一种掩模板硬质框架载台及其调整方法
【专利摘要】本发明公开了一种掩模板硬质框架载台及其调整方法，载台包括基架、顶起机构、调平机构、支撑板以及定位机构，本发明为掩模板组装过程提供一个硬质框架的承载平台，该承载平台具有较强的机动性及实用性，能够较好的满足掩模板高精度组装的要求。
【专利说明】一种掩模板硬质框架载台及其调整方法
【技术领域】
[0001]本发明属于OLED掩模板组装领域，涉及一种掩模板硬质框架载台及其调整方法。
[0002]
【背景技术】
[0003]有机发光显示器(Organic Light-Emitting D1de,简称0LED)是下一代的显示技术，与目前使用的液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称IXD)显示技术相比,具有可视角大，色彩艳丽，功耗低等优点，会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。
[0004]在OLED显示器面板的制作过程中，其中有机层的沉积会使用到掩模板，图1所示为采用掩模板蒸镀有机材料的示意图。掩模板10由于比较薄，在蒸镀前会通过焊接等工艺组装到硬质框架11上，图2所示为将掩模板10固定于硬质框架上的平面示意图。蒸镀时，掩模板10借助硬质框架11固定在支撑台12上，蒸镀源13中的有机材料通过蒸发扩散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置设置有开口 100，有机材料通过开口 100沉积在沉积基板14上对应的位置处，形成有机沉积层。
[0005]为了提高OLED显示器面板的生产效率，需要将掩模板的尺寸做大，由于掩模板上开口的位置精度为掩模板的关键质量参数，增大掩模板的尺寸对掩模板组装到硬质框架的要求越来越高；另外，由于掩模板的尺寸做大，用于固定掩模板的硬质框架质量越来越重，纯人工装载、调节愈发受到限制。
[0006]基于此，业界亟需一种能够较好解决以上问题的技术方案。
【发明内容】
[0007]根据本专利【背景技术】中所述，为了提高OLED显示器面板的生产效率，需要将掩模板的尺寸做大，由于掩模板上开口的位置精度为掩模板的关键质量参数(掩模板上开口的位置精度直接影响其蒸镀有机材料的质量)，增大掩模板的尺寸对掩模板组装到硬质框架的要求越来越高；另外，由于掩模板的尺寸做大，用于固定掩模板的硬质框架质量越来越重，纯人工装载、调节愈发受到限制。
[0008]有鉴于此，本发明提供了一种掩模板硬质框架载台，旨在为掩模板组装过程提供一个硬质框架的承载平台，该承载平台具有较强的机动性及实用性，能够较好的满足掩模板高精度组装的的要求。
[0009]本发明提供的一种掩模板硬质框架载台具体方案如下，该载台包括:基架、顶起机构、调平机构、支撑板以及定位机构，所述基架由底板及设置在所述底板上的侧板构成，用于安装所述顶起机构和所述调平机构；所述顶起机构由至少4个垂直设置在所述基架底板上的升降驱动装置与至少2个水平设置在所述升降驱动装置上方的顶板构成，所述顶板通过所述升降驱动装置的运动完成上升或下降动作；所述调平机构由至少4个垂直设置在所述基架上的电动执行器及设置在每个电动执行器上方的调平板构成；所述支撑板设置在所述调平机构的调平板上方，通过配合调节所述调平机构的所述电动执行器可以调整所述支撑板的水平位置，所述支撑板用于承载所述硬质框架；所述定位机构设置在所述支撑板或所述顶起机构的顶板上，所述硬质框架通过所述定位机构定位在所述支撑板上的确定位置。
[0010]进一步，构成所述基架的底板为U型结构或封闭的框架结构，所述底板两对侧对称的设置有两块垂直于所述底板的侧板。
[0011]为了使顶起机构能够按预设路径运动，所述顶起机构的每一个所述升降驱动装置侧边还配套设置有顶起导向装置，所述顶起导向装置由顶起导向轴及顶起导向基座构成，所述顶起导向轴的一端固定在所述顶板下方，所述顶起导向基座固定在所述基架上，所述顶起导向轴在所述顶起基座的限定下带动所述顶板在垂直方向进行运动。
[0012]进一步，所述顶起机构由4个垂直设置在所述基架上的所述升降驱动装置与2个水平设置在所述升降驱动装置上方的顶板构成，4个所述升降驱动装置分散对称的固定在所述基架底板的四角附近，所述水平设置的顶板为长条形结构，一个所述顶板与两套所述升降驱动装置匹配，所述升降驱动装置的上端通过浮动接头与所述顶板连接，所述升降驱动装置为为电缸或气缸。
[0013]进一步对载台的调平机构进行限定，所述调平机构包括有4个电动执行器，所述4个电动执行器分散对称的设置在所述基架的底板上，每个所述电动执行器两侧均设置有一个调平导向装置，所述调平导向装置包括固定的调平导向基座及活动的调平导向杆，所述电动执行器通过浮动接头与所述调平板连接，所述电动执行器两侧所述调平导向装置的调平导向杆上端固定于所述调平板的两端。
[0014]所述掩模板硬质框架载台的所述支撑板固定在所述调平机构的所述调平板上方，所述支撑板为中间镂空的方形框架结构，其上表面设置有与所述顶起机构的顶板相适应的凹陷结构，使得所述顶板下降到最低点时，所述顶板的上表面不高于所述支撑板的上表面。
[0015]进一步，所述支撑板与所述调平机构通过匹配的螺孔固定。
[0016]进一步，所述支撑板上设置有与所述顶起机构的联动部件相适应的通孔。
[0017]进一步，所述定位机构由定位块及气缸构成，且所述支撑板至少有两相邻边设置有气缸。
[0018]本发明还公开了以上所述载台的调整方法，其包括以下步骤:
掩模板硬质框架装载步骤，所述顶起机构的所述升降驱动装置驱动所述顶板上升，将所述掩模板硬质框架放置在所述顶板上方，所述升降驱动装置驱动所述顶板下降，使得所述掩模板硬质框架由所述支撑板支撑；
掩模板硬质框架定位步骤，通过调整所述定位机构，使得所述硬质框架定位在所述支撑板上的确定位置；
掩模板硬质框架调平步骤，通过配合调节所述调平结构的电动执行器，使得所述掩模板硬质框架处于一定的高度位置，并且所述掩模板硬质框架的上表面具有较好的平整度。
[0019]本发明所述载台的顶起机构能够解决纯人工装载重量较大的掩模板硬质框架的问题，避免纯人工装载的安全隐患；所述载台的调平机构有多个电动执行器构成，电动控制具有较高精度，配合调节多个电动执行器其可以有效的控制装载在支撑架上掩模板硬质框架上表面所在平面的位置；所述载台的定位机构可以将所述硬质框架定位在所述支撑板上的确定位置。集中以上功能及优点，本发明所提供的载台能够为掩模板组装提供一个稳定性好、控制性优异的操作环境。
[0020]本发明的具体结构及优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
[0021]
【专利附图】
【附图说明】
[0022]本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
图1所示为采用掩模板蒸镀有机材料的示意图；
图2所示为掩模板的平面示意图；
图3为用于掩模板固定的硬质框架的一种结构示意图；
图4为本发明掩模板硬质框架载台顶起机构升起的一种立体结构图；
图5为本发明掩模板硬质框架载台中基架的一种结构示意图；
图6为图4中40部分的放大示意图；
图7为本发明本发明掩模板硬质框架载台中调平机构的一个单元结构示意图；
图8为本发明掩模板硬质框架载台顶起机构下降到最低点的一种立体结构图；
图9为掩模板硬质框架放置在顶板上方示意图；
图10为掩模板硬质框架由载台支撑板支撑示意图；
图11为载台调整掩模板硬质框架上表面位置的示意图。
[0023]图中，10为掩模板,100为掩模板开口，11为用于掩模板固定的硬质框架，12为支撑台，13为蒸镀源，14为沉积基板,130为有机材料,131为有机沉积层；
40为待放大区域；
41为基架，411为构成基架的底板，412为构成基架的侧板，413为辅助侧板，414为辅助连杆；
42为顶起机构,421为钩沉顶起机构的升降驱动装置,422为构成顶起装置的顶板,423为构成顶起装置的顶起导向装置，4231为顶起导向轴,4232为顶起导向基座；
43为调平机构，431为构成调平机构的电动执行器，432为构成调平机构的的调平导向装置，4321为调平导向基座，4322为调平导向杆，433为构成调平机构的调平板；
44为支撑板；
45为定位机构,451为构成定位机构45的气缸组件,452为构成定位机构45的定位块；
0-0'为掩模板硬质框架11的上表面所在平面位置。
[0024]
【具体实施方式】
[0025]下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
[0026]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“侧边”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0027]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“联接”、“连通”、“相连”、“连接”、“配合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；“配合”可以是面与面的配合，也可以是点与面或线与面的配合，也包括孔轴的配合，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0028]本发明提供的一种掩模板硬质框架载台具体实施例如下，如图4所示，该载台包括:基架41、顶起机构42、调平机构43、支撑板44以及定位机构45，以下是对该载台的进一步详细描述。
[0029]图5为一具体实施例的基架结构示意图，如图5所示,基架41由底板411及设置在底板411上的侧板412构成。在本实施例中，底板411的整体形貌为U型结构，U型结构底板的两侧对称的设置有两块垂直于底板411的侧板412，该结构构成基架41的基本结构，顶起机构42、调平机构43安装在该基础结构上。
[0030]在本发明的实际应用过程中，考虑到基架41的稳定性，在本发明的一些实施例中，对称设置在底板411的两块侧板412还通过其它辅助侧板413或者辅助连杆414连接形成一整体结构，如图5所示，辅助侧板413或者辅助连杆414可以相互替代。在本发明的另一些实施例中，构成基架41的底板为封闭的框架结构，即在如图5所示的U型结构底板的非闭合端增加一连板形成封闭的框架结构(图中未示出)。
[0031]作为本发明的一具体实施例，如图4、图6所示(图6为图4中40部分的放大示意图)，构成掩模板硬质框架载台的顶起机构42由4个垂直设置基架41底板411上的升降驱动装置421与2个水平设置在升降驱动装置上方的顶板422构成，4个升降驱动装置421分散对称的固定在基架41底板411的四角附近，水平设置的顶板422为长条形结构，一个顶板422与两套升降驱动装置421匹配，即如图4中所示，一块长条顶板422的两端固定在基架41同一侧两套升降驱动装置421上端。在实施例中，升降驱动装置421的上端通过浮动接头与顶板422连接，本发明中升降驱动装置421为电缸或气缸，作为一种优选实施例，其为气缸。
[0032]在本发明中，构成顶起机构42的顶板422需要在垂直方向上进行运动，即升降驱动装置421只能驱动顶板422在垂直方向上运动，为了使顶起机构42能够按预设路径运动，在本发明的一些实施例中，顶起机构42的每一个升降驱动装置421侧边还配套设置有顶起导向装置423，顶起导向装置423由顶起导向轴4231及顶起导向基座4232配合构成，如图6所示，顶起导向轴4231的一端固定在顶板422下方，顶起导向基座4232固定在基架41的侧板412上，顶起导向轴4231在所述顶起基座4232的限定下带动顶板422在垂直方向进行运动。
[0033]作为本发明另一具体实施例，调平机构43由4个垂直设置在基架41上的电动执行器431及设置在每个电动执行器431上方的调平板433构成，4个电动执行器431分散对称的设置在基架41的底板411上。图7所示为本发明本发明掩模板硬质框架载台中调平机构43的一个单元结构示意图，其包括电动执行器431及设置在每个电动执行器431上方的调平板433，电动执行器431通过浮动接头(图中未示出)与调平板433连接，电动执行器431为调平机构43提供动力，调平板433作为调平机构43的外接口。在本实施例中，每个电动执行器431两侧还均设置有一个调平导向装置432，调平导向装置432包括固定的调平导向基座4321及活动的调平导向杆4322，调平导向装置432的调平导向杆4322上端固定于调平板433的两端，通过电动执行器431两侧调平导向装置432的配合作用，有效的控制调平机构43上调平板433的运动方向。
[0034]在本发明中，支撑板44设置在调平机构43的调平板433上方，在一些实施例中，其通过螺孔机构进行固定，通过配合调节调平机构43的电动执行器431，可以调整固定在调整板433上方支撑板44的水平位置，支撑板44上方承载有硬质框架11，从而达到调整硬质框架11上表面所在平面的位置，以满足后续掩模板组装要求。
[0035]在以上实施例中，掩模板硬质框架载台的支撑板44为中间镂空的方形框架结构，与被承载的硬质框架11的外形结构相适应，其上表面设置有与顶起机构42的顶板422相适应的凹陷结构，使得顶板422下降到最低点时，顶板422的上表面不高于支撑板44的上表面，如图8中所示。另外，支撑板44上设置有与顶起机构42的联动部件(即控制顶板422上升下降的连杆及顶起导向轴4231)相适应的通孔，如图6中所示。
[0036]在本发明的又一具体实施例中，如图8所示，掩模板硬质框架载台的定位机构45设置在支撑板44或顶起机构42的顶板422上，定位机构45由定位块452及气缸组件451构成，定位块452最高点的位置高于支撑板44的上表面。另外,支撑板44至少有两相邻边设置有气缸组件451，在本实施例中，支撑板44的两相邻边设置有气缸组件451，如图8所示，支撑板的44的两相邻边各设置有两个气缸组件451，在没有设置气缸组件451另两相邻边均设置有定位块452，本实施例中，定位块452设置在支撑板44或顶起机构42的顶板422上。掩模板硬质框架11置于支撑板44上后,定位机构45的气缸组件451对掩模板硬质框架11提供一定的压力，使得掩模板硬质框架11顶紧定位机构45的定位块452，从而达到定位机构45对掩模板硬质框架11固定，使得掩模板硬质框架11定位在支撑板44上的确定位置。
[0037]在本发明中，顶板422通过升降驱动装置421的运动做上升或下降动作，从而实现置于顶板422上方掩模板硬质框架装载到载台的支撑板44上，考虑到顶起机构的作用本质，作为本发明的另一些实施例，构成本发明载台的顶起机构42可以包括超过4个升降驱动装置421或超过2个水平设置在升降驱动装置上方的顶板422。
[0038]本发明的另一些实施例中，由于掩模板硬质框架11的尺寸较大，调平机构43采用的电动执行器的数量可以超过4个。
[0039]本发明中，顶起机构42的升降驱动装置421与顶板422之间、调平机构43的电动执行器431与调平板433之间均采用浮动接头，活动结构的接头有利于机械调节过程。
[0040]为了更好的理解本发明，以下对掩模板硬质框架载台的调整方法作详细的描述。
[0041]本发明所涉及载台的调整方法，其包括以下步骤:
掩模板硬质框架装载步骤，如图4所示，顶起机构42的升降驱动装置421驱动顶板422上升，到达合适位置后，参照图9所示，将掩模板硬质框架11放置在顶板422上方，升降驱动装置421驱动顶板422下降，使得掩模板硬质框架11由所述支撑板44支撑，效果图如图10所示；
掩模板硬质框架定位步骤，通过调整所述定位机构45，即通过气缸451的动作，使得掩模板硬质框架11顶紧在定位机构45的定位块452上，从而到达硬质框架11定位在支撑板
44上的确定位置；
掩模板硬质框架调平步骤，通过配合调节调平结构43的电动执行器431，使得掩模板硬质框架11处于一定的高度位置，并且掩模板硬质框架11的上表面具有较好的平整度，即如图11所示，掩模板硬质框架11的上表面所在平面0-0'位置(主要是指高度)根据实际应用过程中的需求作调整，且在调整过程中，掩模板硬质框架11的上表面具有较好的平整度。
[0042]本发明中任何提及“ 一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本发明的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。
[0043]尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的【具体实施方式】进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。
【权利要求】
1.一种掩模板硬质框架载台，其包括:基架、顶起机构、调平机构、支撑板以及定位机构，其特征在于:所述基架由底板及设置在所述底板上的侧板构成，用于安装所述顶起机构和所述调平机构；所述顶起机构由至少4个垂直设置在所述基架底板上的升降驱动装置与至少2个水平设置在所述升降驱动装置上方的顶板构成，所述顶板通过所述升降驱动装置的运动完成上升或下降动作；所述调平机构由至少4个垂直设置在所述基架上的电动执行器及设置在每个电动执行器上方的调平板构成；所述支撑板设置在所述调平机构的调平板上方，通过配合调节所述调平机构的所述电动执行器可以调整所述支撑板的水平位置，所述支撑板用于承载所述硬质框架；所述定位机构设置在所述支撑板或所述顶起机构的顶板上，所述硬质框架通过所述定位机构定位在所述支撑板上的确定位置。
2.根据权利要求1所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，构成所述基架的底板为U型结构或封闭的框架结构，所述底板两对侧对称的设置有两块垂直于所述底板的侧板。
3.根据权利要求1或2所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，所述顶起机构的每一个所述升降驱动装置侧边还配套设置有顶起导向装置，所述顶起导向装置由顶起导向轴及顶起导向基座构成，所述顶起导向轴的一端固定在所述顶板下方，所述顶起导向基座固定在所述基架上，所述顶起导向轴在所述顶起基座的限定下带动所述顶板在垂直方向进行运动。
4.根据权利要求3所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，所述顶起机构由4个垂直设置在所述基架上的所述升降驱动装置与2个水平设置在所述升降驱动装置上方的顶板构成，4个所述升降驱动装置分散对称的固定在所述基架底板的四角附近，所述水平设置的顶板为长条形结构，一个所述顶板与两套所述升降驱动装置匹配，所述升降驱动装置的上端通过浮动接头与所述顶板连接，所述升降驱动装置为为电缸或气缸。
5.根据权利要求1或2所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，所述调平机构包括有4个电动执行器，所述4个电动执行器分散对称的设置在所述基架的底板上，每个所述电动执行器两侧均设置有一个调平导向装置，所述调平导向装置包括固定的调平导向基座及活动的调平导向杆，所述电动执行器通过浮动接头与所述调平板连接，所述电动执行器两侧所述调平导向装置的调平导向杆上端固定于所述调平板的两端。
6.根据权利要求5所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，所述支撑板固定在所述调平机构的所述调平板上方，所述支撑板为中间镂空的方形框架结构，其上表面设置有与所述顶起机构的顶板相适应的凹陷结构，使得所述顶板下降到最低点时，所述顶板的上表面不高于所述支撑板的上表面。
7.根据权利要求6所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，所述支撑板与所述调平机构通过匹配的螺孔固定。
8.根据权利要求6所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，所述支撑板上设置有与所述顶起机构的联动部件相适应的通孔。
9.根据权利要求1或6所述的掩模板硬质框架载台，其特征在于，所述定位机构由定位块及气缸组件构成，且所述支撑板至少有两相邻边设置有气缸组件。
10.一种如权利要求1?8任意一项权利要求所述掩模板硬质框架载台的调整方法，其包括: 掩模板硬质框架装载步骤，所述顶起机构的所述升降驱动装置驱动所述顶板上升，将所述掩模板硬质框架放置在所述顶板上方，所述升降驱动装置驱动所述顶板下降，使得所述掩模板硬质框架由所述支撑板支撑； 掩模板硬质框架定位步骤，通过调整所述定位机构，使得所述硬质框架定位在所述支撑板上的确定位置； 掩模板硬质框架调平步骤，通过配合调节所述调平结构的电动执行器，使得所述掩模板硬质框架处于一定的高度位置，并且所述掩模板硬质框架的上表面具有较好的平整度。
【文档编号】C23C14/04GK104294216SQ201410501857
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年9月27日 优先权日:2014年9月27日
【发明者】魏志凌, 杨涛, 张炜平 申请人:昆山允升吉光电科技有限公司