专利名称：离子源灯丝安装装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及离子植入装置技术领域，特别涉及一种离子源灯丝安装装置。
背景技术：
离子植入是用理论把掺杂剂引入半导体材料的传统技术。为了使所需要的掺杂剂气体离子化，电弧放电可以在离子源的电弧室内产生。离子可以从离子源中被提取出来，以形成能对准半导体晶片表面的具有所选定的能量的离子束。束中的离子刺入半导体晶片形成植入区域。请参考图1，现有技术中离子源灯丝安装装置的结构示意图，包括以下部件间隙工具(Gap tool)1、阴极体(Cathode) 2 离子源灯丝(Filament) 3、阴极棒(Cathode slot)4、卡槽(Slot) 5、离子源灯丝夹钳(Filament Clamp) 6、阴极体夹钳(Cathode Clamp) 7。 安装离子源灯丝3之前，先使用OEM (Original Equipment Manufacturer原始设备制造商)提供的间隙工具I卡入阴极棒4上卡槽5的后端侧壁上；阴极棒4 一端固定在阴极体2上；再使用离子源灯丝夹钳6固定安装离子源灯丝3，并使之与阴极体2腔内底部接触；然后推动阴极体2直到间隙工具I卡在阴极棒4上卡槽5的前端侧壁上；再通过阴极体夹钳7固定阴极棒4的位置从而对离子源灯丝3和阴极体2之间的间隙进行定距，保持这段间隙在工艺要求范围之内。若间隙太小甚至为零，会导致离子源灯丝3和阴极体2短路，烧伤整个装置；若间隙过大，会降低离子源灯丝3的使用效率，浪费耗材。同时，由于离子源灯丝3和阴极体2之间的间隙很小，而且现有的离子源灯丝、阴极体和夹钳等部件的尺寸存在一定的偏差，在安装很难精确把握好该间隙的距离，导致安装失败率在5 10%左右，进一步造成了耗材浪费。
实用新型内容本实用新型提出的离子源灯丝安装装置，其目的之一在于能够准确的固定好离子源灯丝和阴极体之间间隙的大小，确保距离在生产工艺要求的范围之内；其目的之二在于提高离子源灯丝安装的成功率，进而节省安装时间。为了实现上述目的，本实用新型提出一种离子源灯丝安装装置，其主要部件包括一阴极体，提供一侧设有开口腔室；一阴极棒，一端由开口伸入所述阴极体腔室内并固定在与所述开口相对的腔室侧壁上，另一端位于腔室外并沿远离开口的方向延伸；一离子源灯丝，一端由开口伸入所述阴极体腔室内，并与所述阴极体和所述阴极棒均保持一定间隙；第一固定部件，固定所述离子源灯丝的另一端；第二固定部件，固定所述阴极棒伸出腔室外的一端；一端由开口伸入所述阴极体腔室内并延伸至与所述开口相对的腔室侧壁和所述离子源灯丝之间的间隙中，另一端在腔室外并沿远离所述开口方向延伸。进一步地，如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于所述阴极棒通过一体成型的方式固定在所述与开口相对的腔室侧壁上。进一步地，所述阴极棒位于腔室外的一端设有 ^槽。进一步地,所述卡槽深度为O. 5mnT2mm,长度为lmnT5mm。进一步地，还包括一间隙工具，一端滑动顶在所述卡槽之内。进一步地，所述间隙工具的材质为不锈钢。进一步地，所述离子源灯丝的材质为钨。进一步地，所述定位模具形状为L型、H型或Z型。进一步地，所述定位模具包括位于所述开口相对的腔室侧壁和所述离子源灯丝之间间隙中的一脚垫和沿平行于所述阴极棒并且远离所述开口方向延伸出所述腔室外的一手杆，所述脚垫固定连接所述手杆。进一步地，所述脚垫与所述手杆通过铰链方式固定连接。进一步地，所述脚垫通过一体成型方式与所述手杆固定连接。进一步地，所述手杆为一字型、T型或L型。进一步地，所述手杆的横截面为圆形或多边形。进一步地，所述脚垫材质为不锈钢。进一步地，所述定位模具材质为不锈钢。进一步地，所述手杆与所述阴极棒平行一边的长度大于所述阴极体的腔室深度。进一步地，所述脚垫沿所述阴极体侧壁延伸的长度为8mnTl2mm，沿所述阴极体侧壁至离子源灯丝方向上延伸的厚度为1. 3mnTl. 5mm。进一步地，所述第一固定部件和第二固定部件均为夹钳。与现有技术相比，本实用新型提出离子源灯丝安装装置的有益效果主要体现在在安装离子源灯丝时，使用定位模具放置在离子源灯丝和阴极体腔内底部之间来固定一个最佳的间隙，使用第一固定部件和第二固定部件分别固定好离子源灯丝和阴极体，并移走定位模具，确保离子源灯丝和阴极体间隙的距离在生产工艺要求的范围之内，从而降低离子源灯丝安装的失败率，节省安装时间。
图1是现有技术中离子源灯丝安装装置的结构示意图；图2是本实用新型实施例一中离子源灯丝安装装置的结构示意图；图3是本实用新型实施例一中的定位模具的主视图；图4是本实用新型实施例一中的定位模具的侧视图；图5是本实用新型实施例二中离子源灯丝安装装置的结构示意图；图6是本实用新型实施例二中的定位模具的侧视图。
具体实施方式
为了便于了解，下面结合实施例一、二和附图对本实用新型进行进一步的描述。实施例一[0040]请参考图2，本实用新型提供一种离子源灯丝安装装置，包括一间隙工具1，一阴极体2，一离子源灯丝3，一阴极棒4，第一固定部件6，一第二固定部件7和一定位模具10 ；其中定位模具10包括一手杆8和一脚垫9。本实施例中，阴极体2为圆柱体腔室，一侧设有开口 ；阴极棒4 一端通过一体成型的形成方式固定在阴极体2与开口相对的腔室侧壁上，另一端沿远离开口的方向延伸，并设有一卡槽5位于腔室外；第二固定部件7固 定住阴极棒4带有卡槽5的一端，从而固定阴极体2 ;间隙工具I的一端顶在阴极棒4上的卡槽5之内并能水平滑动；第一固定部件6固定离子源灯丝3的一端，离子源灯丝3的另一端由开口伸阴极体2腔室内，并与阴极体2和阴极棒4均保持一定间隙；定位模具10的脚垫9由开口伸入阴极体2的腔室内，置于腔室侧壁和离子源灯丝3之间的间隙中，并与开口相对的腔室侧壁和离子源灯丝3紧贴；定位模具10的手杆8 一端沿平行于阴极棒4并远离阴极体2开口的方向延伸出阴极体2的腔室外；脚垫9通过一体成型方式固定在手杆8的另一端。请参考图2，卡槽5深度为O. 8mm,长度为2mm ；请参考图3和图4，在本实施例中，定位模具10为Z型，包括L型圆柱体手杆8和一长方体脚垫9 ；L型圆柱体手杆8水平一边的杆长度为5cm,竖直一边杆的长度为8cm,圆柱体横截面的直径为5mm ;脚垫9的长度为10mm，宽度为2mm，高度为1. 4mm ;即脚垫9沿所述阴极体2的与开口相对的腔室侧壁的延伸长度为10mm，沿所述阴极体2的与开口相对的腔室侧壁至离子源灯丝3方向上延伸的厚度为1. 4mm。本实施例中，间隙工具I与定位模具10的材质均为不锈钢；离子源灯丝3的材质为钨；所述第一固定部件6和第二固定部件7均为夹钳。在安装过程中，使用第二固定部件7固定阴极棒4，从而固定阴极体2;离子源灯丝3伸入阴极体2的腔内，并与阴极体2和阴极棒4均保持一定的间隙，并使用第一固定部件6固定其位置；定位模具10带脚垫9的一端由开口伸入阴极体2腔室内并延伸至腔室侧壁和离子源灯丝3之间的间隙中，紧贴在阴极体2侧壁上；使用间隙工具I来调节阴极体2与离子源灯丝3之间的间隙，并使离子源灯丝3紧贴脚垫9表面；移走定位模具10，由于离子源灯丝3和阴极体2的位置分别被第一固定部件6和第二固定部件7固定，所以离子源灯丝3和阴极体2之间的间隙距离便为1. 4mm。采用本实施例提出的离子源灯丝安装装置，能够准确快速的定位好间隙距离的大小。实施例二由于实施例一中提出的定位模块10为Z型，在放置时较占空间，本实施例在实施例一的基础上主要是对定位模块10做了改进。请参考图5，本实用新型提供一种离子源灯丝安装装置，包括一间隙工具1，一阴极体2，一离子源灯丝3，一阴极棒4，第一固定部件6, —第二固定部件7和一定位模具10’ ；其中定位模具10’包括一手杆8’和一脚垫9’。本实施例中，阴极体2为圆柱体腔室，一侧设有开口 ；阴极棒4 一端通过一体成型的形成方式固定在阴极体2与开口相对的腔室侧壁上，另一端沿远离开口的方向延伸，并设有一卡槽5位于腔室外；第二固定部件7固定住阴极棒4带有卡槽5的一端，从而固定阴极体2 ;间隙工具I的一端顶在阴极棒4上的卡槽5之内并能水平滑动；第一固定部件6固定离子源灯丝3的一端，离子源灯丝3的另一端由开口伸阴极体2腔室内，并与阴极体2和阴极棒4均保持一定间隙；定位模具10’的脚垫9’由开口伸入阴极体2的腔室内，置于腔室侧壁和离子源灯丝3之间的间隙中，并与开口相对的腔室侧壁和离子源灯丝3紧贴；定位模具10’的手杆8，一端沿平行于阴极棒4并远离阴极体2开口的方向延伸出阴极体2的腔室外；脚垫9’通过铰链方式固定在手杆8’的另一端。请参考图5，卡槽5深度为O. 5mm,长度为3mm ；请参考图3和图6，在本实施例中，定位模具10’为L型，包括一字型长方体手杆8’和一长方体脚垫9’ ；一字型长方体手杆8，水平一边的杆长度为8cm，长方体横截面长为4mm,宽为3mm ;脚垫9’的长度为9mm,宽度为3mm,厚度为1. 5mm ;即脚垫9’沿所述阴极体2的与开口相对的腔室侧壁的延伸长度为9mm，沿所述阴极体2的与开口相对的腔室侧壁至离子源灯丝3方向上延伸的厚度为1. 5mm。 本实施例中，间隙工具I与定位模具10的材质均为不锈钢；离子源灯丝3的材质为钨；所述第一固定部件6和第二固定部件7均为夹钳。。在安装过程中，使用第二固定部件7固定阴极棒4，从而固定阴极体2;离子源灯丝3伸入阴极体2的腔内，并与阴极体2和阴极棒4均保持一定的间隙，并使用第一固定部件6固定其位置；定位模具10’带脚垫9’的一端由开口伸入阴极体2腔室内并延伸至腔室侧壁和离子源灯丝3之间的间隙中，紧贴在阴极体2侧壁上；使用间隙工具I来调节阴极体2与离子源灯丝3之间的间隙，并使离子源灯丝3紧贴脚垫9’表面；移走定位模具10’，由于离子源灯丝3和阴极体2的位置分别被第一固定部件6和第二固定部件7固定，所以离子源灯丝3和阴极体2之间的间隙距离便为1. 5mm。在本实用新型的其他实施例中，所述脚垫沿所述阴极体侧壁延伸的长度为8mnTl2mm,沿所述阴极体侧壁至离子源灯丝方向上延伸的厚度为1. 3mnTl· 5mm ;所述卡槽深度为O. 5mnT2mm,长度为lmnT5mm ;所述定位模具形状还可以为H型。综上所述，本实用新型提出的离子源灯丝安装装置，在安装离子源灯丝时，使用定位模具放置在离子源灯丝和阴极体腔的内底部之间来固定间隙的宽度，使用第一固定部件和第二固定部件分别固定好离子源灯丝和阴极体，并移走定位模具，确保离子源灯丝和阴极体间隙的距离在生产工艺要求的范围之内，从而降低离子源灯丝安装的失败率，节省安装时间。综上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种离子源灯丝安装装置，包括一阴极体，提供一侧设有开口的腔室；一阴极棒，一端由开口伸入所述阴极体腔室内并固定在与所述开口相对的腔室侧壁上，另一端位于腔室外并沿远离开口的方向延伸；一离子源灯丝，一端由开口伸入所述阴极体腔室内，并与所述阴极体和所述阴极棒均保持一定间隙；第一固定部件，固定所述离子源灯丝的另一端；第二固定部件，固定所述阴极棒位于腔室外的一端；其特征在于，还包括一定位模具，一端由开口伸入所述阴极体腔室内并延伸至与所述开口相对的腔室侧壁和所述离子源灯丝之间的间隙中，另一端在腔室外并沿远离所述开口方向延伸。
2.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于所述阴极棒通过一体成型的方式固定在所述与开口相对的腔室侧壁上。
3.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于所述阴极棒位于腔室外的一端设有一^^槽。
4.如权利要求3所述离子源灯丝安装装置，其特征在于所述卡槽深度为O.5mnT2mm，长度为Imm 5mm。
5.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于还包括一间隙工具，一端滑动顶在所述卡槽之内。
6.如权利要求5所述离子源灯丝安装装置，其特征在于所述间隙工具的材质为不锈钢。
7.如权利要求1所述离子源灯丝安装装置，其特征在于所述离子源灯丝的材质为钨。
8.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述定位模具形状为L型、H型或Z型。
9.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述定位模具包括位于所述开口相对的腔室侧壁和所述离子源灯丝之间间隙中的一脚垫和沿平行于所述阴极棒并且远离所述开口方向延伸出所述腔室外的一手杆，所述脚垫固定连接所述手杆。
10.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述脚垫与所述手杆通过铰链方式固定连接。
11.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述脚垫通过一体成型方式与所述手杆固定连接。
12.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述手杆为一字型、T型或L型。
13.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述手杆的横截面为圆形或多边形。
14.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述脚垫材质为不锈钢。
15.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述定位模具材质为不锈钢。
16.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述手杆与所述阴极棒平行一边的长度大于所述阴极体的腔室深度。
17.如权利要求9所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述脚垫沿所述阴极体侧壁延伸的长度为8mnTl2mm，沿所述阴极体侧壁至离子源灯丝方向上延伸的厚度为1. 3mm L 5mm。
18.如权利要求1所述离子灯丝安装装置，其特征在于所述第一固定部件和第二固定部件均为夹钳。
专利摘要本实用新型提出一种离子源灯丝安装装置，在安装离子源灯丝时，使用定位模具放置在离子源灯丝和阴极体腔的内底部之间来固定间隙的宽度，使用第一固定部件和第二固定部件分别固定好离子源灯丝和阴极体，并移走定位模具，确保离子源灯丝和阴极体间隙的距离在生产工艺要求的范围之内，从而降低离子源灯丝安装的失败率，节省安装时间。
文档编号H01J9/18GK202839520SQ20122052127
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者曹旭东, 何春雷 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司