专利名称：高速离心式功能材料成膜装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种功能材料的成膜装置，尤其是指一种高速离心式成膜装置。
本实用新型的目的是这样实现的它包括成膜基板及成膜材料发射源，所述成膜基板为圆筒状，固定在旋转筒内筒壁上，旋转筒与电机连接，成膜材料发射源置于旋转筒内。
此种装置开始工作后，成膜基板和旋转筒一起高速旋转，成膜材料到达内壁时也会随之产生离心力，使材料在结晶过程中互相挤压，减少了薄膜中的空隙，提高了薄膜的密度和质量，同时成膜材料到达成膜基板的内壁后，很少再能弹跳脱离内壁，这样不但提高了成膜速度，而且由于成膜材料在空中相互碰撞结合的机会减少，使得落到基板上的材料更加细化。
另外，成膜基板为圆筒状，且高速旋转，使得发射源在更接近成膜基板的地方也能使成膜材料分布均匀，有利于快速成膜。
图1中，1.电机，2.电刷，3.旋转筒，4.成膜基板，5.电极，6.给气孔，7.排气孔，8.气体室。
图2为本实用新型的另一种应用结构示意图。
图2中，1.电机，3.旋转筒，4.成膜基体，9.蒸发皿，10.真空室。
实施例二如图2所示，电机1的轴上连接一旋转筒3，成膜基板4位于旋转筒3内壁上，旋转筒3的一侧开放，蒸发皿9位于旋转筒3内成膜基板4附近，可以根据需要改变位置或角度。整个装置置于真空室10内。
权利要求1.高速离心式功能材料成膜装置，它包括成膜基板及成膜材料发射源，其特征在于所述成膜基板为圆筒状，固定在旋转筒内筒壁上，旋转筒与电机连接，成膜材料发射源置于旋转筒内。
专利摘要本实用新型公开了一种高速离心式功能材料成膜装置，它包括成膜基板及成膜材料发射源，所述成膜基板为圆筒状，固定在旋转筒内筒壁上，旋转筒与电机连接，成膜材料发射源置于旋转筒内。它由电机带动旋转筒和成膜基板一起高速旋转，使成膜材料产生离心力，而快速沉积在成膜基板而成膜，它具有成膜速度快、质量好等优点。
文档编号C23C14/22GK2559654SQ0224579
公开日2003年7月9日 申请日期2002年8月19日 优先权日2002年8月19日
发明者秦友刚 申请人:秦友刚