶体10的外部下方可配置有一底座50，其中底座50与瓶体10的底部13可藉由螺丝或卡槽等多种便于拆卸及组装的方式进行固定组装，从而使瓶体10与底座50连接而形成一个整体。其中，底座50可有效及稳定的承载其上方各元件的重量，并可防止使用过程中外部产生的冷冻液靠近或接触到瓶体10的底部13。
[0049]而瓶体的顶部12亦可设置一提把模块60，其中提把模块60包含了多个连接杆61及可为C字型结构的一弧状提把62。连接杆61位于弧状提把62与瓶体10之间。也就是说连接杆61的一端固设于瓶体10的顶部12，而其另一端则连接于弧状提把62。较佳地，多个连接杆61配置于瓶体10的顶部12邻近外缘处，且若各连接杆61的中心与瓶体10的中心连成一假想线时，则各假想线的夹角可为120度。藉由提把模块60的配置，可供生产线上的作业人员稳定的及便利的提取或搬运液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I。
[0050]为了对应于容置空间11的预定容积，瓶体10的外径可设置为250?270mm，较佳地，可为260mm,而其高度则可设置为345?365mm,较佳地,可为355mm。而液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I整体的高度(由底座50底面至弧形提把62的顶面)可为515_。藉此，在增加了容积的情况下，亦不占据过多的空间。
[0051]本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I于具体应用时，可藉由加料口 40加入液体高纯金属有机化合物，三甲基镓，其纯度可大于或等于99.9999% ；添加完成后，通过进气管20及出气管30将液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I接入金属有机化学气相沉积制程所使用的载气气路中，而载气可为氢气、氮气、氩气或氦气。同时通过恒温槽以控制钢瓶温度。再分别开启设置于进气管20的管路上的进气阀23及设置于出气管30的管路上的出气阀33，从而使三甲基镓的饱和蒸气随载气流入金属有机化学气相沉积的制程中，以生长出化合物半导体薄膜材料等。
[0052]综上所述，本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其整体的结构简单，且制作、安装或运输均方便。再者，本实用新型的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器针对金属有机化学气相沉积的大型设备所配置的恒温槽量身定制的预定容积(15L)的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其有效地延长了机台三甲基镓的使用时间，当在Veeco MaxBright机型两个反应腔体满负荷的运转状态下，其可持续使用两个月以上，方需进行更换。藉此，可大大地减少更换时间，而使生产成本大大地降低，经济效益显著，具有良好的实际应用意义。
[0053]以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本实用新型的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于后附的权利要求书中。
【权利要求】
1.一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积制程的大型设备，其特征在于，所述的封装容器包含: 瓶体，其具有容置空间，且所述容置空间的总容积为13?15升； 进气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述进气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端位于所述容置空间内，且位于邻近所述容置空间的底部； 出气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述出气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端固定于所述瓶体的壁面上；以及 加料口，设置于所述瓶体的顶部，且位于所述进气管及所述出气管之间。
2.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述容置空间的总容积为15升，三甲基镓的填装量为12升，为所述容置空间的总容积的百分之八十。
3.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的外径为250?270mm。
4.根据权利要求2所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的外径为260mm。
5.根据权利要求3所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的高度为345?365mm。
6.根据权利要求4所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的高度为355mm。
7.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，还包含一底座，其设置于所述瓶体的底部。
8.根据权利要求7所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，还包含一提把模块，其设置于所述瓶体的顶部。
9.根据权利要求8所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述提把模块包含多个连接杆及一弧状提把，各所述连接杆的一端固设于所述瓶体的顶部，所述连接杆的另一端固设于所述弧状提把。
10.根据权利要求9所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，各所述连接杆的中心与所述瓶体的中心连成一假想线，且各所述假想线的夹角为120度。
11.根据权利要求9所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述弧状提把为C字型结构。
12.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述进气管的管路上更设有一进气阀，所述出气管的管路上更设有一出气阀。
13.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述封装容器供容置纯度为大于或等于99.9999%的液体高纯金属有机化合物三甲基镓。
14.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述进气管的一端、出气管的一端及加料口分别设置有一 VCR接头。
【文档编号】C23C16/18GK203797323SQ201420117358
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年3月17日 优先权日:2014年3月17日
【发明者】吕宝源, 沈斌, 韦锦昊, 单一菁, 陆平, 王萍, 高磊 申请人:江苏南大光电材料股份有限公司