一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型公开了一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，包括机体，所述机体内设有蒸镀室，所述蒸镀室下方设有蒸发室，所述蒸发室下方设有油浴箱，工件架设置于蒸镀室内，真空系统由高真空阀、滑阀泵、扩散泵、油增压泵、机械泵组成，所述电气控制系统，对上述组件供电和控制，所述设置于机体外部设置有控制柜及变压器。本实用新型所述的一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，蒸镀效果好、官能团固定稳定、操作方便，且带有自动控温系统，减少了人力、物力。
【专利说明】一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空蒸镀设备，具体的说是涉及一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]医药诊断用生物芯片的制备过程中，为了达到多样品点检查的目的，需在生物芯片基片表面修饰上一层高密度官能团的官能团。为了达到这一目的，就产生了真空蒸镀这一方法。在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。
实用新型内容
[0003]实用新型的目的:为了解决现在有技术的不足，本实用新型提供了一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备。
[0004]技术方案:一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，包括机体，所述机体内设有蒸镀室，所述蒸镀室下方设有蒸发室，所述蒸发室下方设有油浴箱，工件架设置于蒸镀室内，真空系统由高真空阀、滑阀泵、扩散泵、油增压泵、机械泵组成，所述电气控制系统，对上述组件供电和控制，所述设置于机体外部设置有控制柜及变压器。
[0005]作为优选，所述蒸镀室和蒸发室由保护玻璃管道相连。
[0006]作为优选，所述油浴箱内装有硅油，且带探温针的自动控温加热系统。
[0007]作为优选，所述工件架底部有四个滑轮，所述蒸镀室内设置有卡轮装置。
[0008]作为优选，所述真空系统设置于机体内、蒸镀室外，真空系统和蒸镀室之间由管道连接。
[0009]作为优选，所述电气控制系统中连接有所有组件的线路，电源开关设置于箱体的前方，风门调节旋钮设置于箱体顶部，且全由电气控制系统控制。
[0010]有益效果:本实用新型中的真空蒸镀设备，蒸镀效果好、官能团固定稳定、操作方便，且带有自动控温系统，减少了人力、物力。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型中真空系统结构示意图；
[0012]图2为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]实施例:
[0014]如图1、2所示，一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，包括机体7，所述机体7内设有蒸镀室8，所述蒸镀室8下方设有蒸发室9，所述蒸发室9下方设有油浴箱10，工件架11设置于蒸镀室8内，真空系统14由高真空阀2、滑阀泵1、扩散泵4、油增压泵5、机械泵6组成，所述电气控制系统16，对上述组件供电和控制，所述设置于机体7外部设置有控制柜17及变压器18 ;所述蒸镀室8和蒸发室9由保护玻璃管道12相连；所述油浴箱10内装有硅油19，且带探温针20的自动控温加热系统21 ;所述工件架11底部有四个滑轮22，所述蒸镀室8内设置有卡轮装置23 ;所述真空系统14设置于机体7内、蒸镀室8外，真空系统14和蒸镀室8之间由管道15连接；所述电气控制系统16中连接有所有组件的线路，电源开关24设置于箱体的前方，风门调节旋钮13设置于箱体顶部，且全由电气控制系统16控制。
[0015]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出:对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，其特征在于:包括机体(7)，所述机体(7)内设有蒸镀室(8)，所述蒸镀室(8)下方设有蒸发室(9)，所述蒸发室(9)下方设有油浴箱(10)，工件架(11)设置于蒸镀室⑶内，真空系统(14)由高真空阀(2)、滑阀泵⑴、扩散泵(4)、油增压泵(5)、机械泵(6)组成，还包括电气控制系统(16)，所述机体(7)外部设置有控制柜(17)及变压器(18)。
2.根据权利要求1所述的一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，其特征在于:所述蒸镀室(8)和蒸发室(9)由保护玻璃管道(12)相连。
3.根据权利要求1所述的一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，其特征在于:所述油浴箱(10)内装有硅油(19)，且带探温针(20)的自动控温加热系统(21)。
4.根据权利要求1所述的一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，其特征在于，所述工件架(11)底部有四个滑轮(22)，所述蒸镀室(8)内设置有卡轮装置(23)。
5.根据权利要求1所述的一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，其特征在于:所述真空系统(14)设置于机体(7)内、蒸镀室(8)外，真空系统(14)和蒸镀室(8)之间由管道(15)连接。
6.根据权利要求1所述的一种生物芯片用玻璃基片表面真空蒸镀设备，其特征在于:所述电气控制系统(16)中连接有所有组件的线路，电源开关(24)设置于箱体的前方，风门调节旋钮(13)设置于箱体顶部，且全由电气控制系统(16)控制。
【文档编号】C23C14/24GK203754798SQ201420039236
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年1月22日 优先权日:2014年1月22日
【发明者】朱鹏 申请人:南通天盛新能源科技有限公司