专利名称：：具有平面化的边缘表面的挤出头的利记博彩app
技术领域：
：0001本发明涉及微挤出系统及方法，尤其涉及一种用于可同时生成大+[^且4"口74姓>;7^/1恃,I'Zr"h仏rVn恃山、"^/1生"/^+、、/+:jWi里叮H力、ji冃i3a口u:j:r山^PM'"j口'j:^r山:a:口u巾1/1f乂jy石。
背景技术：
：0002现有的挤出技术一般是通过模具来推和/或拉一i央物质来制作杆、轨道、管路等等。这一能力有益于多种应用。其广泛地应用于食品加工如面食、谷物、快餐等，填充馅饼(例如蛋白甜饼)的管路，将小甜饼压入甜饼锅，在蛋糕上制作花边等。挤出技术也可应用于生活消费品领域，例如将不同颜色的牙膏混合挤到牙刷上。0003微挤出则是将细微的挤出结构(如宽度和高度小于50微米)挤出到一个目标基底上。典型的用于微挤出系统的挤出头包括多个金属板，所述金属板采用公知的高压晶片粘合技术层合在一起，其中一个或多个板被加工而形成与在挤出头边缘面上限定的关联的出口孔连通的多个流道。挤出物质通过入口孑L被插入流道，使得挤出物质通过出口孔被成形并被挤出而分布到目标基底上。0004由于具有细微的结构，由微挤出头产生的网格和其他挤出结构对于流道形状以及出口孔与基底表面的距离的变化非常敏感。尤其是，在出口的最小最窄的部分的压力非常大，因此出口形状、距离的变化可能导致多孔系统的流动阻抗发生很大的变化。由于流道和出口孑L沿挤出头的M面呈长直线排列，因此重要的是挤出头的边缘面尽可能地接近完美的平面。也就是说，在制作挤出头的过程中轻微的偏差就会导致a^面呈非线性，尤其是在出口孔处，导致微挤出结构不理想或甚至不可接受。0005此外由于装置的塑性变形(如在高压粘合过程中)，制作的挤出头可能出现不可避免及无法预期的形状变化。出口孔位置已经漂移的情况下，会飾,形成具有相同的流动阻抗的出口孔带来一种挑战。0006微挤出系统的挤出头需要相同的出口阻抗，以使得通过挤出头形成的微挤出结构是坚固的和可靠的；同时也需要一种产生这种高度平面化的边缘面的微挤出系统的挤出头的利记博彩app。
发明内容0007本发明涉及一种用于微挤出设备的挤出头，该设备利用至少一个精确参照面来方便挤出头的边缘面的修整以得到预定的形状(例如平面)。挤出头由多个板件(例如金属板)组成，所述板件通过使高压粘合技將占合到一起而形成一种复合结构。所述复合结构的中心板件在粘合工艺之前经过蚀刻，以包括组成流道的入口、？L，用于挤出物质通过出口孔被挤出到目标基底上。根据本发明，中心板件{顿相同的掩模(mask)蚀亥咄参照面用于形成空腔/入口。在粘合步骤和任选的切割歩骤之后，不同板件的侦i助形成共挤出头的边缘面，其中空腔的出口部在边缘面中形成间隔开来的出口孔，而参照面分布于,面上间隔开来的缺口(槽)中。由于组装步骤，挤出头的边缘面起初是非平面的，因此需要后续的平整步骤才能得到要求的挤出头。根据本发明的一个方面，边缘面的平整精度以参照面为参考；去除多余的材料(如磨削等)直到参照面与边缘面保持一个预定的距离。ffil使用所述方法中的参照面制作出挤出头，其带有高平面化的边缘面，所有限定在边缘面上的出口在后来的微挤出步骤中被一律可靠地定位于一目标基底的上方，从而避免出现使用传统方法在制作中常见的问题。0008根据本发明的一个实施例，一种用于在基底表面上制作密间隔的、高纵横比的网格线结构的微挤出设备，其中该网格线和一种牺牲(sacrificial)物质被共挤出到基底表面上，使得高纵横比的网格线被支撑在两牺牲物质部分(随后去除所述牺牲物质)之间。形成这种共挤出结构需要将网格线物质压缩在两牺牲物质部分之间，而这需要以一种方式使用一种较宽的三分支流道以及较窄的出口，从而将网格线物质压縮在两牺牲物质之间。由于三分支流道的孔具有一定宽度，使得每个挤出头的出口孑L之间的空间(因此，挤出网格的间距)大于出口孔自身的尺寸(即在共挤出头的相邻出口孔之间提供一个相对大的空间)。根据本发明，相邻的出口孔之间的相对宽的空间被用于提供一系列参照面，以使每个出口孑L位于挤出头的边缘面的两个相应的参照面之间。多个相对均匀间隔的参照面都被精确地蚀刻来限定与边缘面平行的直线，以保证边缘面精确的平面化。0009根据本发明的另一实施例，在一系列板上形成多排流道和供给流道来制作多个共挤出头，每排蚀刻的特征对应于关联的多个共挤出头之一。蚀刻的板件被粘合在一起而形成一个多头模i央，再经过切割而形成单个的共挤出头。此实施例中，齡空腔(即流道)的出口部包括一个T形开口，在此开口处流道形i^万述T形开口的中央垂直部，参照面则沿T形开口的上7jC平部向下形成条状部的下端。设置与挤出头的多个流道关联的T形开口，使得T形开口的上水平条状部限定一条直线。当多头模i央之后被切割时(即分隔成单个的挤出头)，切割沿T形开口的上水平部限定的直线进行。因此，切割暴露出各挤出头的边缘面，^H刀割粗糙的边缘面包括一条长直线的出口和分布在出口相对侧的参照面。然后再对复合结构的粗ftii^面进行平面化，如磨削和/或抛光，在此期间使用参照面来控制去除物质的总量，从而得到一个用于制作挤出结构的高精度平面化的边缘面。因此，前述具有大量T形开口的多头模i央方便了带有高平面化的边缘(出口)面的挤出头的经济、可靠的制作。0010ii31以下说明、附加禾又利要求和附图可以更好地理解本发明的这些和其他特征、方面和优点，其中0011图1是表示本发明一个实施例中的一种用于微挤出设备的共挤出头的一部分的横截面图；0012图2是表示根据本发明一个实施方式用于制造图1所示共挤出头的一jl^l，呈的流程图；0013图3是表示图1所示共挤出头的一部分的分解透视图；0014图4是表示图1所示共挤出头的一部分的装Kig视图；0015图5是表示带有图1所示共挤出头并且微挤出用于同时在底物上施加两种或多种物质的一种微挤出设备的透视图；0016图6A、6B是显示在图1所示鄉出头内限定的一禾中三分支流道的横截面侧视图；0017图7是显示{柳图6B所示共挤出头在一个底物表面上形成的示例性共挤出网络结构的横截面侧视图；0018图8是显示根据本发明另一实施方式用于制作多个共挤出头的一套^M板的分角率透,见图；0019图9是显示图8所示一套金属板中的三个中心金属板的详细懒军透视图；0020图10A、10B、10C、10D是显^ilil粘合图8所示的金属板所形成的多挤出头模块的一部分的横截面图，并描述了根据本发明一个实施例的ii^面的切割和平面化过程；0021图ll表示包括根据本发明制作的网格的光电池；以及0022图12是表示一种示例性等离子显示面板的一部分的简化横截面图。详细描述0023图1g挤出头130的一部分，其组成了根据本发明一个实施例用于在基底101上形成挤出结构的微挤出设备，。如下文详细所述，挤出头130包括多个板(如金属板)，它们形成多个流道(如流道131—1、131—2)，物质￡±^流道穿过，面139(在图1中以ii^竿见图示出)设置的出口孔(如出口孔135—1、135—2)被挤出。*流道(如流道131—1)包括中央流道132，其位于两个相对(第一和第二)的侧流道133和134之间，战三个流道通过输出接合部(输出部分)137与相关联的出口孔135—1连通。旨中央流道132带有基本上独立的入口端及与输出接合部137吻合的相对出口端。同样，侦'硫道133、134具有基本上独立的入口端，所述入口端与中央流道132形成一定角度，使得它们相应的出口端会聚于输出接合部137。如下文所述，挤出物质分别通aX口孔212、223、224进入*流道131—1、131—2的出口孔135—1、135—2，沿相应的流道前进到输出接合部137，最后分别通过出口孔135—1、135—2从流道131—1、131—2排出。虽然该实施例中描述了互相联通的流道布置成箭头形，但本发明还可以包括任意数目的直线分支(如一条单独的与其他出口连通的直线流道)的流道。0024根据本发明，挤出头130可包括多个参照面(如参照面241、242)，其限定了一条与ii^表面139所限定的平面P平行的直线L。参照面241、242限定的直线L与旨挤出流道131—1、131—2的输出结合部137相交。根据本发明的一个方面，参照面241、242设在凹痕(槽)238中，使得^参照面241、242距平面P的距离为Z2。如下文所述，以此种设置产生的参照面241、242可以便于边缘面139可靠并高度精确的平面化。0025图2是描述了本发明一个实施例中用于制作挤出头的一般过程的流程图。下文参照图3、4描述所述一tet程，它们表示的示例性实施例与图1所示的挤出头130相一致。0026参照图2和图3所示的上模土央50，制作挤出头的第一步骤是形成(第一)板230(如金属板)以及与之相对的(第二、第三)板210、220，使得所述板限定了多个挤出空腔231—1和231—2、多个参照面241和242、相关的入口孔212、223和224。在一个实施例中，板210、220、230是厚度约为0.075-0.150匪的金属板，并且形成步骤包括微加工禾骄，例如光化学加工。在此实施例中，板件包括端部结构236—3，并且每个挤出空腔231—1、231—2由箭头状开口限定，所述开口包括中心空腔232及相对的(第一和第二)侧空腔233、234。中心空腔232iKi第^lt形指部236—1与侧空腔233隔开，并ilil第二锥形指部236-2与侧空腔234隔开。每个中心空腔232包括由端部结构236—3和锥形指部236—1、236—2限定的闭合端，以及与接合部237相一致的开口端；中心空腔与在板件230的侧边缘239上限定的开口235连通。同时，侧空腔233、234带有由端部结构236—3、锥形指部236—1和236—2限定的相关闭合端3iM，并与中心空腔232成一角度以使它们相应的开口端通过结合部237与开口235。参照面241、242设置在侧边缘239的槽238中，其限定了直线L，直线L与挤出空腔231—1、231—2的接合部237相交。注意在下文所述的平面化步骤之前，参照面241、242与侧边缘239保持相对较大的距离Z1。0027由于侧空腔233、234向开口235逐渐变窄，因此每个挤出空腔231—1、231—2的有效宽度W实质上大于开口235。因此沿侧边缘239的相邻开口235之间的空间相对较大。也就是说由挤出头130加工的挤出结构之间的距离受到針三分支挤出空腔231-1、231—2所需有效宽度W柳艮制。根据本发明的另一方面，为使侧边缘239在输出开口235之间的部分发挥作用，参照面241、242被^在由*挤出空腔231—1、231—2限定的有效宽度W之内。如下文所述，平面化步骤所达到的精度级别与参照面241、242的数量以及它们与出口的相对位置成正比。i!31将参照面241、242定位于挤出空腔231—1、231—2限定的有效宽度W之内，使参照面的数量最大化并且不必增加相邻出口之间的节距。0028除了以前述方法形成中央板230之外，还形成了附加板210和220，以提供与每个空腔部分的闭合端的入口开口。如上板210限定第一入口孔(通孔)212，并且下金属板220限定第二入口孔223和第三入口孔224。利用被用于形成挤出空腔231—1禾口231—2的微加工技术形成入口孔212、223和224。如下文所述，组装后入口孔212与中央空腔232的闭合端对准，而入口孔223和224分别与侧空腔233和234的闭合端对准。0029参照图2以及图4中的模块52，随后ilil将中心金属板230固定在上金属板210和下金属板220之间而组装成挤出头130。图4是表示组装后的挤出头130的，率透视图。依照本发明的一个实施例，固定步骤包括fOT公知的高压粘合技术将各个板件粘合在一起从而形成图1所示较结实的块结构。注意挤出空腔231—1与板210和220相应的部分共同形成相关联的流道131一l，该流道由与如前针对空腔部分232、233和234所述的方式设置的中心流道132禾口相对的侧流道133和134组成。还注意到板件210、220和230的侧■219、229和239分别组合以形成挤出头130的边缘表面139。如下文更详细地描述，被挤出的物质ffl5i入口孔212、223和224注入流道131_1，并且注入的物质沿流道132、133和134到达由边缘表面139限定的出口孔135—1。最后上板210和下板220的一部分覆盖凹槽238的侧部，从而形成在边缘表面139上限定的凹痕，M51该凹痕参照面241和242与边纟面139偏移初始距离Z1。0030参照图2以及图4中的模±央54，边^^面面139随后经历平面化步骤，期间将物质去除1S边缘表面139接近一平面且各参照面241和242与表面139保^f页定距离Z2。之后开始喷嘴深度调平(加工)步骤，如禾佣:ii^面139和参照面241和242之间的深度信息来指导电火花线切割加工操作(wireEDM)。可选择的加工方法包括但不限于电蚀刻加工、冲压加工或'激光切割。0031除图3、4中描述的层叠金属层结构之外，挤出头130还有很多种形成方法。在本发明的另一实施例中，根据本发明形成的挤出头用多层蚀刻金属板铜焊接而成。在另一情况下，挤出头可以采用光的可限定(photo-definable)聚合物如SU8的生成结构制造。此外，除这里描述的特殊网格线结构，挤出头130可被改进为用来制作一种均衡开沐的结构，如共同拥有并共同待审的名称为"均衡形状的挤出结构"的美国专利申请序列号Naxx/xxx,xxx所述，(AttyDocketNO.20060464_US-NP(XCP"073))该申i青在此全部引入作为参考。0032图5描述了本发明另一实施例中的微挤出设备100。该设备100包括挤出装置110，其上固定有一个或多个共挤出头130—1和130—2，如前述針共挤出头130—1和130—2与挤出头130保持一致。在该实施例中，挤出装置110连接到第一源111禾口第二源114上，其中第一源111包括牺牲物质112，第二源114包括网格线物质U5。挤出头130—1和130—2可操作地连接至U源111和114上，使得挤出头130—1和130—2同时将牺牲物质112和网格线物质115挤出到基底101的上表面102上。物质被推(如挤)禾口/或拉(热或冷，如真空)进入挤出装置110禾口/或共挤出头130—1和130—2，之后分别从共挤出头130—1和130—2的下端限定的出口135中挤出。0033在一个实施例中，共挤出头130—1和130—2由挤出装置110夹持，使得它们各自的出口孔135互相平行且间隔分布。特别地，共挤出头130_1的(第一)出口(如出口孔135—11、135—12)沿第一方向XI延伸，第二，出头130_2的(第二)出口孔(如出口孔135_21、135—22)限定与第一方向XI分开且平行的第二方向X2。如名称为"间距紧密的、高质量挤出网格"的共同待审的美国专利申请序列号No.xx/xxx,xxx，(AttyDocketNo.20060464_US-NP(XCP-072))所提到的，该申请在此全部引入作为参考。设备100包括用于在与出口孔排列方向垂直的方向上移动挤出装置110(因此，还有共挤出头130—1和130—2)的机构(图中未示出)，并且网格线物质112和牺牲物质115以在基底101上形成平行的、细长的挤出结构120的方式由出口孔135被共挤出来，使得每个结构120的网格线物质形成高纵横比的网格线结构125，而旨结构120的牺牲物质则形成分别被布置在相应的高纵横比的网格线结构125相对侧的第一、第二牺牲物质部122。挤出结构120的形状(即网格125的纵横比以及牺牲部分122的形状)取决于挤出头130—1和130—2内的出口135和流道的开沐，以及物质的特性(如粘性等)和挤出技术(如流速、压力、温度等等)。可用的网格线物质115包括但不仅限于以下物质银、铜、镍、锡、铝、钢、氧化铝、硅,、玻璃、碳黑、聚合体、石蜡，可用的牺牲物质有塑料、陶瓷、油、纤维、橡胶和有机玻璃等，以及它们的化合物和/或其鄉，还包括其他可获得所需密度、粘度、质地、颜色等的物质。共挤出头130—1和130—2的出口孔交错设置，同时形成紧密间隔的挤出结构120A，因此便于在基底101上以一定节距得到采用常规方法无法得到的高纵横比的网格125。在本发明的另一实施例中，使用與虫的挤出头生成相隔较远的挤出结构120。0034为了防止挤出之后物质互相混杂，通过如4OT淬火部件170冷却基底而使离开挤出头130_1和130—2的挤出结构120在基底101得到淬火。备选地，此种应用中采用的墨水(ink)/浆糊可为热熔性材料，其在环境温度下凝固，在这种情况下印刷头(pnnthead)130—1禾Q130—2得到加热，当挤出结构120A分布到基底101上时其被凝固。在其他i^术中，从挤出头130—1和130—2出来的挤出物质也可以S31热、光和减其他方法得到固化。例如，提供固化(curing)部件180用热和/或光的手段固化物质。如果一种或两种物质包括紫外线固化成分，贝IJ物质可被结合为固态形式，/人而不必混合就可继续接下来的步骤。0035图6A展示了共挤出头130—1的一部分，包括在生成金属网格位于基底101之上的流道130—11。由于参照面241、242实现的ii^彖表面139的精确平面化，因此在挤出过程中(也就是前述方法中共挤出头130_1相对基底101移动的过程)共挤出头130—1在基底101的上表面102上保持基本上固定的距离D。挤出头130—1与基底101之间的距离D取决于多方面的因素，例如挤出头130—1分配端相对于上表面102的角度(如从平行到垂直)，以提高输送的效率、整体精确度(如宽度、高度、长度、直径等)等等。要注意距离D—定要大于或等于t齐出结构120_11的高度H(如图7所示)，以便于挤出头會^多按图5中所示的方式交错排列。0036图6B展示了共挤出过程中共挤出头130—1的相同部分。如白色箭头所示，网格线物质112被强制由第一入口孔212(见图3)注入中心流道132的闭合端，而牺牲物质115同时由入口孔223、224分别被强制注入侧流道133和134。如图6B中深色箭头所示，被注入的物质沿各自的流道下行。网格和牺牲物质1硫道132、133、134的锥形形状的压縮。在物质到达出口孔135—11时，网格线物质进一步受到ilil侧流道133、134聚難来的牺牲物质的压縮。压縮的流体被挤出后通过出口孔135—11，流到基底101上形成挤出结构120—11(如图7所示)。可以ilM择合适的物质和粘性、通过流道的适当锥度和/过保持薄层流动条件来实现网格和牺牲物质之间相互掺混的最小化。0037图7是一个示例性挤出结构120—11的横截面侧视图，该挤出结构是根据参照图6B所述的共挤出过程生成的。挤出结构120—11包括网格部分125—11，其位于牺牲物质支撑部分122—1和122—2之间。由于通向出口孔135—11的三分支流道130—11(图6A和6B)形成的会聚力，因此挤出结构120—11在单次通过时可包括具有2:l或更大的高宽比(高度H比宽度W)的网格125-11，如果使用传统方法是不可能实现的。网格125—11的宽度W比挤出头130—11的最小设计值更窄(细)。牺牲物质部分可以使网格125—11在后续的步骤如烘干、固化和/或烧结之前或过程中保持需要的高纵横比的形状。如图7右侧图中所示，牺牲物质部分被去除，因雌供具有所需高度H和宽度W的高纵横比的网格125—11。牺牲物质部分还有一个优点，即额外的物质通向总体更大的出口孔135—11，因此在给定涼速下具有更低的压力降。这样就可以获得更高的加工速度。此外，压縮流体可以受到控制形成具有锥形横截面的金属网格125—11(例如具有布置在基底表面102上相对较宽的,、相对较窄的上端以及以相对表面102的一定角度从^l反端延伸到上端的锥形侧边)。这种锥形设置便于引导光子iSA^底101,并减少网格引起的光子阻断(阴影)，从而提高电的效率禾口/或生成。0038图8展示了本发明另一实施例中用于生产多个共挤出头的一套金属板410—470的懒军透视图。图8中中心区域为金属板410、420和430，其提供了与前述部分相同的挤出空S空和入口？L，不同的是，空腔和入口？L分布在与切分时产生的各个共挤出头相关联的排上。例如，金属板430包括多排挤出空腔431—1至431—4，每排与相关联的共挤出头相关联。同样地，金属板410和420包括多排入口流敏孔412—1至422—1以及422—1至422—4，它们以下文所述的方式与对应的挤出空腔431_1至431_4对准。金属板440、450分别装配在金属板410和420上，包括多排进给流道442和452，其便于挤出物质流动至分别在金属板410和420上形成的预定数目的入口？L。外部的金属板460和470分别被装配在金属板440和450上，并包括多排入口开口462和472，其便于挤出物质流动到分别在^属板440和450上的相应供给流道中。0039按照本发明中的一个实施例，板410—470使用现有的技术对准并如图示堆叠，接着经历高压粘合步骤以得到多头模块400，其随后得到切分以形成四个共挤出头。在一个4顿塑料板的备选实施例中，f顿粘合剂完成粘合步骤。4ft板件410—470都包括切口406和407，所述切口形成于每个板410—470的每个端部，从而便于沿在相应切口406和407之间延伸的直线精确地切分(切割)粘合的模块。如图10的底视图所示，用虚线表示切口406—1、407_1之间的切分直线DL1。这样模±央400精确可靠地被切割形成(例如四个)共挤出头。举例说亂-模±央400沿切分直线DL1、DL2(在切口406—1、407—1之间延伸)得到切分以形成第一共挤出头130—A1(注意仅共挤出头130—A1的最基底在图8中由虚线示出，共挤出头130—A1包括*金属板的相应部分，包括挤出空腔排431—1、入口排412—1和422—1)。同样的沿切分直线DL3(在切口406—3和407—3之间)的切分形成另一共挤出头130—A2。注意到模±央400的端部403在切分完成之后被弃用。0040图9是表示^属板410、420和430的一部分的详细分解透视图。每片金属板包括切口406—3和406—4，它们在粘合步骤的过程中和之后被形jte每片板的侧边并垂l^t准，同时便于沿金属板430上虚切分线DL表示的方向进行切分。板件410、420包括多排入口流道和相连的入口，所述入口位于每条入口流道的端部，功能与前述相同。特别地，板件410包括第一排入口流道412—21禾口第二排入口流道412—22，針进给流道的锥形端部设有入口孔212(如入口流道412—21包括入口孔212—21)。同样地，板件420包括多排入口流道412—21和412—22，旨入口流道的端部设有两个入口孔223和224(如入口流道422—21包括入口孔223—21和224—21，所述两个入口被锥形结构425分隔开)。中心板件410包括多排箭头形R的挤出空腔431—2和431一3，它们对准以上述方式接收由相应的入口进入的挤出物质。举例说明，挤出空腔431—21包括用于接收由入口孔212—21进入的第一挤出物质的中央空腔232—21，以及用于接收由入口孔223—21和224—21进入的第二挤出物质的侧空腔233—21和234—21。0041根据本发明的另一方面，^挤出空腔431—2和431—3包括T形孔435—2和435—3，其与相关挤出空腔的接合部，并包括形j^E外部的参照面。如图9、10A所示，挤出空腔431—21包括T形孔435—21，所述孔设有中心(垂直)部436，其与中心空腔232—21以及接合部237—21成直线延伸；孑L还包括与中心垂直部436垂直的上(7jC平)部437，以及位于上部两端的短条部438—1和438—2。需要注意的是，上述的"垂直"、"水平"、"上部"以及其他方向术语应理解为T形孔的理想化方位，而不是以一个绝对参照物来确定的方向。参照面241—21、242—21分别形成于条部438—1和438—2的下端。0042根据本发明的另一方面，如图9所示，針T形孔435—2和435一3被设置为上水平部(也就是图10A中部件437)限定了分别与切分直线DL3和DL4相一致的直线，其又分别与切口406—3和406—4对准。如图10B所示，其表示切分完成之后的挤出头130—2的一部分，如前所述切分沿上水平部形成的直线延伸以使粗糙的切割边缘表面139A包括凹痕238—21和238—22以及出口135—21A和135-22A。如图IOC、10D所示，ii^tt面139B进入平整(平面化)步骤，此期间物质逐渐被去除直至凹痕238—21和238—22的深度由Z1减少到要救巨离Z2。例如Mai磨肖诉n/或抛光模i央物质同时禾,参照面241—21、242—21、241—22和242_22以控制去除物质的数量的方式来实现所述平面化步骤，因此获得一个较高精确的平面化的边缘表面139C,便于细微挤出结构的制作。0043图11展示了一个光电池300如太阳能电池的示例部分，其带有OT本发明一个实施例的共挤出头130得到的高纵横比的金属网格125。光电池300包括半导体基底301，所述基底带有p型区域306和n型区域308。基底301的一个或两个区域306和308由半导体材料形成，例如由砷化铝、铝砷化镓、氮化硼、硫化镉、硒化镉、硒镓铟铜、金刚石、砷化镓、氮化镓、锗、磷化铟、硅、金刚砂、卣化硅、硅绝缘体、硫化锌、硒化锌等形成。在基底301的下表面302(也就是p型区域306的下部)上形成了下接触面310。金属网格125以及一条或多条母线320在基底301的上表面304(也就是n型区域308的下部)上形成。接触面310和母线3204顿金属粘结齐咖银或铝基粘结齐研乡成。0044光电池300可以如通过扁钢丝或金属带与其他串联和/或并联的光电池(未示出)互相连接，并组装到模i央或面板上且如图示连接到负载340上。一片钢化玻璃(未示出)可以层压在网格125上面，和/或聚合体包装(未示出)可以形成于矛数虫面310上。上表面304可以包括网纹表面和/或涂覆一种抗反射物质(如氮化硅、二氧化钛等)以增加电池吸收的光能。0045在操作过程中，当光子350(如宽箭头所示)iMJl表面304被引A^底301时，它们的能量、1]其中的电子空柳，该电子空湖随后可以自由移动。特别地，吸收一个光子通过p-n结产生电流(由迁移的+、一电荷表示)。当n型区域308中受到激励的电子通过网格125、母线320和电极到达外部负载340并经过下部电极和接触面310回到p型区域306时，生成电流。0046通过举例，带有表1中估计参数值的共挤出头可被用于分配物质以在晶体硅太阳能电池上制作网格125。表l:制作网格线的挤出头参数<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>0047ffiilS种设计，会聚的流道被制成一厚度约为0.15毫米的片材。挤出头/喷嘴的出口间距为2.5mm，压力为2.24大气压，1000泊的粘结剂的喷射il^为lcm/sec。中心银条的宽度约为50微米，纵横比为3:1。0048实細在此公开的实施方式包括以下几项1.一种制造用于微挤出设备的挤出头的方法，所述挤出头包括多个将物质挤出到基底的流道，该方法包括形成第一板，使得第一板限定至少一个参照面和包括出口区域的挤出空腔，使得所超少一个参照面接近该出口区域；将第一板固定于第二、三板之间以形^^f述挤出头，使得挤出空腔和第二、三板中的一个或多个形成相关联的流道；并且使得挤出头包括限界定了与挤出空腔的所述出口区域连通的出口的边缘表面，其中至少一个参照面被布置在边,面上，使得其偏离于边缘表面；M5i去除挤出头上的物质来平整边缘表面，直到至少一个参照面与边缘面分开一个预定的距离为止。2.如1所述的方法，形成挤出空腔包括限定中心空腔和相对的第一和第二侧空腔，它们被布置成使得中心流道和第一和第二侧空腔与出口区域相连通。3.如2所述的方法，其中第一和第二侦吼限定了挤出空腔的有效宽度，形成至少一个参照面包括将第一和第二参照面设置于挤出孔的有效宽度之内。4.如2所述的方法，还包括形成第二和第三板的步骤，使得第二和第三板中的每一个包括入口，该入扣在所述固定步骤之后布置成与所述中心空腔以及第一和第二空腔之一的闭合端相对。5.如2所述的方法，其中将第一板固定到第二和第三板之间的步骤包括将第一板定位于第二和第三板之间，接着利用粘合剂和高压之中的至少一种将第二和第三板粘合在第一板上。6.如2所述的方法，其中边缘表面的平整歩骤包括加工边缘表面，以及测iii缘表面与至少一个参照面之间的距离。7.如1所述的方法，其中形成第一板的步骤还包括形成多个排，每排包括布置在直线上的多个所述参照面和所述挤出空腔；其中将第一板固定于第二和第三板之间以形成挤出头的步骤包括形成包括多排所述参照面和所述挤出空腔的模块；沿相应的边纟tt面切分所述模块以分隔所述多个排，从而形成多个挤出头，所述多个挤出头中的每一个包括相应的一排所述参照面和挤出空腔，该排沿所述相应边缘表面中相关联的一个布置。8.如7所述的方法，其中形成所述第一、第二和第三板的步骤包括在第一、第二和第三板中的每一个上形成至少一个切口，所述切分模块的步骤包括沿在相关切口之间延伸的直线切害U所述堆叠的板。9.如7所述的方法，其中形/^j^述第一板的步骤包括形成多个T形孔，每个T形孔设有与相关联的挤出空腔的出口区域的垂直部分、水平部分以及布置在水平部分相对端部的第一和第二条部分，其中第一、第二参照面分别分布于第一、第二条部分。10.如9所述的方法，其中切害'J所述模块的步骤包括沿7K平部分切害帳块。11.一个用于微挤出设备的挤出头，该挤出头包括.-带有第一侧的第一板、带有第二侧边缘的第二板和带有第三侧边缘的第三板；其中第一板被装配在第二和第三板之间，使得第一、第二和第三侧对准以形成挤出头的边缘表面；其中第一板限定了由第二第三板的相应部分封闭的空腔，从而形成了具有在第一板的第一侧边缘中限定的出口孔的流道，使得该出口孔与挤出头的边乡面共平面；其中第一板还限定了第一和第二参照面，这些参照面被布置在出口孔的相对的两面上的第一侧边缘中限定的凹痕内，使得第一和第二参照面偏离于边缘表面一段预定的距离。12.如11项所述的挤出头，其中挤出空腔包括中心空腔和相对的第一和第二侧空腔，它们被布置成使得中心流道和第一和第二侧空腔与相关出口连通。13.如12项所述的挤出头，其中第一和第二侧空腔限定了挤出空腔的有效宽度，并且第一和第二参照面被布置在挤出空腔的有效宽度之内。14.如12项所述的挤出头，其中第二和第三板各包括入口孔，后者被布置成与所述中心空腔以及第一和第二侧空腔之一的闭合端相对。15.如11项所述的挤出头，其中边缘表面是平面的。0049虽然本发明已经iiil一些实施例进行了描述，但明显的，在已有技术的基础上，本发明的发明特点也可以应用于其它实施例中，这些实施例都落A^发明的范围之中。例如，除了带侧向变化带材外，挤出头130的变化可用于带垂直变化的材料，例如，在基底上引入栅栏层。这样的垂直变化可以通过在汇流管中制造在垂直方向上使异种材料会聚在一起(除了在水平方向上会聚之外)的流道来实现。如在太阳能电池的应用中，在电池表面上设置两层金属层是有禾啲，一层金属与作为扩散屏障的硅接触，第二层金属在上层，可以选用低成本的或是高导电性能的。除金属网格线之外，所述方法和结构可用于产生由非导电物质形成的网格线。例如，另一种得益于用于生成高纵横比网格和特征的快速、经济的装置包括等离子面板，如图12所示，其中高纵横比的栅格肋在显示器内限定了亚像素。所述栅格肋是一种电绝缘结构(例如无机玻璃)，优选是一种高纵横比结构，因为其改进了显示器中每英寸圆点的分辨率和±真充因子。在另一备选实施例中，参照面可形成(代替缺口)于延伸在相关层的侧边的突起部分，在最后的平整步骤中去除上述突起部分。权利要求1.一种制造用于微挤出设备的挤出头的方法，所述挤出头包括多个将物质挤出到基底的流道，该方法包括形成第一板，使得第一板限定至少一个参照面和包括出口区域的挤出空腔，使得所述至少一个参照面接近该出口区域；将第一板固定于第二、三板之间以形成所述挤出头，使得挤出空腔和第二、三板中的一个或多个形成相关联的流道；并且使得挤出头包括限定了与挤出空腔的所述出口区域连通的出口的边缘表面，其中至少一个参照面被布置在边缘表面上，使得其偏离于边缘表面；通过去除挤出头上的物质来平整边缘表面，直到至少一个参照面与边缘面分开一个预定的距离为止。2.—种用于微挤出设备的挤出头，该挤出头包括带有第一侧边缘的第一板、带有第二侧边缘的第二板和带有第三侧边缘的第三板；其中第一板被装配在第二和第三板之间，使得第一、第二和第三侧对准以形成挤出头的^^面；其中第一板限定了由第二、第三板的相应部分封闭的空S空，从而形成了具有在第一板的第一侦(」边缘中限定的出口孔的流道，使得该出口孔与挤出头的边,面共平面；其中第一板还限定了第一和第二参照面，这些参照面被布置在出口孔的相对的两面上的第一侧边缘中限定的凹痕内，使得第一和第二参照面偏离于边缘表面一段预定的距离。全文摘要一种用于在微挤出设备中制作高纵横比的网格线结构的共挤出头，包括多个板(如金属板)，它们被加工并装配成限定了三部件的流道，该流道具有沿挤出头的边缘表面布置的相关出口。参照面在板上得到蚀刻并沿与三流道空腔的输出接合部相交的直线排列。装配后(如使用高压结合技术)，每个参照面被定位于在边缘表面上设置的槽内。接着采用作为精确导向的参照面将共挤出头的边缘表面平整(如使用线EDM切割加工)，由此生成具有均匀流动阻抗的均匀长度的出口孔。文档编号B21C25/00GK101219446SQ20071016768公开日2008年7月16日申请日期2007年10月31日优先权日2006年11月1日发明者D·K·富尔克,T·S·齐默曼申请人:帕洛阿尔托研究中心公司