专利名称：一种校正镭射头的装置及其校正方法
技术领域：
本发明涉及一种激光镭射技术，特别是涉及一种校正镭射头的装置及其校正方法。
背景技术：
在集成电路制造领域，现有机台中的镭射头常常需要检修。将维修后的镭射头重新放回机台时，需要对其光轴进行校正，以防止产生偏差。目前常用的校正镭射头的方法是电压测量法，即通过利用电压表测量镭射头出射的镭射光的各轴的电压，调整镭射头的位置使得各轴电压达到1. 2V，在该调整的位置缩紧固定螺丝，并对机台进行重新设定。如果重新设定成功，则可以实现镭射头的精确校正。如果重新设定不当，则还需要重新调整镭射头的位置。现有的校正方法存在以下问题1、需要两人或多人同时操作。由于目前的电压测量位置位于机台安装镭射头的相对一侧，一个人不可能同时进行调整镭射头和测量电压值的操作，因此该校正方法需要两个人同时进行协同工作，使用起来十分不便。2、无法判断镭射光位置。由于镭射光对人眼有害不能直接观察，而且机台内光路复杂、空间狭小，无法直观的判断镭射光的具体位置。3、耗费时间。在镭射头光轴偏差较大的情况下，由于机台内空间狭小，需要将镭射头拆出机台并作较大的调整，甚至还有可能需要反复拆装。而每次拆装需要耗费大约40分钟时间，因此需要耗费大量人力和时间。4、存在安全隐患。由于镭射头安装时，操作者必须站在机台的横梁上，如果遇到需要拆装多次的情况，则会对操作者和机台都造成潜在的安全风险。
发明内容
针对上述缺点和不足，本发明的目的是提供一种校正镭射头的装置，可以使操作者更加方便准确地校正镭射头。本发明校正镭射头的装置，用于校正镭射头出射的镭射光的光轴，包括水平设置的横梁板；在横梁板一端的镭射头调整装置；在横梁板另一端的靶标，镭射头向耙标方向出射镭射光；以及透光装置，所述透光装置位于耙标和镭射头之间，并具有可以通过镭射光的透光孔。作为上述技术方案的优选，所述透光装置包括一个或多个支架，和位于支架上方的透光光圈，透光孔位于所述的透光光圈上。作为上述技术的优选，所述镭射头调整装置包括第一调整部件和第二调整部件， 第一调整部件具有可以接收镭射头底面的凹槽，第二调整部件用于连接横梁板和第一调整部件的底部，在各调整部件上设置有多个调整螺丝。所述镭射头调整装置可以将镭射头在横梁板的X轴和Z轴方向进行调 整。作为上述技术方案的优选，所述透光光圈的数量为2个。作为上述技术方案的优选，所述透光光圈的直径可以调整。作为上述技术方案的优选，所述支架可以在横梁板的X轴和Z轴方向进行调整。本发明的另一个目的，是提供一种采用上述校正镭射头的装置，进行镭射头校正的方法。本发明镭射头的校正方法，包括步骤1 在光轴准确时使镭射光通过透光装置的透光孔，调整透光装置，并在镭射光出射到耙标相应位置时，固定透光光圈；步骤2 将维修好的镭射头置于镭射头调整装置，并通过透光光圈的透光孔向耙标出射镭射光，调整镭射头调整装置，并在镭射光出射到耙标相应位置时，固定镭射头。作为上述技术方案的优选，所述透光装置包括一个或多个支架，和位于支架上方的透光光圈，透光孔位于所述的透光光圈上。作为上述技术方案的优选，所述镭射头调整装置包括第一调整部件和第二调整部件，第一调整部件具有可以接收镭射头底面的凹槽，第二调整部件用于连接横梁板和第一调整部件的底部，在各调整部件上设置有多个调整螺丝。本发明校正镭射光的装置及其校正方法，通过利用镭射光的单一方向性，在光轴准确的情况下定位透光孔，而校正维修好的镭射头时，只需要使得镭射光从透光孔射出就能够保证镭射头位置的准确度。本发明由于无需采用现有技术的电压测量法，因而具有节省人力、操作简单、无安全隐患等优点。
图1是现有技术中电压量测位置和镭射头安装位置的结构图；图2是本发明校正镭射头的装置的部件图；图3是本发明透光装置一实施例的结构图；图4是本发明镭射头调整装置的部件示意图；图5是本发明镭射头调整装置的螺丝分布图；图6是本发明镭射头校正方法的流程示意图。
具体实施例方式下面结合附图，对本发明的具体实施方式
作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本发明的详细说明中，本发明的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。实施例1本发明校正镭射头的装置的部件图如图2所示，其包括水平设置的横梁板1，以横梁板的长度方向为Y轴方向。横梁板可以采用机台原有的部件，也可以单独设置。在横梁板1的一端设置有在镭射头调整装置2。如图2中所示，在该端的横梁板1 上设置有镭射头固定螺丝孔11，和Z方向固定螺丝调整口 12，用于接受镭射头调整装置2。本发明优选镭射头固定螺丝孔为M3螺丝孔，Z方向固定螺丝调整口优选MlO螺丝孔。本领域技术人员还可以采用其它任何的连接方式以将镭射头调整装置2连接在横梁板1上，并不受限于此。在横梁板的另一侧设置有一个耙标3，耙标3上具有一个确定光轴是否准确的准心3C。镭射头4在Y轴朝向耙标3出射镭射光。在耙标和镭射头之间设置有两个透光光圈51、52，透光光圈可以采用直径可调型光圈，优选调整范围M2-M10。如图3所示，在透光光圈的中心包括有透光孔51C，镭射光通过透光孔51C射向耙标3。透光光圈由支架61支撑。在本实施例中通过在支架61的底部安装有基板71将其与横梁板之间连接，在基板71上可设置有X方向调整螺丝711，优选采用M3螺丝。同时，在支架61上还设置有高度调整螺丝611，优选采用M2. 5螺丝。以使得支架61可以在横梁板的X轴和Z轴方向进行调整，从而调整透光孔51C的位置。
本发明上述实施例是采用基板、支柱和光圈形成的透光装置，本领域技术人员应当清楚，为了使镭射光通光透光装置并出射到耙标相应位置，透光装置只需采用具有透光孔这一技术特征即可。该透光孔可以设置在本领域技术人员可以得到的任何部件上，如可以在一垂直于横梁板上设置的平板上设置透光孔，也可以改变支柱的尺寸并在其上形成透光孔，本发明不并受限于此。只要实现使得镭射光通过透光孔，并出射到耙标的相应位置上，就能够实现本发明之目的。本发明镭射头调整装置2的部件示意图如图4所示，其包括第一调整部件21和第二调整部件22，第一调整部件21具有可以接收镭射头底面的凹槽，图中表示了第一调整部件21底部与镭射头底部连接的三个连接部件211，这三个连接部件可以采用扣入式连接， 也可以采用任何其它可能的连接方式如螺纹连接等。同时连接部件211还可以采用其它的数量。第二调整部件22用于连接横梁板和第一调整部件21的底部，在第二调整部件22上可以设置如图中所示的固定螺丝，用于与横梁板之间固定。在第一调整部件21和第二调整部件22上还设置有多个螺丝，以实现在X轴、Z轴方向上调整镭射头的目的。图5是本发明镭射头调整装置的螺丝分布图，在图中201所示为固定螺丝位置， 202为X方向调整螺丝位置，203为Z方向调整螺丝位置。在该图中X方向调整螺丝设置在第二调整部件22上，而Z方向调整螺丝设置在第一调整部件21和第二调整部件22之间。 本领域技术人员也可以采用其它的螺丝分布方式，本发明并不受限于此。实施例2本发明镭射头校正的装置的操作方法，即本发明镭射头的校正方法，包括步骤1 在光轴准确时使镭射光通过透光孔51C(即图6中2001)，调整透光装置 (即图6中2002)，并在镭射光出射到耙标3相应位置时，固定调整螺丝(即图6中2003)；可以根据镭射光出射到耙标3上的光点的有无及其形态，确定透光装置的偏离情况，并调节透光装置上的X方向调整螺丝711和Z方向调整螺丝611。在镭射光能够通过透光装置精确地出射到耙标的准心3C后，将透光装置固定。步骤2 将维修好的镭射头4置于镭射头调整装置2，通过透光装置的透光孔51C 向耙标3出射镭射光(即图6中2004)，调整镭射头4(即图6中2005)，并在镭射光出射到耙标相应位置时，固定镭射头4(即图6中2006)。在透光装置固定的条件下，调节镭射头调节装置2的X方向调整螺丝202和Z方向调整螺丝203，直至镭射光正好通过透光孔出射到耙标3的准心3C上。从上面对本发明校正镭射光的装置及其校正方法的描述可知，本发明通过利用镭射光的单一方向性，在光轴准确的情况下定位透光孔，而校正维修好的镭射头时，只需要使得镭射光从透光孔射出就能够保证镭射头位置的准确度，无需采用现有技术的电压测量法。本发明具有以下优点1、调整过程直观明了，可以方便的观察镭射光的位置，整个过程只需一人即可完成，节省人力；2、调整过程简单，镭射头安装在调整装置上后就可调整完成，而不用反复拆卸； 3、整个调整过程不需要直视镭射光，对人眼危害较小；4、调整完成后上机成功率大幅提高，对机台及安装人员的安全危害较小。应当理解，本发明虽然已通过以上实施例及其附图而清楚说明，然而在不背离本发明精神及其实质的情况下，所属技术领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的变化和修正，但这些相应的变化和修正都应属于本发明的权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种校正镭射头的装置，用于校正镭射头出射的镭射光的光轴，其特征在于包括水平设置的横梁板；在横梁板一端的镭射头调整装置；在横梁板另一端的靶标，镭射头向耙标方向出射镭射光；以及透光装置，所述透光装置位于耙标和镭射头之间，并具有可以通过镭射光的透光孔。
2.如权利要求1所述的校正镭射头的装置，其特征在于，所述透光装置包括一个或多个支架，和位于支架上方的透光光圈，透光孔位于所述的透光光圈上。
3.如权利要求1所述的校正镭射头的装置，其特征在于，所述镭射头调整装置包括第一调整部件和第二调整部件，第一调整部件具有可以接收镭射头底面的凹槽，第二调整部件用于连接横梁板和第一调整部件的底部，在各调整部件上设置有多个调整螺丝。
4.如权利要求1至3任一项所述的校正镭射头的装置，其特征在于，镭射头调整装置可以将镭射头在横梁板的X轴和Z轴方向进行调整。
5.如权利要求2所述的校正镭射头的装置，其特征在于，所述透光光圈的数量为2个。
6.如权利要求2或5所述的校正镭射头的装置，其特征在于，所述透光光圈的直径可以调整。
7.如权利要求2所述的校正镭射头的装置，其特征在于，所述支架可以在横梁板的X轴和Z轴方向进行调整。
8.一种镭射头的校正方法，包括步骤1 在光轴准确时使镭射光通过透光装置的透光孔，调整透光装置，并在镭射光出射到耙标相应位置时，固定透光光圈；步骤2 将维修好的镭射头置于镭射头调整装置，并通过透光光圈的透光孔向耙标出射镭射光，调整镭射头调整装置，并在镭射光出射到耙标相应位置时，固定镭射头。
9.如权利要求8所述的镭射头的校正方法，其特征在于，所述透光装置包括一个或多个支架，和位于支架上方的透光光圈，透光孔位于所述的透光光圈上。
10.如权利要求8所述的镭射头的校正方法，其特征在于，所述镭射头调整装置包括第一调整部件和第二调整部件，第一调整部件具有可以接收镭射头底面的凹槽，第二调整部件用于连接横梁板和第一调整部件的底部，在各调整部件上设置有多个调整螺丝。
全文摘要
本发明提出了一种校正镭射头的装置及其校正方法。该装置包括水平设置的横梁板，在横梁板一端的镭射头调整装置，在横梁板另一端的靶标，以及可以通过镭射光的透光装置。通过利用镭射光的单一方向性，在光轴准确的情况下定位透光孔，而校正维修好的镭射头时，只需要使得镭射光从透光孔射出就能够保证镭射头位置的准确度。本发明无需采用现有技术的电压测量法，具有节省人力、操作简单、无安全隐患等优点。
文档编号B23K26/04GK102267009SQ20101019449
公开日2011年12月7日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年6月4日
发明者李猛, 杨洋, 钟爱清, 黄华 申请人:和舰科技(苏州)有限公司