专利名称：一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种镀膜溅射装置，尤其涉及到驱动齿轮为锥齿轮，所述从动齿轮为 锥形齿轮，驱动齿轮与从动齿轮通过锥齿轮传动方式进行传动的真空磁控溅射镀膜用旋转 阴极驱动装置
背景技术：
真空磁控溅射镀膜是当今镀膜工艺中镀膜质量最好，应用范围最广的镀膜工艺， 在该镀膜工艺中，对镀膜设备的选择比较重要，而在镀膜设备中，磁控溅射阴极尤为重要， 目前普遍采用的是平面溅射阴极，由于平面溅射阴极只溅射固定的靶材区域，一定时间后 会形成跑道状溅射区域，会影响后期镀膜的均勻性和稳定性，而比较先进的溅射靶材能旋 转的溅射阴极由于现有技术不是太成熟，容易产生漏气、漏水和阴极短路等现象，严重影响 镀膜的质量和设备的维护周期，降低了靶材的利用率，公告号为CN1865485A和CN2923740Y 的中国专利介绍了一种表面金属镀膜设备用靶极系统，在上述两个专利中，其传动装置采 用传动链轮，链轮设置在设备内，其维修不方便，同时，传动效率不高，影响镀膜的质量。另 外，由于在上述专利形成的设备中，没有考虑到设备的密封性，从而造成漏气、漏水和阴极 短路等现象，加快了设备损耗，影响镀膜的效果和生产效率。
发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种溅射阴极可以旋转、密封性好的真空磁控 溅射镀膜用旋转阴极驱动装置。为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是提供一种真空磁控溅射镀膜用 旋转阴极驱动系统，其包括聚甲醛基座、驱动头壳体、驱动轴、驱动齿轮、从动齿轮、轴套、输 入轴头、磁芯轴、冷却水管接口、电刷接线柱、靶材、前端盖、后端盖、油杯，其中，所述驱动齿 轮设置在驱动轴下端，所述驱动齿轮为锥齿轮，从动齿轮为锥形齿轮，驱动齿轮与从动齿轮 通过锥齿轮传动方式进行传动。本发明的另一种优先方案是，所述轴套的前后两端均设有滚动轴承，其中，所述滚 动轴承同时位于轴套上的双道动密封内侧。本发明的另一种优先方案是，所述从动齿轮通过螺栓与轴套连接固定，轴套内置 有输入轴头，其中，所述轴套与输入轴头连接处的尾端还设有张紧套传动装置，所述输入轴 头与磁芯轴相接处还设置有磁芯连接件，当从动齿轮运动时，依次通过轴套，输入轴头，慈 芯轴连接件带动磁芯轴运动。本发明的另一种优先方案是，其中，磁芯轴尾端还设有磁芯固定轴，磁芯固定轴与 所述后端盖连接处还设有绝缘垫。本发明的另一种优先方案是，所述冷却水管接口下端连接有冷却水通道，所述输 入轴头内还设置有一冷却水管，所述冷却水管内腔与冷却水通道相通，其中，冷却水通道尾 端口设置在磁芯连接件下端。[0009]本发明的另一种优先方案是，，所述轴套内腔尾端还设置有至少一个以上的冷却 水回流通道，所述冷却水管接口、冷却水通道、冷却水回流通道、冷却水管组成冷却水循环 系统。本发明的另一种优先方案是，，所述聚甲醛基座顶端还设置有一个油杯，所述油杯 下端接有润滑油通道，所述润滑油通道穿过前端盖，尾端至前端盖与轴套的相接处的中间 位置。本发明的另一种优先方案是，所述靶材置于磁芯轴上端，并于磁芯连接件外圆周 顶端相连，靶材外端还设置有一个屏蔽罩，所述屏蔽罩尾端固定在前端盖上。本发明的技术效果是提供一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动装置，由于其采 用锥形齿轮传动方式进行传动，可以提高转速，从而提高镀膜的效率，延长旋转阴极驱动系 统的寿命。另外，其两个零部件结合处采用静密封或动密封结构密封，可以获得良好的密封 效果，防止漏气、漏水和阴极短路等现象，减少了维修成本，延长了旋转阴极驱动系统的寿 命。
图1是本发明驱动装置的第一剖面示意图；图2是本发明驱动装置的第二剖面示意图；图3是本发明的冷却水回流通道处局部放大示意图；图4是本发明的冷却水通道局部放大示意图；图5是本发明的聚甲醛基座顶端的示意图。1-聚甲醛基座，2-驱动头壳体，3-驱动轴，4-轴套，5-冷却水管接口，6_电刷接线 柱，7-静密封，8-动密封，9-靶材，10-前端盖，11-后端盖，12-屏蔽罩，13-绝缘垫，14-滚 动轴承，30-驱动齿轮，31-从动齿轮，32-张紧套传动装置，33-驱动轴孔，40-输入轴头， 41-磁芯轴，42-磁芯固定轴，43-磁芯连接部件，50-冷却水管通道，51-冷却水管，52-冷却 水回流通道，53-冷却水管通道，60-接线柱管，61-电刷装置，63-接线柱管孔，70-0型密封 圈，80-骨架密封圈，100-油杯，101-润滑油通道，102-润滑油通道孔。
具体实施方式
为了更清楚的说明本发明的技术方案，
以下结合附图对本发明做进一步的描述。参照图1、图2所示，图7所示，旋转阴极驱动系统顶端的驱动头聚甲醛基座1设 置有四个基孔，其中，上述四个基孔分为驱动轴孔33、接线柱管孔63、冷却水管通道53，润 滑油通道孔102，驱动轴孔33内设置有驱动轴3，驱动轴3下端连接有驱动齿轮30，驱动齿 轮30为锥齿轮，驱动齿轮30通过锥齿轮传动方式带动从动齿轮31，从动齿轮31通过螺栓 与轴套4固定，在轴套4上内腔中还设置有输入轴头40，输入轴头40前端连接有磁芯连接 件43，磁芯连接件43前端与磁芯轴41相连，磁芯轴41后端还与磁芯固定轴42相连，当驱 动轴3运动时，依次带动驱动齿轮30，从动齿轮31，轴套4，输入轴头40，磁芯连接件42，磁 芯轴41运动。参照图1、图7所示，聚甲醛基座1为圆柱形，在其外圆周上设置有包围其的驱动 头壳体2，所述驱动头壳体2与聚甲醛基座1相接处采用静密封7结构密封，在驱动头壳体2的下端前后分别设置有前端盖10、后端盖11，驱动头壳体2与前端盖10或后端盖11相 接处设置有静密封7，其中，所述前端盖10、后端盖11、聚甲醛基座1组成一个密闭的腔体， 并把轴套4封闭在该腔体内，在轴套4与前、后端盖(10，11)相接处还设置有一对滚动轴承 14，在所述滚动轴承14的两侧外端采用多道动密封8结构密封，使轴套4内形成真空。参照图1、图2、图4所示，在聚甲醛基座1上设置的冷却水管通道50上端设有冷 却水管接口 5，其中，冷却水管通道50尾端直达磁芯连接件43的下端，并与磁芯轴41的内 腔相通，通过冷却水管通道50的冷却水依次经过轴套4，输入轴头40、冷却水管51、磁芯轴 41、冷却水回流通道52回到冷却水管接口 5，组成一个冷却循环系统。参照图1，图6所示，驱动轴3与聚甲醛基座1相接处上下两端分别设置有一对滚 动轴承14，在所述滚动轴承14的上端采用动密封8结构进行密封。参照图1，图5所示，导电接线柱管60上端设置有电刷接线柱6，下端设置有电刷 装置61，其中，电刷装置61可与轴套4相触，当有电流通过电刷接线柱6时，电流依次经过 导电接线柱管60，电刷装置61，轴套4、输入轴头40，最后传送到磁芯轴41上，导电接线柱 管60与聚甲醛基座1相接处采用静密封7结构密封。本发明的一种优先具体实施方式
是，参照图1，在轴套4与输入轴头40的连接尾端 还设置有张紧套传动装置32，其中，张紧套传动装置32为弹性元件。本发明的一种优先具体实施方式
是，参照图2，在磁芯固定轴42的后端与后端盖 11相接处还设置有绝缘垫13，绝缘垫13的作用为防止驱动头壳体2和前、后端盖(10、11) 带电。参照图1所示，在磁芯轴41的外圆周上端设置有靶材9，靶材9的上端设置有屏蔽 罩12，屏蔽罩一端位于靶材上端，另一端通过螺栓固定在前端盖10上。参照图1所示，磁芯连接件43与磁芯轴41连接处采用静密封7结构密封。本发明的一种优先具体实施方式
是，参照图2、图3所示，在所述润滑油通道101上 设置有油杯100，油杯100内上置有润滑油，其中，所述润滑油通道101尾端设在前端盖10 上部中间位置处，其为在滚动轴承14、轴套4、输入轴头40、磁芯轴41间起润滑作用。本发明保护的是一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统，只要是本领域技术 人员了解本发明的实施例，而不经过创造性的劳动，仅是同等技术的替换，都属于本发明的 保护范围。
权利要求一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动装置，包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11)、油杯(100)，其中，所述驱动齿轮(30)设置在驱动轴(3)下端，其特征在于，所述驱动齿轮(30)为锥齿轮，所述从动齿轮(31)为锥形齿轮，所述驱动齿轮(30)与从动齿轮(31)通过锥齿轮传动方式进行传动。
2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述轴套(4)的前后两端均设有滚动 轴承(14)，其中，所述滚动轴承(14)同时位于轴套(4)上的双道动密封内侧。
3.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述从动齿轮(31)通过螺栓与轴套 (4)连接固定，所述轴套(4)内置有输入轴头(40)，所述输入轴头(40)与磁芯轴(41)相接 处设置有磁芯轴连接件(43)，当从动齿轮运动时，依次通过轴套(4)，输入轴头(40)，磁芯 轴连接件(43)，带动磁芯轴(41)运动。
4.根据权利要求1或5所述的驱动装置，其特征在于，所述磁芯轴(41)尾端还设有磁 芯固定轴(42)，所述磁芯固定轴(42)与后端盖(11)连接处还设有绝缘垫(13)。
5.根据权利要求1或5所述的驱动装置，其特征在于，所述轴套(4)与输入轴头(40) 连接处的尾端设有张紧套传动装置(34)。
6.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述冷却水管接口(5)下端连接有冷 却水通道(50)，所述输入轴头(40)内腔还设置有一冷却水管(51)，所述冷却水管(51)内 腔与冷却水通道(50)相通，所述轴套(4)内腔尾端还设置有至少一个以上的冷却水回流 通道(53)，所述冷却水管接口(5)、冷却水通道(50)、冷却水回流通道(53)、冷却水管(51) 组成冷却水循环系统。
7.根据权利1所述的驱动装置，其特征在于，所述聚甲醛基座(1)基座顶端还设置有一 个油杯(100)，所述油杯(100)下端接有润滑油通道(101)，所述润滑油通道(101)穿过前 端盖(10)，至前端盖(10)与轴套(4)的相接处中间位置。
8.根据权利1所述的驱动装置，其特征在于，所述电刷接线柱(6)下端设置有接线柱管 (60)，所述接线柱管(60)底端设置有电刷装置(61)。
专利摘要本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动装置，其包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11)，其中，驱动齿轮(30)为锥齿轮，设置在驱动轴(3)下端，从动齿轮(31)也为锥形齿轮，两者通过锥齿轮传动方式进行传动，本实用新型的技术效果是镀膜效率高，驱动系统寿命长。
文档编号C23C14/35GK201746585SQ20102023674
公开日2011年2月16日 申请日期2010年6月24日 优先权日2010年6月24日
发明者李惠, 魏庆瑄 申请人:上海子创镀膜技术有限公司