一种多光谱led照明检测装置及其检测方法
【专利摘要】本发明涉及一种多光谱LED照明检测装置及其检测方法,所述检测装置包括沿中轴顺序布置的以下元件:多色LED灯(1)、一次聚焦透镜(2)、匀光器(3)、二次聚焦透镜(4)、半反半透镜(5)。所述方法包括如下步骤:多色LED灯(1)通过一次聚焦透镜(2)将混合光聚焦在匀光器(3)的一侧,混合光通过匀光器(3)匀光后从另一侧出来,再依次通过二次聚焦透镜(4)和半反半透镜(5),聚焦在被测量或检测的物体(7)上。本发明的LED检测装置,可见光光谱上的能量分布均匀,波长选择多,能够提高光学分辨率,提高图像对比度,并进一步提高测量、检测效率。
【专利说明】
一种多光谱LED照明检测装置及其检测方法
技术领域
[0001]本发明具体涉及一种多光谱LED照明检测装置及其检测方法,属于LED照明及检测技术领域。
【背景技术】
[0002]IXD屏、OLED屏在生产中制作完一层金属线路制程后,需要在其上制作一层透明保护膜,因镀膜工艺改进,膜厚越做越薄,目前已可做到130nm左右,但是,膜厚的一致性只能保证在+/_20nm以内,如图1所示。假设透明保护膜的上表面可反射4%的光,下表面可反射4%的光,金属线路制程可反射25%的光,用450nm蓝色LED照明光源照射在金属线路制程上,透明保护膜为112.5nm厚度的区域,透明保护膜上下表面反射光相互干涉抵消掉约75%,总反射率为27%,透明保护膜为150nm厚度的区域,透明保护膜上下表面反射光无干涉,总反射率为33%,两个区域的差异高达18%。
[0003]如果选用白色LED照明光源或者红、绿、蓝混光LED照明光源,此差异会减小,根据红、绿、蓝、白、琥?、青、紫外LED的典型光谱曲线,白色LED在波长450nm的能量非常高,在波长480nm的能力非常低,而红、绿、蓝LED混光在波长450nm、520nm、630nm的能量非常高,在波长480nm、580nm的能量非常低,因此,在某些区域差异仍会比较明显。
[0004]另外,LCD屏、OLED屏会选用不同的金属来制作不同的电路结构,不同金属对不同波长光的反射率会不一样,一般来说,波长越短,光学分辨率越高,通常会选用波长较短的光如蓝光来提高光学分辨率,但是,在测量、检测如铜金属制作的电路结构时,因为反射率的关系会选用波长较长的光如红光来提高图像对比度,大多数时候,会选用绿光或白光牺牲一些测量、检测品质来提高测量、检测效率。
[0005]因此现有技术的缺点是,整个可见光光谱上的能量分布非常不均,单一波长选择较少。
【发明内容】
[0006]为解决以上问题,本发明利用LED的特性,选用合适的LED组合将整个可见光光谱上的能量分布尽可能均匀,具体来说就是较短波长和较长波长的光谱曲线在50%能量位置交叉。
[0007]具体的,本发明提供了一种多光谱LED照明检测装置,所述检测装置包括沿中轴顺序布置的以下元件:多色LED灯(I)、一次聚焦透镜(2)、匀光器(3)、二次聚焦透镜(4)、半反半透镜(5)。
[0008]进一步,如上所述的多光谱LED照明检测装置,所述多色LED灯(I)为多色LED点灯或多色LED线灯。
[0009]进一步,如上所述的多光谱LED照明检测装置,所述多色LED点灯为460nm+480nm+500nm+520nm四色灯珠。
[0010]进一步,如上所述的多光谱LED照明检测装置,所述多色LED点灯为白光+460nm+480nm+500nm四色灯珠。
[0011 ] 进一步,如上所述的多光谱LED照明检测装置,所述多色LED点灯为460nm+480nm+500nm+520nm+550nm+585nm+630nm 七色灯珠。
[0012]进一步,如上所述的多光谱LED照明检测装置,所述匀光器(3)为匀光棒或匀光板。
[0013]另外,本发明还提供一种使用上述装置的光谱LED照明检测方法,所述方法包括如下步骤:多色LED灯(I)通过一次聚焦透镜(2)将混合光聚焦在匀光器(3)的一侧,混合光通过匀光器(3)匀光后从另一侧出来,再依次通过二次聚焦透镜(4)和半反半透镜(5),聚焦在被测量或检测的物体(7)上。
[0014]本发明的LED检测装置,可见光光谱上的能量分布均匀,波长选择多,能够提高光学分辨率,提高图像对比度,并进一步提高测量、检测效率。
【附图说明】
[0015]图1为现有技术中IXD屏镀膜的厚度示意图;
图2为本发明多光谱LED照明检测装置的结构示意图;
图3为本发明中的LED灯采用四色灯珠的实施例示意图;
图4为本发明中的LED灯采用七色灯珠的实施例示意图;
图5为本发明中的LED灯采用多色LED线灯的实施例示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。
[0017]如图2所示,本发明的多光谱LED照明检测装置包括沿中轴顺序布置的以下元件:多色LED灯(1)、一次聚焦透镜(2)、匀光器(3)、二次聚焦透镜(4)、半反半透镜(5);其中,所述多色LED灯(I)为多色LED点灯或多色LED线灯;所述匀光器(3)为匀光棒或匀光板。
[0018]使用上述光谱LED照明检测装置进行检测的方法如下:多色LED灯(I)通过一次聚焦透镜(2)将混合光聚焦在匀光器(3)的一侧,混合光通过匀光器(3)匀光后从另一侧出来,再依次通过二次聚焦透镜(4)和半反半透镜(5),聚焦在被测量或检测的物体(7)上。相机
(6)位于半反半透镜(5)的右边一侧,用于观察并记录检测效果。
[0019]本发明的LED组合,典型有以下四种组合:
如图3所示,本发明的一个实施例,LED灯采用460nm+480nm+500nm+520nm四色灯珠或W(白光)+460nm+480nm+500nm四色灯珠;如图4所示,本发明的另一个实施例,LED灯采用460nm+480nm+500nm+520nm+550nm+585nm+630nm七色灯珠;如图5所不,本发明的再一个实施例,LED灯采用多色LED线灯。
[0020]显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若对本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其同等技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种多光谱LED照明检测装置,其特征在于: 所述检测装置包括沿中轴顺序布置的以下元件:多色LED灯(1)、一次聚焦透镜(2)、匀光器(3)、二次聚焦透镜(4)、半反半透镜(5)。2.如权利要求1所述的多光谱LED照明检测装置,其特征在于: 所述多色LED灯(I)为多色LED点灯或多色LED线灯。3.如权利要求2所述的多光谱LED照明检测装置,其特征在于: 所述多色LElD点灯为460nm+480nm+500nm+520nm四色灯珠。4.如权利要求2所述的多光谱LED照明检测装置,其特征在于: 所述多色LED点灯为白光+460nm+480nm+500nm四色灯珠。5.如权利要求2所述的多光谱LED照明检测装置,其特征在于: 所述多色 LElD 点灯为460nm+480nm+500nm+520nm+550nm+585nm+630nm 七色灯珠。6.如权利要求1所述的多光谱LED照明检测装置,其特征在于: 所述勾光器(3)为勾光棒或勾光板。7.—种使用上述权利要求1-6任意一项装置的光谱LED照明检测方法,其特征在于所述方法包括如下步骤:多色LED灯(I)通过一次聚焦透镜(2)将混合光聚焦在匀光器(3)的一侦U,混合光通过匀光器(3)匀光后从另一侧出来,再依次通过二次聚焦透镜(4)和半反半透镜(5),聚焦在被测量或检测的物体(7)上。
【文档编号】G01N21/84GK106051623SQ201610575814
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年7月21日
【发明人】张梁, 李波, 温晔, 陈宗普, 马建议
【申请人】中导光电设备股份有限公司