专利名称：真空处理装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种真空处理装置。
背景技术：
目前，对晶圆或玻璃基板进行的化学气相沉积等处理工艺，一般在密闭的真空环 境下进行。通常将晶圆等放置在真空反应腔内，通过在与真空反应腔连接的门体上设置密 封环，对真空反应腔进行密封。如图1所示是现有技术一种真空处理装置，具体的，所述真空处理装置为化学气 相沉积设备，其设置有一腔门2，其一端通过铰链15固定连接在真空反应腔1上，使腔门2 可绕该铰链15转动并关闭。在真空反应腔1和腔门2远离铰链15的一端，对应设置有锁 固装置13、14来锁固所述腔门2。所述腔门2面向真空反应腔1的表面边缘设置有密封环； 在腔门2关闭同时压紧所述密封环，从而密封所述真空反应腔1。然而，由于腔门2绕铰链15相对真空反应腔1作单轴转动，靠近铰链15端的密封 环部分121会先与远离铰链15端的密封环部分122与腔体接触并形成挤压，从而使得密封 环受压不均衡，容易造成密封环的损坏。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种真空处理装置，通过设置双铰链的转动结构来对应 连接真空腔体和门体，使门体在关闭过程中，与真空腔体保持平行，从而能够均勻挤压门体 与真空腔体之间的密封环，延长该密封环的使用时间。为了达到上述目的，本发明的技术方案是提供一种真空处理装置。所述真空处理 装置包含真空腔体、铰链机构和门体，其特征在于，所述铰链机构包含铰链臂、第一转动结 构和第二转动结构；所述铰链臂的一端通过第一转动结构与真空腔体形成可转动连接；所 述铰链臂的另一端通过第二转动结构与门体形成可转动连接；所述第一转动结构的转动阻 力小于所述第二转动结构的转动阻力。所述第一转动结构包含第一转轴和套设在所述第一转轴上的第一轴承，所述第一 轴承为滚动轴承。所述第一轴承包含固定设置在所述真空腔体上的两个支撑板；所述第一转轴与所 述铰链臂的一端固定连接，所述第一转轴的轴向两端分别设置有圆锥转子；所述圆锥转子 设置在所述第一转轴及其对应的所述支撑板之间，使所述第一转轴与所述支撑板形成可转 动连接。所述第一轴承通过焊接或螺钉固定的方式固定设置在所述真空腔体上。所述第二转动结构包含第二转轴和套设在所述第二转轴上的第二轴承，所述第二 轴承为滑动轴承。所述第二轴承包含固定设置在所述门体上的两个支撑板；所述两个支撑板上对应 设置连接孔；所述第二转轴与所述铰链臂的另一端固定连接，其轴向两端分别套接在相匹配的所述连接孔中，使得所述第二转轴可转动固定在所述支撑板上。所述第二轴承进一步包含轴瓦，所述轴瓦设置在所述第二转轴与所述连接孔内壁 之间。所述第二轴承通过焊接或螺钉固定的方式固定设置在所述门体背向所述真空腔 体的表面。所述真空装置进一步包含一密封环，所述密封环设置在所述门体面向所述真空腔 体一侧。与现有技术相比，本实用新型真空处理装置，其优点在于本实用新型通过由第一转动结构、第二转动结构和铰链臂构成的双铰链结构连接 门体与真空腔体，以使所述门体在关闭过程中，能与真空腔体保持平行。如此，关闭的门体 对所述密封环能够均勻施力，从而使密封环不易损坏，使用时间有效延长。使第一转动结构 的转动阻力小于第二转动结构的转动阻力。由于第一转动结构的转动阻力小，操作人员可 以用较小的力气来开启或关闭门体，便于操作；第二转动结构的转动阻力大，可以防止门体 相对铰链臂的反向转动，以避免门体随意转动造成对门体和人员碰撞损伤。上述优选实施例的一种实现方式，是在所述第一转轴上设置滚动轴承，使连接铰 链臂与真空腔体的第一转动结构的转动阻力较小，方便门体的开启或关闭。在所述第二转 轴上设置滑动轴承，使连接铰链臂另一端和门体的第二转动结构的转动阻力较大，能避免 门体随意转动造成对门体和人员的碰撞损伤。
图1是现有化学气相沉积设备中腔门结构及其与真空反应腔的连接关系示意图；图2是本实用新型真空处理装置的总体结构俯视图；图3是本实用新型真空处理装置的总体结构正视图；图4是图3所示真空处理装置中第一转动结构的结构放大示意图；图5是图3所示真空处理装置中第二转动结构的结构放大示意图。
具体实施方式
以下结合附图说明本实用新型的具体实施方式
。配合参见图2、图3所示，本实用新型所述真空处理装置，尤其是一种化学气相沉 积设备，其包含真空腔体21、铰链机构和门体22，所述铰链机构连接所述真空腔体21与门 体22。在门体22面向所述真空腔体21的表面边缘设置有密封环26。该铰链机构包含铰链臂25、第一转动结构23和第二转动结构24，使所述铰链臂25 一端通过第一转动结构23与所述真空腔体21形成可转动连接；铰链臂25另一端通过第二 转动结构M与所述门体22形成可转动连接，以使所述门体22在关闭过程中，与真空腔体 21保持平行。如此，关闭的门体22，对所述密封环沈能够均勻施力，从而使密封环沈不易 损坏，使用时间有效延长。所述第一转动结构23包含配合连接的第一轴承231和第一转轴232，所述第一轴 承231套设在所述第一转轴232上。所述第一轴承231，通过焊接或螺钉固定的方式固定设 置在真空腔体21上。所述第一转轴232与所述铰链臂25 —端连接，进而使所述铰链臂25与所述第一轴承231形成可转动连接。所述第二转动结构M包含配合连接的第二轴承241和第二转轴M2，所述第二轴 承241套设在所述第二转轴M2。所述第二轴承M1，通过焊接或螺钉固定的方式固定设置 在所述门体22上、背向所述真空腔体21的表面。所述第二转轴242与所述铰链臂25的另 一端连接，进而使所述铰链臂25与所述第二轴承241形成可转动连接。优选地，所述第一转动结构23的转动阻力，小于所述第二转动结构M的转动阻 力，优选的，所述第二轴承241为滚动轴承，所述第二轴承241滑动轴承。配合参见图3、图4所示介绍上述优选实施例中第一转动结构23的一种实现方式， 其中图4是图3中第一转动结构23的结构放大示意图。所述第一转动结构23中，所述第一轴承231包含固定在所述真空腔体21上的两 个支撑板2311和圆锥转子233。所述两个支撑板2311分别具有一轴孔，所述圆锥转子233 设置在所述轴孔中。所述第一转轴232的轴向两端分别对应套设在所述两个支撑板2311的 轴孔内。所述圆锥转子233夹持在所述第一转轴232与所述支撑板2311的轴孔之间。从 而所述第一转轴232可以通过所述圆锥转子233在轴孔内转动。当所述第一转轴232在铰 链臂25带动下转动时，通过所述圆锥转子233与所述支撑板2311形成滚动摩擦，从而使所 述第一转动结构23的转动阻力较小。配合参见图3、图5所示，介绍上述优选实施例中第二转动结构M的一种实现方 式，其中图5是图3中第二转动结构M的结构放大示意图。所述第二轴承241包含固定设置在所述门体22上的两个支撑板Mll ；所述两个 支撑板Mll分别具有一连接孔M12。所述第二转轴M2固定连接所述铰链臂25的另一 端，所述第二转轴242的轴向两端分别套设在所述两个支撑板Mll的连接孔M12内，所述 第二转轴242的两端直接与所述连接孔M12的内表面接触，进而使得所述第二转轴242可 转动固定在所述支撑板Mll上。当所述第二转轴242转动时，所述第二转轴242与所述连 接孔M12内壁形成滑动摩擦，从而使所述第二转动结构M的转动阻力大于所述第一转动 结构23的转动阻力。优选地，第二轴承241进一步包含轴瓦，所述轴瓦设置在所述第二转轴 242与所述连接孔M12内壁之间，所述轴瓦可以降低所述第二轴承241与所述连接孔M12 内壁之间的摩擦磨损。综上所述，本实用新型所述真空处理装置，通过由第一转动结构23、第二转动结构 24和铰链臂25构成的双铰链结构连接门体22与真空腔体21，以使所述门体22在关闭过 程中，能与真空腔体21保持平行。如此，关闭的门体22对所述密封环沈能够均勻施力，从 而使密封环26不易损坏，使得所述密封环沈的有效使用时间延长。另外，在上述优选实施例中，第一转动结构23的转动阻力小于第二转动结构M的 转动阻力。由于第一转动结构23的转动阻力小，操作人员可以用较小的力气来开启或关闭 门体22，便于操作；第二转动结构M的转动阻力大，可以防止门体22相对铰链臂25的反 向转动，以避免门体22随意转动造成对门体22和人员碰撞损伤。上述优选实施例的一种实现方式，是在所述第一转轴232上设置滚动轴承，使连 接铰链臂25与真空腔体21的第一转动结构23的转动阻力较小，方便门体22的开启或关 闭。在所述第二转轴242上设置滑动轴承，使连接铰链臂25另一端和门体22的第二转动 结构M的转动阻力较大，能避免门体22随意转动造成对门体22和人员的碰撞损伤。[0036] 尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上 述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于 本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附 的权利要求来限定。
权利要求1.一种真空处理装置，其包含真空腔体(21)、铰链机构和门体(22)，其特征在于，所述 铰链机构包含铰链臂(25)、第一转动结构03)和第二转动结构04)；所述铰链臂05)的 一端通过所述第一转动结构03)与所述真空腔体形成可转动连接；所述铰链臂05) 的另一端通过所述第二转动结构04)与所述门体0 形成可转动连接；所述第一转动结 构03)的转动阻力小于所述第二转动结构04)的转动阻力。
2.如权利要求1所述真空处理装置，其特征在于，所述第一转动结构03)包含第一转 轴(23 和套设在所述第一转轴(23 上的第一轴承031)，所述第一轴承(231)为滚动轴 承。
3.如权利要求2所述真空处理装置，其特征在于，所述第一轴承(231)包含固定设置 在所述真空腔体上的两个支撑板0311)；所述第一转轴(23 与所述铰链臂05)的 一端固定连接，所述第一转轴032)的轴向两端分别设置有圆锥转子033)；所述圆锥转 子(23 设置在所述第一转轴(23 及其对应的所述支撑板0311)之间，使所述第一转轴 (232)与所述支撑板0311)形成可转动连接。
4.如权利要求3所述真空处理装置，其特征在于，所述第一轴承(231)通过焊接或螺钉 固定的方式固定设置在所述真空腔体上。
5.如权利要求1至4中任意一项所述真空处理装置，其特征在于，所述第二转动结构 (24)包含第二转轴( 和套设在所述第二转轴( 上的第二轴承041)，所述第二轴 承041)为滑动轴承。
6.如权利要求5所述真空处理装置，其特征在于，所述第二轴承(Ml)包含固定设 置在所述门体0 上的两个支撑板0411)；所述两个支撑板0411)上对应设置连接孔 (2412)；所述第二转轴( 与所述铰链臂0 的另一端固定连接，其轴向两端分别套 接在相匹配的所述连接孔041 中，使得所述第二转轴( 可转动固定在所述支撑板 (2411)上。
7.如权利要求6所述真空处理装置，其特征在于，所述第二轴承(Ml)进一步包含轴 瓦，所述轴瓦设置在所述第二转轴(M2)与所述连接孔0412)内壁之间。
8.如权利要求6所述真空处理装置，其特征在于，所述第二轴承(Ml)通过焊接或螺钉 固定的方式固定设置在所述门体0 背向所述真空腔体的表面。
9.如权利要求1所述真空处理装置，其特征在于，所述真空装置进一步包含一密封环 (26)，所述密封环06)设置在所述门体0 面向所述真空腔体—侧。
专利摘要本实用新型涉及一种真空处理装置，其包含真空腔体、铰链机构和门体；所述铰链机构包含铰链臂、第一转动结构和第二转动结构；所述铰链臂的一端通过所述第一转动结构与所述真空腔体形成可转动连接；所述铰链臂的另一端通过所述第二转动结构与所述门体形成可转动连接；所述第一转动结构的转动阻力小于所述第二转动结构的转动阻力。如此所述门体关闭过程中，门体能与真空腔体保持平行，并能均匀挤压门体与真空腔体之间的密封环，延长该密封环寿命。所述第一转动结构的转动阻力小于第二转动结构的转动阻力；既可以方便门体的开启或关闭，同时能避免门体随意转动造成对门体和人员的碰撞损伤。
文档编号C23C16/44GK201873752SQ20102065816
公开日2011年6月22日 申请日期2010年11月30日 优先权日2010年11月30日
发明者张昭 申请人:理想能源设备有限公司