一种飞机窗玻璃的利记博彩app
【专利摘要】本发明公开了一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于包括以下步骤：将基片清洗后放入样品托，然后送入磁控溅射设备；往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，直流电源溅射铟锡靶，在基片上磁控溅射一ITO透明导电膜层；往磁控溅射设备中通入氩气，直流电源溅射钨靶，在ITO透明导电膜层上磁控溅射一W2O5层；往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，用射频电源溅射LiAlO2靶材，在W2O5层上磁控溅射LiAlO2薄膜层；直流电源溅射Ni靶，在LiAlO2薄膜层上磁控溅射NixO层；往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，交流电源溅射铟锡靶，在NixO层上ITO透明导电膜层。本发明的目的提供一种工艺简单，产品透光率高的飞机窗玻璃的利记博彩app。
【专利说明】一种飞机窗玻璃的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种飞机窗玻璃的利记博彩app。
【背景技术】
[0002]现有的飞机窗玻璃，其制作工艺复杂，而且产品的透光率相对较差，不能满足使用者的需求。
[0003]故此，现有的飞机窗玻璃的利记博彩app有待于进一步完善。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种工艺简单，产品透光率高的飞机窗玻璃的利记博彩app。。
[0005]为了达到上述目的，本发明采用以下方案:
[0006]一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于包括以下步骤:
[0007]A、将基片清洗后放入样品托 ，然后送入磁控溅射设备；
[0008]B、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，直流电源溅射铟锡靶，在基片上磁控溅射一 ITO透明导电膜层；
[0009]C、往磁控溅射设备中通入氩气，直流电源溅射钨靶，在ITO透明导电膜层上磁控派射一 W2O5层；
[0010]D、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，用射频电源溅射LiAlO2靶材，在W2O5层上磁控溅射LiAlO2薄膜层；
[0011]E、直流电源溅射Ni靶，在LiAlO2薄膜层上磁控溅射NixO层；
[0012]F、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，交流电源溅射铟锡靶，在NixO层上ITO透明导电膜层。
[0013]如上所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述基片清洗具体包括:将基片放入丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟。
[0014]如上所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述基片的厚度为15_，所述的基片为玻璃片或透明树脂片。
[0015]如上所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述ITO透明导电膜层的厚度30~40nm，氩气与氧气的体积比为1:1，压强为0.8Pa，溅射功率3~5KW。
[0016]如上所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述W2O5层的厚度为10~15nm，溅射功率2~3KW。
[0017]如上所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述LiAlO2薄膜厚度为lOOnm，所述氩气与氧气的体积比为9:1，溅射功率为700W。
[0018]如上所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述NixO层的厚度为10nm。
[0019]如上所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述ITO透明导电膜层的厚度为80~90nm。
[0020]综上所述，本发明相对于现有技术其有益效果是:
[0021]本发明工艺简单，加工方便，本发明飞机窗玻璃初始颜色为透明，当在和WO3层接触的ITO透明导电膜层上加上-3V的电压后，由于Li+注入到WO3层中，WO3层变为乳白色，这里镜片平均透过率为10%以下。当外加电源的极性改变，元件转变为透明的平均透过率为80%以上。
【具体实施方式】
[0022]下面结合【具体实施方式】对本发明作进一步描述:
[0023]实施例1
[0024]本发明一种飞机窗玻璃的利记博彩app，包括以下步骤:
[0025]A、将基片清洗后放入样品托，然后送入磁控溅射设备；其中基片清洗具体包括:将基片放入丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟；所述基片的厚度为15mm，所述的基片为玻璃片或透明树脂片；
[0026]B、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，直流电源溅射铟锡靶，在基片上磁控溅射一 ITO透明导电膜层；所述ITO透明导电膜层的厚度30~40nm，氩气与氧气的体积比为1:1，即氩氧比为500:500sccm压强为0.8Pa，溅射功率3KW ；
[0027]C、往磁控溅射设备中通入氩气，直流电源溅射钨靶，在ITO透明导电膜层上磁控溅射一 W2O5层；所述W2O5层的厚度为10nm，溅射功率2KW，W2O5层作为阴极电致变色材料。IS气的流量1000sccm,沉积压强:0.8Pa ；
[0028]D、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，用射频电源溅射LiAlO2靶材，在W2O5层上磁控溅射LiAlO2薄膜层；所述LiAlO2薄膜厚度为lOOnm，所述氩气与氧气的体积比为9:1，即氩气90sccm，氧气lOsccm，调节到沉积气压0.8Pa，溅射功率为700W ;该层起到离子导电层的作用。它是在电场作用下通过离子的注入和抽出，实现对太阳光吸收率的调节作用，进而可以调节材料对光的透射、反射、表面热辐射等性能。
[0029]E、直流电源溅射Ni靶，在LiA102薄膜层上磁控溅射NixO层；所述NixO层的厚度为IOnm ;它起到离子储存层的作用；
[0030]F、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，保证沉积压强0.8Pa,将基片加热到200度以上，溅射功率2.5KW，交流电源溅射铟锡靶，在NixO层上ITO透明导电膜层，所述ITO透明导电膜层的厚度为80nm。
[0031]实施例2
[0032]本发明一种飞机窗玻璃的利记博彩app，包括以下步骤:
[0033]A、将基片清洗后放入样品托，然后送入磁控溅射设备；其中基片清洗具体包括:将基片放入丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟；所述基片的厚度为15mm，所述的基片为玻璃片或透明树脂片；
[0034]B、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，直流电源溅射铟锡靶，在基片上磁控溅射一 ITO透明导电膜层；所述ITO透明导电膜层的厚度40nm，氩气与氧气的体积比为1:l，gp，氩氧比为500:500sccm压强为0.8Pa，溅射功率5KW ；
[0035]C、往磁控溅射设备中通入氩气，直流电源溅射钨靶，在ITO透明导电膜层上磁控溅射一 W2O5层；所述W2O5层的厚度为15nm，溅射功率3KW，W2O5层作为阴极电致变色材料。氩气的流量1000SCC，沉积压强:0.8Pa ；
[0036]D、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，用射频电源溅射LiAlO2靶材，在W2O5层上磁控溅射LiAlO2薄膜层；所述LiAlO2薄膜厚度为lOOnm，所述氩气与氧气的体积比为9:1，即氩气90Sccm，氧气lOSccm，调节到沉积气压0.8Pa，溅射功率为700W ;该层起到离子导电层的作用。它是在电场作用下通过离子的注入和抽出，实现对太阳光吸收率的调节作用，进而可以调节材料对光的透射、反射、表面热辐射等性能。
[0037]E、直流电源溅射Ni靶，在LiAlO2薄膜层上磁控溅射NixO层；所述NixO层的厚度为IOnm ;它起到离子储存层的作用；
[0038]F、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，保证沉积压强0.8Pa,将基片加热到200度以上，溅射功率2.5KW，交流电源溅射铟锡靶，在NixO层上ITO透明导电膜层，所述ITO透明导电膜层的厚度90nm。
[0039]以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征以及本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于包括以下步骤: A、将基片清洗后放入样品托，然后送入磁控溅射设备； B、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，直流电源溅射铟锡靶，在基片上磁控溅射一ITO透明导电膜层； C、往磁控溅射设备中通入氩气，直流电源溅射钨靶，在ITO透明导电膜层上磁控溅射一 W2O5 层； D、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，用射频电源溅射LiAlO2靶材，在W2O5层上磁控溅射LiAlO2薄膜层； E、直流电源溅射Ni靶，在LiAlO2薄膜层上磁控溅射NixO层； F、往磁控溅射设备中通入氩气和氧气，交流电源溅射铟锡靶，在NixO层上ITO透明导电膜层。
2.根据权利要求1所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述基片清洗具体包括:将基片放入丙酮中超声清洗10分钟后，再用乙醇超声清洗10分钟，最后在去离子水中超声清洗10分钟。
3.根据权利要求1所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述基片的厚度为15mm，所述的基片为玻璃片或透明树脂片。
4.根据权利要求1所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述ITO透明导电膜层的厚度30~40nm，氩气与氧气的体积比为1:1，压强为0.8Pa，溅射功率3~5KW。
5.根据权利要求1所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述W2O5层的厚度为10~15nm，溅射功率2~3KW。
6.根据权利要求1所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述LiAlO2薄膜厚度为lOOnm，所述氩气与氧气的体积比为9:1，溅射功率为700W。
7.根据权利要求1所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述NixO层的厚度为 10nm。
8.根据权利要求1所述的一种飞机窗玻璃的利记博彩app，其特征在于所述ITO透明导电膜层的厚度为80~90nm。
【文档编号】C23C14/06GK103741103SQ201310718185
【公开日】2014年4月23日 申请日期:2013年12月21日 优先权日:2013年12月21日
【发明者】魏佳坤 申请人:揭阳市宏光镀膜玻璃有限公司