专利名称：一种新型的阴极电弧离子镀膜装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型所述的是一种新型的阴极电弧离子镀膜装置，属于等离子体加速器型镀膜技术。
阴极电弧蒸发离化源中的等离子体加速力可调，阴极电弧蒸发离化源提供的等离子体状态的物质，处在电弧放电的高密度带电粒子发射状态，并在源的内部永久磁体的磁场和外绕大电流线圈磁场的作用下，获得加速，又在施加于匀速运动的板材的负偏压的作用下，沉积于板材表面，使板材上得到的膜层可以精确控制，且保证膜厚分布均匀，从而可以产生与膜层厚度有严格关联的新膜层色调，如红色、绿色、蓝色等。
进板过程关真空锁4，板材进入上料真空室1，加热并启动旋片机械泵-罗茨泵机组，真空抽到6.6Pa，开高真空阀使上料真空室1及真空镀膜室2真空度同时抽到近似于2×10-2pa，开真空锁4，板材由上料真空室1进入到真空镀膜室2.
镀膜过程打开阴极电弧蒸发离化源6，板材从上料真空室1，平移并经过真空镀膜室2镀膜，再移动到下料真空室3，如果膜厚要调整，可逆向移动板材，既经过3→2→1一段工艺设定的时间，直到完成镀膜。
出板过程下料真空室3先抽至近于2×10-2pa，打开室2与室3之间的真空锁，板材由真空镀膜室2进入下料真空室3，关此真空锁，稍冷却，向下料真空室3充大气，出板。
权利要求1.一种新型的阴极电弧离子镀膜装置，其特征在该装置包括上料真空室、真空镀膜室、下料真空室、阴极电弧蒸发离化源、等离子体加速区，所述真空镀膜室置于上料真空室和下料真空室之间，中间由左真空锁、右真空锁相隔开，置于真空镀膜室中的阴极电弧蒸发离化源为圆形、矩形、圆柱形中的任何一种，等离子体加速区与真空镀膜室相通，阴极电弧蒸发离化源置于等离子体加速区的端部。
2.如权利要求1所述的一种新型的阴极电弧离子镀膜装置，其特征在于阴极电弧蒸发离化源表面与被镀板材表面之间的距离为50-1500mm.
专利摘要一种新型的阴极电弧离子镀膜装置，属于等离子体加速器型离子镀膜技术，本装置是扫描式离子镀膜装置，由上料真空室、真空镀膜室、下料真空室、阴极电弧蒸发离化源、等离子体加速区，所述真空镀膜室置于上料真空室与下料真空室之间，中间由左真空锁、右真空锁相隔开，置于真空镀膜室中的阴极电弧蒸发离化源为圆形、矩形、圆柱形中的任何一种，等离子体加速区与真空镀膜室相通，阴极电弧蒸发离化源置于等离子体加速区的端部。
文档编号C23C14/24GK2525100SQ0121984
公开日2002年12月11日 申请日期2001年4月20日 优先权日2001年4月20日
发明者王殿儒, 张金平, 程云立, 王百湘 申请人:北京长城钛金公司