专利名称：磁控溅射真空镀膜机组的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种镀膜机组，特别是涉及一种针对太阳能电池背电极镀膜的 磁控溅射真空镀膜机组。
背景技术：
目前，薄膜太阳能电池行业中在导电衬底玻璃上产生背电极的方法以磁控溅射 真空镀膜为主。背电极材料根据不同的电池结构采用不同的材料，非晶硅或微晶硅太阳 能电池主要采用铝、氧化锌等作为背电极材料。铝材料具有导电性能好、价格便宜等优 点，为了防止铝材料向半导体材料中扩散、使电池的性能下降，还可以在背电极的铝膜 内增添一层氧化锌膜，这样可提高背电极的反射作用。在磁控溅射铝膜或氧化锌膜的过程中，一般采用立式双边镀膜的磁控溅射机 组。立式双边镀膜时，在导电衬底玻璃的透明导电膜上沉积出非晶硅膜或微晶硅膜；将 沉积有非晶硅膜或微晶硅膜的两片导电衬底玻璃以玻璃面相对、非晶硅膜或微晶硅膜朝 外的方式放置在立式玻璃基片装载架的宽度方向两侧；利用真空泵组将磁控溅射机组真 空至10-5托以下，通入反应气体，打开直流或射频电源，开始启辉；通过常规的自动传 动装置，带动玻璃基片装载架在磁控溅射机组(该机组包括呈直线布置的若干真空室) 内依次连续直线移动，且该机组内的真空镀膜室中至少装有两对铝溅射靶或氧化锌溅射 靶，它们顺着玻璃基片装载架的移动方向布置且与导电衬底玻璃上的非晶硅膜或微晶硅 膜相对，处理结束后，使得两片导电衬底玻璃的非晶硅膜或微晶硅膜上均沉积有铝膜或 氧化锌膜，从而在两片导电衬底玻璃上产生背电极。该机组存在以下缺陷因该机组中缺乏玻璃基片装载架的转运装置、过渡台及行走轨道等辅助设备， 虽然设备成本有所降低，但是，镀膜前多名操作人员要花费大量的准备时间，镀膜时多 名操作人员更要来回奔波进行玻璃基片装载架的转运，操作人员之间无法良好地衔接配 合，难以实现连续化地不间断作业，这严重影响了镀膜质量和镀膜效率，人力成本较高。综上所述，采用该机组后，操作人员的劳动强度较大，难以满足大规模工业化 生产的需求。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种磁控溅射真空镀膜机组，采用本机组 后，操作人员的劳动强度较小，可满足大规模工业化生产的需求。为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜机组，它包括 依次相连的入端大气真空转换室、入端真空过渡室、入端真空缓冲室、真空镀膜室、出 端真空缓冲室、出端真空过渡室、出端大气真空转换室，入端大气真空转换室的进口设 置真空门阀，出端大气真空转换室的出口设置真空门阀，入端大气真空转换室与入端真空过渡室之间、入端真空过渡室与入端真空缓冲室之间、出端真空缓冲室与出端真空过 渡室之间、出端真空过渡室与出端大气真空转换室之间均设置真空门阀，入端真空缓冲 室、真空镀膜室、出端真空缓冲室依次连通，入端大气真空转换室与第一真空泵组相 接，入端真空过渡室、入端真空缓冲室、真空镀膜室、出端真空缓冲室、出端真空过渡 室均与第二真空泵组相接，出端大气真空转换室与第三真空泵组相接，所述的每个室内 按照同一轴线排布的方式设置分段传动总成，真空镀膜室中至少装有两对溅射靶，它们 顺着分段传动总成的排布方向布置且相对错开排列，入端大气真空转换室的真空门阀之 外设置与分段传动总成相垂直的第一玻璃转运装置，出端大气真空转换室的真空门阀之 外设置与分段传动总成相垂直的第二玻璃转运装置，第一玻璃转运装置的一端与入端大 气真空转换室的真空门阀之间相互间隔，第二玻璃转运装置的一端与出端大气真空转换 室的真空门阀之间相互间隔，第一玻璃转运装置和第二玻璃转运装置的另一端之间有与 分段传动总成相平行的行走轨道。为能简洁说明问题起见，以下对本实用新型所述磁控溅射真空镀膜机组均简称 为本机组。由上述方案可见，因本机组中包括玻璃基片装载架的转运装置及行走轨道等辅 助设备，并与所述的若干真空室形成可连续化镀膜作业的循环流水生产线，这样，整个 镀膜操作仅需要两名操作人员(他们分别站位于入端大气真空转换室的真空门阀和出端 大气真空转换室的真空门阀处)，且镀膜前只要花费少量的准备时间，镀膜时依靠所述的 辅助设备即可方便地完成玻璃基片装载架的转运，操作人员无须为此来回奔波，两名操 作人员可良好地衔接配合，从而实现连续化地不间断作业，有效提高了镀膜质量和镀膜 效率，人力成本较低。综上所述，采用本机组后，操作人员的劳动强度较小，可满足大规模工业化生
产的需求。作为本机组的改进，本机组还包括呈方形布置的第一过渡台、第二过渡台、第 三过渡台、第四过渡台；第一过渡台处于第一玻璃转运装置的一端与入端大气真空转换室的真空门阀之 间，第一过渡台分别与第一玻璃转运装置的一端、入端大气真空转换室的真空门阀相互 间隔，第一过渡台与分段传动总成共同一轴线；第二过渡台处于第二玻璃转运装置的一端与出端大气真空转换室的真空门阀之 间，第二过渡台分别与第二玻璃转运装置的一端、出端大气真空转换室的真空门阀相互 间隔，第二过渡台与分段传动总成共同一轴线；第三过渡台处于第一玻璃转运装置的另一端与行走轨道的一端之间，第三过渡 台分别与第一玻璃转运装置的另一端、行走轨道的一端相互间隔，第三过渡台与分段传 动总成相平行；第四过渡台处于第二玻璃转运装置的另一端与行走轨道的另一端之间，第四过 渡台分别与第二玻璃转运装置的另一端、行走轨道的另一端相互间隔，第四过渡台与分 段传动总成相平行。设置所述的四个过渡台，可对流进和流出所述若干真空室的玻璃基片装载架进 一步起到缓冲、过渡的作用，从而使得玻璃基片装载架在转运时运行准确、移动勻速。
图1是本机组俯视方向的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的实施方式进行具体描述参见图1 本机组包括依次相连的入端大气真空转换室1、入端真空过渡室2、入端真空缓 冲室3、真空镀膜室4、出端真空缓冲室5、出端真空过渡室6、出端大气真空转换室7以 及呈方形布置的第一过渡台15、第二过渡台16、第三过渡台17、第四过渡台18。入端大气真空转换室1的进口设置真空门阀8，出端大气真空转换室7的出口设 置真空门阀8。入端大气真空转换室1与入端真空过渡室2之间、入端真空过渡室2与入 端真空缓冲室3之间、出端真空缓冲室5与出端真空过渡室6之间、出端真空过渡室6与 出端大气真空转换室7之间均设置真空门阀8。真空门阀8为现有技术。入端真空缓冲室3、真空镀膜室4、出端真空缓冲室5依次连通。入端大气真空 转换室1与第一真空泵组12相接，入端真空过渡室2、入端真空缓冲室3、真空镀膜室 4、出端真空缓冲室5、出端真空过渡室6均与第二真空泵组13相接，出端大气真空转换 室7与第三真空泵组14相接。所述的每个室为长方体状腔室，所述的每个室内按照同一轴线排布的方式设置 分段传动总成20，分段传动总成20为轮式或者链式结构，为现有技术。真空镀膜室4中 装有四对铝溅射靶4a，它们顺着分段传动总成20的排布方向布置且相对错开排列。入端大气真空转换室1的真空门阀8之外设置与分段传动总成20相垂直的第一 玻璃转运装置9，出端大气真空转换室7的真空门阀8之外设置与分段传动总成20相垂直 的第二玻璃转运装置10。第一玻璃转运装置9的一端与入端大气真空转换室1的真空门 阀8之间相互间隔，第二玻璃转运装置10的一端与出端大气真空转换室7的真空门阀8 之间相互间隔，第一玻璃转运装置9和第二玻璃转运装置10的另一端之间有与分段传动 总成20相平行的行走轨道11。第一过渡台15处于第一玻璃转运装置9的一端与入端大气真空转换室1的真空 门阀8之间，第一过渡台15分别与第一玻璃转运装置9的一端、入端大气真空转换室1 的真空门阀8相互间隔，第一过渡台15与分段传动总成20共同一轴线。第二过渡台16处于第二玻璃转运装置10的一端与出端大气真空转换室7的真空 门阀8之间，第二过渡台16分别与第二玻璃转运装置10的一端、出端大气真空转换室7 的真空门阀8相互间隔，第二过渡台16与分段传动总成20共同一轴线。第三过渡台17处于第一玻璃转运装置9的另一端与行走轨道11的一端之间，第 三过渡台17分别与第一玻璃转运装置9的另一端、行走轨道11的一端相互间隔，第三过 渡台17与分段传动总成20相平行。第四过渡台18处于第二玻璃转运装置10的另一端与行走轨道11的另一端之 间，第四过渡台18分别与第二玻璃转运装置10的另一端、行走轨道11的另一端相互间 隔，第四过渡台18与分段传动总成20相平行。[0030]所述的每个室、每个过渡台、每个玻璃转运装置、行走轨道11为现有技术，它 们上均可设置光电信号检测器(如图1中的实心黑点所示，图1中未示出光电信号检测器 的件号)。这样，光电信号检测器发出信号给控制装置，由控制装置实施可靠地控制。镀膜时，依靠本机组可方便地完成玻璃基片装载架19的转运。以上所述的仅是本实用新型的一种实施方式。应当指出，对于本领域的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也 应视为属于本实用新型的保护范围。比如在确保溅射靶顺着分段传动总成的排布方向 布置且相对错开排列的前提条件下，真空镀膜室中所装溅射靶的对数可根据需要灵活决 定。
权利要求1.磁控溅射真空镀膜机组，包括依次相连的入端大气真空转换室、入端真空过渡 室、入端真空缓冲室、真空镀膜室、出端真空缓冲室、出端真空过渡室、出端大气真空 转换室，入端大气真空转换室的进口设置真空门阀，出端大气真空转换室的出口设置真 空门阀，入端大气真空转换室与入端真空过渡室之间、入端真空过渡室与入端真空缓冲 室之间、出端真空缓冲室与出端真空过渡室之间、出端真空过渡室与出端大气真空转换 室之间均设置真空门阀，入端真空缓冲室、真空镀膜室、出端真空缓冲室依次连通，入 端大气真空转换室与第一真空泵组相接，入端真空过渡室、入端真空缓冲室、真空镀膜 室、出端真空缓冲室、出端真空过渡室均与第二真空泵组相接，出端大气真空转换室与 第三真空泵组相接，所述的每个室内按照同一轴线排布的方式设置分段传动总成，真空 镀膜室中至少装有两对溅射靶，它们顺着分段传动总成的排布方向布置且相对错开排 列，其特征在于入端大气真空转换室的真空门阀之外设置与分段传动总成相垂直的第 一玻璃转运装置，出端大气真空转换室的真空门阀之外设置与分段传动总成相垂直的第 二玻璃转运装置，第一玻璃转运装置的一端与入端大气真空转换室的真空门阀之间相互 间隔，第二玻璃转运装置的一端与出端大气真空转换室的真空门阀之间相互间隔，第一 玻璃转运装置和第二玻璃转运装置的另一端之间有与分段传动总成相平行的行走轨道。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射真空镀膜机组，其特征在于本机组还包括呈方形布置的第一过渡台、第二过渡台、第三过渡台、第四过渡台； 第一过渡台处于第一玻璃转运装置的一端与入端大气真空转换室的真空门阀之间， 第一过渡台分别与第一玻璃转运装置的一端、入端大气真空转换室的真空门阀相互间 隔，第一过渡台与分段传动总成共同一轴线；第二过渡台处于第二玻璃转运装置的一端与出端大气真空转换室的真空门阀之间， 第二过渡台分别与第二玻璃转运装置的一端、出端大气真空转换室的真空门阀相互间 隔，第二过渡台与分段传动总成共同一轴线；第三过渡台处于第一玻璃转运装置的另一端与行走轨道的一端之间，第三过渡台分 别与第一玻璃转运装置的另一端、行走轨道的一端相互间隔，第三过渡台与分段传动总 成相平行；第四过渡台处于第二玻璃转运装置的另一端与行走轨道的另一端之间，第四过渡台 分别与第二玻璃转运装置的另一端、行走轨道的另一端相互间隔，第四过渡台与分段传 动总成相平行。
专利摘要磁控溅射真空镀膜机组，其结构特点为入端大气真空转换室的真空门阀之外设置与分段传动总成相垂直的第一玻璃转运装置，出端大气真空转换室的真空门阀之外设置与分段传动总成相垂直的第二玻璃转运装置，第一玻璃转运装置的一端与入端大气真空转换室的真空门阀之间相互间隔，第二玻璃转运装置的一端与出端大气真空转换室的真空门阀之间相互间隔，第一玻璃转运装置和第二玻璃转运装置的另一端之间有与分段传动总成相平行的行走轨道。采用本机组后，操作人员的劳动强度较小，可满足大规模工业化生产的需求。
文档编号C23C14/35GK201801582SQ201020533899
公开日2011年4月20日 申请日期2010年9月14日 优先权日2010年9月14日
发明者崔介东, 彭为报, 章新良, 龚瑞 申请人:普乐新能源(蚌埠)有限公司