专利名称：激光加工装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及进行焊接及切割的激光加工装置中，能够检测在引导激光的光路导管内充满的清洗气体中混入杂质气体的激光加工装置。
背景技术：
作为将激光振荡器输出的激光以高精度照射加工对象的规定位置并进行焊接、切割及激光退火的装置，提出了各种方案。例如，在第一以往技术中，揭示了能够长时间稳定传输激光并以高精度对加工对象进行焊接或切割的激光加工装置。该激光加工装置具有到激光出射口为止的光束传输路径采用气密结构的激光振荡器；能够将激光向加工对象的任意位置照射的具有多关节结构的激光机器人；从激光振荡器到激光机器人为止引导激光、而且不使激光光轴偏移的光路导管；以及检测该光路导管内的压力、并将规定的加工气体供给光路导管内使得光路导管内的压力高于外部压力的加工气体供给装置而构成。采用这样的结构，防止激光加工时产生的烟气或粉尘从激光机器人的前端部进入光路导管内(例如，参照专利文献1)。
另外，在第二以往技术中，揭示了根据对加工对象进行激光退火处理的条件能够高精度控制激光强度的激光退火装置。该激光退火装置具有将激光振荡器与设置进行激光退火处理的加工对象用的腔室利用光路导管连接的结构，它是利用不吸收光路导管内传输的激光的清洗气体及对激光有规定吸收率的控制气体的浓度，来调整对腔室内的加工对象照射的激光的强度。因此，在光路导管内设置检测光路导管内的控制气体浓度的检测传感器，根据利用该检测传感器得到的控制气体浓度的检测信号，控制供给光路导管内的控制气体的量(例如，参照专利文献2)。
专利文献1日本专利特开平5-8079号公报(第二页，第1～2图)专利文献2日本专利特开平6-17120号公报(第二～三页，第一图)
但是，在第一以往技术所揭示的激光加工装置中，存在外部气体有可能进入光路导管内的问题。作为外部气体进入光路导管内的一个原因，是由于光路导管的结构引起的。例如，如上述专利文献1的图1所示，连接激光振荡器与激光机器人的光路导管不是一条直线，而是在多个部位的光路是弯曲的，这样的光路导管通常是用伸缩软管等将多个管子连接而构成的。另外，在第一以往技术的激光加工装置中，为了能够对加工对象的任意位置照射激光，具有能够使激光出射的位置移动的激光机器人。在这样结构的激光加工装置中，例如为了改变激光照射位置，而激光机器人要进行照射位置的改变动作，随着该改变动作，构成光路导管一部分的伸缩软管部分也运动，在这种情况下或者在停止激光加工等情况下，光路导管内的压力将暂时性地降低。其结果，例如从构成光路导管的管子相互之间的接缝或管子与伸缩软管等零部分的接缝等部位，外部气体将进入光路导管内。
另外，作为外部气体进入光路导管内的另一个原因，是由于供给光路导管内的加工气体引起的，这是由于在光路导管内使用从压缩机吸入的气体作为加工气体而使用的。
这样，若存在外部气体进入光路导管内的环境，则例如在光路导管附近使用稀释剂或涂料等情况下，吸收激光的激光吸收气体(稀释剂、三氯乙烯、丙稀燃烧气体、氟利昂系气体、SF6或有机化合物等)等杂质气体将进入光路导管内。这些杂质气体存在的问题是，引起激光功率分布及激光衰减的增加等，其结果使激光特性恶化，降低了激光加工装置的加工能力。
另外，在以往的激光加工装置中，在产生这样的激光输出异常时，最初怀疑原因是激光振荡器的问题，从这一点出发排除掉形成激光异常的各种各样原因之后，在很多情况下判明杂质气体进入光路导管内是激光输出异常的原因。即，激光输出异常的原因在原因调查的初始阶段不能确定为是由于光路导管中存在杂质气体。因此，在该原因探明的期间，由于不能利用激光加工装置进行加工，因此也成为作业效率降低的原因。
另外，在第二以往技术的激光退火装置中，在光路导管内虽具有检测控制气体用的检测传感器，但该检测传感器是检测对激光输出进行控制的控制气体的浓度用的传感器，不是检测上述杂质气体用的。即存在的问题是，在光路导管内即使上述激光吸收气体等杂质气体进入，用该检测传感器也不能检测出杂质气体进入。
本发明正是鉴于上述情况而提出的，目的在于得到能够检测进入光路导管内的杂质气体的激光加工装置。
发明内容
为了达到上述目的，本发明有关的激光加工装置包括产生激光振荡的激光振荡器、将从所述激光振荡器出射的激光照射于被加工物体的加工头、具有从所述激光振荡器的激光出射口引导激光到所述加工头的光学系统的光路导管、从设置在所述光路导管的与所述激光振荡器的连接部分附近的清洗气体供给口供给清洗气体的清洗气体供给装置、以及设置在所述光路导管的与所述加工头的连接部分附近的清洗气体排出口，所述激光装置，其特征在于，在所述光路导管内具备检测导致所述激光输出异常的杂质气体混入所述光路导管内的气味传感器。
图1所示为根据本发明的激光加工装置实施形态1的简要构成方框图。
图2所示为气体检测单元安装在光路导管中的一个例子。
图3所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。
图4所示为利用气体检测单元的校正处理顺序的流程图。
图5所示为根据本发明的激光加工装置实施形态2的简要构成方框图。
图6所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。
图7所示为根据本发明的激光加工装置实施形态3的简要构成方框图。
图8所示为利用气味传感器的异常部位确定方法。
图9所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。
图10所示为根据本发明的激光加工装置实施形态4的简要构成方框图。
图11所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。
图12所示为根据本发明的激光加工装置实施形态5的简要构成方框图。
图13所示为利用气味传感器的异常部位确定方法。
图14所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。
图15所示为气体检测单元安装在光路导管中的一个例子。
图16所示为利用气体检测单元的校正处理顺序的流程图。
图17所示为气体检测单元安装在光路导管中的一个例子。
图18所示为利用气体检测单元的校正处理顺序的流程图。
具体实施例方式
以下参照附图，详细说明本发明有关的激光加工装置的理想实施形态。
实施形态1下面用图1～图4说明本发明的实施形态1。图1所示为根据本发明的激光加工装置实施形态1的简要构成方框图，图2所示为气体检测单元安装在光路导管中的一个例子，图3所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图，图4所示为利用气体检测单元的校正处理顺序的流程图。
激光加工装置具有产生激光振荡的二氧化碳激光振荡器(振荡波长10.6μm)等激光振荡器11、将从激光振荡器11输出的激光照射作为加工对象的工件(被加工物体)100的加工头21、以及将从激光振荡器11出射的激光一面保持其光轴一面引至加工头21的光路导管30而构成。另外，在该图中，激光用点划线表示。
光路导管30在该图1中，具有2根管子31a及31b互相成直角那样的L型结构，它们的接缝部分用能够伸缩的伸缩软管33连接。在该光路导管30内，为了从激光振荡器11的激光出射口12引导激光L到加工头21，在加工头21的前端部(下面称为加工头前端部)22聚焦，例如在该图1的构成中，具有将从激光振荡器11的激光出射口12出射的激光L向加工头21的方向使前进路径转弯形成90度用的转弯反射镜34等光学系统。另外，为了在激光L与工件100之间产生相对移动的动作，与加工头21连接的管子31b利用未图示的导向机构及驱动机构，那个沿框架23在图中的箭头A的方向移动。随着与加工头21连接的管子31b沿该框架23的移动，上述的伸缩软管33进行伸缩。
另外，在该光路导管30的激光振荡器11的激光出射口12附近，具有供给对通过内部的激光L的吸收率不产生影响的清洗气体用的清洗气体供给口35，在光路导管30的加工头21的安装的位置附近，具有将清洗气体向光路导管30的外部排出用的清洗气体排出口36。在清洗气体供给口35，通过排他性的切换阀44，与供给作为清洗气体的氮气用的氮气供给单元41、以及供给作为清洗气体的进行吸气及压缩的气体(空气)的压缩机42连接。在压缩机42的吸入空气的进气口具有过滤器43。该过滤器43由具有除去设置激光加工装置的室内的湿气、尘埃及有机化合物等而不使其进入光路导管30内的功能的活性碳等构成。利用这些在光路导管30中设置的清洗气体供给口35及清洗气体排出口36，光路导管30内设定形成规定的压力(例如在用空气(清洗空气)作为清洗气体时，流量为100L/分，压力差为0.06kPa以上)。
另外，该激光加工装置具有检测光路导管30内混入杂质气体并输出异常检测信号的至少一个气体检测单元50、控制激光加工装置同时在接收来自气体检测单元50的异常检测信号时将异常通知激光加工装置使用者的控制通知单元61、以及按照来自控制通知单元61的通知让使用者识别异常的异常显示单元62而构成。控制通知单元61根据由气体检测单元50输出的异常检测信号或在更换过滤器43时从压缩机42输出的过滤器更换信号，控制激光振荡器11，同时根据来自使用者的指令，进行整个激光加工装置的控制。另外，控制通知单元61在激光加工装置起动时，进行气体检测单元50的校正控制。异常显示单元62由激光加工装置上设置的例如CRT(Cathode Ray Tube，阴极射线管)、液晶显示器、告知各种异常的指示器或报警器等构成，根据来自控制通知单元61的通知，对使用者通知因杂质气体混入而导致的异常。
气体检测单元50如图2所示，具有检测光路导管30内的杂质气体的气味传感器51、以及在激光加工装置起动时进行气味传感器51的校正用的传感器校正单元52而构成。该气体检测单元50设置在光路导管30的侧壁的一部分、从光路导管30的内侧向外侧凹进而形成的凹进部分70。凹进部分70由具有与光路导管30内的光轴平行的面并与光路导管30连接的周面部分71、位于凹进部分70的下流侧并将光路导管30的外周面与凹进部分70的周面部分71连接的第一侧面部分72、以及位于凹进部分70的上流侧并将光路导管30的外周面与凹进部分70的周面部分71连接的第二侧面部分73包围而形成的。第一侧面部分72相对于光路导管30的延伸方向具有近似垂直的角度，而第二侧面部分73是从光路导管30的内壁向距离光路导管30的中心最远离的凹进部分70的周面部分71具有不是垂直的比较平缓的倾斜角。
气味传感器51设置在凹进部分70的第一侧面部分72，使其与流过光路导管30内的清洗气体G的流向相对。作为该气味传感器51，可以采用能够检测可燃性气体、有毒气体及气味成分等气氛中的成分的热丝型半导体传感器。热丝型半导体传感器具有用铂或铂合金丝等贵金属丝的丝状电阻体形成线圈并在该线圈周围配置氧化锡等金属氧化物半导体的气敏部分、以及在该气敏部分的外部使丝状电阻值的两端延伸的引线部分，是具有两端子型的结构。对这样构成的热丝型半导体传感器的丝状电阻体通电，使其达到规定的温度，通过检测因气体吸附而使气敏部分的电阻值变化，来检测上述气体成分的存在。作为这样的气味传感器，例如可以采用新世界(COSMOS)电机株式会社生产的热丝型半导体传感器CH-E(型号名称)等。
传感器校正单元52具有供给进行气味传感器51校正用的气体(下面称为校正气体)的校正气体供给单元53、设置在与气味传感器51相对的凹进部分70的第二侧面部分73(使得校正气体沿与清洗气体G的流向相同的方向喷出)的喷嘴54、以及进行控制使得在进行校正时向光路导管30内供给校正气体而在其它时间不向光路导管30内供给校正气体的电磁阀55而构成。电磁阀55由控制通知单元61来控制开闭。
该传感器校正单元52由于是为了检测出杂质气体混入时气味传感器51的变化，而得到在杂质气体不存在的环境下气味传感器51的动作基准用的，因此校正气体供给单元53最好供给与进行激光加工时供给的清洗气体G相同组成的气体。但是，也可以供给不是与清洗气体G相同组成的气体，而供给不作为气味传感器51的检测对象的氮气或氧气等气体作为校正气体。这样，为了取得判断什么样的状态不是异常的初始值，对气味传感器51流过校正气体，将这称为校正。
这样，通过在激光加工装置的光路导管30的清洗气体排出口36附近设置气体检测单元50，来检测导致激光L的功率分布及激光L的衰减的增加等异常的杂质气体进入光路导管30内的情况。其结果，将上述激光L的异常是由于杂质气体引起的，还是由此除此以外的原因引起的，在初始阶段就加以区分。
下面说明该激光加工装置在异常检测时的处理。如图3所示，在起动激光加工装置时，首先起动压缩机42(步骤S1)，用气体(空气)充满光路导管30内。然后，进行气味传感器的校正(步骤S2)。
该气味传感器51的校正如图4所示，首先打开设在校正气体供给单元53与喷嘴54之间的电磁阀55(步骤S201)，从喷嘴54向气味传感器51喷出校正气体，开始校正(步骤S202)。对气味传感器51喷出校正气体的过程进行了规定时间(通常为几分钟)，校正结束(步骤S203)，则气味传感器51将校正结束的信号输出给控制通知单元61(步骤S204)。然后，控制通知单元61关闭电磁阀55(步骤S205)，校正处理结束。
再回到图3，若气味传感器51的校正结束，则将工件100设置在规定位置，开始激光加工(步骤S3)。在该激光加工中，气味传感器51继续对杂质气体混入光路导管30内进行检测(步骤S4)。在未检测出异常时(步骤S4为No时)，继续进行加工(步骤S12)。若加工处理完成，则处理结束。
另外，在步骤S4，气味传感器51检测出光路导管30内因从清洗气体G混入杂质气体而导致的异常时(步骤S4的Yes的情况)，从气味传感器51将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61判断是起动激光加工装置之后的第几次异常检测信号(步骤S5)。在是第一次异常检测信号时(步骤S5的“第一次”的情况)，控制通知单元61将进行压缩机42及其周边检查的意思通知异常显示单元62(步骤S6)，在异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查(步骤S8)。
由使用者进行该项检查，首先检查压缩机42周围的气氛，在没有异常时，将压缩机42的过滤器43进行更换。压缩机42的过滤器43的更换是，首先将阀44进行切换从压缩机42与光路导管30连接的状态变为将氮气供给单元41与光路导管30连接，将氮气供给光路导管30内。然后，进行更换设置在压缩机42的吸气口的过滤器43的作业，在过滤器43更换后，从压缩机42向控制通知单元61输出完成了更换的更换结束信号。然后，再将阀44进行切换，从氮气供给单元41与光路导管30连接的状态变为将压缩机42与光路导管30连接，再次将空气供给光路导管30内。另外，上述的阀44的切换可以由控制通知单元61进行，也可以由使用者来进行。在由控制通知单元61进行的情况下，只要在控制通知单元61从气味传感器51接收到异常检测信号时，将阀44进行切换，从压缩机42切换为氮气供给单元41，而在从压缩机42接收到更换结束信号时，将阀44进行切换，从氮气供给单元41切换为压缩机42即可。另外，在该检查中，可以将氮气作为清洗气体，继续进行激光加工处理。在由使用者进行的检查及更换结束后，再回到步骤S4，利用气味传感器51检测因清洗气体G内存在杂质气体而导致的异常。然后，在利用气味传感器51检测出因清洗气体G内存在杂质气体而导致的异常时(步骤S4的Yes的情况)，从气味传感器51将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61判断是起动激光加工装置之后的第几次异常检测信号(步骤S5)。这里，由于是第二次(步骤S5)的“第二次”的情况)，控制通知单元61，将进行传送路径部件检查的意思通知异常显示单元62(步骤S7)，使异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查(步骤S8)。
使用者检查构成激光L传输路径的光路导管30的管子31a、31b及伸缩软管33等传输路径零部件有无烧损或老化，在有异常时，进行该零部件的更换。
在由使用者进行的检查及更换结束后，再回到步骤S4，利用气味传感器51检测因清洗气体G内存在杂质气体而导致的异常。然后，在利用气味传感器51检测出因清洗气体G内存在杂质气体而导致的异常时(步骤S4的Yes的情况)，从气味传感器51将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61判断是起动激光加工装置之后的第几次异常检测信号(步骤S5)。这里，由于是第三次(步骤S5的“第三次及以上”的情况)，控制通知单元61将有必要进行整个激光加工装置检查的意思通知异常显示单元62(步骤S7)，使异常显示单元62进行显示。
若接收到该通知，则由使用者判断在激光振荡器11的输出降低的状态下是否能够进行加工而对加工质量不产生影响，并根据该判断结果，来控制激光振荡器11的状态(步骤S10)。例如，若激光L的输出降低，而在能够进行加工并对加工质量不产生影响时，控制通知单元61调整激光振荡器11，达到对其加工质量不产生影响的那样程度的输出，继续进行加工，加工结束后，则处理结束。另外，在继续进行加工比较困难时，控制通知单元61停止激光振荡器11的工作。然后，由使用者对构成激光加工装置的零部件、例如除了已经检查及更换结束的压缩机42及光路导管30以外的框架23等加工机械及激光振荡器11等部分进行检查，在有异常时，进行其零部件的更换，则处理结束。
根据本实施形态1，由于在清洗气体排出口36的附近设置气味传感器51而构成，因此能够对光路导管30内的全部清洗气体G检测杂质气体的混入情况。其结果，能够确定激光L的异常是因杂质气体的混入而引起的。另外，通过将气味传感器51产生的异常检测信号输出给控制通知单元61，能够有效地对其原因进行调查，并据此能够判断在压缩机42的吸气口安装的过滤器43的更换时期。再有，还能够根据来自控制通知单元61的异常检测信号，来控制激光振荡器11。
另外，由于将气味传感器51安装在光路导管30的凹进部分70的第一侧面部分72，使其与清洗气体G的流向相对，将喷嘴54安装在气味传感器51的近似正面、而且在凹进部分70的第二侧面部分73，使得校正气体处于与清洗气体G的流向相同的方向，因此能够有效地进行气味传感器51的校正。另外，由于第二侧面部分73是从光路导管30的上流侧向凹进部分70的周面部分71具有倾斜而构成，因此清洗气体G容易流入该凹进部分70内，能够利用气味传感器51有效地进行杂质气体的检测。
实施形态2下面用图5及图6说明本发明的实施形态2。图5所示为根据本发明的激光加工装置实施形态2的简要构成方框图，图6所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。另外，关于与图1相同的构成要素，则附加同一符号，并省略其说明。
如图5所示，在本实施形态2的激光加工装置中，其特征在于，至少在清洗气体供给口35附近设置一个气体检测单元50。其它构成与图1相同。另外，气体检测单元50设置的位置最好是与光路导管30内的清洗气体供给口35相对的部分或比其稍微向下流一侧的部分。另外，该气体检测单元50如实施形态1的图2所示，设置在光路导管30中所设置的凹进部分70。这样，通过将气体检测单元50设置在清洗气体供给口35的附近，例如能够立即检测出从压缩机42混入的杂质气体。
下面一边参照图6的流程图，一边说明该激光加工装置在异常检测时的处理。首先，进行与实施形态1的图3所说明的步骤S1～S4及S11相同的处理，开始利用激光加工装置进行加工(步骤S21～S24及S30)。即，在起动压缩机42并用气体(空气)充满光路导管30内之后，进行气味传感器51的校正。另外，气味传感器51的校正是利用实施形态1的图4所说明的顺序进行。然后，开始加工，利用气体检测单元50检测有无杂质气体混入光路导管30内，在没有杂质气体混入时，继续进行加工，加工结束后，则处理结束。
在利用气体检测单元50检测出杂质气体混入光路导管30内时(步骤24的Yes的情况)，从气味传感器51将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61判断是起动激光加工装置之后的第几次异常检测信号(步骤S25)。在是第一次异常检测信号时(步骤S25的“第一次”的情况)，控制通知单元61将进行压缩机42及其周边检查的意思通知异常显示单元62(步骤S26)，使异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查(步骤S27)。由使用者进行的该压缩机42及其周围的检查，由于与上述实施形态1的情况相同，因此省略说明。
在由使用者进行的检查及更换结束后，再回到步骤S24，利用气味传感器51检测因清洗气体G内存在杂质气体而导致的异常。然后，在利用气味传感器51检测出因清洗气体G内存在上述杂质气体而导致的异常时(步骤S24的Yes的情况)，从气味传感器51将异常检测信号输出口控制通知单元61。然后，控制通知单元61判断是起动激光加工装置之后的第几次异常检测信号(步骤25)。这里，由于是第二次(步骤S25的“第二次”情况)，将有必要进行压缩机42及其周围以外的激光加工装置部分的检查的意思通知异常显示单元62(步骤S28)，使异常显示单元62进行显示。
若接收到该通知，则由使用者在激光振荡器11的输出降低的状态下判断是否能够进行加工而对加工质量不产生影响，并根据该判断结果，来控制激光振荡器11的状态(步骤S29)。如上述实施形态1那样，在能够进行激光加工时，控制通知单元61调整激光振荡器11，达到对加工质量不产生影响的那样程度的输出，再继续进行加工，在继续进行加工比较困难时，停止激光振荡器11的工作。在停止激光振荡器11之后，由使用者对构成激光加工装置的零部件、例如除了已经检查及更换结束的压缩机42以外的构成激光L传输路径的光路导管30的管子31a及31b和伸缩软管33等传输路径零部件、框架23等加工机械以及激光振荡器11等部分进行检查，在有异常时，进行其零部件的更换，则处理结束。
根据本实施形态2，由于是在光路导管30的清洗气体供给口35附近设置气味传感器51、并将利用气味传感器51而产生的异常检测信号输出给控制通知单元61而构成，因此能够检测出因压缩机42或其周边的气氛气体而形成的杂质气体的混入，能够有效地对其原因进行调查。另外，根据来自控制通知单元61的通知，能够判断在压缩机42的吸气口安装的过滤器43的更换时期，再有还能够进行从压缩机42切换至氮气供给单元41的阀44的切换。再有，能够根据来自控制通知单元61的异常检测信号，来控制激光振荡器11。
实施形态3下面用图7～图9说明本发明的实施形态3。图7所示为根据本发明的激光加工装置实施形态3的简要构成方框图，图8所示为利用气味传感器的异常部位确定方法，图9所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。另外，关于与图1相同的构成要素，则附加同一符号，并省略其说明。
如图7所示，在本实施形态3的激光加工装置中，其特征在于，至少在清洗气体排出口36附近设置一个第一气体检测单元50a，同时至少在清洗气体供给口35附近设置一个第二气体检测单元50b。其它构成与图1相同。另外，第二气体检测单元50b设置的位置最好是与光路导管30内的清洗气体供给口35相对的部分或比其稍微向下流一侧的部分。另外，这些气体检测单元50a及50b如实施形态1的图2所示，设置在光路导管30中所设置的凹进部分70。
图8所示为根据第一气体检测单元及第二气体检测单元的异常检测状况来考虑的原因。在该图中，“○”表示未检测出异常的状况，“×”表示检测出异常的状况。首先，在第一及第二气体检测单元50a及50b都是正常时，由于没有杂质气体流入光路导管30内，因此能够继续进行加工处理。其次，在第一气体检测单元50a检测出异常、而第二气体检测单元50b是正常时，作为其第一原因，可以判断为是从传输路径零部件进入的杂质气体产生的异常。另外，在第一及第二气体检测单元50a及50b都检测出异常时，作为其第一原因，可以判断为是压缩机42的周围气氛或压缩机42的过滤器43产生的异常，而作为其第二原因，可以判断为是从传输路径零部件进入的杂质气体产生的异常。
这样，通过在光路导管30的清洗气体排出口36附近设置第一气体检测单元50a，并在光路导管30的清洗气体供给口35附近设置第二气体检测单元50b，能够将杂质气体混入的原因区别为是由压缩机42周围的气氛或压缩机42的过滤器所引起的，还是由传输路径零部件所引起的。
下面一边参照图9的流程图，一边说明该激光加工装置在异常检测时的处理。首先，进行与实施形态1的图3所说明的步骤S1～S3相同的处理，开始利用激光加工装置进行加工(步骤S41～S43)。即，在起动压缩机42并用气体(空气)充满光路导管30内之后，进行气味传感器51的校正，开始加工。另外，气味传感器51的校正是利用实施形态1的图4所说明的顺序进行的。
在激光加工中，第一及第二气体检测单元50a及50b的气味传感器51继续对杂质气体混入光路导管30内的情况进行检测(步骤S44)。在二个气体检测单元50a及50b未检测出异常时(步骤S44的“正常”的情况)，维持原状继续进行加工(步骤S53)。然后，若加工过程结束，则处理结束。
另外，在步骤S44中，在第一及第二气体检测单元50a及50b检测出因光路导管30内的清洗气体中混入杂质气体而引起的异常时(步骤S44的“第一及第二气体检测单元异常”的情况)，从第一及第二气体检测单元50a及50b将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61将进行压缩机42及其周围检查的意思通知异常显示单元62(步骤S45)，使异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查，必要时进行零部件更换(步骤S46)。由使用者进行的该压缩机42及其周围的检查及更换，由于与上述实施形态1的情况相同，因此省略说明。
然后，若利用二个气体检测单元50a及50b未检测出清洗气体内存在杂质气体而产生的异常(步骤S47的“正常”的情况)，则继续进行加工处理(步骤S53)。然后，在加工过程结束后，则处理结束。
另外，在利用第一气体检测单元50a检测出因清洗气体内存在杂质气体而产生的异常时(步骤S47的“仅第一气体检测单元异常”的情况)，或者在上述步骤S44中仅由第一气体检测单元检测出异常时(步骤S44的“仅第一气体检测单元异常”的情况)，从第一气体检测单元50a将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61将进行传输路径零部件检查的意思通知异常显示单元62(步骤S48)，使异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查，必要时进行零部件更换(步骤S49)。具体来说，使用者检查构成激光L传输路径的光路导管30的管子31a及31b和伸缩软管33等传输路径零部件有无烧损或老化，在有异常时，进行该零部件的更换。
在由使用者进行的检查及更换结束后，利用二个气体检测单元50a及50b对光路导管30内的杂质气体进行检测(步骤S50)。若利用气体检测单元50a及50b未检测出因清洗气体内存在杂质气体而产生的异常(步骤S50的No的情况)，则继续进行加工处理(步骤S53)。然后，在加工过程结束后，则处理结束。另外，在至少利用一个气体检测单元50a及50b检测出因清洗气体内存在上述杂质气体而产生的异常时(步骤S50的Yes的情况)，检测出异常的气体检测单元50a及50b将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61将有必要进行整个激光加工装置检查的意思通知异常显示单元62(步骤S51)，使异常显示单元62进行显示。
若接收到该通知，则由使用者判断在激光振荡器11的输出降低的状态下是否能够进行加工而对加工质量不产生影响，并根据该判断结果，来控制激光振荡器11的状态(步骤S52)。如上述实施形态1那样，在能够进行激光加工时，控制通知单元61调整激光振荡器11，达到对加工质量不产生影响的那样程度的输出，再继续进行加工，在继续进行加工比较困难时，停止激光振荡器11的工作。在停止振荡器11之后，由使用者对构成激光加工装置的零部件、例如除了已经检查及更换结束的压缩机42及光路导管30以外的框架23等加工机械以及激光振荡器11等部分进行检查，在有异常时，进行其零部件的更换，则处理结束。
根据本实施形态3，具有与在清洗气体排出口36附近及清洗气体供给口35附近的两处设置气味传感器51而构成，因此能够检测出杂质气体混入清洗气体的情况，其原因能够区别为是由压缩机42所引起的，还是由传输路径零部件所引起的。其结果，能够有效地对激光L异常的原因部位进行调查。另外，通过将因混入杂质气体而引起的异常输出给控制通知单元61，也能够判断在压缩机42的吸气口安装的过滤器43的更换时期，或者容易知道传输路径零部件的烧损或变质等异常的检测情况。再有，能够根据来自控制通知单元61的异常检测信号，来控制激光振荡器11。
实施形态4下面用图10及图11说明本发明的实施形态4。图10所示为根据本发明的激光加工装置实施形态4的简要构成方框图，图11所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。另外，关于与图1相同的构成要素，则附加同一符号，并省略其说明。
如图10所示，在本实施形态4的激光加工装置中，其特征在于，至少在压缩机42的吸气口附近设置一个气体检测单元50。其它构成与图1相同。这样，通过在压缩机42的吸气口附近设置气体检测单元50，能够立即检测出从压缩机42进入的杂质气体。
下面一边参照图11的流程图，一边说明该激光加工装置在异常检测时的处理。首先，对气味传感器51进行规定时间的校正(步骤S61)，在起动压缩机42并用气体(空气)充满光路导管30内之后(步骤S62)，开始加工(步骤S63)。另外，气味传感器51的校正是利用实施形态1的图4所说明的顺序进行的。
然后，利用气体检测单元50判断室内在压缩机42周围的气氛的异常情况(步骤S64)，在压缩机42周围没有杂质气体时(步骤S64的No的情况)，继续进行加工(步骤S70)。然后，在加工过程结束后，则处理结束。
另外，在压缩机42周围存在杂质气体时(步骤S64的Yes的情况)，从气味传感器51将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61将进行压缩机42及其周围检查的意思通知异常显示单元62(步骤S65)，使异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查(步骤S26)。由使用者进行的该压缩机42及其周围的检查，由于与上述实施形态1的情况相同，因此省略说明。
在由使用者进行的检查及更换结束后，若利用气体检测单元50未检测出压缩机42周围的气氛异常(步骤S67的No的情况)，则继续进行加工(步骤S70)。然后，在加工过程结束后，则处理结束。另外，在利用气体检测单元50检测出压缩机42周围的气氛异常时(步骤S67的Yes的情况)，从气味传感器51将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61将有必要对压缩机42及其周围以外的激光加工装置部分进行检查的意思通知异常显示单元62(步骤S68)，使异常显示单元62进行显示。
若接收到该通知，则由使用者判断在激光振荡器11的输出降低的状态下是否能够进行加工而对加工质量不产生影响，并根据该判断结果，利用控制通知单元来控制激光振荡器11的状态(步骤S69)。如上述实施形态1那样，在能够进行激光加工时，控制通知单元61调整激光振荡器11，达到对加工质量不产生影响的那样程度的输出，再继续加工，在继续加工比较困难时，停止激光振荡器11的工作。在停止激光振荡器11之后，由使用者对构成激光加工装置的零部件、例如除了已经检查及更换结束的压缩机42以外的构成激光L传输路径的光路导管30的管子31a及31b和伸缩软管33等传输路径零部件、框架23等加工机械以及激光振荡器11等部分进行检查，在有异常时，进行其零部件的更换；则处理结束。另外，传输路径零部件的检查也可以在降低激光输出而进行加工时进行。
根据本实施形态4，由于是在供给清洗气体的压缩机42设置气味传感器51而构成，因此能够判断室内在压缩机42周围的气氛异常，另外能够根据该信息，来控制激光振荡器11的工作。另外，能够根据从气味传感器51输出的异常检测信号，判断在压缩机42的进气口安装的过滤器43的更换时期。
实施形态5下面用图12～图14说明本发明的实施形态5。图12所示为根据本发明的激光加工装置实施形态5的简要构成方框图，图13所示为利用气味传感器的异常部位确定方法，图14所示为激光加工装置在异常检测时的动作处理流程图。另外，关于与图1相同的构成要素，则附加同一符号，并省略其说明。
如图12所示，在本实施形态5的激光加工装置中，其特征在于，至少在清洗气体排出口36附近设置一个第一气体检测单元50a，至少在清洗气体供给口35附近设置一个第二气体检测单元50b，而且在压缩机42的进气口附近设置第三气体检测单元50c。其它构成与图1相同。另外，第二气体检测单元50b设置的位置最好是与光路导管30内的清洗气体供给口35相对的部分或比其稍微向下流一侧的部分。另外，第一及第二气体检测单元50a及50b如实施形态1的图2所示，设置在光路导管30中所设置的凹进部分70。
图13所示为根据第一～第三气体检测单元50a～50c的异常检测状况来考虑的原因。在该图中也与图8的情况相同，“○”表示未检测出异常的状况，“×”表示检测出异常的状况。首先，在第一～第三气体检测单元50a～50c都是正常时，由于没有杂质气体流入光路导管30内，因此能够继续进行加工处理。其次，在第一及第二气体检测单元50a及50b是正常、而第三气体检测单元50c检测出异常时，作为其第一原因，可以认为是在压缩机42周围的气氛中存在杂质气体。
然后，在第一气体检测单元50a检测出异常、而第二及第三气体检测单元50b及50c是正常时，作为其第一原因，可以判断为是从传输路径零部件混入气体而产生的异常。另外，在第一及第三气体检测单元50a及50c检测出异常、而第二检测单元50b是正常时，作为其第一原因，可以判断为是压缩机42周围的气氛及传输路径零部件。
然后，在第一及第二气体检测单元50a及50b检测出异常、而第三气体检测单元50c是正常时，作为其第一原因，可以判断为是在压缩机42与光路导管30内的清洗气体供给口35之间的异常，作为第二原因，可以判断为是传输路径零部件。另外，在第一～第三气体检测单元50a～50c检测出异常时，作为其第一原因，可以判断为是压缩机42周围的气氛，作为其第二原因，可以判断为是压缩机42与光路导管30内的清洗气体供给口35之间的异常，作为第三原因，可以判断为是传输路径零部件。
这样，通过在光路导管30的清洗气体排出口36附近设置第一气体检测单元50a，在光路导管30的清洗气体供给口35附近设置第二气体检测单元50b，并在压缩机42的进气口附近设置第三气体检测单元50c，能够将杂质气体混入的原因区别为是由压缩机42周围的气氛异常所引起的，还是由压缩机42所引起的，还是由传输路径零部件所引起的。
另外，对于激光加工装置因混入杂质气体而产生的异常的处置方法，由于是从清洗气体的上流侧、即按照压缩机42及其周围和传输路径零部件的顺序来进行的，因此作为对图13所考虑的异常原因的处置方法，可以大致分为两类，若加入正常时什么也不进行的情况，则可以分为三类。即可以分为下述三类的处置方法，(A)全部气体检测单元50a～50c都正常时的处置方法，(B)第二或第三检测单元50b或50c的至少一个异常时(在压缩机42及其周围有原因时)处置方法，(C)仅第一气体检测单元50a是异常时(有可能传输路径零部件是原因时)的处置方法。
下面一边参照图14的流程图，一边说明该激光加工装置在异常检测时的处理。首先，进行与实施形态4的图11所说明的步骤S61～S63相同的处理，开始利用激光加工装置进行加工(步骤S81～S83)。即，对气味传感器51进行规定时间的校正，在起动压缩机42并用气体(空气)充满光路导管30内之后，开始加工。另外，气味传感器51的校正是利用实施形态1的图4所说明的顺序进行的。
在激光加工中，第一～第三气体检测单元50a～50c的气味传感器51继续对是否存在杂质气体进行检测(步骤S84)。在全部气体检测单元50a～50c都未检测出异常时(步骤S84的“全部气体检测单元都正常”的情况)，维持原状继续进行加(步骤S93)。然后，在加工过程结束后，则处理结束。
另外，在第二或第三气体检测单元50b及50c的至少一个检测出异常时(步骤S84的“第二或第三气体检测单元的至少一个检测出异常”的情况)，从第二气体检测单元50b及/或第三气体检测单元50c将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61将进行压缩机42及其周围检查的意思通知异常显示单元62(步骤S85)，使异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查(步骤S86)。由使用者进行的该压缩机42及其周围的检查，由于与上述实施形态1的情况相同，因此省略说明。
然后，若利用三个气体检测单元50a～50c未检测出因杂质气体的存在而产生的异常(步骤S87的“全部气体检测单元都正常”的情况)，则继续进行加工处理(步骤S93)。然后，在加工过程结束后，则处理结束。
另外，在仅第一气体检测单元50a检测出因清洗气体内存在杂质气体而产生的异常时(步骤S87的“仅第一气体检测单元检测出异常”的情况)或在上述步骤S84中仅第一气体检测单元50a的检测出异常时(在步骤S84的“仅第一气体检测单元检测出异常”的情况)，从第一气体检测单元50a将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后，控制通知单元61将进行传输路径零部件检查的意思通知异常显示单元62(步骤S88)，使异常显示单元62进行显示。按照该通知，使用者进行检查(步骤S89)。使用者检查构成激光L传输路径的光路导管30的管子31a及31b和伸缩软管33等传输路径零部件有无烧损或老化，在有异常时，进行该零部件的更换。
在由使用者进行的检查及更换结束后，利用各气体检测单元50a～50c对光路导管30内的杂质气体进行检测(步骤S90)。若利用气体检测单元50a～50c未检测出因清洗气体内存在杂质气体而产生的异常(步骤S90的No的情况)，则继续进行加工处理(步骤S93)。然后，在加工过程结束后，则处理结束。
另外，利用气体检测单元50a～50c检测出因清洗气体内存在杂质气体而产生的异常时(步骤S90的Yes的情况)，检测出异常的气体检测单元50a～50c将异常检测信号输出给控制通知单元61。然后控制通知单元61将有必要进行整个激光加工装置检查的意思通知异常显示单元62(步骤S91)，使异常显示单元62进行显示。
若接收到该通知，则由使用者判断在激光振荡器11的输出降低的状态下是否能够进行加工而对加工质量不产生影响，并根据该判断结果，由控制通知单元61控制激光振荡器11的状态(步骤S92)。如上述实施形态1那样，在能够进行激光加工时，控制通知单元61调整激光振荡器11，达到对加工质量不产生影响的那样程度的输出，再继续进行加工，在继续进行加工比较困难时，停止激光振荡器11的工作。在停止激光振荡器11之后，由使用者对构成激光加工装置的零部件、例如除了已经检查及更换结束的压缩机42及光路导管30以外的框架23等加工机械以及激光振荡器11等部分进行检查，在有异常时，进行其零部件的更换，则处理结束。
根据本实施形态5，由于在清洗气体排出口36附近及清洗气体供给口35附近及压缩机42的进气口附近设置气味传感器51而构成，因此能够检测出混入杂质气体的情况，同时能够将其原因区别为是由室内的压缩机42周围的气氛所引起的，还是由压缩机42所引起的，还是由传输路径所引起的，能够有效地对激光L异常的原因部位进行调查。另外，通过将因混入杂质气体而引起的异常输出给控制通知单元61，能够判断在压缩机42的吸气口安装的过滤器的更换时期，或者容易知道传输路径零部件的烧损或变质等异常的检测情况。再有，能够根据来自控制通知单元61的异常检测信号，来控制激光振荡器11。
另外，在本实施形态5中，说明的是在清洗气体供给口35附近、清洗气体排出口36附近及压缩机42的进气口附近设置气味传感器51的情况，但是像在清洗气体供给口35附近及压缩机42的进气口附近设置气味传感器51的情况那样，或者像在清洗气体排出口36附近及压缩机42的进气口附近设置气味传感器5 1的情况那样，即使改变安装位置及个数时，也能够得到实施形态形态1～4中所说明的那样的效果。
另外，在实施形态1～5中，所示的是加工头21垂直立起的结构，但也可以是水平卧倒的结构，加工头21也可以进行旋转动作或倾斜动作。再有，在实施形态1～5中，所示的是加工头21只能沿图中的左右方向移动的情况，但也可以是只能沿垂直于纸面的方向移动的情况，或者也可以是能够沿这两个方向移动的情况，再有也可以是能够进行三维移动的情况。另外，从激光振荡器11到加工头21的引导激光L的光路导管30的形状，也可以不是实施形态1～5所示的L型，而可以采用任意的结构。
再有，在实施形态1～5中，是设置阀44，它将用压缩机42吸气并压缩的空气与来自氮气供给单元41的氮气进行切换，选择一路气体引入光路导管30，并在压缩机42的进气口具有过滤器43而构成，但也可以不设置这些阀44及过滤器43，另外即使只设置一种，也能够得到与上述实施形态1～5同样的效果。
另外，在实施形态1～5中，是将清洗气体供给口35设置在光路导管30的激光振荡器11的激光出射口12附近，将清洗气体排出口36设置在光路导管30的加工头21的安装位置附近，但也可以反过来，将清洗气体供给口35设置在光路导管30的加工头21的安装位置附近，将清洗气体排出口36设置在光路导管30的激光振荡器11的激光出射口12附近。
实施形态6下面用图15及图16说明本发明的实施形态6。在上述的实施形态1～3及5中，气体检测单元50是以图2所示的形状设置在光路导管30中，而在本实施形态6中，说明的是以不同于该图2的形状将气体检测单元50设置在光路导管30内的情况。
图15所示为气体检测单元安装在光路导管中的一个例子，图16所示为利用气体检测单元的校正处理顺序的流程图。
如图15所示，该气体检测单元50设置在光路导管30的侧壁的一部分、从光路导管30的内侧向外侧凹进而形成的凹进部分70。凹进部分70由具有与光路导管30内的光轴平行的并与光路导管30连接的周面部分71、以及将光路导管30的外周面与凹进部分70的周面部分71连接的二个侧面部分74a及74b包围而形成的。凹进部分70的侧面部分74da及74b相对于光路导管30的延伸方向具有近似垂直的角度。
气体检测单元50的气味传感器51固定在设置平台81上。设置平台81这样构成，它与电动机或气缸等驱动机构82连接，能够在从凹进部分70至不遮住光路导管30内的激光L的光轴的位置之间沿纸面上的上下方向移动。设置平台81具有与凹进部分70的开口部分近似相同的尺寸，在校正时如图15中的实线所画的那样，为了使得不设置气味传感器51的反面一侧的表面形成光路导管30的内壁的一部分，利用驱动机构82进行移动，使气味传感器51进入凹进部分70内。另外，设置平台81在激光加工中，如图15中的虚线所画的那样，利用驱动机构82移动至不遮住激光L的光路的光路导管30内的位置。
另外，传感器校正单元具有供给校正气体的校正气体供给单元53、向凹进部分70内吹出校正气体的气体吹出口56、以及进行控制使得在进行校正时向光路导管30内供给校正气体而在其它时间不向光路导管30内供给校正气体的电磁阀55而构成。与实施形态1的图2相同，气体吹出口56安装在位于凹进部分70的上流侧的侧面部分74b。另外，在与气体吹出口56相对的凹进部分70的侧面部分74a，设置将校正气体排出用的气体排出口57。该气体排出口57处于仅在校正时打开、而在激光加工中关闭的状态。另外，气味传感器51通过该气体排出口57，与控制通知单元61进行布线。
下面一边参照图16，一边说明该气味传感器51的动作。首先，为了进行校正，利用驱动机构82使气味传感器51移动至凹进部分70内的规定位置(步骤S211)。然后，进行与图4的步骤S201～S205相同的处理。进行气味传感器51的校正(步骤S212～S216)。即，打开设置在校正气体供给单元53气体吹出口56之间的电磁阀55，从气体吹出口56向气味传感器51吹出校正气体，开始校正。对气味传感器51吹出校正气体的过程进行了规定时间(通常为几分钟)，校正结束，则气味传感器51将校正结束的信号输出给控制通知单元61，控制通知单元61关闭电磁阀55。
然后，利用驱动机构82使气味传感器51移动至光路导管30内的规定位置，则校正处理结束(步骤S217)。
这样的光路导管30内的气体检测单元50的结构，可以适用于上述实施形态1～3及5的气体检测单元50。
根据本实施形态6，由于它是这样构成的，即在气味传感器51进行校正时，移动设置平台81，使其塞住凹进部分70的开口部分，在由凹进部分70与设置平台81所包围的空间内流过校正气体，因此能够限制校正时使用的校正气体量。
实施形态7下面用图17及图18说明本发明的实施形态7。在上述的实施形态1～3及5中，气体检测单元50是以图2所述的形式设置在光路导管30内，而在本实施形态7中，将说明以与该图2不同的形式将气体检测单元50设置在光路导管30内的情况。
图17所示为气体检测单元安装在光路导管中的一个例子，图18所示为利用气体检测单元的校正处理顺序的流程图。另外，关于与图2相同的构成要素，则附加同一符号，并省略其说明。
如图17所示，本实施形态7的气体检测单元50的特征在于，为了使得实施形态1的图2中设置凹进部分70的光路导管30内的空间形成封闭的空间，在凹进部分70的上流侧及下流侧的光路导管30内分别设置闸门阀91。
利用这样的结构，在进行气味传感器51的校正时，关闭2个闸门阀91，使设置凹进部分70的光路导管30内的空间形成封闭的空间，从校正气体供给单元53向这里供给校正气体。然后，在校正结束后，打开闸门阀91，进行激光加工。
下面一边参照图18，一边说明该气味传感器51的动作。首先，关闭2个闸门阀91，使设置凹进部分70的光路导管30内的空间形成封闭的空间(步骤S221)。然后，进行与图4的步骤S201～S206相同的处理。进行气味传感器51的校正(步骤S212～S216)。即，打开设置在校正气体供给单元53与喷嘴54之间的电磁阀55，从喷嘴54向气味传感器51吹出校正气体，开始校正。对气味传感器51吹出校正气体的过程进行了规定时间(通常为几分钟)，校正结束，则气味传感器51将校正结束的信号输出给控制通知单元61，控制通知单元61关闭电磁阀55。
然后，打开光路导管30中设置的闸门阀91。则校正处理结束(步骤S217)。
这样的光路导管30内的气体检测单元50的结构，可以适用于上述实施形态1～3及5的气体检测单元50。
根据实施形态7，由于具有使设置凹进部分70的光路导管30内的空间形成封闭空间用的闸门阀91而构成，在校正时关闭该闸门阀91，使校正气体关闭在包含凹进部分70的光路导管30内的空间，因此与实施形态1～3及5的气体检测单元50的结构相比，能够限制校正气体的使用量。
如上所述，根据本发明，通过在激光加工装置的光路导管内及压缩机等的进气口设置气味传感器，能够检测出包含光路导管内的全部清洗气体的异常。其结果，能够确定激光的异常是因为杂质气体混入而引起的。另外，将利用气味传感器产生的异常检测信号输出给控制通知单元，通过考虑到是来自设置在哪个位置的气味传感器的异常检测信号，或者是第几次的异常检测信号，能够有效地对其原因进行调查。其结果，能够减少激光加工装置在加工中的加工不良的情况，同时容易发现加工不良的原因。
本发明适用于利用激光对加工对象的工件进行焊接及切割等加工处理的激光加工装置。
权利要求
1.一种激光加工装置，具备产生激光振荡的激光振荡器将从所述激光振荡器出射的激光照射于被加工物体的加工头、具有从所述激光振荡器的激光出射口引导激光到所述加工头的光学系统的光路导管、从设置在所述光路导管的与所述激光振荡器或所述加工头的连接部分附近的清洗气体供给口供给清洗气体的清洗气体供给装置、以及设置在所述光路导管的与所述加工头或所述激光振荡器的连接部分附近的清洗气体排出口，其特征在于，所述光路导管内具有检测导致所述激光输出异常的杂质气体混入所述光路导管内的气味传感器。
2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还具有若利用所述气味传感器检测出所述杂质气体混入所述光路导管内、则将所述杂质气体混入的检测结果进行通知的控制通知装置。
3.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述控制通知装置在利用所述气味传感器在起动所述激光加工装置后第一次检测出所述杂质气体混入所述光路导管内时，通知是所述清洗气体供给装置或其周围气氛异常。
4.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述控制通知装置在利用所述气味传感器在起动所述激光加工装置后第二次检测出所述杂质气体混入光路导管内时，通知是所述光路导管异常。
5.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述气味传感器在起动所述激光加工装置后三次以上检测出所述杂质气体混入所述光路导管内的情况下，所述控制通知装置通知检查整个所述激光加工装置的必要性。
6.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，在所述光路导管的所述清洗气体排出口附近具有所述气味传感器。
7.如权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，还具有若利用所述气味传感器检测出所述杂质气体混入所述光路导管内。则与该检测次数相对应进行异常部位的通知或进行异常部位的通知及所述激光振荡器动作状态的控制的控制通知装置。
8.如权利要求7所述的激光加工装置，其特征在于，所述清洗气体供给装置是具有除去从进气口进气的空气中的尘埃的过滤器、并将除去尘埃的空气进行压缩后供给所述光路导管内的压缩机，在利用所述气味传感器在起动所述激光加工装置后第一次检测出所述杂质气体混入所述光路导管内时，所述异常部位的通知确定为所述激光异常是由杂质气体混入而引起的。
9.如权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，在连接所述压缩机与所述清洗气体供给口的流通路径之间，通过在与所述压缩机之间选择一种清洗气体而进行切换的阀，连接其它的清洗气体供给装置，所述控制通知装置还具有切换所述阀的功能，使得在从所述压缩机对所述光路导管供给清洗气体的状态下，若利用所述气味传感器检测出异常，则从所述其它的清洗气体供给装置对所述光路导管供给清洗气体。
10.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，在所述光路导管的所述清洗气体供给口附近具有所述气味传感器。
11.如权利要求10所述的激光加工装置，其特征在于，还具有若利用所述气味传感器检测出所述杂质气体混入所述光路导管内、则与该检测次数相对应进行异常部位的通知或进行异常部位的通知及所述激光振荡器动作状态的控制的控制通知装置。
12.如权利要求11所述的激光加工装置，其特征在于，所述清洗气体供给装置是具有除去从进气口进气的空气中的尘埃的过滤器、并将除去尘埃的空气进行压缩后供给所述光路导管内的压缩机，在利用所述气味传感器在起动所述激光加工装置后第一次检测出所述杂质气体混入所述光路导管内时，所述异常部位的通知为表示确认对于所述压缩机的所述过滤器的更换时期。
13.如权利要求12所述的激光加工装置，其特征在于，在连接所述压缩机与所述清洗气体供给口的流通路径之间，通过在与所述压缩机之间选择一种清洗气体而进行切换的阀，连接其它的清洗气体供给装置，所述控制通知装置还具有切换所述阀的功能，使得在从所述压缩机对所述光路导管供给清洗气体的状态下，若利用所述气味传感器检测出异常，则从所述其它的清洗气体供给装置对所述光路导管供给清洗气体。
14.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述气味传感器包括设置在所述光路导管的所述清洗气体排出口附近的第一气味传感器、以及设置在所述光路导管的所述清洗气体供给口附近的第二气味传感器。
15.如权利要求14所述的激光加工装置，其特征在于，具有与利用所述第一及所述第二气味传感器的检测结果的组合和分别利用所述第一及第二气味传感器检测的次数相对应、进行异常部位的通知或异常部位的通知及所述激光振荡器动作状态的控制的控制通知装置。
16.如权利要求15所述的激光加工装置，其特征在于，所述清洗气体供给装置是具有除去从进气口进气的空气中的尘埃的过滤器、并将除去尘埃的空气进行压缩后供给所述光路导管内的压缩机，在利用所述第二气味传感器在起动激光加工装置后第一次检测出所述杂质气体混入时，所述异常部位的通知为表示确认处于所述压缩机的所述过滤器的更换时期。
17.如权利要求16所述的激光加工装置，其特征在于，在连接所述压缩机与所述清洗气体供给接口的流通路径之间，通过在与所述压缩机之间选择一种清洗气体而进行切换的阀，连接其它的清洗气体供给装置，所述控制通知装置还具有切换所述阀的功能，使得在从所述压缩机对所述光路导管供给清洗气体的状态下，若利用所述第一或第二气味传感器检测出异常，则从所述其它的清洗气体供给装置对所述光路导管供给清洗气体。
18.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述清洗气体供给装置是具有除去从进气口进气的空气中的尘埃的过滤器、并将除去尘埃的空气进行压缩后供给所述光路导管内的压缩机，所述气味传感器包括设置在所述光路导管的所述清洗气体排出口附近的第一气味传感器、设置在所述光路导管的所述清洗气体供给口附近的第二气味传感器、以及设置在所述压缩机的所述进气口附近的第三气味传感器。
19.如权利要求18所述的激光加工装置，其特征在于，具有与利用所述第一～所述第三气味传感器的检测结果的组合和分别利用所述第一～第三气味传感器检测的次数相对应、进行异常部位的通知或异常部位的通知及所述激光振荡器动作状态的控制的控制通知装置。
20.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述气味传感器设置在从光路导管的内侧向外侧凹进而形成的凹进部分，并与流过所述光路导管中的所述清洗气体相对。
21.如权利要求20所述的激光加工装置，其特征在于，在所述凹进部分内的与所述气味传感器相对的位置，还具有喷出进行所述气味传感器的校正用的校正气体的校正气体供给装置。
22.如权利要求21所述的激光加工装置，其特征在于，还具有驱动装置，所述驱动装置在所述气味传感器进行校正时，将所述气味传感器放在所述凹进部分，而在激光加工时，将所述气味传感器设置在不遮住所述激光前进的所述光路导管内的位置。
23.如权利要求21所述的激光加工装置，其特征在于，在夹有所述凹进部分的所述光路导管上的位置，还具有二个闸门阀，在所述气味传感器进行校正时，关闭所述闸门阀。
全文摘要
本发明的激光加工装置包括产生激光振荡的激光振荡器(11)、将从激光振荡器(11)出射的激光照射被加工物体(100)的加工头(21)、具有从激光振荡器(11)的激光出射口(12)引导激光到加工头(21)的光学系统的光路导管(30)、从设置在光路导管(30)的与激光振荡器(11)的连接部分附近的清洗气体供给口(35)供给清洗气体的清洗气体供给装置(42)、以及设置在光路导管(30)的与加工头(21)的连接部分附近的清洗气体排出口(36)，该激光加工装置中具有检测光路导管(30)内导致激光输出异常的杂质气体混入光路导管内的气体检测单元(50)。
文档编号B23K26/42GK1610598SQ0380101
公开日2005年4月27日 申请日期2003年5月20日 优先权日2003年5月20日
发明者荒川喜文, 横井茂 申请人:三菱电机株式会社