一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置制造方法
【专利摘要】一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台前方，电脑显示屏放置在对中台外侧，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。激光在校正玻璃板的涂黑上刻划十字，工业相机捕捉十字的图像，计算工业相机与激光之间的偏差，送激光，校正激光与相机之间的系统偏差。目测电脑屏幕上十字薄膜和校正玻璃板图像这两个十字，直观地观测补偿效果。
【专利说明】一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶圆背刻技术的校正装置，尤其是涉及一种基于CCD影像定位检测的高精度晶圆背刻对中系统的校正装置。
【背景技术】
[0002]激光作为一种新工业加工技术，在计算机控制下可以在各种材料表面刻划图案和文字。激光刻划标志可以控制在线宽十几个微米之内，其重复性达到几个微米，并可在电脑控制下，接受外部软件指令，调整标刻图案的位置和角度。
[0003]CCD工业相机可以捕捉微米级分辨率的图像，并计算出图像间的微米级的位置偏差，为高精度的应用奠定了理论和硬件基础。
[0004]当CCD工业相机安装在晶圆的正面，激光安装在晶圆背面，由于机加工误差和安装误差，相机和激光的零位基准不可能合一。
[0005]由于工业相机和激光分布在晶圆两侧，通常技术无法检测工业相机与激光的零位基准之间的偏差，包括在后续的生产中，激光的漂移，或相机捕捉图像的计算误差，等诸多因素造成激光刻划的偏离，均无法得到检测和及时的校正。
[0006]本专利用激光在校正玻璃板上刻划图案，辅助以底光，结合工业相机捕捉校正玻璃板上刻划的图案，校正工业相机参数位置，为激光背刻图案提供高精度的定位。
实用新型内容
[0007]本实用新型的目的是利用玻璃片的透光特性，利用激光在校正玻璃板上刻划图案，辅助以底光，结合工业相机捕捉校正玻璃板上刻划的图案，校正工业相机参数位置，为激光背刻图案提供高精度的定位，同时在电脑屏幕粘贴十字薄膜，利用电脑屏幕的尺寸，直观的观测校正的效果。
[0008]本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现:
[0009]I)本实用新型包括:晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，其中校正玻璃板正面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置，手工在底面45度涂满单层黑色，十字薄膜为打印有十字对中线的薄膜，用于目测系统校正的结果，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，十字对中线与电脑显示屏中心重合。
[0010]2)激光以本身原点对校正玻璃板的涂黑刻划十字线，工业相机捕捉该十字线的图像，计算出图像中激光刻划的十字线与工业相机图像中心的偏差，得到工业相机与激光的系统偏差，激光再以本身原点经系统偏差补偿后对校正玻璃板上开窗位置的涂黑再次刻划十字线，工业相机捕捉新十字线的图像，目测电脑显示屏上激光刻划的新十字线和十字薄膜上的十字对中线间的偏差，可以直观的观测补偿的效果。
[0011]3)电脑计算出图像中激光刻划的新十字线与相机图像中心十字线的偏差，得到补偿后的十字线偏差，该偏差如不满足设备精度要求，对中台移动到校正玻璃板下一个开窗涂黑位置，重复前面的步骤，直至补偿后的十字线偏差满足设备精度要求。
[0012]该实用新型具有以下特点:
[0013]1、成本低，使用便捷，精度高，可直接弥补相机和激光安装缺陷，提高应用精度。
[0014]2、可多次反复使用，对于补偿结果可以直观的了解。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型的一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图和具体实施对本实用新型进行详细说明。
[0017]如图1所示，一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，该装置包括晶圆1、激光2、激光保护板和底光3、对中台4、校正玻璃版5、十字薄膜6、相机保护板7、工业相机8、电脑显示屏9、ROBOT搬运手10，其中校正玻璃板5正面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置，手工在底面45度单面涂满黑色，十字薄膜为打印有十字对中线的薄膜，工业相机8安装在对中台4上方，激光2安装在对中台4下方，激光保护板和底光3安装在激光2和对中台4之间，相机保护板7安装在工业相机8和对中台4之间，ROBOT搬运手10安装在对中台4前方，电脑显示屏9放置在对中台4外侧，十字薄膜6粘贴在电脑显示屏9上，晶圆I和校正玻璃板5分别放置在对中台4上。
[0018]准备过程中，对中台打开，相机保护板关闭，激光保护板关闭。
[0019]1.ROBOT搬运手10送校正玻璃板5上对中台4 ；
[0020]2.激光保护板3打开，激光2在校正玻璃板5上刻同组图案；
[0021]3.激光保护板和底光3关闭，开底光，相机保护板7打开，工业相机8检查校正玻璃板5上的图案，计算工业相机8与激光2之间的系统偏差；
[0022]4.工业相机8送数据给激光2，激光2保存数据并再次刻划校正玻璃板5。
[0023]5.移动对中台4，循环2#?4#步骤，使用第二个标刻位，检测校正结果。
[0024]6.十字薄膜定位沟槽或图像线条。
【权利要求】
1.一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，该装置包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，其中校正玻璃板正面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置，手工在底面45度涂满单层黑色，十字薄膜为打印有十字对中线的薄膜，其特征是:工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板和底光安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台如方，电脑显不屏放置在对中台外侧，十字薄I旲粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。
2.根据权利要求书I所述的一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，其特征是:激光在校正玻璃板的涂黑上刻划十字，工业相机捕捉该十字的图像，计算工业相机与激光之间的系统偏差，输送给激光，自动校正激光图像与相机安装的系统偏差。
3.根据权利要求书I所述的一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，其特征是:目测电脑屏幕，检查十字薄膜上的十字和校正玻璃板背刻的图像这两个十字的重合情况，直观的观测补偿的效果。
【文档编号】B23K26/362GK204262587SQ201420458897
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2014年8月14日 优先权日:2014年6月12日
【发明者】卢冬青 申请人:上海功源自动化技术有限公司