专利名称：一种涂层刀片生产用装载舟皿及其应用的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及涂层刀片生产技术领域，尤其涉及化学气相沉积法生产涂层刀片的装载工具及其应用。
背景技术：
涂层技术广泛应用于硬质合金数控刀具，是金属切削领域继硬质合金应用后的又一次技术革命。其中化学气相沉积法是广泛使用的刀具涂层技术，其中在刀具上涂覆涂层的过程在热室中完成，其加工原理是将刀具置于热室中，热室内所充满的含有薄膜元素的一种或几种气相化合物、单质气体进行化学反应，在刀具表面上沉积生成一定厚度、具有所需特性的固体薄膜。该生产工艺中，热室内反应气体的浓度、配比以及总流量对沉积生成的涂层性能影响明显，研究发现，在前驱反应气体进入热室流速不变的前提下，刀具与其装载工具的位置关系、体积比、表面积比对刀具涂层质量的控制至关重要，严重影响涂层的涂覆效果。另一方面，所采用的装载工具也制约单炉装料量，进而影响涂层刀片的生产成本。以现有技术中用于生产CVD涂层数控刀片的涂层炉为例，说明该类装置的结构采用下装料井式炉生产带孔刀片，带孔刀片以垫装方式进行装舟，然后将装料后的舟皿堆垛起来在炉内进行涂层。所采有的装料舟皿多为石墨材料的整体式圆盘结构，上表面内加工切割铣削、 孔加工有若干个装载刀片的垫锥锥体、钻若干个用于送入反应气体的通气孔，垫锥与舟皿为一体式结构，如图1、图2所示，在刀片涂层生产过程中，刀片装料完成后，涂层气氛气体从中心气氛输送管输送到各层装料盘，然后经气氛喷射孔进入反应区后，一部分沿径向通过刀片表面后流出，一部分通过料盘通气孔输送到上一层料盘，从而实现对刀片的均勻涂覆。因此装料盘上通气孔与锥体的分布位置、锥体高度以及体积大小应按气体分配工艺要求设计，保证炉内气体的流向以及分布满足工艺要求。上述整体石墨装料舟皿除加工难度大、本体强度难以满足要求、造价昂贵、不能回收利用等缺点外，在实际生产过程中其结构方面还存在以下问题
1、这种装料舟皿盘体过厚，垫锥与舟皿盘体固定为一体，且锥体体积大、表面积大、底面积大、用料多、重量大，因此该整体舟皿在炉内所占空间大。因为锥体底面积大，单位面积内的锥体数量和通气孔的开孔率以及孔径均减少，既降低了单层舟皿的装载量，又影响炉内上下盘气氛的输送、以及均勻性，造成涂层生成过程中气氛的无效损耗，从而影响气体反应物在刀片涂层生成过程的利用率。2、装料过程中，刀片以中心孔套于锥体上的形式搁置，二者高度叠加后总体高度较高，既影响气氛的流通，又使同样的炉内容积前提下所装舟皿的层数减少，降低产能。3、由于垫锥与料盘是用整块石墨通过铣削加工而成，因此锥体位置与通气孔位置搭配不合理，刀片装载于其上后，刀尖位置很难恰好落到通气孔上方。同时刀片装载于垫锥上以后，由于锥体体积大，刀片下表面被锥体遮挡了一部分，在涂覆过程中，在刀片下表面存在气氛盲区，使涂层在刀片的上下表面产生厚度、颜色差异。4、由于装料后垫锥与刀片为线接触，接触面大，容易产生涂覆层与垫锥粘结的现象，卸料困难，甚至造成产品报废，合格率较低。综上所述，现有技术中的化学气相沉积法生产涂层刀片的装载工具及其生产方法
需进一步改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种涂层刀片生产用装载舟皿，它能满足化学气相沉积法生产涂层刀片的装载需要，具有装载容量大、加工简单、可重复利用、损耗小的优点，提高刀具涂层加工设备的生产效率和产能。本发明的另一目的在于提供于上述装载舟皿在涂层刀片生产中的应用，可使装载舟皿在涂层刀片生产对涂层生成反应影响小、产品质量稳定。本发明的技术方案是
一种涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述装载舟皿包括盘形料盘和插接于料盘上表面的若干垫锥；所述的料盘上表面设置有供各垫锥插接的若干垫锥定位孔和分布于定位孔间隙的贯穿通气孔。一种涂层刀片的生产方法，其特征在于，它采用上述涂层刀片生产用装载舟皿生产。上述涂层刀片生产用装载舟皿的使用方法是将各个垫锥按规则排列的方式插入料盘的各定位孔中固定，料盘上布满垫锥后，将各个待加工的刀片搁置于各垫锥上，装载好所有的刀片后按常规步骤将料盘整体送入炉内，进行涂层生成加工。本发明的有益效果在于
由于本发明所提供的涂层刀片生产用装料舟皿为分体的料盘和垫锥，克服了现有技术中一体式装载舟皿所存在的缺陷，这种组合式结构可实现垫锥的重复利用，避免因部分垫锥损坏而影响舟皿的整体装载量。料盘和垫锥的插接结构可使垫锥整体体积减小，最大限度的消除因装载工具占用炉内空间过大而在化学气相沉积反应过程中对气氛分配、消耗、 流动所造成的影响；通过减小锥体底面积，可增大单层料盘上垫锥的装载量，通过降低垫锥装载刀具后的总体高度可实现增加炉内装舟层数，充分利用了炉内空间，增加了设备的产能。同时锥体底面积的大大减小也可增加料盘的开孔率，改善了炉内的气体的流动性，提高了刀片涂覆的均勻性以及厚度一致性。本发明的装载舟皿应用于采用化学气相沉积法在涂层炉中生产涂层刀片，实现了料盘上表面所装刀片数量最多化、炉内装舟最大化，气氛连通最优化；优化刀片的垫装高度，提高气氛流通性。克服了整体装料舟皿造价过于昂贵等缺点，实现产品质量提升、产能提高以及生产成本的降低。作为对本发明的进一步改进，所述垫锥为对称的立体形十字结构，所述垫锥上部直立柱为刀片穿插立柱，所述垫锥向左右伸出的水平杆体为刀片承载体，所述垫锥下部直立柱为用于与料盘插接的定位楔。作为对本发明的进一步改进，所述的水平杆体在垂直方向的厚度自远端向中心逐渐线性加大，使左右两边的刀片承载体上表面分别对称地与垂直线成α夹角；所述刀片穿插立柱在水平方向的宽度自上而下逐渐线性加大，使两侧面的上段对称地与垂直线成β夹角。
作为对本发明的进一步改进，所述垫锥的宽度A为5mm彡A彡20mm，所述垫锥的高度B为8mm彡B彡20mm，所述垫锥的厚度D为Imm彡D彡5mm，所述夹角α为 50° ( α <90°，所述夹角β为0° ( β <45°，所述刀片穿插立柱根部宽度C为 Imm^ C^ 5mm，所述刀片穿插立柱斜面下边线与所述垫锥底部的高度E为3mm < E < 6mm， 所述水平杆体8远端顶部与垫锥2底部的高度F为4mm < F < 10mm，所述垫锥定位楔的高度G为2mm彡G彡5_，所述定位楔的底面积H*D为Imm2彡H*D彡5mm2。作为对本发明的进一步改进，所述垫锥的材质为硬质合金。作为对本发明的进一步改进，所述料盘的厚度为3mm—6mm，所述料盘的直径为 375mm时，所述定位孔的数量为200——500个。作为对本发明的进一步改进，所述200—500个定位孔在料盘1表面的坐标X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上与相邻定位孔的中心距为15mm_^mm，在Y方向上与相邻定位孔的中心距为20—35mm ；
所述通气孔均勻分布于各定位孔的间隙，所述通气孔在X方向和/或Y方向上均位于两相邻定位孔的对称中心，所述通气孔是直径为10mm-15mm的圆孔。
作为对本发明的进一步改进，所述200—500个定位孔在料盘表面的坐标X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上与相邻定位孔的中心距为Ilmm—22mm，在Y方向上与相邻定位孔的中心距为25mm— 40mm ；
所述通气孔均勻分布于各定位孔的间隙，所述通气孔在X方向和/或Y方向上均位于两相邻定位孔的对称中心，所述通气孔是长轴为IOmm — 15mm、短轴为5mm — 8mm的椭圆孔。作为对本发明的进一步改进，所述200—500个定位孔在料盘表面规则排列，任意定位孔与相邻二个定位孔呈中心距为IOmm—15mm的正三角形排列，所述通气孔均勻分布于各定位孔的间隙，所述通气孔是直径为9mm—13mm的圆形通气孔，各通气孔和与邻近定位孔的中心距为8mm— 12mm。
图1是现有技术的舟皿结构示意主视图； 图2是现有技术的舟皿结构示意A-A剖视图； 图3为本发明垫锥的结构示意立体图4为本发明垫锥的结构示意主视图； 图5为本发明垫锥的结构示意左视图； 图6为本发明实施例1料盘结构示意主视图； 图7为本发明实施例1装载舟皿使用状态结构示意图。图8为图7的0-0剖视图9是本发明实施例2装载舟皿结构示意图； 图10为本发明实施例2装载舟皿使用状态结构示意图； 图11为本发明实施例3的装载舟皿的结构示意图； 图12为本发明实施例3的装载舟皿使用状态结构示意图。图中1-料盘，2-垫锥，3-定位孔，4-通气孔，5-待涂层刀片，6_气氛输送管通道，7-刀片穿插立柱，8-水平杆体，9-定位楔。
具体实施例方式为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。本发明提供了一种涂层刀片生产用装载舟皿，主要用于生产中心孔直径为 2. 8mm—7. 94mm、刃长为6mm—19mmCVD涂层硬质合金数控刀片，包括盘形料盘1和插接于料盘1上表面的垫锥2 ；垫锥2为硬质合金材质，料盘的材质可以是现有技术中的常用材质， 如等静压石墨，只要强度满足承载装满垫锥和刀片要求即可。本实施例中，垫锥2的结构如图3、4、5所示，为前后面平行、左右面对称的立体形十字结构，垫锥2上部直立柱为刀片穿插立柱7，垫锥2向左右伸出的水平杆体8的上表面为刀片承载面；垫锥2的下部直立柱为用于与料盘1插接的定位楔9。水平杆体8在垂直方向的厚度自远端向中心逐渐线性加大，使左右水平杆体的上表面分别对称地与垂直线成 α夹角；刀片穿插立柱7在水平方向的宽度自上而下逐渐线性加大，使两侧面的上段对称地与垂直线成β夹角。垫锥2的定位楔9的截面为正方形或长方形，与定位孔3的形状相匹配。垫锥2的宽度A优选为5mm彡A彡20謹，垫锥2的高度B优选为8mm彡B彡20謹， 垫锥2的厚度D优选为Imm彡D彡5mm，夹角α优选为50°彡α彡90°，夹角β优选为 50°彡β彡90°，刀片穿插立柱7根部宽度C为Imm彡C彡5mm，刀片穿插立柱7斜面下边线与垫锥2底部的高度E优选为3mm < E < 6mm。所述水平杆体8远端顶部与垫锥2底部的高度即装载台高度F为4mm彡F彡IOmm,垫锥2的定位楔9的高度G优选为2mm彡G彡5mm, 定位楔9的底面积H *D优选为Imm2 ( H*D ( 5mm2。本实施例中，料盘1中心设置有气氛输送管通道6，用于垫锥2插接的垫锥定位孔 3围绕气氛输送管通道6均勻排列，料盘1的直径为375mm时，定位孔的数量为200— 500 个。所述200—500个定位孔3的均勻排列的规则是在料盘1表面的坐标X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔3在X方向上与相邻定位孔3的中心距为9mm—22mm，在Y方向上与相邻定位孔3的中心距为20mm—40mm ；
所述通气孔4均勻分布于各定位孔3的间隙，所述通气孔4的分布规则是所述通气孔4在X方向和/或Y方向上均位于两相邻定位孔3的对称中心。所述通气孔4为圆孔或椭圆孔，所述通气孔4为圆孔时的直径为10mm-15mm，通气孑L 4为椭圆孔时长轴为IOmm — 15mm、短轴为5mm — 8mm。所述料盘的厚度优选为3mm — 6mm。本实施例中，由于涂层刀片生产用装料舟皿为分体的料盘和垫锥，克服了现有技术中一体式装载舟皿所存在的缺陷，这种组合式结构可实现垫锥的重复利用，避免因部分垫锥损坏而影响舟皿的整体装载量。料盘和垫锥的插接结构可使垫锥整体体积减小，最大限度的消除因装载工具占用炉内空间过大而在化学气相沉积反应过程中对气氛分配、消耗、流动所造成的影响；通过减小锥体底面积，可增大单层料盘上垫锥的装载量，通过降低垫锥装载刀具后的总体高度可实现增加炉内装舟层数，充分利用了炉内空间，增加了设备的产能。同时锥体底面积的大大减小也可增加料盘的开孔率，改善了炉内的气体的流动性， 提高了刀片涂覆的均勻性以及厚度一致性。上述装载舟皿应用于采用化学气相沉积法在涂层炉中生产涂层刀片，可根据不同刀片的形状，合理安排刀片的排列方式，在刀片之间互不接触的前提下，实现了料盘上表面所装刀片数量最多化、炉内装舟最大化，气氛连通最优化；优化刀片的垫装高度，提高气氛流通性；刀片与垫锥接触为点接触，保证产品涂覆后，卸料容易，极大的降低了粘结废品率。 克服了整体装料舟皿造价过于昂贵等缺点，实现产品质量提升、产能提高以及生产成本的降低。本实施例中，垫锥具有以下优点
由于供刀片空入的直立柱为变截面设计，刀片可不与其接触，刀片装载容易，卸料容易，装舟效率高，同时克服了刀片中心孔与垫锥粘接的问题。由于承载刀片的承载支点为水平杆体的上表面边沿，其四点支承结构解决了刀片装载后的稳定性问题，刀片承载体平缓的坡度大大降低了刀片装载后发生倾翻的可能性。 本发明通过优化垫锥的高度，既保证了刀片各表面涂覆的充裕性，又保证了刀片装舟高度， 最大限度的提高了涂层气氛的流通性。本发明进一步地优化垫锥材质，如选用与刀片同质的硬质合金材质，可避免涂层生产过程中，由于石墨垫锥引起的涂层剥落造成的降落物问题，提高产品性能稳定性。本实施例中，料盘具有以下优点
本发明料盘上的通气孔与定位孔的分布方式及孔形可选择，通过同步选择合适的垫锥形状规格，可以适应不同型号、不同刃长的刀片装载要求，使各种形状、不同刃长刀片周边的刀尖尽可能地处于通气孔的上方，最大限度地保证了刀片上下表面与气体接触，并保证炉内气体的充分流通与分配，从而使反应气体损耗过大、涂覆产品颜色差别大、厚度不均勻等技术难题均得以解决。实施例1
一种涂层刀片生产用装载舟皿，用于生产刃长为16mm的C型、S型刀片，该类刀片为正方形，料盘1和垫锥2组装后的装载舟皿的结构如图6所示。本实施例中，垫锥2 的尺寸规格为 A=13mm，B=13. 2mm, D=3mm, H=L 3mm, E=7. 7mm, F=4. 6mm, G=2mm, C=3mm, α =5° , β =70°。本实施例中，料盘1是厚度为3. 5mm、直径为375mm的圆盘。料盘1中心设置有气氛输送管通道6，料盘1表面均勻分布有240个用于垫锥2插接的圆形垫锥定位孔3，定位孔3的内径为3. 3mm，满足与底面积H *D为1. 3*3 mm的垫锥定位楔9外接需要。240个定位孔3围绕气氛输送管通道6均勻排列，布满料盘1表面。240个定位孔3的均勻排列规则是240个定位孔3在料盘1表面的坐标X、Y方向上成行、成列排列，两行之间、两列之间的定位孔3错位排列，任意定位孔3在X方向上与相邻定位孔3的中心距为24. 6mmm，在Y方向上与相邻定位孔3的中心距为29. 4mm ；
240个定位孔3的间隙中均勻分布有直径为IOmm的圆形通气孔4，各通气孔4与邻近定位孔3的中心距为10. 5mm，按此规则排列，任意通气孔4在X方向和Y方向上均位于两相邻定位孔3的对称中心。
按此排列规则，除边沿区和中心区外，每个定位孔3的周边均布有四个通气孔4， 每个通气孔4周边均布有四个定位孔3。垫锥2插接并装载待涂层刀片5后的使用情况如图7和图8所示，每个待涂层刀片5的四个角均位于通气孔4上方。实施例2
一种涂层刀片生产用装载舟皿，用于刃长为15mm的D型、V型刀片涂层生产，该类刀片为菱形，料盘1和垫锥2组装后的装载舟皿的结构如图9所示。本实施例中，垫锥2 的尺寸规格为 A=7. 2mm, B=IO. 6mm, D=2. 3mm, Η=2· 3mm, E=7. 3mm, E=5mm, G=2. 8mm, C=2mm, α =5° , β =70°。本实施例中，料盘1是厚度为4mm、直径为375mm的圆盘。料盘1中心设置有气氛输送管通道6，料盘1表面均勻分布有260个用于垫锥2插接的垫锥定位孔3，定位孔3的内径为3. 3mm，满足与底面积H *D为2. 3*2. 3 mm的垫锥定位楔9外接需要，260个定位孔 3围绕气氛输送管通道6均勻排列，布满料盘1表面。260个定位孔3的均勻排列规则是260个定位孔3在料盘1表面的坐标X、Y方向上成行、成列排列，任意定位孔3在X方向上与相邻定位孔3的中心距为17. 7_，在Y方向上与相邻定位孔3的中心距为34mm ；
260个定位孔3的间隙中均勻分布有椭圆形通气孔4，通气孔4按与定位孔3中心距在 X轴方向上为12. 3mm，在Y轴方向上中心距为14. 68mm分布于各定位孔3之间。椭圆形通气孔4的长轴为IOmm — 15mm、短轴为5mm — 8mm。各通气孔4与定位孔3中心距为10. 5mm, 按此规则排列，任意通气孔4在X方向和Y方向上均位于两相邻定位孔3的对称中心。按此排列规则，除边沿区和中心区外，每个定位孔3的周边均布有四个通气孔4， 每个通气孔4周边均布有四个定位孔3。垫锥2插接并装载待涂层刀片5后的使用情况如图10所示，每个待涂层刀片5的四个角均位于椭圆形通气孔4上方，每个椭圆形通气孔4 的上方均分布有四个刀尖。实施例3
一种涂层刀片生产用装载舟皿，用于刃长为16mm的T型刀片或刃长为6mm的W型刀片涂层生产，上述两类刀片为三角形，料盘1和垫锥2组装后的装载舟皿的结构如图11所示。本实施例中，垫锥2 的尺寸规格为 A=8mm，B=IO. 7mm, D=L 3mm, H=3mm, Ε=7· 5mm, F=4. 5mm, G=2. 5mm, C=L 5mm, α =5°，β =70°本实施例中，料盘1是厚度为3. 5mm、直径为 375mm的圆盘。料盘1中心设置有气氛输送管通道6，料盘1表面均勻分布有490个用于垫锥2插接的垫锥定位孔3，圆形定位孔3的内径为3. 3mm,满足与底面积H *D为1. 3*3 mm 的垫锥定位楔9外接需要，490个定位孔3围绕气氛输送管通道6均勻排列，布满料盘1表面。490个定位孔3的均勻排列规则是490个定位孔3在料盘1表面有规则排布，以任意定位孔3为中心，与其最近相邻的三个定位孔3中心距为12. 5mm呈正三角形排列，490 个定位孔3的间隙中均勻分布有圆形通气孔4，圆形通气孔4的直径为11mm。各通气孔4 和与其最近相邻的定位孔3中心距为10. 5mm,按此规则排列，以任意通气孔4为中心，与其最近相邻的六个定位孔呈正六边形排列。按此排列规则，除边沿区和中心区外，每个定位孔3的周边均布有三个通气孔4， 每个通气孔4周边均布有六个定位孔3。垫锥2插接并装载待涂层刀片5后的使用情况如图12所示，每个待涂层刀片5的三个角均位于圆形通气孔4上方，每个圆形通气孔4的上方均分布有六个刀尖。本实施例中，涂层刀片生产用装载舟皿是这样使用的将各垫锥2的定位楔9配套插入料盘1的各定位孔3中固定后，保持各垫锥2水平杆体9同向规则排列，料盘1上布满垫锥2后，将各个待涂层刀片5以中心孔套入刀片穿插立柱7的方式搁置于垫锥2上，此时待涂层刀片5的中心孔的下边沿与两水平杆体8的上表面角边形成四点接触的支承结构， 装载待涂层刀片5后，舟皿的整体高度仍未高于垫锥2和料盘1的总体高度，之后按常规步骤装舟、送入炉内，进行涂层生成加工。本实施例中，料盘1与垫锥2为分体式结构，方便加工，长期使用过程中也可以对多次循规使用后的垫锥2进行更换，废弃的垫锥2可以回收再利用，大大的降低了装料舟皿的制造成本和使用成本。待涂层刀片5得到了垫锥2的四点支承，即使其刃长较长，也不会在涂覆过程中发生倾覆或与相邻刀片接触，具有良好的定位效果；同时避免了刀片中心孔、 端面与垫锥粘接的问题，减少了粘结废品的产生；料盘1的厚度范围既可以保证强度，也避免总体高度过高，垫锥2所装载的刀片未突出于垫锥2表面，因此整体高度仍未高于气氛输送孔的高度，给涂层气氛的径向输送留出空间，实现涂覆均勻性；由于刀片穿插立柱7上段为斜面，使刀片装载容易，装舟效率高；料盘定位孔3与通气孔4的大小及排列位置根据刀片的形状选用，增加了通气孔4的开孔率，在充分利用料盘1表面积的同时，提高了刀片装舟量；降低了涂层刀片下端面的气氛遮挡区，保证了炉内气体的充分流通与分配，从而使反应气体损耗过大、涂覆产品颜色差别大、厚度不均勻等技术难题均得以解决；垫锥2与料盘 1总体高度降低，提高了刀片的装炉层数，提高了产能。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述装载舟皿包括盘形料盘和插接于料盘上表面的若干垫锥；所述的料盘上表面设置有供各垫锥插接的若干垫锥定位孔和分布于定位孔间隙的贯穿通气孔。
2.根据权利要求1所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述垫锥为对称的立体形十字结构，所述垫锥上部直立柱为刀片穿插立柱，所述垫锥向左右伸出的水平杆体为刀片承载体，所述垫锥下部直立柱为用于与料盘插接的定位楔。
3.根据权利要求2所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述的水平杆体在垂直方向的厚度自远端向中心逐渐线性加大，使左右两边的刀片承载体上表面分别对称地与垂直线成α夹角；所述刀片穿插立柱在水平方向的宽度自上而下逐渐线性加大，使两侧面的上段对称地与垂直线成β夹角。
4.根据权利要求3所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述垫锥的宽度A为5mm彡A彡20mm，所述垫锥的高度B为8mm彡B彡20mm，所述垫锥的厚度D为 Imm彡D彡5_，所述夹角α为50°彡α彡90°，所述夹角β为0°彡β彡45°，所述刀片穿插立柱根部宽度C为Imm < C < 5mm，所述刀片穿插立柱斜面下边线与所述垫锥底部的高度E为3mm彡E彡6mm，所述水平杆体8远端顶部与垫锥2底部的高度F为4mm彡F彡IOmm, 所述垫锥定位楔的高度G为2mm彡G彡5mm，所述定位楔的底面积H*D为Imm2彡H*D彡5mm2。
5.根据权利要求4所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述垫锥的材质为硬质合金。
6.根据权利要求1所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述料盘的厚度为 3mm— 6mm，所述料盘的直径为375mm时，所述定位孔的数量为200——500个。
7.根据权利要求6所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述200—500个定位孔在料盘1表面的坐标X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上与相邻定位孔的中心距为15mm_^mm，在Y方向上与相邻定位孔的中心距为20—35mm ；所述通气孔均勻分布于各定位孔的间隙，所述通气孔在X方向和/或Y方向上均位于两相邻定位孔的对称中心，所述通气孔是直径为10mm-15mm的圆孔。
8.根据权利要求6所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述200—500个定位孔在料盘表面的坐标X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上与相邻定位孔的中心距为Ilmm—22mm，在Y方向上与相邻定位孔的中心距为25mm—40mm ；所述通气孔均勻分布于各定位孔的间隙，所述通气孔在X方向和/或Y方向上均位于两相邻定位孔的对称中心，所述通气孔是长轴为IOmm — 15mm、短轴为5mm — 8mm的椭圆孔。
9.根据权利要求6所述的涂层刀片生产用装载舟皿，其特征在于所述200—500个定位孔在料盘表面规则排列，任意定位孔与相邻二个定位孔呈中心距为IOmm—15mm的正三角形排列，所述通气孔均勻分布于各定位孔的间隙，所述通气孔是直径为9mm—13mm的圆形通气孔，各通气孔和与邻近定位孔的中心距为8mm— 12mm。
10.权利要求1-9任一项所述的涂层刀片生产用装载舟皿在化学气相沉积法生产涂层刀片中的应用。
全文摘要
一种涂层刀片装载舟皿及其应用,装载舟皿包括盘形料盘和插接于料盘上表面的若干垫锥;料盘上表面设置有供各垫锥插接的若干垫锥定位孔和分布于定位孔间隙的贯穿通气孔。分体式的料盘和垫锥可使垫锥整体体积减小，最大限度的消除因装载工具占用炉内空间过大而在化学气相沉积反应过程中对气氛分配、消耗、流动所造成的影响；减小锥体底面积后可增大单层料盘上垫锥的装载量，降低垫锥装载刀片后的总体高度可实现增加炉内装舟层数，充分利用了炉内空间，增加了设备的产能。锥体底面积减小还可增加料盘开孔率，改善了炉内气体的流动性，提高了刀片涂覆的均匀性、厚度一致性。上述装载舟皿应用在涂层刀片生产中时对涂层生成反应影响小、产品质量稳定。
文档编号C23C16/458GK102534565SQ20121007782
公开日2012年7月4日 申请日期2012年3月22日 优先权日2012年3月22日
发明者尹江华, 熊平, 王以任, 袁美和, 谭文清, 邓剑, 黄立 申请人:株洲欧科亿硬质合金有限公司