带电粒子束装置制造方法
【专利摘要】近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
【专利说明】带电粒子束装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种对带电粒子束装置的带电粒子束调整技术的掌握进行辅助的功倉泛。
【背景技术】
[0002]以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置在试样上的期望的区域(视野)扫描带电粒子束，并将从该扫描区域放射的带电粒子信号与扫描位置对应地记录，由此获取观察位置的图像。试样上的束直径和束形状对画质有很大影响，因此装置使用者要实施聚焦调整和像散(Stigma)调整。对于像散调整，需要进行X方向像散修正条件和Y方向像散修正条件这2个参数调整，因此加上聚焦调整，应该调整的参数为3个。调整3个参数并不容易实施，成为获取图像的画质取决于装置使用者的熟练度的原因之一。因此推进了自动聚焦和自动像散修正这样的自动调整功能的开发，在以特定的试样为对象的检查装置和测量装置中实际得到使用。然而，在观察试样为大范围、以及通用性高的装置中自动调整经常失败，基本不使用自动调整功能。所以要求装置使用者尽快掌握手动调整技术。
[0003]在专利文献1中提出了一种带电粒子束装置的仿真图像的显示方法及装置，其目的是对难以掌握的像差修正技术进行掌握、以及使其步骤的理解更容易。
[0004]在专利文献2中提出了一种装置，其目的为通过将扫描电子显微镜的电子束的焦点位置、透镜强度进行可视化显示来帮助理解装置功能。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2005-302468号公报
[0008]专利文献2:日本特开2010-157370号公报
【发明内容】
[0009]发明所要解决的课题
[0010]以往，扫描电子显微镜等带电粒子束装置价格昂贵，只有专家使用。但近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置不再是只有有限的人使用的特殊装置，用户的范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。尽管如此，以往参数调整技术只能通过积累装置的操作经验来掌握，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。
[0011]尤其是聚焦条件、像散修正条件是观察所必需的，但如上所述必须同时调整的参数多达3个，所以对于不熟练的用户来说调整是困难的。
[0012]并且，如果是聚焦、像散修正以外的参数，可以通过由熟练人员预先设定的方式来应对，但聚焦条件和像散修正条件需要经常调整。而且这些参数对获取图像的画质产生巨大影响。
[0013]本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习单元。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]为了解决上述课题，在带电粒子束装置上装备聚焦调整及像散调整的练习功能。
[0016]其特征为:根据用户的操作，设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，根据所设定的聚焦条件和X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，在画面上显示。
[0017]发明的效果
[0018]根据本发明，能够容易地理解调整的步骤和方针，因此能够容易地掌握手动调整技术。所以即使是初学者也能够充分地发挥装置性能。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是根据本发明的扫描电子显微镜的概要结构图。
[0020]图2是手动操作盘的概要结构图。
[0021]图3是实施例1的聚焦/像散调整练习的流程图。
[0022]图4是具备聚焦/像散调整练习功能的计算机的功能框图。
[0023]图5是显示练习用图像的⑶I。
[0024]图6是调整参数空间中的调整路径图。
[0025]图7是实施例2的聚焦/像散调整练习的流程图。
[0026]图8是表示调整参数空间中的图像准备区域的图。
【具体实施方式】
[0027]以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0028]以下说明的实施例中，作为需要进行聚焦调整及像散修正条件调整的带电粒子束装置的一个方式，以扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope:SEM)为例进行说明，但并不局限于此，也能够应用于例如将从液体金属离子源或气体离子源发射的离子束照射在试样上的聚焦离子束(Focused 1n Beam)装置。
[0029]以下的实施例表示在带电粒子束装置上具备用于练习调整观察条件的练习功能的例子，而这些功能也可以通过程序动作，通过练习专用机等与带电粒子束装置分别设置的计算机来实现。在通过程序实现的情况下，也能够将现有的带电粒子束装置升级，使其具备本发明的练习功能。
[0030]实施例1
[0031]图1是表不本发明的扫描电子显微镜的一个例子的概要结构图。从电子枪1发射的一次电子束2通过会聚透镜3及物镜8会聚，通过上段偏转器6和下段偏转器7在试样9上扫描。从试样9发射的信号电子由检测器10检测，与扫描位置对应记录的信号被显示在图像显示装置18上。为了在试样9上将一次电子束2会聚为点状，设有X方向像散修正器
4、Y方向像散修正器5，能够通过调整它们的控制条件来进行像散修正。另外能够通过调整会聚透镜3或者物镜8的励磁强度在试样上聚焦。以上的电子光学系统被容纳在扫描电子显微镜筒100中。另外，它们通过高电压控制电路11、会聚透镜控制电路12、Χ方向像散修正器控制电路13、Υ方向像散修正器控制电路14、偏转器控制电路15、物镜控制电路16、检测信号控制电路17，由计算机19控制。各控制电路可以分别设置，也可以设置在一块基板上，也可以包含在计算机19内。计算机19上连接有图像显示装置18、手动操作盘20、存储装置21、存储器22。通过手动操作盘20，装置的用户调整物镜8的聚焦条件以及X方向像散修正器4和Y方向像散修正器5的像散修正条件。本实施例中的练习用图像预先保存在存储装置21中。另外，如果计算机19连接在网络上，练习用图像也可以存储在与该网络连接的其他存储装置中。
[0032]这里，练习用图像是指在以下说明的练习功能中按照用户的操作所显示的图像，各练习用图像与由聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件这3个组成的参数的组加以对应并预先存储。即，练习用图像也可以说是在用与该练习用图像加以对应的参数的组控制带电粒子束装置而通过带电粒子束照射来获取图像时预想能够获得的图像。练习用图像可以通过在由各个参数的组构成的条件下实际照射带电粒子束来预先获取，也可以利用仿真预先求出。
[0033]最优的聚焦条件、像散修正条件根据各试样而不同，用户每次更换试样时需要将它们调整为最优值。另外，即使是相同试样，如果观察视野不同，则最优的聚焦条件、像散修正条件不同。用户在观看显示在图像显示装置18上的图像的同时，操作手动操作盘20来实施聚焦调整和像散修正条件调整。
[0034]图2表示手动操作盘20的一个例子。聚焦调整旋钮31 —般连接在物镜8上，但与会聚透镜3连接也能够进行聚焦调整。X方向像散修正条件调整旋钮32和Y方向像散修正条件调整旋钮33通过计算机及各自的控制电路分别与X方向像散修正器4和Y方向像散修正器5连接。另外，包含本实施例在内，以下的实施例中通过手动操作盘20调整聚焦条件或像散修正条件，但并不局限于此，也可以使用例如与计算机19连接的通用的鼠标和键盘。
[0035]为了利用以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置获取优质的图像，需要进行聚焦调整和2种像散调整的最少合计3个参数的手动调整。因此难以通过不具备明确方针的调整到达最优值，成为获取图像的画质存在巨大的个体差异的原因。
[0036]另外，有时对试样长时间照射电子束会造成试样被破坏，需要迅速调整为最优的条件。但是以往以扫描电子显微镜为首的带电粒子束装置主要是专家使用的，不存在着眼于为了获取图像所需要的最低限度的这些参数的练习功能。
[0037]上述的专利文献1以专家也难以掌握技术的像差修正的技术学习辅助为目的，利用仿真。并非着眼于获取图像时必须进行调整的这3个参数。另外，虽然期望练习用图像按照手动操作盘20的操作而变化的速度与实际的操作相同，但如专利文献1那样对每个参数重复仿真则难以保证响应速度。
[0038]以下，使用图3至图5对本实施例的具备参数练习功能的带电粒子束装置进行说明。
[0039]在计算机19上将聚焦/像散调整的练习功能设为开，则从普通的观察模式切换为练习模式。本实施例中，带电粒子束装置本身具备练习功能，所以设置了该切换单元，而利用程序以练习专用机等其他计算机等执行时可以不设置切换单元。
[0040]若开始聚焦/像散调整的练习功能(图3的步骤31)，则手动操作盘20和扫描电子显微镜筒100的连接被切断。因为如果不切断，则为了调整练习将实际照射带电粒子束，导致装置的故障或试样的破坏。
[0041]然后，显示初始状态的练习用图像(图3的步骤32)。初始状态的练习用图像由练习用图像获取部43从存储装置21读出，输出给图像显示装置18来显示。初始状态的练习用图像是指进行用户的调整之前显示的练习用图像。也就是说，这时显示的练习用图像，聚焦条件、或像散修正条件不为最优值，因此并非优质的图像。初始状态可以预先固定为几个图像，也可以随着练习功能的开始随机选择。
[0042]若用户转动聚焦调整旋钮31、X方向像散修正条件调整旋钮32、Y方向像散修正条件调整旋钮33，则从手动操作盘20通过计算机19对各控制电路发送用于变为用户调整后的聚焦条件、像散修正条件的控制信号(图3的步骤33)。控制信号读取部41读取该控制信号，向练习用图像获取部43、评价部44发送。在观察普通的试样的模式中，从手动操作盘20输出的控制信号通过控制信号读取部41以及控制信号发送部42被输出至各控制电路，而在将练习功能设为开的状态下不需要对试样照射带电粒子束，所以控制信号读取部41没有必要对控制信号发送部42及各控制电路(图4的虚线箭头部分)输出控制信号。
[0043]存储装置21中，对于预先确定的多个聚焦条件及Χ/Υ像散修正条件这3个参数的组分别保存图像。包含在计算机19中的练习用图像获取部43从存储装置21获取与由用户调整后的聚焦条件、Χ/Υ像散修正条件对应的图像，实时显示在图像显示装置18上(图3的步骤34)。本实施例中将与各参数的组对应的练习用图像预先存储，由此，没有必要在每次用户调整时进行仿真，能够实时显示，能够用与带电粒子束照射时的操作感接近的感觉进行练习。
[0044]这里使用图5对显示在图像显示装置18上的⑶1(图形用户界面:Graphical UserInterface)进行说明。
[0045]若在计算机19上将聚焦/像散调整的练习功能打开，则显示练习用⑶150。在练习用图像显示部51上显示与调整参数对应的练习用图像，显示与用户调整后的参数对应的图像。
[0046]这时由于用户不知道判断为最优值的聚焦条件、像散修正条件真的是最优值，所以在用户通过GUI画面上的按键操作等向计算机传达结束聚焦调整的意思时，显示预先确定的最优值中的图像为好。由此，操作者更容易识别看上去什么样子的图像是最优图像。这时，将用户判断为调整结束时显示的图像和最优参数组合中的图像(以下称为理想图像)对比显示即可。
[0047]或者，可以对是否真正调整到最优值进行评价。在本实施例中，评价部44设在计算机19中。评价部44对判断为调整结束的时刻的参数的组和预先确定为最优值的参数的组(最优参数组合)进行比较。评价部44从控制信号读取部41读取用户判断为调整结束时设定的参数的组，判断读取的参数的组是否与最优参数组合一致，将结果输出给图像显示装置18。最优参数组合被用作所谓的正确解答值，对于1个初始状态的练习用图像确定为1组。
[0048]预先确定为最优值的参数的组可以从存储装置21读出，也可以存储在评价部44内部的存储器(图示省略)中。作为输出可以显示它们的差别，也可以将这些差别进行分数化来显示结果。或者也可以通过显示〇X等来判定合格与否。用户判断为已调整到最优值、按下评分按键52，则显`示评分用⑶153。用户判断为已调整到最优值的调整结束图像在调整结束图像显示部55上、作为实际的最优值的理想图像在理想图像显示部56上比较显示，在合格与否显示部54上显示分数或〇X等。
[0049]通过评价部44的评价判断为调整未结束时，也可以显示催促用户再次调整的画面。如果按下返回按键57则能够返回练习用GUI50，再次执行调整练习。按下结束按键58，则练习功能结束(图3的步骤36)。
[0050]为了以可视方式显示调整路径，用图6表示以聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件这3个参数为轴的曲线图。以下将用这个曲线图表示的空间称为调整参数空间。图6的空间上的各坐标表示3个参数的组。从初始参数组合61经由聚焦调整路径62、X方向像散调整路径63、Y方向像散调整路径64而到达最优参数组合65，由此调整结束。这里所示的调整路径是最短的，用户通常在尝试的同时调整聚焦条件、X/Y方向像散修正条件，因此仅准备该路径上的图像无法进行调整练习。理想情况是将用图6所示的3维空间的各坐标中、与其坐标值对应的参数的组照射带电粒子束时预想获取的练习用图像预先准备在存储装置中。
[0051]以上，通过使用本实施例中说明的、具备聚焦条件、X及Y方向像散修正条件的调整练习单元的带电粒子束装置，即使是初学者用户也能容易地理解调整的步骤和方针，能够容易地掌握手动调整技术。另外，由于任何人都能以一定的方针调整聚焦条件、X及Y方向的像散修正条件，因此获取图像的质量没有了个体差异，即使是初学者也能够充分地发挥装置性能。
[0052]实施例2
[0053]实施例1中的结构是对于调整参数空间中包含的各点、也就是全部参数的组预先存储练习用图像。然而，存储装置21的容量存在限制，对于能够选择的全部参数的组合准备练习用图像并不现实。另 外，1次练习中不是使用与上述的调整参数空间的全部坐标点对应准备的练习用图像，从练习用图像的使用效率这一点来说也并不现实。
[0054]因此，本实施例中对聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件的调整步骤进行限定。由此限定练习功能中使用的练习用图像，所以没有必要对全部的参数的组准备练习用图像，存储容量较少即可。
[0055]而且，如果不确定调整步骤，则3个参数同时变化，对于初学者来说调整尤其困难。通过确定调整步骤，即使是初学者也能够基于明确的方针进行调整，因此获取图像的画质没有了个体差别，谁都能够获取一定画质的图像。
[0056]以下，与实施例1相同的部分省略说明。
[0057]图7是按照聚焦调整、X方向像散调整、Y方向像散调整的顺序，但X方向像散调整和Y方向像散调整的顺序也可以相反。若在聚焦调整完成的状态下进行像散调整，则在最优条件下图像变得锐利，因此容易调整，但若在聚焦未调整时进行像散调整，则在最优条件下图像是模糊的，因此调整困难。所以聚焦调整需要首先实施。
[0058]以下，用图7、图8对本实施例进行说明。
[0059]图7中到显示初始状态的练习用图像为止(图7的步骤31、32)与实施例1相同。本实施例中将之后要调整的参数限定为聚焦条件。若用户操作手动操作盘20的聚焦调整旋钮31 (图7的步骤71)，则与实施例1相同，显示与用户操作的聚焦条件对应的练习用图像(图7的步骤72)。[0060]用户确认显示的练习用图像，重复进行聚焦调整，直到判断出聚焦条件调整已调整到最优值为止。还有，聚焦调整中X方向及Y方向的像散修正条件固定为初始状态不变。
[0061]该步骤中用作练习用图像的图像群是包含在图8的聚焦条件调整的练习用图像准备区域81中的图像。
[0062]当用户判断出已将聚焦条件调整到最优值时，用户将结束了聚焦调整的意思传递给计算机19 (图7的步骤73)。如果计算机19的评价部44判断出聚焦条件为最优值，则进入下一个步骤。聚焦条件不是最优值时，评价部44将表示需要重新调整聚焦条件的内容的消息显示在画面上，催促用户再次调整。这里也和实施例1相同，也可以进行评分等评价用户的调整状态的处理。
[0063]聚焦条件调整结束，然后在图像显示装置18上显示调整X方向像散修正条件(图7的步骤74)的内容的消息。
[0064]若用户操作手动操作盘20的X方向像散修正条件调整旋钮32，则与实施例1相同，显示与用户操作的X方向像散修正条件对应的练习用图像(图7的步骤75)。
[0065]用户确认显示的练习用图像，重复进行聚焦调整，直到判断出聚焦条件已调整到最优值为止。还有，该步骤中保证了聚焦条件的调整已经设定为最优值，因此聚焦条件固定为最优值，且Y方向的像散修正条件固定为初始状态，只有X方向的像散修正条件能够调難
iF.ο
[0066]该步骤中用作练习用图像的图像群是包含在图8的X方向像散修正条件的练习用图像准备区域82中的图像。还有，图8中X方向像散修正条件的练习用图像准备区域82是用直线表示的，但也可以考虑聚焦条件调整步骤中的调整误差，为具备某种程度宽度的区域。
[0067]当用户判断出已将X方向的像散修正条件调整到最优值时，用户将结束了X方向的像散修正条件调整的意思传递给计算机19(图7的步骤76)。如果计算机19的评价部44判断出X方向的像散修正条件为最优值则进入下一个步骤。X方向的像散修正条件不是最优值时，将表示需要重新调整X方向的像散修正条件的内容的消息显示在画面上，催促用户再次调整。这里也和实施例1相同，也可以进行评分等评价用户的调整状态的处理。
[0068]X方向的像散修正条件调整结束，然后在图像显示装置18上显示调整Υ方向像散修正条件(图7的步骤77)的内容的消息。
[0069]若用户操作手动操作盘20的Υ方向像散修正条件调整旋钮33，则与实施例1相同，显示与用户操作的Υ方向像散修正条件对应的练习用图像(图7的步骤78)。
[0070]用户确认显示的练习用图像，重复进行Υ方向像散修正条件调整，直到判断出Υ方向像散修正条件已调整到最优值为止。还有，该步骤中保证了聚焦条件以及X方向像散修正条件已经设定为最优值，因此聚焦条件以及X方向像散修正条件固定为最优值，只有Υ方向的像散修正条件能够调整。
[0071]该步骤中用作练习用图像的图像群是包含在图8的Υ方向像散修正条件的练习用图像准备区域83中的图像。还有，图8中Υ方向像散修正条件的练习用图像准备区域83是用直线表示的，但也可以考虑聚焦条件调整步骤及X方向像散修正条件调整步骤中的调整误差，为具备某种程度宽度的区域。
[0072]当用户判断出已将Υ方向的像散修正条件调整到最优值时，用户将结束了Υ方向的像散修正条件调整的意思传递给计算机19 (图7的步骤79)。如果计算机19的评价部44判断出Y方向的像散修正条件为最优值，则所有参数的调整为最优值，因此结束聚焦条件/像散修正条件练习模式(图7的步骤36)。Y方向的像散修正条件不是最优值时，将表示需要重新调整Y方向的像散修正条件的内容的消息显示在画面上，催促用户再次调整。这里也和实施例1相同，也可以进行评分等评价用户的调整状态的处理。
[0073]以上，通过如本实施例这样预先确定调整步骤，明确了用户在调整时最好以怎样的顺序进行调整，任何人都能够以一定的方针调整聚焦条件、X及Y方向的像散修正条件。因此，获取图像的质量没有了个体差异，即使是初学者也能够充分地发挥装置性能。而且限定了练习功能中使用的练习用图像，所以保存练习用图像的存储装置的存储容量较小即可。
[0074]实施例3
[0075]实施例1、2中，根据用户的操作从存储装置21读出合适的练习用图像并显示，而通常存储装置多使用硬盘等大容量装置，这种装置读取速度缓慢。因此，当转动操作按钮时显示在图像显示装置18上的图像被延迟显示。所以对用户操作的跟踪性变差，与实际的操作感不同，所以技术学习变慢。在这一点上，如果如专利文献1那样在每次操作时实施仿真，则由于仿真需要某种程度的时间，因此并不适当。
[0076]在本实施例中，为了尽量确保实时性，练习用图像全部预先从存储装置21传输到能够高速存取的存储器22中。优选在练习模式开始的同时进行传输。
[0077]装置结构以及练习模式的流程与实施例1、2相同，因此省略说明。
[0078]进一步将本实施例与实施例2组合时，按照聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件的顺序实施调整，因此不需要一次向存储器22传输全部练习用图像，而是分割为包含在聚焦条件调整的练习用图像准备区域81中的图像群、包含在X方向像散修正条件调整的练习用图像准备区域82中的图像群、包含在Y方向像散修正条件调整的练习用图像准备区域83中的图像群这3个图像群，能够在各自之前的步骤的调整结束的阶段进行传输。
[0079]以上，通过将本实施例与实施例1、2组合，对用户操作的跟踪性变好，能够获得如同实际观察试样时的操作感，练习效率提高。
[0080]实施例4
[0081]从实施例1到3，初始状态的练习用图像是固定的或者随机选择的。但是，图4、图8所示的初始参数组合61离最优参数组合65越远则调整越难。如上所述，近年来带电粒子束装置的用户范围扩大，存在着多种水平的用户。因此对全部用户提供相同难易度的练习模式并不能说恰当。
[0082]因此，本实施例中能够选择调整难易度，根据调整难易度来准备初始参数组合61。也就是说，选择调整难易度高的模式时，将图4、图8的调整参数空间中离最优参数组合65距离远的点设定为初始参数组合61。相反，选择调整难易度低的模式时，将离最优参数组合65距离近的点设定为初始参数组合61。
[0083]对这样设定的每个初始参数组合61确定如图8所示的练习用图像准备区域，因此需要准备这些区域中包含的练习用图像。这里，如果从练习用图像准备区域81、82、83中包含的参数的组中选择初始参数组合61,则即使初始参数组合61改变也能够使用相同的练习用图像群，因此不需要准备新的练习用图像。
[0084]另外，作为练习用图像，根据对什么样的对象物的图像进行调整，印象也有所不同。也就是说，用户并不总是想观察标准试样，也要观察与标准试样种类不同的试样，因此即使能够用标准试样的图像调整到最优值，也不能说完全掌握了参数调整技术。所以，最好预先准备对于多种试样获取的图像、或者对于多种试样预先通过仿真所形成的图像，作为练习用图像。
[0085]对每个作为练习用图像准备的试样形成参数调整空间。因此，对每个试样需要预先准备多个如实施例1至3说明的与聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件的组对应的练习用图像。
[0086]在上述的难易度设定的GUI中或者其他GUI中，可以选择在练习模式中使用什么样的对象物即可。
[0087]以上，通过将本实施例与实施例1至3组合，能够提供与用户的技术水平对应的难易度的练习模式。
[0088]符号说明
[0089]1电子枪
[0090]2 一次电子束
[0091]3会聚透镜
[0092]4 X方向像散修正器
[0093]5 Y方向像散修正器
[0094]6上段偏转器
[0095]7下段偏转器
[0096]8 物镜
[0097]9 试样
[0098]10检测器
[0099]11高电压控制电路
[0100]12会聚透镜控制电路
[0101]13 X方向像散修正器控制电路
[0102]14 Y方向像散修正器控制电路
[0103]15偏转器控制电路
[0104]16物镜控制电路
[0105]17检测信号控制电路
[0106]18图像显示装置
[0107]19计算机
[0108]20手动操作盘
[0109]21存储装置
[0110]22存储器
[0111]31聚焦调整旋钮
[0112]32 X方向像散修正条件调整旋钮
[0113]33 Y方向像散修正条件调整旋钮[0114]50练习用⑶I
[0115]51练习用图像显示部
[0116]52评分按键
[0117]53评分用⑶I
[0118]54合格与否显示部
[0119]55调整结束图像显示部
[0120]56理想图像显示部
[0121]57返回按键
[0122]58结束按键
[0123]61初始参数组合
[0124]62聚焦调整路径
[0125]63X方向像散调整路径
[0126]64Y方向像散调整路径
[0127]65最优参数组合
[0128]81聚焦条件调整的练习用图像准备区域
`[0129]82X方向像散修正条件调整的练习用图像准备区域
[0130]83Y方向像散修正条件调整的练习用图像准备区域
【权利要求】
1.一种带电粒子束装置，其在观察试样时需要进行聚焦条件及像散修正条件的调整，所述带电粒子束装置的特征在于，具备: 物镜，其将带电粒子束会聚在所述试样上；X方向像散修正器，其调整X方向的像散；Y方向像散修正器，其调整Y方向的像散；控制部，其控制所述物镜的聚焦条件、所述X方向像散修正器的X方向像散修正条件以及所述Y方向像散修正器的Y方向像散修正条件；存储部，其存储与每个预先确定的聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件的组对应的练习用图像；操作部，其按照用户的操作设定所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件；以及显示部，其显示与通过所述操作部设定的所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件的组对应地从所述存储部读出的练习用图像。
2.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，关于所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件，指定了调整的顺序。
3.如权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，将调整的顺序指定为在所述X方向像散修正条件及所述Y方向像散修正条件之前调整所述聚焦条件。
4.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，还具有能够从所述存储部高速读出图像的存储器，所述存储器从所述存储部读出多个所述练习用图像，所述显示部显示经由所述存储器读出的所述练习用图像。
5.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，具备评价部，其将通过用户的操作而设定的聚焦条件、或者X方向像散修正条件、或者Y方向像散修正条件、或者它们的组合与预先确定的最优值进行比较，评价与最优值的偏差。
6.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，根据所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件的调整的难易度，选择在用户调整前显示在所述显示部上的初始状态的练习用图像。
7.如权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，将用户判断出调整结束时显示的所述练习用图像与预先确定的聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件的最优值下的图像进行比较显示。
8.一种存储有在计算机中执行的程序的存储介质，所述计算机具备:存储部，其存储与每个预先确定的聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件的组对应的练习用图像；操作部，其按照用户的操作设定所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件；以及显示部，其显示所述练习用图像，所述存储有程序的存储介质的特征在于，从所述存储部读出与通过所述操作部设定的所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件的组对应的练习用图像，显示从所述存储部读出的练习用图像。`
【文档编号】H01J37/28GK103733298SQ201280039452
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2012年5月28日 优先权日:2011年9月5日
【发明者】重藤训志, 佐藤贡, 饭泉纪子, 能田弘行, 西村雅子, 渡边俊哉, 许斐麻美, 富田真一, 多持隆一郎 申请人:株式会社日立高新技术