专利名称：一种高纯度无水氧化硼铸模装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种铸模装置，尤其涉及一种高纯度无水氧化硼铸模装置。
背景技术：
在in-V族化合物半导体制备中，需要用无水氧化硼作为高温覆盖剂，要 求氧化硼的纯度> 99. 999%，含水率《200ppm,这种高纯度的氧化硼被称为高温 覆盖剂级氧化硼。这种氧化硼不仅对纯度、水分含量有严格的要求，而且对氧 化硼的形态也有特定的要求， 一般都做成不同规格的圆柱体，每块质量误差《 0. 5克。但铸模时，熔融状态下的氧化硼的粘度从1400-120(TC,变化很大，倾
倒困难，更不用说进行高精度的铸模了。 实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种高纯度无水氧化硼铸模装置。
本实用新型的技术方案如下 一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料 坩埚、模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有 上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。
所述坩埚、塞柱由铂金制成。所述坩埚设有盖子。
所述出料孔连接有导液管。
所述加热装置为中频感应加热器。
所述模具带有称重装置。所述称重装置为电子秤。
高纯度无水氧化硼铸模方法，包括如下步骤氧化硼置于铂金坩埚中并保 持140(TC;拉起塞柱使氧化硼液体通过坩埚底部出料口流出，注入位于坩埚下 面的模具中；当浇铸完毕时，放下塞柱关闭坩埚底部出料口。
氧化硼浇铸时，同时对模具称重，达到所需重量后浇铸完毕。 将凝成固体的氧化硼从模具中倒出，并置于真空干燥器冷却。 本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是装置机构简单、方法操作 方便、定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的高精度铸 模。
图l为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作详细描述。 实施例1:如
图1所示， 一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚3、 模具6，所述坩埚设有中频感应加热器4，所述坩埚底部有出料孔8，出料孔S 中设有上下活动的塞柱1,塞柱1上端套在固定在所述坩埚3上部的塞柱定位板 2的定位孔中。坩埚3设有盖子，坩埚3、塞柱l由铂金制成，出料孔S连接有 导液管7，模具6带有电子秤5。 一种高纯度无水氧化硼铸模方法，包括如下步 骤氧化硼置于铂金坩埚3中并通过中频感应加热器4保持140(TC;拉起塞柱 l使氧化硼液体通过坩埚底部出料口 8流出，注入位于坩埚3下面的模具6中； 氧化硼浇铸时，同时对模具称重，达到所需重量后，浇铸完毕，放下塞柱1关 闭坩埚底部出料口 8;将凝成固体的氧化硼从模具中倒出，并置于真空干燥环境 由A初
j -、 …,o
除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或 等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围之内。
权利要求1.一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，其特征在于所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。
2. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述坩 埚、塞柱由铂金制成。
3. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述坩 埚设有盖子。
4. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述出 料孔连接有导液管。
5. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述加 热装置为中频感应加热器。
6. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述模 具带有称重装置。
7. 根据权利要求6所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述称 重装置为电子秤。
专利摘要本实用新型公开了一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。装置机构简单、方法操作方便、定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的高精度铸模。
文档编号B22C9/06GK201357207SQ20092003693
公开日2009年12月9日 申请日期2009年3月2日 优先权日2009年3月2日
发明者杜万毅, 范家骅 申请人:南京金美镓业有限公司