一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置。本一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，包括安装于靶座和内嵌入靶座上的靶材周围的侧边防护遮罩以及阳极框；所述侧边防护遮罩两侧均设有防止短路的沟槽，所述侧边防护遮罩的中间为绝缘材质，外层为导电涂层、沟槽结构内不采用导电涂层，所述侧边防护遮罩设置在靶座的左右两侧；所述阳极框压在侧边防护遮罩上、且与靶座压条接触，阳极框为外表经过喷砂处理的不锈钢材质；靶座和侧边防护遮罩底部设有密封外壳。本实用新型结构简单、设计科学、构思巧妙，使用方便，可用于防护靶座不被溅射到靶材物质，同时还能防止靶材在使用过程中产生的碎屑造成靶座阴阳极之间的Arcing及短路。
【专利说明】 一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空溅射镀膜【技术领域】，特别涉及一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置。
【背景技术】
[0002]磁控溅射镀膜设备应用在薄膜太阳能领域为薄膜太阳能电池提供背电极，起到反光的作用，增加了太阳光的利用率从而有效的提高了太阳能电池的转化效率。另外，背电极还起到将太阳能电池基板每个子电池串联的导线作用，所以在进行工艺制备时他们的方阻越小越好。目前，磁控溅射设备最常见的均使用平面靶，靶材周围采用阳极遮罩进行防护。为更好的起到防护作用，阳极遮罩离靶座阴极部分距离最小距离有2mm左右，一旦距离没有掌握好或者有金属碎屑掉入其中就会造成Arcing或者短路。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置。该一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置可用于防护靶座不被溅射到靶材物质，同时还能防止靶材在使用过程中产生的碎屑造成靶座阴阳极之间的Arcing及短路。
[0004]为解决上述技术问题，本一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，包括安装于靶座和内嵌入靶座上的靶材周围的侧边防护遮罩以及阳极框；侧边防护遮罩两侧均设有防止短路的沟槽，侧边防护遮罩的中间为绝缘材质，外层为导电涂层、沟槽结构内不采用导电涂层，侧边防护遮罩设置在靶座的左右两侧；阳极框压在侧边防护遮罩上、且与靶座压条接触，阳极框为外表经过喷砂处理的不锈钢材质；靶座和侧边防护遮罩底部设有密封外壳。
[0005]如此设计，沟槽结构的设计起到阴极与阳极之间的绝缘，可防止靶材在使用过程中产生的碎屑造成靶座阴阳极之间的Arcing及短路；阳极框与靶座压条接触防止阳极框聚集电荷，造成放电；侧边防护遮罩的中间为绝缘材质，外层为导电涂层杜绝了碎屑掉入阴阳极之间造成的短路；导电涂层设置在除沟槽结构内的其他部位，用来防止电荷在侧边防护遮罩的累积造成放电。
[0006]作为优化，侧边防护遮罩的高度使安装阳极框后，阳极框的高度与靶座压条高度一致。如此设计，便于安装和固定、且可防护靶座不被溅射到靶材物质。
[0007]作为优化，侧边防护遮罩上设有多个侧边防护遮罩固定螺丝孔和阳极框固定螺丝孔、且分别通过自攻螺套与密封外壳和阳极框固定。如此设计，通过侧边防护遮罩固定螺丝孔和阳极框固定螺丝孔与自攻螺套的搭配使用，提高了侧边防护遮罩的中间绝缘材质在进行锁紧固定时的耐磨性，增加了侧边防护遮罩的使用寿命。
[0008]作为优化，阳极框上设有与侧边防护遮罩上的阳极框固定螺丝孔相对应的固定孔，且该固定孔内装有自攻螺套。如此设计，便于固定阳极框和侧边防护遮罩。[0009]本实用新型一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，结构简单、设计科学、构思巧妙，使用方便，可用于防护靶座不被溅射到靶材物质，同时还能防止靶材在使用过程中产生的碎屑造成靶座阴阳极之间的Arcing及短路。具有较好的实际应用价值和推广价值。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]下面结合附图对本一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置作进一步说明:
[0011]图1是本一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置的装配结构示意图；
[0012]图2是本一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置的侧边防护遮罩的俯视结构示意图。
[0013]图中:1为密封外壳、2为靶座、3为靶材、4为侧边防护遮、5为阳极框、6为沟槽、7为侧边防护遮罩固定螺丝孔、8为阳极框固定螺丝孔。
【具体实施方式】
[0014]为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。
[0015]如图1、图2所示，本一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，包括安装于靶座2和内嵌入靶座2上的靶材3周围的侧边防护遮罩4以及阳极框5 ;侧边防护遮罩4两侧均设有防止短路的沟槽6，侧边防护遮罩4的中间为绝缘材质，外层为导电涂层、沟槽6结构内不采用导电涂层，侧边防护遮罩4设置在靶座2的左右两侧；阳极框5压在侧边防护遮罩4上、且与靶座2压条接触，阳极框5为外表经过喷砂处理的不锈钢材质；靶座2和侧边防护遮罩4底部设有密封外壳I。
[0016]侧边防护遮罩4的高度使安装阳极框5后，阳极框5的高度与靶座2压条高度一致；侧边防护遮罩4上设有多个侧边防护遮罩固定螺丝孔7和阳极框固定螺丝孔8、且分别通过自攻螺套与密封外壳I和阳极框5固定；阳极框5上设有与侧边防护遮罩4上的阳极框固定螺丝孔8相对应的固定孔，且该固定孔内装有自攻螺套。
[0017]上述【具体实施方式】仅是本实用新型的具体个案，本实用新型的专利保护范围包括但不限于上述【具体实施方式】的产品形态和式样，任何符合本实用新型权利要求书的一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置且任何所属【技术领域】的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本实用新型的专利保护范围。
【权利要求】
1.一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，其特征在于:包括安装于靶座(2)和内嵌入靶座(2)上的靶材(3)周围的侧边防护遮罩(4)以及阳极框(5);所述侧边防护遮罩(4)两侧均设有防止短路的沟槽(6)，所述侧边防护遮罩(4)的中间为绝缘材质，外层为导电涂层、沟槽(6 )结构内不采用导电涂层，所述侧边防护遮罩(4)设置在靶座(2 )的左右两侧；所述阳极框(5)压在侧边防护遮罩(4)上、且与靶座(2)压条接触，阳极框(5)为外表经过喷砂处理的不锈钢材质；靶座(2)和侧边防护遮罩(4)底部设有密封外壳(I)。
2.如权利要求1所述的一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，其特征在于:所述侧边防护遮罩(4)的高度使安装阳极框(5)后，阳极框(5)的高度与靶座(2)压条高度—致。
3.如权利要求2所述的一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，其特征在于:所述侧边防护遮罩(4)上设有多个侧边防护遮罩固定螺丝孔(7)和阳极框固定螺丝孔(8)、且分别通过自攻螺套与密封外壳(I)和阳极框(5)固定。
4.如权利要求3所述的一种防止磁控溅射系统中平面靶座短路的装置，其特征在于:所述阳极框(5)上设有与侧边防护遮罩(4)上的阳极框固定螺丝孔(8)相对应的固定孔，且该固定孔内装有自攻螺套。
【文档编号】C23C14/35GK203487226SQ201320634883
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年10月15日 优先权日:2013年10月15日
【发明者】王伟 申请人:山东禹城汉能光伏有限公司