一种用于光刻机楔形板的打孔方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于光刻机楔形板的打孔方法，包括：选择或制备符合要求的待用楔形板和玻璃垫板；建立超净工作室和超净工作台；擦拭楔形板和玻璃垫板；玻璃垫板和楔形板粘合形成组合体；组合体与夹具的上端面粘接；夹具下端面固定在DMG超声波机床上；在楔形板上进行打孔处理。本发明能有效的控制孔的形位公差和零件崩边，使产品的报废率大大降低，确保楔板要求及最终光刻机要求。
【专利说明】一种用于光刻机模形板的打孔方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光刻机楔形板【技术领域】，特别是一种用于光刻机楔形板的打孔方法。【背景技术】
[0002]目前欧美国家对(40到60) χ (40到60)mm中心厚度为2.5mm,材料为肖特BK7的打小孔通孔(直径1.8-2.5mm),出现小孔破边或者零件产生裂纹等现象；同时国内加工小孔通孔成功率更低，远远不能满足90nm光刻机装机的要求。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种用于光刻机楔形板的打孔方法，有效控制崩边裂纹等情况，成功率可以保持在95%以上，满足国内90nm光刻机的设计需要。
[0004]本发明的技术解决方案是:
[0005]一种用于光刻机楔形板的打孔方法，其特征在于，该方法包括如下步骤:
[0006]①选择或制备符合要求的待用楔形板，以及形状与该楔形板相一致、长度和宽度均比该楔形板的长度和宽度小0.2?0.5mm的玻璃垫板；
[0007]②建立超净工作室和超净工作台，工作室室内温度为20?26°C ±0.1°C，湿度为50?70%，标准大气压下超净工作台上进行后续楔形板的粘合工作；
[0008]③在超净工作台，工作人员带上洁净手套和口罩，用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对待用楔形板和玻璃垫板进行擦拭，在擦拭过程中把楔形板放在IOOw的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕；
[0009]④把玻璃垫板和楔形板之间用蜡进行粘合形成组合体，粘合时使蜡充满整个楔形板面和玻璃垫板面，确保玻璃垫板和楔形板之间无气泡，且保证玻璃垫板的外围不超过楔形板边缘；
[0010]⑤把组合体中玻璃垫板的另一面与夹具的上端面粘接；
[0011]⑥步骤⑤所粘接好的夹具下端面固定在DMG超声波机床上；
[0012]⑦在楔形板上进行打孔处理。
[0013]所述的步骤⑦中打孔处理，具体步骤如下:
[0014]第一步，钻孔:以楔形板任意相邻两边为基准边，刀具采用电镀钻头为250#1.5D*35L*1.5B*14L，主轴转速为 4000-5000rpm，切割速度为 3-5mm/min，吃刀量为0.05-0.1mm进行钻孔，孔的直径比实际需要的孔的直径至少小0.3-0.5mm ；
[0015]第二步，对孔进行三坐标测量:
[0016]如果孔的位置符合要求进入第三步，
[0017]如果孔的位置不符合要求，则返回第一步；
[0018]第三步，扩孔处理:主轴转速3000-4500rpm，切割速度300-400mm/min，吃刀量0.01-0.03mm，扩孔刀具电镀磨头 250#1.5D*35L*1.5B*14L ；[0019]第四步，倒角处理:主轴转速1800-2500rpm，切割速度3-5mm/min，吃刀量
0.03-0.05mm,倒角刀具:电镀磨头100#柄直径6mm轮径8mm圆锥形磨棒；
[0020]第五步，对孔位置进行二次三坐标测量:
[0021]如果检测符合要求，则产品完成；
[0022]如果检测不符合要求，则返回第一步。
[0023]与现有技术相比，本发明的有益效果如下:
[0024]★能有效的控制孔的形位公差；
[0025]★能有效的控制零件崩边情况；
[0026]★使产品的报废率大大降低，确保楔板要求及最终光刻机要求。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1是本发明方法中楔形板、玻璃垫板和夹具粘接后结构示意图。
[0028]图中:面I为加工机床和夹具连接面、面2为玻璃垫板和楔形板粘接面；面3为需打孔的楔形板上表面。
【具体实施方式】
[0029]下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范
围。`
[0030]①选择或制备符合要求的待用楔形板1，以及形状与该楔形板相一致、长度和宽度均比该楔形板的长度和宽度小0.2~0.5mm的玻璃垫板2 ；
[0031]②建立超净工作室和超净工作台，室内温度为20~26°C ±0.1°C，湿度为50~70%，标准大气压下超净工作台上进行粘合工作；
[0032]③在超净工作台，工作人员带上洁净手套和口罩，对待用的楔形板和用于粘接楔板的同种材料的工装玻璃板用光学玻璃擦拭布蘸上酒精进行擦拭，在擦拭过程中把楔形板放在IOOw的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕，把擦拭好的楔形板放在玻璃器皿中，防止再次污染；
[0033]④将楔形板(外形尺寸已经到位)粘接在玻璃垫板上，如图1把玻璃垫板面2和楔形板面I用蜡进行粘合，粘合时使蜡充满整个楔形板和玻璃垫板，确保两者之间无气泡这样可以确保打孔时不会崩边尽可能使蜡层均匀；玻璃垫板的尺寸需略小于楔形板，粘合时确保玻璃垫板的外围不超过楔形板边缘；
[0034]⑤玻璃垫板的另一面与夹具3的上端面粘接，如图1所示。
[0035]⑥把步骤⑤所粘接好的夹具固定在DMG超声波机床上准备进行加工；
[0036]⑥在该楔形板上进行打孔共需要三个步骤:
[0037]第一步，钻孔:钻孔比实际孔直径至少小0.3-0.5mm,以楔形板任意相邻两边为基准边，用刀具为电镀钻头250#1.5D*35L*1.5B*14L，主轴转速4000-5000rpm，切割速度
3-5mm/min,吃刀量0.05-0.1mm进行钻孔处理；
[0038]第二步，进行三坐标测量，如果孔的位置已经符合要求进行下一步，如果孔的位置不符合要求返回第一步；
[0039]第三步，扩孔:主轴转速3000-4500rpm，切割速度300-400mm/min，吃刀量0.01-0.03mm，扩孔刀具电镀磨头 250#1.5D*35L*1.5B*14L ；
[0040]第四步，倒角:主轴转速1800-2500rpm，切割速度3-5mm/min，吃刀量
0.03-0.05mm,倒角刀具:电镀磨头100#柄直径6mm轮径8mm圆锥形磨棒；
[0041]第五步，进行三坐标检测，检测合格产品完成；检测不合格返回第一步。
【权利要求】
1.一种用于光刻机楔形板的打孔方法，其特征在于，该方法包括如下步骤: ①选择或制备符合要求的待用楔形板，以及形状与该楔形板相一致、长度和宽度均比该楔形板的长度和宽度小0.2?0.5mm的玻璃垫板； ②建立超净工作室和超净工作台，工作室室内温度为20?26°C±0.1°C，湿度为50?70%，标准大气压下超净工作台上进行后续楔形板的粘合工作； ③在超净工作台，工作人员带上洁净手套和口罩，用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对待用楔形板和玻璃垫板进行擦拭，在擦拭过程中把楔形板放在IOOw的灯光下仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，擦拭完毕； ④把玻璃垫板和楔形板之间用蜡进行粘合形成组合体，粘合时使蜡充满整个楔形板面和玻璃垫板面，确保玻璃垫板和楔形板之间无气泡，且保证玻璃垫板的外围不超过楔形板边缘； ⑤把组合体中玻璃垫板的另一面与夹具的上端面粘接； ⑥步骤⑤所粘接好的夹具下端面固定在DMG超声波机床上； ⑦在楔形板上进行打孔处理。
2.根据要求所述的用于光刻机楔形板的打孔方法，其特征在于，所述的步骤⑦中打孔处理，具体步骤如下: 第一步，钻孔:以楔形板任意相邻两边为基准边，刀具采用电镀钻头为.250#1.5D*35L*L 5B*14L，主轴转速为 4000-5000rpm，切割速度为 3-5mm/min，吃刀量为.0.05-0.1mm进行钻孔，孔的直径比实际需要的孔的直径至少小0.3-0.5mm ； 第二步，对孔进行三坐标测量: 如果孔的位置符合要求进入第三步， 如果孔的位置不符合要求，则返回第一步； 第三步，扩孔处理:主轴转速3000-4500rpm，切割速度300-400mm/min，吃刀量.0.01-0.03mm，扩孔刀具电镀磨头 250#1.5D*35L*1.5B*14L ； 第四步，倒角处理:主轴转速1800-2500rpm，切割速度3-5mm/min，吃刀量.0.03-0.05mm,倒角刀具:电镀磨头100#柄直径6mm轮径8mm圆锥形磨棒； 第五步，对孔位置进行二次三坐标测量: 如果检测符合要求，则产品完成； 如果检测不符合要求，则返回第一步。
【文档编号】B23P13/00GK103624480SQ201310632121
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年12月2日 优先权日:2013年12月2日
【发明者】陈静, 蒋泉权, 顾亚平, 魏向荣 申请人:上海现代先进超精密制造中心有限公司