一种eb冷床炉压力台上配用的石墨件的利记博彩app

文档序号:3305991阅读:441来源:国知局
一种eb冷床炉压力台上配用的石墨件的利记博彩app
【专利摘要】一种在EB冷床炉压力台上配用的石墨件,由具有外螺纹的空芯圆柱体(1)和位于空芯圆柱体(1)上端的圆环(2)构成;所述空芯圆柱体(1)通过螺纹连接安装在压力台(5)上,并使所述圆环(2)完全遮挡热偶丝裸露部位(7)。本实用新型在EB冷床炉压力台上的应用,杜绝了电子束溢出直接扫射击断EB冷床炉压力台测温热电偶的电偶丝,避免了热电偶与被测器件的接触误差,保证了EB冷床炉电气控制和电气保护的可靠性。防止了EB冷床炉在非稳定状态下,由于测温热电偶的损坏而被迫破坏真空的现象,有效的降低了EB冷床炉的生产成本。
【专利说明】—种EB冷床炉压力台上配用的石墨件
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种在EB冷床炉压力台上配用的石墨件。
【背景技术】
[0002]EB冷床炉为电子束炉,它是利用高速电子束流的动能转变为热能进行难熔金属的真空熔炼的熔炼炉,高速电子束流必须在超高真空状态下由电子枪产生。工作时,在高真空下电子枪的阴极产生的热电子束经过高压电场加速,以极高的速度向阳极(难熔金属)运动,通过一次聚焦(超高真空状态10_6mbar)、压力台、二次聚焦(较高真空状态10_4mbar)、偏转(高真空状态10_2mbar)将能量准确轰击到难熔金属表面(炉室)。
[0003]压力台是应用于第一次聚焦之后,由氩气在其进行超高真空状态与较高真空状态的平滑过渡,并通过氩气进行电子束的自聚焦防止电子溢出和对高真空状态下的被轰击的难熔金属产生的挥发物进行拦截,保证电子束流的正常通过。压力台热电偶的温度测量可以直观的了解压力台电子束流通过是否顺利,电子束腰是否在正常范围内,以及一次聚焦的焦点是否正常。由于提供电子束流通过的压力台中心是一个较小的孔洞(028mm),当电子束炉在非稳定状态运行时,如真空度低、阴阳极受污染、高压电源波动等造成短路电弧,势必造成电子束腰尺寸变大,超出石墨件孔洞直径而溢出,溢出电子的瞬间能量会使压力台的温升陡增,甚者多次出现密集的溢出电子束扫断热电偶的热偶丝。已有石墨件上部圆环外沿与热电偶套管之间沿电子束路径方向的热电偶两极完全裸露,存在上述隐患。
[0004]另外,热电偶安装于石墨件下,已有石墨件靠石墨件的重量与保护热电偶的热偶丝焊点接触,由于长期运行,石墨变形使测点接触不可靠,测量误差加剧,保护作用减弱。由于压力台处于较高真空状态,与炉室直接相通,要更换热电偶必须将炉室内的真空破坏。虽然更换热电偶不需要多长时间,但破坏真空需要较长时间,同时会使难熔金属燃烧,带来一定的时间等待和安全隐患。重新将炉室真空抽至10-2mbar以上也会需要几个甚至几十个小时。因此保护热电偶和保证测量精度十分必要。
实用新型内容
[0005]本实用新型解决的技术问题:设计一种在EB冷床炉压力台上配用的石墨件,通过重新设计石墨件的形状与尺寸,克服已有石墨件存在的缺陷。
[0006]本实用新型的技术解决方案是:一种在EB冷床炉压力台上配用的石墨件,由具有外螺纹的空芯圆柱体和位于空芯圆柱体上端的圆环构成;所述空芯圆柱体通过螺纹连接安装在压力台上,并使所述圆环完全遮挡热偶丝裸露部位。
[0007]所述圆环外沿至下而上制有环状台阶I ;所述圆环的上端面制有环状台阶II。
[0008]所述圆环的环距为35mm,最大厚度8mm ;所述环状台阶I的环距为IOmm,厚3.5mm ;所述环状台阶II的环距为15mm,厚度为5mm。
[0009]本实用新型在EB冷床炉压力台上的应用,杜绝了电子束溢出直接扫射击断EB冷床炉压力台测温热电偶的电偶丝,避免了热电偶与被测器件的接触误差,保证了 EB冷床炉电气控制和电气保护的可靠性。防止了 EB冷床炉在非稳定状态下,由于测温热电偶的损坏而被迫破坏真空的现象,有效的降低了 EB冷床炉的生产成本。
【专利附图】

【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图1和【具体实施方式】对本实用新型进一步详细的说明。
[0012]一种在EB冷床炉压力台上配用的石墨件,由具有外螺纹的空芯圆柱体I和位于空芯圆柱体I上端的圆环2构成;所述空芯圆柱体I通过螺纹连接安装在压力台5上,压紧热电偶的热偶丝焊点,并使所述圆环2完全遮挡热偶丝裸露部位7。所述圆环2外沿至下而上制有环状台阶I 3 ;所述圆环2的上端面制有环状台阶II 4。所述圆环2的环距为35mm,最大厚度8mm。
[0013]所述环状台阶I 3的环距为10mm,厚3.5mm,搭接在热电偶套管6之上,使热电偶沿电子束路径方向的热偶丝裸露部位7完全被石墨件遮住。所述环状台阶II 4的环距为15mm,厚度为5mm,严格保证电子束进入石墨件内壁的路径距离不变。
[0014]本实用新型应用于EB冷床炉压力台上,通过重新设计石墨件上端圆环的形状与尺寸,完全遮挡非稳定状态下溢出电子束扫描热偶丝的裸露部位而熔断热偶丝,保护了压力台测温热电偶不被损坏。此外,本实用新型与压力台采用螺纹联接。EB冷床炉在非稳定状态下,溢出电子束扫描到石墨件表面,使其受热变形松动,引起石墨件与热偶丝焊点接触不良而造成的测量误差得以避免,保证了 EB冷床炉电气控制和电气保护的可靠性。
[0015]上述实施例,只是本实用新型的较佳实施例,并非用来限制本实用新型实施范围,故凡以本实用新型权利要求所述内容所做的等同变化,均应包括在本实用新型权利要求范围之内。
【权利要求】
1.一种EB冷床炉压力台上配用的石墨件,其特征在于:所述石墨件由具有外螺纹的空芯圆柱体(I)和位于空芯圆柱体(I)上端的圆环(2 )构成;所述空芯圆柱体(I)通过螺纹连接安装在压力台(5)上,并使所述圆环(2)完全遮挡热偶丝裸露部位(7);所述圆环(2)外沿至下而上制有环状台阶I (3);所述圆环(2)的上端面制有环状台阶II (4);所述圆环(2)的环距为35mm,最大厚度8mm ;所述环状台阶I (3)的环距为IOmm,厚3.5mm ;所述环状台阶II (4)的环距为15mm,厚度为5mm。
【文档编号】C22B9/22GK203668483SQ201320782558
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年11月29日 优先权日:2013年11月29日
【发明者】杨蕴鸿, 李华, 孙杰, 桑斌, 张泽春, 杨峰, 付寒芳 申请人:宝钛集团有限公司
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