光源的利记博彩app

专利名称：光源的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种使内部所产生的光出射的光源。
背景技术：
—直以来，研究探讨用于使光从光源高效率地辐射的构造。例如，在下述专利文献I所记载的氘灯中，提出了在放电容器内以包围阳极和阴极的方式具有遮蔽围，并在该遮蔽围的一部分设置了光反射材这样的构造。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平7-6737号公报专利文献2:日本特开2008-311068号公报专利文献3:日本特开2010-27268号公报专利文献4:日本实开平5-17918号公报专利文献5:日本特公平4-57066号公报

发明内容
发明所要解决的技术问题然而，在上述现有的氘灯中，容易发生包含阳极和阴极的放电部与光取出窗之间的光损失，光的取出效率不充分。因此，本发明是鉴于所涉及的技术问题而作出的，其目的在于提供一种可以使光的从出射窗而来的取出效率稳定地提高的光源。解决问题的技术手段为了解决上述技术问题，本发明的一个方面所涉及的光源具备:收纳产生光的发光部的第I筐体；一个端侧连接于第I筐体且将从发光部产生的光引导至设置在另一个端侧的出射窗部的第2筐体；以及插入固定在第2筐体的出射窗部与连接第I筐体和第2筐体的部位之间且内壁面形成为反射光的反射面的筒状构件。根据这样的光源，通过将从第I筐体内的发光部产生的光引导至被插入到与第I筐体连接的第2筐体内的筒状构件的内部，从而从设置在第2筐体的出射窗部出射。这里，由于筒状构件的内壁面被形成为反射面，因此从发光部出射的光被筒状构件内部的反射面全反射并且从第2筐体的一个端侧被引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部产生的光而且能够引导至第 2筐体的出射窗部。另外，由于筒状构件的内壁自身是反射面，因此能够抑制因反射面的剥离或脱落等而引起的性能劣化或异物产生，能够实现长寿命化。由此，能够使来自出射窗部的光的取出效率稳定地提高。发明的效果根据本发明，能够使光的来自出射窗的取出效率稳定地提高。


图1表示本发明的第I实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图2是图1的反射筒部的截面图。图3是图1的光源中的反射筒部的组装状态的侧面图。图4是表示本发明的第2实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图5 Ca)是图4的反射筒部的侧面图，图5 (b)是图4的反射筒部的正面图。图6是表示本发明的第3实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图7是表示本发明的第4实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图8是表示本发明的第5实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图9是表示本发明的第6实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图10是表示本发明的变形例所涉及的光源的结构的截面图。图11 (a)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的侧面图，图11 (b)是图11 (a)的反射筒部的端面图，图11 (C)是图11 (a)的反射筒部的立体图。图12 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的侧面图，图12 (b)是图12 (a)的反射筒部的端面图，(c)是(a)的反射筒部的立体图。图13是表示本发明的变形例所涉及的光源的结构的侧面图。图14是表示本发明的第7实施方式所涉及的氘灯的结构的截面图。图15 (a)是图14的反射筒部的截面图，图15 (b)是图14的反射筒部的端面图。图16是表示图14的氘灯的反射筒部的组装状态的侧面图。图17是表不来自于图14的氣灯的发光中心的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图。图18是表示本发明的第8实施方式所涉及的氘灯的结构的截面图。图19 (a)是图18的反射筒部的侧面图，图19 (b)是图18的反射筒部的端面图。图20是表示本发明的第9实施方式所涉及的氘灯的结构的截面图。图21 (a)是图20的反射筒部的侧面图，图21 (b)是图20的反射筒部的端面图，图21 (c)是表示图20的反射筒部被固定在收纳盒的状态的立体图。图22是表示本发明所涉及的氘灯的结构的截面图。图23 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的侧面图，图23 (b)是图23 (a)的反射筒部的端面图，图23 (c)是图23 (a)的反射筒部的立体图。图24 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的侧面图，图24 (b)是图24 (a)的反射筒部的端面图，图24 (c)是图24 Ca)的反射筒部的立体图。图25是表示本发明的变形例所涉及的氘灯的结构的侧面图。图26是表示本发明的变形例所涉及的氘灯的结构的侧面图。图27 (a)是图26的反射筒部的截面图，图27 (b)是图26的反射筒部的端面图。图28是表示图26的氘灯的反射筒部的组装状态的侧面图。图29是来自于本发明的比较例所涉及的氘灯的发光中心的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图。图30是表示本发明的第10实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图31 Ca)是图30的反射筒部的截面图，图31 (b)是反射筒部的端面图。
图32是表示图30的光源的反射筒部的向阴极的固定状态的侧面图。图33是表示图30的光源的反射筒部的向阴极的固定状态的侧面图。图34是表不来自于图30的光源的发光中心的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图。图35是表示本发明的第11实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图36 (a)是图35的反射筒部的侧面图，图36 (b)是图35的反射筒部的端面图。图37是表示本发明的变形例所涉及的反射筒部的向阴极的固定状态的侧面图。图38是表示本发明的变形例所涉及的反射筒部的向阴极的固定状态的侧面图。图39 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的侧面图，图39 (b)是图39 (a)的反射筒部的端面图，图39 (c)是反射筒部的立体图。图40 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的侧面图，图40 (b)是图(a)的反射筒部的端面图，图40 (C)是图(a)的反射筒部的立体图。图41是表示本发明的变形例所涉及的光源的结构的截面图。图42是图41的反射筒部的立体图。图43是表示来自于本发明的比较例所涉及的光源的发光中心的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图。图44是本发明的第12实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图45 (a)是图44的反射筒部的截面图，图45 (b)是图44的反射筒部的端面图。图46是表示图44的光源的反射筒部的组装状态的侧面图。图47是本发明的第13实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图48 (a)是图47的反射筒部的侧面图，图48 (b)是图47的反射筒部的端面图。图49是表示本发明的第14实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图50 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的截面图，图50 (b)是图50 (a)的反射筒部的端面图。图51是表示本发明的变形例所涉及的光源的结构的截面图。图52 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的一部分的侧面图，图52 (b)是图52 Ca)的反射部的端面图，图52 (c)是图52 Ca)的反射筒部的立体图。图53 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的一部分的侧面图，图53 (b)是图53 Ca)的反射部的端面图，图53 (c)是图53 Ca)的反射筒部的立体图。图54 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的一部分的侧面图，图54 (b)是图54 Ca)的反射部的端面图，图54 (c)是图54 Ca)的反射筒部的立体图。图55 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的一部分的侧面图，图55 (b)是图55 Ca)的反射部的端面图，图55 (c)是图55 Ca)的反射筒部的立体图。图56 Ca)是本发明的变形例所涉及的反射筒部的一部分的侧面图，图56 (b)是图56 Ca)的反射部的端面图，图56 (c)是图56 Ca)的反射筒部的立体图。符号的说明1, 101，201，301，401，501，601，701 …光源、2，202，302…发光部、3A, 203A, 303A, 403A, 503A, 603A, 703A…发光筒部(第 I 筐体)、3B, 203B, 303B, 403B, 503B, 603B, 703B…导光筒部(第2筐体)、8b, 205A, 308A, 408A, 508B…固定环构件(定位构件、固定构件)、9，109, 609...反射筒部(金属构件)、9a, 609a…反射面、9b, 109b, 609b…外壁面、12…弹簧构件(定位构件)、13…内壁面、112…金属带(定位构件)、li, IOli, 201i, 301i, 401i, 501i…氘灯、2i, 202i…发光部、3Ai, 303Ai, 403A1...发光筒部(第I筐体)、38丨，3038丨，4038卜.导光筒部(第2筐体)、4卜.出射窗部、5卜.阴极、6i...阳极、7i...方文电通道限制部、8ai…光通过口、8bi…固定环(固定构件)、208bi...爪部(固定构件)、9i，109i, 309i…反射筒部(筒状构件)、9ai，109ai…反射面、9bi，109bi…外壁面(侦愐)、9ci...开口部、IOi…热辐射膜、12i，112i…弹簧构件、308ei…孔部、lj, IOlj…光源、2j...发光部、3Aj…发光筒部(第I筐体)、3Bj...导光筒部(第2筐体)、4j…出射窗部、5j...阴极、6j...阳极、5aj，6aj…开口、7j…毛细管部、9j, 109」，209]_，309]、..反射筒部(筒状构件)、9&」，109aj…反射面、9b j，109b j…外壁面(侧面)、9cj，109cj, 209cj, 309cj…开口部、10j…热辐射膜、12j，112j, 112aj…弹簧构件、X-光轴、lk, 101k, 201k, 301k…光源、2k, 202k…发光部、3Ak, 203Ak, 303Ak…发光筒部(第I筐体)、381^，20381^ 30381^..导光筒部(第2筐体)、4k…出射窗部、9k, 109k, 209k, 309k, 409k, 509k…反射筒部(筒状构件)、9ak, 109ak…反射面、9bk，109bk...外壁面(侧面)、9ck, 109ck, 209ck, 309ck, 409ck, 509ck…开口部、IOk…热辐射膜。
具体实施例方式以下，一边参照附图一边详细地说明本发明所涉及的光源的优选实施方式。再有，在附图的说明中，用相同的符号表示相同或相当部分，省略重复的说明。另外，各附图是为了说明用而制作的，并以特别强 调说明的对象部位的方式进行描绘。因此，附图的各部件的尺寸比率不必与实际的一致。[第I实施方式]图1是表示本发明的第I实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所表示的光源I是作为质量分析装置的光离子化源等的分析仪器用光源或真空除电用光源而使用的所谓的氘灯。该光源I具备玻璃制的密封容器3，该密封容器一体地连接有:收纳有使氘气放电而产生光的发光部2的大致圆筒状的发光筒部(第I筐体)3A、以及与该发光筒部3A连通并且从发光筒部3A的侧壁沿着发光部2所产生的光的光轴X而突出的大致圆筒状的导光筒部(第2筐体)3B。在该密封容器3，氘气被封入有数百Pa左右。更详细而言，导光筒部3B的沿着光轴X的方向的一个端侧与发光筒部3A —体化并连通，另一个端侧被使从发光部2产生的光出射到外部的出射窗部4所封闭。该出射窗部4的材质例如是MgF2(氟化镁)、LiF(氟化锂)、石英玻璃、蓝宝石玻璃等。收纳在发光筒部3A的发光部2由阴极部5、阳极部6、在配置在阳极部6与阴极部5之间的中心部形成有开孔(aperture)的放电通道限制部7、以及围绕这些而配置的收纳盒8所构成。在该收纳盒8的导光筒部3B侧的面，用于取出由发光部2所产生的光的矩形形状的光通过口 8a以与导光筒部3B的出射窗部4相对的方式形成，并且固定有由以围绕该光通过口 8a的方式沿着导光筒部3B的侧壁以圆形形状延伸的壁部构成的固定环(固定构件)8b。这样的发光部2,在阴极部5与阳极部6之间施加电压时,使其间所存在的氣气电离并放电，并通过放电通道限制部7将由此形成的等离子状态缩窄而变成高密度的等离子状态，将由此所产生的光(紫外光)从收容盒8的光通过口 8a朝向沿着光轴X的方向出射。再有，上述的发光部2由竖立设置在发光筒部3A的端面所设置的杆(stem)部的杆销(stem pin)(未图不)而保持在发光筒部3A内。S卩，该光源I是光轴X相对于发光筒部3A的管轴交叉的侧面型光源。在这样的密封容器3内的出射窗部4与连接发光筒部3A和导光筒部3B的部位之间，插入固定有大致圆筒状的铝制的反射筒部(金属构件)9。如图2所示，该反射筒部9组合有多个铝制的金属块构件而成为具有比导光筒部3B的内径更小的外径的大致圆筒状的形状。另外，反射筒部9自身的内壁面被形成为沿着反射筒部9的中心轴线而为曲面或倾斜角阶段性地变化的多段面的反射面9a。即，反射筒部9的中心轴方向的两端形成为锥状，以使该反射面9a能够将光聚光于出射窗部4的外侧的所期望的面或点。更具体而言，以从反射筒部9的长度方向的中心部至发光筒部3A侧的端部由反射面9a所包围的空间的直径缓缓缩小的方式，反射面9a相对于反射筒部9的中心轴即光轴X倾斜而形成。另外，以从反射筒部9的长度方向的中心轴到出射窗部4侧的端部由反射面9a所包围的直径缓缓缩小的方式，反射面9a相对于反射筒部9的中心轴倾斜而形成。再有，反射面9a的锥状部也可以不是将反射筒部9的中心轴方向的两端而是将任意一方、例如仅将发光部2侧(一个端侧)形成为上述那样的锥状，并将出射窗部4侧(另一个端侧)的反射面9a相对于反射筒部9的中心轴平行地形成。该反射面9a以能够将光聚光于所期望的面或点、或者在所期望的面或点使光发散的方式设定。这样的反射面9a被加工成可以使由发光部2产生的光正反射的镜面状态，例如通过将金属块构件切削加工，在对其内壁实施抛光(buff)研磨、化学研磨、电解研磨、利用从这些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用组合这些研磨的研磨方法的研磨之后，实施洗净处理或用于除去杂质气体成分的真空处理等而形成。在本实施方式中，反射筒部9组合2个构件而形成，在像这样由多个金属块构件形成反射面9a的情况下，由于能够减小每个金属块构件的长度与内径之比(长宽比)，因此加工整形时容易得到平坦度，其结果，反射面9a的镜面度变高。此外，在反射筒部9的外壁面9b的大致整个面，形成有包含高热辐射率的材料的热辐射膜10。作为这样的热辐射膜10的材料，可以使用与氧化铝等的反射筒部9的材料相比热辐射率更高的材料。这里，热辐射膜10形成在反射筒部9的大致整个面，但也可以形成在反射筒部9的外壁面9b的一个端侧的一部分。另外，热辐射膜10例如通过由蒸镀或涂布等将构成热辐射膜10的材料层叠在反射筒部9的外壁面9b上而形成，但特别在像本实施方式那样反射筒部9由铝构成的情况下，也可以通过对反射筒部9的外壁面9b进行氧化处理来形成作为热辐射膜10的氧化铝的层。另外，在反射筒部9的外壁面9b的长度方向的另一个端侧的周缘部，形成有沿着该外壁面9b以成为台阶状的突出部的方式被切口成圆形形状的切口部11。该切口部11是为了在密封容器3内定位反射筒部9而设置的。这样的反射筒部9，从与形成有切口部11的缘部相反侧的缘部起，到该缘部与发光部2的收纳盒8相接为止，沿着导光筒部3B的管轴(光轴X)而被插入，并且在弹簧构件12沿着外壁面9b而安装于切口部11之后，导光筒部3B被出射窗部4所封闭(图1和图3)。此时，反射筒部9在其外壁面9b与导光筒部3B的内壁面13分离的状态下被嵌入到收纳盒8的固定环Sb的内侧(图3)。该弹簧构件12是金属构件，例如是由耐热性高的不锈钢或铬镍铁合金构成的反射筒部9的定位用的构件，配置在切口部11与出射窗部4之间，具有通过沿着光轴X从出射窗部4侧向发光部2侧对反射筒部9施力而推碰到收纳盒8的功能。由此，反射筒部9,在密封容器3内的出射窗部4与发光部2之间与导光筒部3B分尚并且靠近发光部2的状态下,在沿着光轴X的方向和与光轴X正交的方向上被定位。根据以上说明的光源I，通过将从发光筒部3A内的发光部2产生的光引导至被插入到与发光筒部3A连接的导光筒部3B的筒状的反射筒部9的内部，从而从设置在导光筒部3B的出射窗部4出射。这里，由于反射筒部9的内壁面形成在反射面9a，因此，从发光部2出射的光被反射筒部9的内部的反射面9a全反射并被从导光筒部3B的一个端侧引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部2产生的光而引导至导光筒部3B的出射窗部4。此时，通过适当地设定反射面9a的倾斜角，也能够使出射窗部4的外部的出射光的分布为平行光、发散光、以及聚焦光，还能够提高规定的照射面上的光强度的均匀性。与此同时，能够提高来自出射窗部4的光的取出效率，并能够增加出射光的总光量和照射面上的光量。另外，在现有的氘灯中，来自出射窗的光辐射图案根据与该出射窗的距离而变化，有容易产生辐射光微弱缺失部分的倾向，但在光源I中，能够减少那样的光照射图案的缺失部分的产生。另外，与通过由铝块等金属构件构成反射筒部9自身而例如在反射筒部9的内部形成由金属等构成的反射膜的情况不同，能够抑制反复进行温度上升和下降时的、因构成材料的膨胀系数的差异而产生的反射面9a的剥离或脱落等所引起的性能劣化或异物产生，从而能够实现长寿命化。另外，由于镜面度高的反射面的加工变得容易，因此能够将所产生的光有效地聚光，而且所产生的紫外光不透过，另外，不会由于紫外光而劣化，因此能够更高效地取出所产生的光。此外，由于反射筒部9的外壁面9b与导光筒部3B的内壁面13分离，因此，能够防止由于反射筒部9与导光筒部3B的热膨胀率的差异而造成的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或导光筒部3B的破损。另外，由于反射筒部9的反射面9a的两端形成为锥状，因此反射面9a上的光的反射角变大，使反射次数减少，由此能够使来自出射窗部4的光的取出效率稳定地提高。另外，由于反射筒部9通过被由金属构件构成的定位构件即弹簧构件12施力而嵌入于收纳盒8的固定环Sb从而在密封容器3内被定位，因此，不会因所产生的紫外光而劣化，使反射筒部9相对于密封容器3的位置稳定化，能够保持来自出射窗部4的光的取出效率。这里，通过采用利用弹簧构件12对收纳盒8挤压的构造，能够使反射筒部9相对于密封容器3稳定地固定，并且即使产生沿着反射筒部9的中心轴方向的热膨胀，也能够通过弹簧构件12吸收相对于发光筒部3A的位置偏移。此外，通过在反射筒部9的外壁面9b的大致整个面形成热辐射膜10，能够在反射筒部9的内面形成比周边或封入气体更低温的区域，通过在该区域捕捉从发光筒部3A而来的溅射物等异物，能够抑制异物向出射窗部4的扩散或附着和与此相伴的光透过率的降低。另外，在接近于发光筒部3A的外壁面9b的一部分形成热辐射膜10的情况下，外壁面9b的一个端侧的热辐射率与外壁面9b的另一个端侧的热辐射率相比更大，其结果，由于在离出射窗部4远的位置容易附着有溅射物，因此降低了出射窗部4的污染。
另外，若将这样的光源I作为光离子化源而利用在气体色谱法质量分析装置(GC/MS)或液体色谱法质量分析装置(LC/MS)这样的质量分析装置(MS)，则由于能够既提高聚光性又增大光量，因此不需要将光源I的窗部靠近样品放出口，能够减少如下的缺点。即，在光源内没有光学系统的情况下，由于产生为了提高灵敏度而将窗位置靠近样品放出口的必要，样品温度提高，因此，会有对窗材的密封材料造成不良影响、或者不能靠近等的缺点。另外，在将窗位置靠近样品放出口的情况下，窗材或接近光源的窗外而设置的光学系统被样品或溶剂污染，导致测量灵敏度劣化。[第2实施方式]图4是表示本发明的第2实施方式所涉及的光源的结构的截面图、图5 Ca)是图4的反射筒部的侧面图，图5 (b)是图4的反射筒部的正面图。在该图所示的光源101中，反射筒部9的定位构造与第I实施方式的不同。即，在内置于光源101的反射筒部109，在其外壁面109b的出射窗部4侧的端部，固定有作为定位构件的金属带112。在该金属带112，具有弹性的多个爪部112a沿着反射筒部109的外周而形成,金属带112通过其端部被重叠熔接而被固定在外壁面109b上。这样的反射筒部109沿着导光筒部3B的内壁面13而被插入到密封容器3内，除了金属带112以外的外壁面10%以与内壁面13分离的方式被固定。通过这样的构造，反射筒部109通过金属带112的爪部112a的弹性力，其端部被推碰至收纳盒8的固定环8b，在密封容器3内在沿着光轴X的方向上被定位。此外，反射筒部109通过金属带112的爪部112a，在其外壁面109b与导光筒部3B的内壁面13保持一定距离而被分离的状态下在光轴X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒109的金属带112安装部，形成与该带的宽度匹配的槽，由此，可以不增大导光筒部3B的内径，取得大的从金属带112至导光筒部3B的内壁面13的距离，并可以增大爪部112a的角度，从而能够增强爪部112a的弹性力。通过这样的光源101，也能够防止因反射筒部109与导光筒部3B的热膨胀率的差异而引起的反射筒部109的位置偏移或者反射筒部109或导光筒部3B的破损。另外，由于反射筒部109被定位构件即金属带112施力而嵌入于收纳盒108的固定环8b从而在密封容器3内被定位，因此，使反射筒部109相对于密封容器3的位置稳定化，能够保持从出射窗部4而来的光的取出效率。[第3实施方式]图6是表示本发明的第3实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所示的光源201是将本发明适用于毛细放电管的情况下的例子。光源201具备连接有发光筒部203A与导光筒部203B的密封容器203。在该发光筒部203A，收纳有由阴极部205、阳极部206、以及配置在阳极部206与阴极部205之间的毛细管207构成的发光部202。再有，密封容器203内封入有氢(H2)、氙(Xe)、氩(Ar)、氪(Kr)等气体。这样的发光部202，若在阴极部205与阳极部206之间施加电压，则使其间所存在的气体电离、放电，其结果产生的电子被聚焦在毛细管207内而变成等离子状态，由此使光沿着光轴X朝向导光筒部203B侧出射。例如，在使用Kr作为封入气体且使用MgF2作为出射窗部4的材料的情况下，可以进行117/122nm的波长下的发光，在使用Ar作为封入气体且使用LiF作为出射窗部4的材料的情况下，可以进行105nm的波长下的发光。该阴极部205也具有作为配置在分隔发光筒部203A与导光筒部203B的部位的连接构件的作用。详细而言，阴极部205成为:形成有用于取出发光部202所产生的光的圆形形状的光通过口 208a且成为以外壁面9b与导光筒部203B的内壁面分离的方式被插入的反射筒部9的定位用的固定构件的固定环构件205A、以及与导光筒部203B和环构件205A相接合的环构件205B的双层构造。再有，也可以安装其他构件作为反射筒部9相对于阴极部205的定位用的构件。在反射筒部9组装到这样的光源201的密封容器203时，将阴极部205的固定环构件205A和环构件205B分别密封于发光筒部203A和导光筒部203B。然后，在一边将反射筒部9嵌入到固定环构件205A的台阶部一边以与导光筒部203B的内壁面分离的方式插入之后，使固定环构件205A和环构件205B重叠并进行真空熔接而进行组装。再有，也可以在将反射筒部9熔接于阴极部205并固定之后，通过将导光筒部203B可以真空保持地接合于阴极部205来进行组装。通过这样的光源201，也能够防止因反射筒部9与导光筒部203B的热膨胀率的差异而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或导光筒部203B的破损。另外，由于反射筒部9被定位构件即弹簧构件12施力而嵌入于阴极部205的固定环构件205A从而在密封容器203内被定位，因此，使反射筒部9相对于密封容器203的位置稳定化,能够稳定地保持从出射窗部4而来的光的取出效率。另外，通过在反射筒部9的靠近发光筒部203A的一个端侧的外壁面9b形成有热辐射膜10，从而能够在接近于发光部202的反射筒部9的内侧形成比周边或封入气体更低温的部分，通过在该部分捕捉从发光筒部203A而来的溅射物等的异物，能够抑制异物向出射窗部4的扩散和与此相伴的光透过率的降低。[第4实施方式]图7是表示本发明的第4实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所示的光源301是将本发明适用于电子激发光源的情况下的例子。光源301具备连接有发光筒部303A与导光筒部303B的密封容器303，其内部保持为高真空。在该发光筒部303A，收纳有由具有AlGaN等结晶薄膜的固体发光靶305、电子枪部306、以及配置在固体发光靶305与电子枪部306之间的电子透镜部307构成的发光部202。这样的发光部302，通过利用电子透镜部307控制由电子枪部306所形成的电子流而使其朝向固体发光靶305加速后碰撞。由此，发光部302能够朝向导光筒部203B侧而在沿着光轴X的方向上产生光。例如，在使用AlGaN作为固体发光靶305的结晶薄膜材的情况下，可以进行200 300nm左右的波带的发光。构成密封容器203的发光筒部303A与导光筒部303B由具有导电性的封闭用环构件308连结，封闭用环构件308与发光筒部303A和导光筒部303B的接触部分以可以真空保持的方式接合。该封闭用环构件308成为:形成有用于取出发光部302所产生的光的圆形形状的光通过口 308a且成为以外壁面9b与导光筒部303B的内壁面分离的方式被插入的反射筒部9的定位用的固定构件的固定环构件308A、以及与导光筒部303B和固定环构件308A相接合的环构件308B的双层构造。再有，也可以安装其他构件作为反射筒部9相对于封闭用环构件308的定位用的构件。在该封闭用环构件308的固定环构件308A，接触和固定有固定发光祀305,并通过从外部对固定环构件308A施加电位而设定固体发光祀305的电位。通过将固体发光靶305接触和固定于固定环构件308A，能够将由电子入射所产生的热从封闭用环构件308A或反射筒部9放出到外部，从而提高发光效率或装置寿命。另外，也可以通过另外设置电极来设定固体发光靶305的电位。通过这样的光源301，也能够防止因反射筒部9与导光筒部303B的热膨胀率的差异而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或导光筒部303B的破损。另外，由于反射筒部9被定位构件即弹簧构件12施力而被嵌入于封闭用环构件308的固定环构件308A的台阶部从而在密封容器303内被定位，因此，使反射筒部9相对于密封容器303的位置稳定化，能够稳定地保持从出射窗部4而来的光的取出效率。[第5实施方式]图8是表示本发明的第5实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所示的光源401是将本发明适用于激光激发光源的情况下的例子。光源401具备经由隔壁而密封有发光筒部403A与导光筒部403B的密封容器403，该发光筒部403A的内部封入有稀有气体，导光筒部403B的内部封入有不活泼气体或者保持为真空。在该发光筒部403A，在导光筒部403B的相反侧密封有入射窗部407，在导光筒部403B侧的隔壁设置有出射窗部407。具备该入射窗部406和出射窗部407的发光筒部403A自身构成发光部。即，若激光从未图不的激光光源沿着光轴X入射至这样的发光筒部403A的入射窗部406，则通过内部的稀有气体激发光，该光沿着光轴X从出射窗口 407辐射。例如，在使用Xe作为稀有气体且入射Nd: YAG激光的三倍波(355nm)的情况下，通过Xe的第三谐波发生法可以产生IlSnm的波长下的发光。发光筒部403A与导光筒部403B之间的隔壁由封闭用环构件408构成且封闭用环构件408与发光筒部403A和导光筒部403B的接触部分以可以真空保持的方式接合。该封闭用环构件408成为:形成有用于经由出射窗部407取出由发光筒部403A所产生的光的圆形形状的光通过口 408a且成为以外壁面9b与导光筒部403B的内壁面分离的方式被插入的反射筒部9的定位用的固定构件的固定环构件408A、以及与导光筒部403B和固定环构件408A相接合的环构件408B的双层构造。再有，也可以安装其他构件作为反射筒部9相对于封闭用环构件408的定位用的构件。通过这样的光源401，也能够防止因反射筒部9与导光筒部403B的热膨胀率的差异而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或导光筒部403B的破损。另外，由于反射筒部9被定位构件即弹簧构件12施力而被嵌入于封闭用环构件408的固定环构件408A的台阶部从而在密封容器403内被定位，因此，使反射筒部9相对于密封容器403的位置稳定化，能够稳定地保持从出射窗部4而来的光的取出效率。另外，通过光源401的构造，能够将由激光激发所产生的热从封闭用环构件408或反射筒部9放出到外部，从而提高发光效率或装置寿命。另外，也可以在发光筒部403A不设置出射窗部407,使发光筒部403A与导光筒部403B为相同的气压。[第6实施方式]图9是表示本发明的第6实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所示的光源501是将本发明适用于与第5实施方式相比较替代激光而用电子来激发稀有气体而发光的电子激发气体光源的情况下的例子。光源501具备在发光筒部503A的两端连接有导光筒部503B与电子发生筒部503C的密封容器503。该发光筒部503A经由隔壁即封闭用环构件508B，与以其内壁面与反射筒部9的外壁面9b分离的方式被插入固定有反射筒部9的导光筒部503B相密封，经由隔壁即封闭用环构件508C与电子发生筒部503C相密封。再者，发光筒部503A的内部封入有稀有气体，导光筒部503B的内部封入有不活泼气体或者保持为真空，电子产生筒部503C的内部保持为真空。在该封闭用环构件508C，设置有由Si或SiN等的具有电子透过性的材料形成的电子透过窗部507C，在封闭用环构件508B设置有出射窗部507B。再有，封闭用环构件508B的构造与第5实施方式所涉及的封闭用环构件408的构造是同样的。在构成密封容器503的一部分的电子发生筒部503的内部，收纳有电子枪部509和配置在电子透过窗部507C与电子枪部306之间的电子透镜部510。在这样的电子发生筒部503中，能够通过利用电子透镜部507C控制由电子枪部509所形成的电子流而使其朝向电子透过窗部507C沿着光轴X加速。再者，若在发光筒部503A的内部电子流沿着光轴X入射，则由内部的稀有气体激发光，该光从出射窗部507B沿着光轴X福射而被引导到导光筒部503B内。通过这样的光源501，也能够防止因反射筒部9与导光筒部503B的热膨胀率的差异而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或导光筒部503B的破损。另外，由于反射筒部9被定位构件即弹簧构件12施力而被嵌入于封闭用环构件508B的台阶部从而在密封容器503内被定位，因此，使反射筒部9相对于密封容器503的位置稳定化,能够稳定地保持从出射窗部4而来的光的取出效率。另外，通过光源501的构造，能够将由电子激发所产生的热从封闭用环构件508或反射筒部9放出到外部，从而提高发光效率或装置寿命。另外，也可以在发光筒部503A不设置出射窗部507,而使发光筒部503A与导光筒部503B为相同的气压。再有，本发明并不限定于上述的实施方式。例如，在上述的实施方式中，将反射筒部9推碰至设置在发光筒部3A，203A, 303A, 403A, 503A侧的定位用的构件来进行固定，但也可以通过激光熔接等而直接固定于定位构件。在图10中，作为本发明的变形例即光源601，表示反射筒部609通过激光熔接或点熔接而固定于发光部2的收纳盒8的构造。详细而言，将不锈钢环614固定于反射筒部609的外壁面60%的端部，通过激光熔接或点熔接使其端部的不锈钢环614与收纳盒8的固定环8b的接触部分熔融并彼此固着。在该图所示的光源601中，虽然缩短导光筒部603B，但通过使反射筒部609与其匹配地设计从而能够使出射光的分布为平行光或扩散光，并且能够提高照射面上的光强度的均匀性。另外，如光源601那样，可以在反射筒部609的发光筒部603A侧的端部设置突出部615，并使该突出部615以在不阻碍荷电粒子的流动的范围内靠近放电通道限制部7的方式在收纳盒8内延伸地配置。由此，能够增加来自出射窗部4的光量，并且能够从发光部2的内部进行反射筒部609所引起的溅射物等异物的捕捉，从而能够进一步抑制溅射物向低温度部的出射窗部4的附着。另外，即使图6 图9所示的第3 第6实施方式的反射筒部9的固定中，也可以使用图10所示的激光熔接或点熔接。此时，与图10同样地，优选将不锈钢环固定于反射筒部9的端部，并将该不锈钢环与固定构件熔接。另外，作为固定在反射筒部609的前端的熔接用的构造体，也可以采用各种各样的形状的构造体。例如，如图11所示，也可以通过将不锈钢制的C型止轮等的止轮714固定于反射筒部609的端部609d的外周，并将该止轮714与收纳盒8的反射筒部固定用构件熔接来使反射筒部609相对于发光部2固定。此外，如图12所示，也可以将不锈钢制的薄片材814以带状卷绕在反射筒部609的端部609d的外周部，并将其终端部重叠并熔接而固定。在该薄片材814的端部9d侧，设置有相对于反射筒部609的中心轴垂直地延伸的多个凸缘部814a，可以通过将该凸缘部814a与固定用构件熔接而固定反射筒部609。另外，也可以通过不设置凸缘部814a而将薄片材814与固定用构件的接近部分熔接而固定反射筒部609。在图13中，作为本发明的变形例，表示作为杆703C、发光筒部703A、以及导光筒部703B配置在与光轴同轴上的氘灯的光源701。在这样的光源701中，可以进行从相同的轴方向的组装。详细而言，可以在将反射筒部109固定于发光部2的固定环Sb而一体化之后，插入到导光筒部703B和发光筒部703A —体化了的密封容器703内，并用杆703C封闭密封容器703而进行制作。与光源601的情况同样地，将端部环614压入并固定在该反射筒部109，通过将该端部环614与固定环Sb熔接，从而反射筒部109被固定。此外，在反射筒部109，与光源101的情况同样地，在其外壁面109b的出射窗部4侧的端部固定有金属带112。通过该金属带112，提高导光筒部703B与反射筒部109的同轴性。除了这样的固定方法以夕卜，也可以是增加固定环8b的高度而对反射筒部109的插入部分与固定环Sb进行螺纹加工来固定，或者在固定环8b制作螺纹孔并插入反射筒部109后用螺丝等固定的方法。另外，在光源1，101,201中，在反射筒部9的外壁面9b的一部分或全体形成有热辐射膜10，相反，也可以在外壁面9b的除了发光筒部3A，203A侧的端部的部分，形成与反射筒部9的原材料相比热辐射率更低的材料。由此,相对地提高一个端侧的放热性,能够期待与热辐射膜10同样的效果。另外，也可以用与构成另一个端侧的金属块构件的材料相比热辐射率更大的材料来构成构成反射筒部9，109的一个端侧的金属块构件的材料。另外，作为发光筒部3A，203A, 303A, 403A, 503A,也可以使用具有其他的发光方式的发光筒部，例如使用准分子灯。[第7实施方式]图14是表示本发明的第7实施方式所涉及的氘灯的结构的截面图。该氘灯Ii具备一体地连接有收纳有使氘气放电而产生光的发光部2i的大致圆筒状的发光筒部(第I筐体)3A1、以及与该发光筒部3Ai连通并且从发光筒部3Ai的侧壁沿着发光部2i所产生的光的光轴而突出的大致圆筒状的导光筒部(第2筐体)3Bi的玻璃制的密封容器3i。在该密封容器3i，氘气被封入有数百Pa左右。更详细而言，导光筒部3Bi的沿着光轴X的方向的一个端侧与发光筒部3Ai —体化并连通，另一个端侧被使从发光部2i产生的光出射到外部的出射窗部4i所封闭。该出射窗部4i的材质例如是MgF2 (氟化镁)、LiF (氟化锂)、石英玻璃、蓝宝石玻璃等。收纳在发光筒部3Ai的发光部2i由阴极51、阳极61、在配置在阳极6i与阴极5i之间的中心部形成有由导电性的高熔点金属制作的限制放电通道的开孔的放电通道限制部71、以及围绕它们而配置的收纳盒8i所构成。在该收纳盒8i的导光筒部3Bi侧的面，用于取出由发光部2i所产生的光的矩形形状的光通过口(开口部)8ai以与导光筒部3Bi的出射窗部4i相对的方式形成，并且固定有由以围绕该光通过口 8ai的方式沿着导光筒部3Β 的侧壁以圆形形状延伸的壁部构成的固定环(固定构件)8b。这样的发光部2i，在阴极 5与阳极6i之间施加电压时，使其间所存在的氘气电离并放电，通过放电通道限制部7将由此形成的等离子状态缩窄而变成高密度的等离子状态，将由此所产生的光(紫外光)从收容盒8i的光通过口 8ai沿着光轴X的方向出射。再有，上述的发光部2i通过竖立设置在发光筒部3Ai的端面所设置的杆部的杆销(未图不)而被保持在发光筒部3Ai。S卩，该氣灯Ii是光轴X相对于发光筒部3Ai的管轴交叉的侧面型氘灯。在这样的密封容器3i内的出射窗部4i与连接发光筒部3Ai和导光筒部3Bi的部位之间，插入固定有大致圆筒状的反射筒部(筒状构件)9i。如图15所示，该反射筒部9i组合有多个铝制的金属块构件而成为具有比导光筒部3Bi的内径更小的外径的大致圆筒状的形状。该反射筒部9i自身的内壁面被形成为沿着反射筒部9i的中心轴线而为曲面或倾斜角阶段性地变化的多段面的反射面9ai。即，反射筒部9i的中心轴方向的两端形成为锥状，以使该反射面9ai能够将光聚光于出射窗部4i的外侧的所期望的面或点。更具体而言，以从反射筒部9i的长度方向的中心部至发光筒部3Ai侧的端部由反射面9ai所包围的空间的直径缓缓缩小的方式，反射面9ai相对于反射筒部9i的中心轴即光轴X倾斜地形成。另外，以从反射筒部9i的长度方向的中心部到出射窗部4i侧的端部由反射面9ai所包围的空间的直径缓缓缩小的方式，反射面9ai相对于反射筒部9i的中心轴倾斜地形成。这里，反射面9ai以与将位于发光部2i的放电通道限制部7i的开孔的中心的发光中心C。与反射面9ai的发光部2i侧的端部连结的线L相比较，反射面9ai相对于光轴X的倾斜角变小的方式设定。例如，相对于线L相对于光轴X的倾斜角为10 30度,离发光中心Cc!侧最近的段的反射面9ai的倾斜角被设定为2 15度。再有，反射面9ai的锥状部可以不是将反射筒部9i的中心轴方向 的两端而是将任意一方、例如仅将发光部2i侧(一个端侧)形成为上述那样的锥状，将出射窗部4i侧(另一个端侧)的反射面9ai相对于反射筒部9i的中心轴平行地形成。这样的反射面9ai被加工成使由发光部2i产生的光可以正反射的镜面状态，例如通过将金属块构件切削加工，在对其内壁实施抛光研磨、化学研磨、电解研磨、利用从这些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用结合这些研磨的研磨方法的研磨之后，实施洗净处理或用于除去杂质气体成分的真空处理等而形成。在本实施方式中，反射筒部9i组合2个构件而形成，在像这样由多个金属块构件形成反射面9ai的情况下，由于能够减小每个金属块构件的反射面9ai的长度与内径之比(长宽比)，因此加工整形时容易得到平坦度，其结果，反射面9ai的镜面度变高。此外，在反射筒部9i的外壁面9bi的大致整个面，形成有包含高热辐射率的材料的热辐射膜10i。作为这样的热辐射膜IOi的材料，可以使用与氧化铝等的反射筒部9i的材料相比热辐射率更高的材料。另外，热辐射膜IOi例如通过由蒸镀或涂布等将构成热辐射膜IOi的材料层叠在反射筒部9i的外壁面9bi上而形成，但特别在像本实施方式那样反射筒部9i由铝构成的情况下，也可以通过对反射筒部9i的外壁面9bi进行氧化处理来形成作为热辐射膜IOi的氧化铝的层。
另外，在反射筒部9i的外壁面9bi的长度方向的另一个端侧的周缘部，沿着其外壁面9bi，以成为台阶状的突出部的方式形成有被切口成圆形形状的切口部11 i。该切口部Ili是为了在密封容器3i内定位反射筒部9i而设置的。这样的反射筒部9i，直到一个端侧的端部9di与发光部2i的收纳盒Si相接为止，从缘部9di侧沿着导光筒部3Bi的管轴(光轴X)而被插入，并且在弹簧构件12i沿着外壁面9bi而安装于切口部Ili之后，导光筒部3Bi的另一个端侧被出射窗部4i封闭(图14和图16)。此时,反射筒部9i在其外壁面9bi与导光筒部3Bi的内壁面13i分尚的状态下被嵌入到收纳盒8i的固定环8bi的内侦彳(图16)。该弹簧构件12i是金属构件，例如是由耐热性高的不锈钢或铬镍铁合金构成的反射筒部9i定位用的构件，配置在切口部Ili与出射窗部4i之间，具有通过对反射筒部9i沿着光轴X从出射窗部4i侧向发光部2i侧施力而推碰至收纳盒8i的功能。由此，反射筒部9i在密封容器3i内的出射窗部4i与发光部2i之间，一个端侧的端部9di与发光部2i的收纳盒Si相接并且另一个端侧被插入到导光筒部3Bi而接近于出射窗部4i的状态下被定位。根据以上说明的氘灯li，发光筒部3Ai内的发光部2i的阴极5i与阳极6i之间所产生的放电被放电通道限制部7i缩窄而产生光，通过将由发光部2i所产生的光引导至从与发光筒部3Ai连通的导光筒部3Bi的出射窗部4i到发光部2i为止被插入的反射筒部9i的内部，从而从出射窗部4i出射。这里，由于在反射筒部9i的内壁面形成有反射面9ai，因此，从发光部2i出射的光被反射筒部9i的内部的反射面9ai反射并被从导光筒部3Bi的一个端侧引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部2i产生的光而引导至导光筒部3Bi的出射窗部4i。此外，由于反射面9ai的两端侧形成为锥状，因此能够将光聚光在出射窗部4i的外部的规定位置。此外，能够提高从出射窗部4而来的光的取出效率，并增加出射光的总光量和照射面上的光量。另外，在现有的氘灯中，从出射窗而来的光辐射图案根据与该出射窗的距离而变化，有容易产生辐射光微弱缺失部分的倾向，但在氘灯Ii中，能够减少那样的光照射图案的部分的缺失的部分的产生。其结果，能够高效率地取出所产生的光。图17是表不来自于氣灯Ii的发光中心Ctl的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图。图29是来自于从氘灯Ii中除去反射筒部9i后的氘灯901i的发光中心C。的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图。如图29所示，相对于光轴X辐射角大的光成分La在氘灯901i中不全反射而透过密封容器3i或被吸收。与此相对，如图17所示，在氘灯Ii中，由于使这样的光成分La也在反射面9ai被全反射而作为前方照射成分起作用，因此照射光量增多。此外，由于发光中心C0侧的反射面9ai成为锥状，因此能够使反射光不成为发散成分而从出射窗部4i被聚光在所期望位置周边。另外，与在氘灯901i中被密封容器3i反射但成为发散光的光成分Lb，Ld相关，在氘灯Ii中能够聚光在所期望位置周边。此外，由于氘灯Ii的出射窗部4i侧的反射面9ai成为锥状，因此，由于减小相对于X轴的辐射角，因此能够将氘灯901i中从出射窗部4i发散的光成分L。作为聚光成分来利用，并且能够将光成分Ld聚光在所期望位置周边的适当位置。其结果，能够将反射筒部9i的反射面9ai做成可以将放射光的多的成分作为聚光成分来利用的构造。
再有，通过调整反射筒部9i的反射面9ai的锥状部分的形状，能够将来自出射窗部4i的出射光不聚光而成为平行光多的分布、或相反变成扩散分布。另外，由于通过用铝制的金属块构件等的金属构件构成反射筒部9i自身，镜面度高的反射面的加工变得容易，因此能够有效地将所产生的光聚光。此外，与例如在反射筒部9i的内部形成由金属等构成的反射膜的情况不同，能够抑制在反复进行温度上升和下降时的因构成材料的膨胀系数不同而产生的反射面9ai的剥离或脱落等所引起的性能劣化或异物产生，从而能够实现长寿命化。而且，所产生的紫外光不透过，另外，不会因紫外光而劣化，因此能够更高效地取出所产生的光。此外，由于反射筒部9i的外壁面9bi与导光筒部3Bi的内壁面13i分离，因此，能够防止由于反射筒部9i与导光筒部3Bi的热膨胀率的差异而造成的反射筒部9i的位置偏移或者反射筒部9i或导光筒部3Bi的破损。另外，由于反射筒部9i通过被由金属构件构成的定位构件即弹簧构件12i施力而被嵌入于收纳盒8的固定环Sbi从而在密封容器3i内被定位，因此，不会因所产生的紫外光而劣化，容易进行反射筒部9i相对于发光部2i的放电通道限制部7i的开孔的位置和轴对准，提高位置精度，并能够保持从出射窗口 4i而来的光的取出效率。此外，通过采用利用弹簧构件12i对收纳盒Si挤压的构造，能够使反射筒部9i相对于密封容器3i稳定地固定，并且即使产生沿着反射筒部9i的中心轴方向的热膨胀，也能够通过弹簧构件12i吸收相对于发光筒部3Ai的位置偏移。这里，虽然也考虑到在氘灯的封装之时使导光筒部3Bi与放电通道限制部7i的开孔的位置或角度的关系一致来调整辐射光分布，但是在这种情况下，由于出射窗部4i与开孔的进深位置差异大，因此位置调整难。在本实施方式中，通过导入反射筒部9i，使导光筒部3Bi与反射筒部9i的位置关系被稳定地确定，通过使反射筒部9i与固定环8bi匹配而使反射筒部9i与开孔的位置或角度的关系也匹配。因此，使导光筒部3Β 与开孔的位置关系精度高地匹配。此外，如图15所 示，通过在反射筒部9i的外壁面9bi的大致整个面形成热辐射膜10i，能够在接近于发光部2i的反射筒部9i的内面形成比周边或封入气体更低温的区域，通过在该区域捕捉从发光筒部3Ai而来的溅射物等异物，能够抑制异物向出射窗部4i的扩散和与此相伴的光透过率的降低。另外，通过将这样的氘灯Ii作为光离子化源而利用在气体色谱法质量分析装置(GC/MS)或液体色谱法质量分析装置(LC/MS)这样的质量分析装置(MS)，可以实现高灵敏度化、窗材的污染的抑制、以及良好的时间响应特性。首先，通过能够飞跃地增加照射面的光量而能够提高与样品的接触概率，与现有的光离子化源相比能够大幅(接近10倍)地提高灵敏度。另外，可以实现适合于各种MS的聚光性，从如下那样的方面提高测量灵敏度。即，在MS的情况下，可以将用于在离子化室中将离子导入到识别部的电场分布集中照射于有效的部分。另外，在GC/MS的情况下，可以从离子化室的数mm左右的开口有效地集中导入光。另外，在LC/MS的情况下，可以聚光于将离子导入到识别部的开孔附近并提高离子密度，能够使光离子化源的窗部远离样品的喷出口来抑制窗部的污染，并且由于与现有相比提高了聚光性，因此即使与离子化源远离灵敏度也不会劣化。即，高密度的光投射到样品的高密度部而能够提高离子化效率从而实现高灵敏度化，能够通过使光离子化源的窗部远离样品的喷出口来抑制窗部的污染，并通过聚光于样品的喷出口而能够加快响应速度。
[第8实施方式]图18是表示本发明的第8实施方式所涉及的氘灯的结构的截面图，图19(a)是图18的反射筒部的侧面图，图19 (b)是图18的反射筒部的端面图。该图所示的氣灯IOli,反射筒部109i的定位构造等与第7实施方式不同。即，在内置于氘灯IOli的反射筒部109i，在其外壁面109bi的出射窗部4i侧的端部固定有作为定位构件的金属带112i。在该金属带112i，具有弹性的多个爪部112ai的沿着反射筒部109i的外周而形成，金属带112i通过其端部被重叠熔接而被固定在外壁面109bi上。这样的反射筒部109i沿着导光筒部3Bi的内壁面13i而被插入到密封容器3i内，以除了金属带112i以外的外壁面109bi与内壁面13i分离的方式被固定。通过这样的构造，反射筒部109i通过金属带112i的爪部112ai的弹性力，其一个端侧的端部109di被推碰到收纳盒8i的固定环8bi,在密封容器3i内在沿着光轴X的方向上被定位。此外，反射筒部109i通过金属带112i的爪部112ai，在其外壁面109bi与导光筒部3Bi的内壁面13i保持一定距离而被分离的状态下在光轴X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒109i的金属带112i安装部，形成与该带宽度匹配的槽，由此可以不增大导光筒部3Bi的内径，取得大的从金属带112i至导光筒部3Bi的内壁面13i的距离，并增大爪部112ai的角度，从而能够增强爪部112ai的弹性力。通过这样的氘灯101i，也能够防止因反射筒部109i与导光筒部3Bi的热膨胀率的差异而引起的反射筒部109i的位置偏移或者反射筒部109i或导光筒部3Bi的破损。另外，由于反射筒部109i被定位构件即金属带112i施力而被嵌入于收纳盒108i的固定环8bi从而在密封容器3i内被定位，因此，容易进行反射筒部9i相对于发光部2i的放电通道限制部7i的开孔的位置和轴匹配，提高位置精度，从而能够保持从出射窗部4i而来的光的取出效率。特别地，在本实施方式中，能够使反射筒部9i与密封容器3Bi的同轴性稳定地维持。另外，由于反射面9ai的两端侧形成为锥状，因此能够使光聚光在出射窗部4i的外部的规定位置而从出射窗部4i高效率地取出光，能够增加出射光的照射面上的光量。[第9实施方式]图20是表示本发明的第9实施方式所涉及的氘灯的结构的截面图，图21 (a)是图20的反射筒部的侧面图，图21 (b)是图20的反射筒部的端面图，图21 (c)是表示图20的反射筒部的立体图。该图所示的氘灯201i的反射筒部的发光部侧的定位构造与第7实施方式的不同。S卩，在氘灯201i的反射筒部9i的外壁面9bi的长度方向的一个端侧，沿着反射筒部9i的外周形成有槽部9ei。另外，在发光部2i的收纳盒8i的导光筒部3Bi侧的面，固定有用于通过嵌入反射筒部9i的槽部9ei来固定反射筒部9i的端部的爪部(固定构件)208bi。该爪部208bi具有以围绕收纳盒8i的光通过口 8ai的方式配置的半圆状部208c1、以及以从该半圆状部208ci延伸的方式直线状地形成的用于插入反射筒部9i的开放端部208di (图 21 (C))。通过这样的构造，反射筒部9i从爪部208bi的开放端部208di，以使该爪部208bi的凸部沿着槽部9ei的方式，沿着与中心轴垂直的方向被插入，通过插入至半圆状部208ci的内部而确定相对于收纳盒Si的位置。再有，也可以在爪部208bi的与反射筒部9i的外周部的接近部设置用于在插入至半圆状部208ci的内部时反射筒部9i难以返回到开放端侧208di侧的卡止部。这里，由于槽部9ei的宽度相对于爪部208bi具有余量，因此，反射筒部9i被弹簧构件12i施力而推碰至收纳盒8i，在密封容器3i内在沿着光轴X的方向上被定位。此外，通过将反射筒部9i插入到爪部208bi的半圆状部208ci，从而在其外壁面9bi与导光筒部3Bi的内壁面13i保持一定距离而被分离的状态下在光轴X的垂直方向上也被定位。此时，通过将用于将反射筒部9i向收纳盒Si侧施力的弹簧构件组装到爪部208bi，从而可以省略弹簧构件12i。通过这样的氘灯201i，也能够防止因反射筒部9i与导光筒部3Bi的热膨胀率的差异而引起的反射筒部9i的位置偏移或者反射筒部9i或导光筒部3Bi的破损。这里，由于反射筒部9i的长度方向的另一个端面、即与出射窗部4i的相对面，与出射窗部4i分离，因此，即使在组装制作时或在动作时的温度下，材质的膨胀产生差异，也不会使玻璃材或窗材破损。另外，反射筒部9i被定位构件即弹簧构件12i施力而与收纳盒Si相接，并且通过插入到爪部208bi而在密封容器3i内被定位。由此，容易进行反射筒部9i相对于发光部2i的放电通道限制部7i的开孔的位置和轴匹配，提高位置精度并高效地取出从出射窗部4i而来的光。特别地，在本实施方式中，能够使反射筒部9i与密封容器3Bi的同轴性稳定地维持。另外，由于反射面9ai的两端侧形成为锥状，因此能够使光聚光在出射窗部4i的外部的规定位置而从出射窗部4i高效率地取出光，能够增加出射光的照射面上的光量。再有，本发明不限定于上述的实施方式。例如，在反射筒部9i，109i，通过对金属构件的内壁研磨加工而形成有反射面9ai，109ai，但是也可以通过蒸镀或溅射而成膜反射面。详细而言，对铝等的金属构件或玻璃、陶瓷等的构件实施切削加工或成型加工而制作基底，并根据需要对该基底实施研磨加工后，可以在基底的镜面蒸镀或溅射铝、铑、电介质多层膜等而形成反射面。另外，反射筒部9i，109i由多个金属块构件形成，但也可以一体地形成。另外，在上述的实施方式中，通过将反射筒部9i，109i推碰至设置在发光筒部3Ai侧的固定用的构件来固定，但也可以通过激光熔接或点熔接等而直接固定在固定用的构件。此时，在难以直接将反射筒部熔接在固定用构件的情况下，也可以利用嵌合等将可熔接的构造体固定在反射筒部，通过熔接该构造体与固定构件来进行固定。再有，在激光熔接的情况下，也可以隔着发光筒部3Ai的玻璃构件来进行熔接。在图22中，作为本发明的变形例即氘灯301i，表示由由2种不同材料构成的金属构件构成的反射筒部309i通过激光熔接或点熔接而固定于发光部2i的收纳盒Si的构造。详细而言，将由不锈钢构成的端部环314i固定于由铝构成的反射筒部309i的一个端侧的端部309di的外周,通过激光熔接或点熔接将该端部环314i与收纳盒8i的固定环8bi的接触部分熔融并彼此固着。在该图所示的氘灯301i中，虽然缩短导光筒部303Bi，但使反射筒部309i与其匹配地设计从而能够使出射光的分布成为平行光或扩散光，并且能够提高照射面上的光强度的均匀性。另外，如该图所示，也可以在收纳盒Si上的固定环Sbi的内侧设置孔部308ei，将反射筒部309i的端部309di的前端以在不阻碍荷电粒子的流动的范围内靠近放电通道限制部7i的方式被插入到孔部308ei内。若这样做，则由于反射筒部9i (反射面9ai)接近于发光部2i的内部而配置，因此能够从出射窗部4i更高效率地取出光。另外，作为固定在反射筒部309i的前端的熔接用的构造体，也可以采用各种各样的形状的构造体。例如，如图23所示，也可以通过将不锈钢制的C型止轮等的止轮615i固定于反射筒部9i的端部9di的外周，并将该止轮615i与收纳盒8i的反射筒部固定用构件熔接来使反射筒部9i相对于发光部2i固定。此外，如图24所示，也可以将不锈钢制的薄片材715i带状地卷绕在反射筒部9i的端部9di的外周部并使其终端部重叠地熔接而固定。在该薄片材715i的端部9di侦Ij,设置有相对于反射筒部9i的中心轴垂直地延伸的多个凸缘部715ai，可以通过将该凸缘部715ai与固定用构件熔接而固定反射筒部9i。另外，也可以通过不设置凸缘部715i而将薄片材715i与固定用构件的接近部分熔接而固定反射筒部9i。在图25中，作为本发明的变形例，表示杆403C1、发光筒部403A1、以及导光筒部403Bi配置在与光轴同轴上的氘灯401i。在这样的氘灯401i中，可以进行从相同的轴方向的组装。详细而言，可以将反射筒部109i在固定于发光部2i的固定环8bi而一体化之后，被插入到导光筒部403Bi和发光筒部403Ai —体化了的密封容器403i内，并用杆403Ci封闭密封容器403i而制作。在该反射筒部109i，与氘灯301i的情况同样地，通过端部环314i被压入和固定，并将该端部环314i与固定环8bi熔接，从而反射筒部109i被固定。此外，在反射筒部109i，与光源IOli的情况同样地，在其外壁面109bi的出射窗部4i侧的端部固定有金属带112i。通过该金属带112i，提高了导光筒部403Bi与反射筒部109i的同轴性。除了这样的固定方法以外，也可以是增加固定环8bi的高度并对反射筒部109i的插入部分与固定环Sbi进行螺纹加工来固定，或者在固定环8bi制作螺纹孔并插入反射筒部109i后用螺丝等固定的方法。另外，在氘灯li，101i,201i,301i,401i中，在反射筒部9i，109i, 309i的长度方向的发光筒部3Ai，303Ai侧(一个端侧)的外壁面9bi，109bi, 309bi，也可以形成有朝着反射面9ai, 109ai, 309ai贯通的开口部。例如，在图26 28所示的氘灯501i中，在反射筒部9i的外壁面9bi的一个端侧的缘部，形成有朝向该外壁面9bi的出射窗部4i侧(另一个端侧)而沿着反射筒部9i的中心轴切口的开口部9ci。详细而言，开口部9ci沿着反射筒部9i的一个端侧的周缘而等间隔地形成在3个地方，在相邻接的开口部9ci之间3个地方形成有用于嵌入于发光部2i的固定环8bi的突出部9di。另外，在收纳盒8i的固定环8bi，在与反射筒部9i的开口部9ci对应的位置形成有开口 8ci。通过这样的构造，若反射筒部9i嵌入到收纳盒Si的固定环8bi，则在位于发光筒部3Ai内的反射筒部9i的外壁面9bi的端部，贯通反射面9ai的开口部9ci在经由开口 8ci而与发光筒部3Ai的内部空间连通的状态下配置有多个(图28)。在这样的氘灯50 Ii中，能够将由发光部2i所产生的溅射物放出到反射筒部9i的外部，从而能够抑制溅射物向反射筒部9i的反射面9ai或低温度部的出射窗部4i的附着。其结果，能够谋求长寿命化，并且提高出射窗部4i的光透过率。再有，由于该开口部9ci位于发光筒部3Ai内，因此，由发光部2i产生的派射物在发光筒部3Ai内被放出而在发光筒部3Ai内容易被捕捉。其结果，能够进一步抑制溅射物向出射窗部4i的飞散，进一步延长寿命。另外，在图22所示那样的端部环314i被压入反射筒部309i的构造中，也可以在端部环314i形成开口部。另外，在如图24所示将薄片材715i卷绕在反射筒部9i的构造中，也可以在薄片材715i的与反射筒部9i的开口部9ci对应的位置形成开口部。另外，在图26 28所示的氘灯501i中，在反射筒部9i的外壁面9bi的长度方向的一个端侧形成有热辐射膜10i。因此，能够在接近于发光部2i的反射筒部9i的内侧形成比周边或封入气体更低温的部分，通过在该部分捕捉从发光筒部3Ai而来的溅射物等异物，能够抑制异物向出射窗部4i的扩散和与此相伴的光透过率的降低。另外，相反，也可以在外壁面9bi的另一个端侧，形成与反射筒部9i的原材料相比热辐射率更低的材料。由此，相对地提高一个端侧的放热性，能够期待与热放射膜IOi同样的效果。另外，也可以用与构成另一个端侧的金属块构件的材料相比热辐射率更大的材料构成构成反射筒部9i的一个端侧的金属块构件的材料。[第10实施方式]图30是表示本发明的第10实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所示的光源Ij是作为质量分析装置的光离子化源等的分析仪器用光源或真空除电用光源而使用的所谓的毛细放电管该光源Ij具备一体地连接有收纳有使气体放电而产生光的发光部2j的大致圆筒状的发光筒部(第I筐体)3Aj、以及与该发光筒部3Aj连通并且沿着从发光筒部3Aj内的发光部2j出射的光的光轴X而延伸的大致圆筒状的导光筒部(第2筐体)3Bj的玻璃制的密封容器3j。更详细而言,导光筒部3Bj的沿着光轴X的方向的一个端侧与发光筒部3Aj连接而连通，另一个端侧被使从发光部2j产生的光出射到外部的出射窗部4j所封闭。该出射窗部4j的材质例如是MgF2 (氟化镁)、LiF (氟化锂)、蓝宝石玻璃等。收纳在发光筒部3Aj的发光部2j由阴极5j、阳极6j、配置在阳极6j与阴极5j之间的毛细管部7j构成。在这些阴极5j和阳极6j，分别形成有开口 5aj和开口 6aj。再者，阴极5j、阳极6j和毛细管部7j，以这些开口 5aj，6aj的中心轴和毛细管部7j的管轴与发光筒部3Aj的管轴即光轴X —致的方式，保持在发光筒部3Aj的内部。总之，阴极5j、阳极6j和毛细管部7j由发光筒部3Aj保持成彼此配置在同轴上。另外，阴极5j具有配置在将发光筒部3Aj与导光筒部3Bj分隔的位置而作为连接构件的作用。详细而言，阴极5j形成有开口 5aj，成为密封于发光筒部3Aj的金属制的环构件5Aj、以及密封于导光筒部3Bj的金属性的环构件5Bj的双重构造。在该环构件5Aj，设置有与后述的反射筒部9j的端部相接并用于进行反射筒部9j的定位的承受构造。这里，环构件5Aj的开口 5aj成为用于向着导光筒部3Bj取出由发光部2j产生的光的出射口，以与导光筒部3Bj的出射窗部4j相对的方式设置。在该连接有发光筒部3Aj与导光筒部3Bj的密封容器3j内，封入有氢(H2)、氙(Xe)、氩(Ar)、氪(Kr)等气体。再者，若在发光部2j中在阴极5j与阳极6j之间施加电压，则使其间所存在的气体电离、放电，其结果所产生的电子被收集在毛细管部7j内而成为等离子状态。由此，光从毛细管部7j内经由开口 5aj而朝向导光筒部3Bj侧，在沿着光轴X的方向上出射。例如，在使用Kr作为封入气体且使用MgF2作为出射窗部4j的材料的情况下，可以进行117/122nm的波长下的发光，在使用Ar作为封入气体且使用LiF作为出射窗部4j的材料的情况下，可以进行105nm的波长下的发光。在这样的密封容器3j内的出射窗部4j与连接发光筒部3Aj和导光筒部3Bj的阴极5j之间，插入固定有大致圆筒状的反射筒部(筒状构件)9j。该反射筒部9j组合多个铝制的金属块构件且成为具有比导光筒部3Bj的内径小的外径的大致圆筒状的形状。参照图31，该反射筒部9j自身的内壁面被形成为沿着反射筒部9j的中心轴线而为曲面或倾斜角阶段性地变化的多段面的反射面9aj。即，反射筒部9j的中心轴方向的两端形成为锥状，以使该反射面9aj能够将光聚光于出射窗部4j的外侧的所期望的面或点。更具体而言，以从反射筒部9j的长度方向的中心部至发光筒部3Aj侧的端部由反射面9aj所包围的空间的直径缓缓缩小的方式，反射面9aj相对于反射筒部9j的中心轴即光轴X倾斜而形成。另外，以从反射筒部9j的长度方向的中心轴到出射窗部4j侧的端部由反射面9aj所包围的空间的直径缓缓缩小的方式，反射面9aj相对于反射筒部9j的中心轴倾斜而形成。这里，反射面9aj以与将位于发光部2j的放电通道限制部7j的出射口的中心的发光中心Ctl与反射面9aj的发光部2j侧的端部连结的线L相比较，反射面9aj相对于光轴X的倾斜角变小的方式设定。例如，相对于线L相对于光轴X的倾斜角为20 60度，离发光中心Ctl侧最近的段的反射面9aj的倾斜角被设定为2 15度。再有，反射面9aj的锥状部可以不是将反射筒部9j的中心轴方向的两端而是将任意一方、例如仅将发光部2j侧(一个端侧)形成为上述那样的锥状，将出射窗部4j侧(另一个端侧)的反射面9aj相对于反射筒部9j的中心轴平行而形成。这样的反射面9aj被加工成使由发光部2j产生的光可以正反射的镜面状态，例如通过将金属块构件切削加工，在对其内壁实施抛光研磨、化学研磨、电解研磨、利用从这些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用结合这些研磨的研磨方法的研磨之后，实施洗净处理或用于除去杂质气体成分的真空处理等而形成。在本实施方式中，反射筒部9j组合2个构件而形成，在像这样由多个金属块构件形成反射面9aj的情况下，由于能够减小每个金属块构件的反射面9aj的长度与内径之比(长宽比)，因此加工整形时容易得到平坦度，其结果，反射面9aj的镜面度变高。另外，在反射筒部9j的外壁面(侧面)9bj的长度方向的发光筒部3Aj侧(一个端侦D的缘部，形成有朝向该外壁面9b j的出射窗部4j侧(另一个端侧)而沿着反射筒部9 j的中心轴切口的开口部9cj。详细而言，开口部9cj沿着反射筒部9j的一个端侧的周缘而等间隔地形成在3个地方，相邻接的开口部9cj之间3个地方形成有用于嵌入于设置在发光部2j的阴极5j的承受构造(详情在后面叙述)的突出部9dj。此外，在反射筒部9j的外壁面9bj的大致整个面，形成有包含高热辐射率的材料的热辐射膜10j。作为这样的热辐射膜IOj的材料，可以使用与氧化铝等的反射筒部9j的材料相比热辐射率更高的材料。另外，热辐射膜IOj例如通过由蒸镀或涂布等将构成热辐射膜IOj的材料层叠在反射筒部9j的外壁面9b j上而形成，但特别在像本实施方式那样反射筒部9j由铝构成的情况下，也可以通过对反射筒部9j的外壁面9bj进行氧化处理来形成作为热辐射膜IOj的氧化铝的层。另外，在反射筒部9j的外壁面9bj的长度方向的另一个端侧的周缘部，沿着其外壁面9b j，以成为台阶状的突出部的方式形成有被切口成圆形形状的切口部11 j。该切口部Ilj是为了在密封容器3j内定位反射筒部9j而设置的。回到图30，这样的反射筒部9j在突出部9dj与阴极5j的环构件5Aj相接的状态下沿着其管轴(光轴X)被插入于导光筒部3Bj，在切口部Ilj与出射窗部4j之间，弹簧构件12j沿着外壁面9bj被安装。该弹簧构件12j是金属构件，例如是由耐热性高的不锈钢或铬镍铁合金构成的反射筒部9j的定位用的构件。再有，反射筒部9j在其外壁面9bj与导光筒部3Bj的内壁面13j分离的状态下嵌入到环构件5Aj的承受构造。这里，在图32和图33中，表示环构件5Aj的承受构造的一个例子。如此，可以在环构件5Aj设置以与开口5aj同轴的方式具有与反射筒部9j的外径相同的直径的孔5bj，或者在环构件5Aj的面上固定以与开口 5aj同轴的方式具有与反射筒部9j的外径相同的内径的其它的环状的固定构件5cj。通过这样的反射筒部9 j的定位构造，反射筒部9 j通过弹簧构件12 j而沿着光轴X从出射窗部4j侧向发光部2j侧被施力，被推碰到阴极5j的承受构造。由此，反射筒部9j在密封容器3j内的出射窗部4j与阴极5j之间，在一个端侧的突出部9dj与阴极5j的环构件5Aj相接并且另一个端侧被插入到导光筒部3Bj而接近于出射窗部4j的状态下被定位。另外，若反射筒部9j嵌入到环构件5Aj的承受构造，则在位于发光筒部3Aj内的反射筒部9bj的外壁面9bj的端部，配置有多个贯通反射面9aj的开口部9cj。这里，在组装光源Ij时，分别使阴极5j的环构件5Aj和环构件5Bj密封于发光筒部3Aj和导光筒部3Bj。然后，将反射筒部9j嵌入到环构件5Aj的承受构造并且将弹簧构件12j安装于切口部Ilj后，通过将反射筒部9j插入到导光筒部3Bj内，使环构件5Aj与环构件5Bj重叠并真空熔接来组装光源lj。根据以上说明的光源lj，发光筒部3Aj内的发光部2j的阴极5j与阳极6j之间所产生的放电被毛细管部7j缩窄而产生光，将从发光部2j通过阴极5j的开口 5aj而出射的光，引导至从与发光筒部3Aj连通的导光筒部3Bj的出射窗部4j到发光部2j被插入的反射筒部9j的内部，从而从出射窗部4j出射。这里，由于在反射筒部9j的内壁面形成有反射面9aj，因此，从发光部2j出射的光被反射筒部9j的内部的反射面9aj反射并被从导光筒部3Bj的一个端侧引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部2j产生的光而引导至导光筒部3Bj的出射窗部4j。此外，由于反射面9aj的两端侧形成为锥状，因此能够将光聚光在出射窗部4j的外部的规定位置。此外，能够提高从出射窗部4j而来的光的取出效率，并增加出射光的总光量和照射面上的光量。另外，虽然在现有的放电管中，从出射窗而来的光辐射图案根据与该出射窗的距离而变化，有容易产生辐射光微弱缺失的部分的倾向，但在光源Ij中，能够减少那样的光照射图案的部分的缺失部分的产生。其结果，能够高效率地取出所产生的光。图34是表不来自于光源Ij的发光中心Ctl的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图，图43是表不来自于从光源Ij中去除反射筒部9j的光源901 j的发光中心Ctl的各种各样的光出射方向的光成分的光路的图。如图43所示，相对于光轴X辐射角大的光成分La在光源901 j中不全反射而通过密封容器3j或被吸收。相对于此，如图34所示，在光源Ij中，由于使这样的光成分La也在反射面9aj被全反射而起到作为前方照射成分的作用，因此照射光量增多。此外，由于发光中心Ctl侧的反射面9aj成为锥状，因此能够使反射光不成为发散成分而从出射窗部4j被聚光在所期望位置周边。另外，与在光源901 j中被密封容器3j反射但成为发散光的光成分Lb，Ld相关，在光源Ij中能够聚光在所期望位置周边。此外，由于光源Ij的出射窗部4j侧的反射面9aj成为锥状，因此，由于减小相对于光轴X的辐射角，因此能够将光源901j中从出射窗部4j发散的光成分L。作为聚光成分来利用，并且能够将光成分Ld聚光在所期望位置周边的适当位置。其结果，能够将反射筒部9j的反射面9aj做成可以将放射光的多的成分作为聚光成分来利用的构造。再有，通过调整反射筒部9j的反射面9aj的锥状部分的形状，能够将从出射窗部4j而来的出射光不聚光而成为平行光多的分布、或相反变成扩散分布。此外，由于在反射筒部9j的一个端侧的外壁面9b j形成有开口部9c j，因此，能够将由发光部2j所产生的溅射物放出到反射筒部9j的外部，能够抑制溅射物对反射筒部9j的反射面9aj或低温度部的出射窗部4j的附着。其结果，能够谋求长寿命化，并且提高出射窗部4j的光透过率。再有，由于该开口部9cj位于发光筒部3Aj附近，因此，由发光筒部3Aj产生的溅射物在发光筒部3Aj的附近被放出而容易被捕捉。其结果，能够进一步抑制溅射物向出射窗部4j的飞散，从而进一步延长寿命。另外，通过用铝制的金属块构件等的金属构件构成反射筒部9j自身，使镜面度高的反射面的加工变得容易，因而能够有效地将所产生的光聚光。此外，与例如在反射筒部9j的内部形成由金属等构成的反射膜的情况不同，能够抑制反复进行温度上升与下降时的、因构成材料的膨胀系数的差异而产生的反射面9aj的剥离或脱落等所引起的性能劣化或异物产生，能够实现长寿命化。此外，由于反射筒部9j的外壁面9bj与导光筒部3Bj的内壁面13j分离，反射筒部9j的轴方向长度比导光筒部3Bj的轴方向长度短，因此，能够防止由于反射筒部9j与导光筒部3Bj的热膨胀率的差异而造成的反射筒部9j、导光筒部3Bj、玻璃或窗材等的破损。另外，由于反射筒部9j通过被由金属构件构成的定位构件即弹簧构件12j施力而被嵌入于阴极5j的承受构造从而在密封容器3j内被定位，因此，容易进行反射筒部9j相对于发光部2j的毛细管部7j的位置和轴匹配，提高位置精度，能够保持从出射窗部4j而来的光的取出效率。此外，通过采用利用弹簧构件12j对阴极5j挤压的构造，能够使反射筒部9j相对于密封容器3j稳定地固定，并且即使产生沿着反射筒部9j的中心轴方向的热膨胀，也能够通过弹簧构件12 j吸收相对于发光筒部3Aj的位置偏移。这里，虽然也考虑到在放电管的封装之时使导光筒部3Bj与毛细管部7j的位置或角度的关系一致来调整辐射光分布，但是由于在这种情况下，出射窗部4j与毛细管部7j的进深位置差异大，因此位置调整难。在本实施方式中，通过导入反射筒部9j，使导光筒部3Bj与反射筒部9j的位置关系被稳定地确定，通过使反射筒部9j与阴极5j匹配，使反射筒部9j与毛细管部7j的位置或角度的关系也匹配。因此，使导光筒部3Bj与发光中心的位置关系精度高地匹配。此外，通过在反射筒部9 j的外壁面9b j的大致整个面形成热辐射膜IOj，能够在反射筒部9j的内面形成比周边或封入气体更低温的区域，通过在该区域捕捉从发光筒部3Aj而来的溅射物等异物，能够抑制异物向出射窗部4j的扩散和与此相伴的光透过率的降低。另外，通过将这样的光源Ij作为光离子化源而使用在气体色谱法质量分析装置(GC/MS)或液体色谱法质量分析装置(LC/MS)这样的质量分析装置(MS)，可以实现高灵敏度化、窗材的污染的抑制、以及良好的时间响应特性。首先，通过能够飞跃地增加照射面的光量而能够提高与样品的接触概率，与现有的光离子化源相比能够大幅(接近10倍)地提高灵敏度。另外，可以实现适合于各种MS的聚光性，从如下那样方面提高测量灵敏度。S卩，在MS的情况下，可以将用于在离子化室中将离子导入到识别部的电场分布集中照射于有效的部分。另外，在GC/MS的情况下，可以从离子化室的数毫米左右的开口有效地集中导入光。另外，在LC/MS的情况下，可以提高聚光于将离子导入到识别部的开孔附近的离子密度，能够使光离子化源的窗部远离样品的喷出口来抑制窗部的污染，并且由于与现有相比提高了聚光性，因此即使与离子化源远离，灵敏度也不会劣化。即，高密度的光投射到样品的高密度部而能够提高离子化效率从而实现高灵敏度化，能够通过使光离子化源的窗部远离样品的喷出口来抑制窗部的污染，并能够通过聚光于样品的喷出口来加快响应速度。[第11实施方式]图35是本发明的第11实施方式所涉及的光源的结构的截面图，图36 (a)是图35的反射筒部的侧面图，图36 (b)是图35的反射筒部的端面图。该图所示的光源IOlj的反射筒部109 j的定位构造等与第10实施方式的不同。即，在内置于光源IOlj的反射筒部109j，在其外壁面109bj的出射窗部4j侧的端部，固定有作为定位构件的金属带112j。在该金属带112j，具有弹性的多个爪部112aj沿着反射筒部109j的外周而形成，金属带112j通过其端部被重叠熔接而被固定在外壁面109bj上。该金属带112j对爪部112aj赋予沿着反射筒部109j的中心轴的弹性力，爪部112aj自身在与反射筒部109j的中心轴垂直的方向上也具有弹性力。这样的固定有金属带112j的反射筒部109j沿着导光筒部3Bj的内壁面13j而被插入到密封容器3j内，以除了金属带112j以外的外壁面109bj与内壁面13j分离的方式被固定。通过这样的构造，反射筒部109j通过金属带112j的爪部112aj的沿着光轴X的弹性力，形成在其端部的突出部109dj被推碰到阴极5j的环构件5Aj，在密封容器3j内在沿着光轴X的方向上被定位。此外，反射筒部109j通过金属带112j的爪部112aj的垂直于光轴X的方向的弹性力，在其外壁面109bj与导光筒部3Bj的内壁面13j保持一定距离而被分离的状态下在光轴X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒部109j的金属带112j安装部，形成与该带宽度匹配的槽，由此，可以不增大导光筒部3Bj的内径，取得大的从金属带112j至导光筒部3Bj的内壁面13j的距离，并增大爪部112aj的角度，从而能够增强弹性力。通过这样的光源101 j，也能够防止因反射筒部109j与导光筒部3Bj的热膨胀率的差异而引起的反射筒部109j的位置偏移或者反射筒部109j或导光筒部3Bj的破损。另夕卜，由于反射筒部109j被定位构件即金属带112j施力而被嵌入于阴极5j的承受构造从而在密封容器3 j内被定位，因此，容易进行反射筒部9 j相对于发光部2 j的毛细管部7 j的位置和轴匹配，提高位置精度，从而能够保持从出射窗部4j而来的光的取出效率。特别地，在本实施方式中，能够使反射筒部9j与导光筒部3Bj的同轴性稳定地维持。另外，由于反射面9aj的两端侧形成为锥状，因此能够使光聚光在出射窗部4j的外部的规定位置而从出射窗部4j高效率地取出光，从而能够增加出射光的照射面上的光量。另外，由于热辐射膜IOj形成在反射筒部109j的外壁面109bj的一个端侧的一部分，因此能够在接近于发光部2j的反射筒部9j的内侧形成比周边或封入气体更低温的部分，通过在该部分捕捉从发光筒部3Aj而来的溅射物等异物，能够抑制异物向出射窗部4j的扩散和与此相伴的光透过率的降低。再有，本发明不限定于上述的实施方式。例如，在反射筒部9j，109j，通过对金属构件的内壁研磨加工而形成有反射面9aj，109aj，但是也可以通过蒸镀或溅射而成膜反射面。详细而言，对铝等的金属构件或玻璃、陶瓷等的构件实施切削加工或成型加工而制作基底，并根据需要对该基底实施研磨加工后，可以在基底的镜面蒸镀或溅射铝、铑、电介质多层膜等而形成反射面。另外，反射筒部9j，109j由多个金属块构件形成，但也可以一体地形成。另外，在上述的实施方式中，通过推碰至阴极5j的承受构造而固定反射筒部9j, 109j，但也可以通过激光熔接或点熔接等而直接固定在承受构造。此时，在难以将反射筒部直接熔接在固定用构件的情况下，也可以利用嵌合等将可熔接的构造体固定在反射筒部，通过熔接该构造体与固定构件来进行固定。再有，在激光熔接的情况下，也可以隔着发光筒部3Aj的玻璃构件来进行熔接。例如，在图37和图38中，表示反射筒部9j通过激光熔接或点熔接而固定在阴极5j的承受构造的构造。详细而言，通过压入等将在由铝构成的反射筒部9j的主体部的一个端侧具备突出部9dj的由不锈钢构成的筒状构件固定，通过激光熔接或点熔接将该筒状构件与阴极5j的孔5bj或固定构件5cj的接触部分熔接并彼此固着。另外，作为固定在反射筒部9j的前端的熔接用的构造体，可以采用各种各样的形状的构造体。例如，如图39和图40所示的本发明的变形例所涉及的反射筒部209j，309j那样，能够将形成有开口部209cj，309cj和突出部209dj，309dj的不锈钢制的构造体215j，315j压入以及固定于反射筒部209j，309j的主体部，将其与阴极5j的承受构造熔接。另外，如图41和图42所示，在反射筒部9j没有开口部的情况下，仅压入没有相同的开口部的由不锈钢构成的端部环14j，将该端部环14j与阴极5j的孔5bj或固定构件5cj的接触部分熔接并固定。替代上述那样的将阴极5j与承受构造熔接的固定方法，也可以采用对承受构造与反射筒部进行直接螺纹加工而将两者拧紧，或者在承受构造的外周方向进行螺纹加工而用螺丝固定等方法。另外，在光源lj，IOlj中，在反射筒部9j，109j的外壁面9bj，109j的一部分或全部形成有热辐射膜10j，相反，也可以在外壁面9bj，109j的另一个端侧形成与反射筒部9j, 109j的原材料相比热辐射率更低的材料。由此，相对地提高一个端侧的放热性，能够期待与热辐射膜IOj同样的效果。另外，也可以用与构成另一个端侧的金属块构件的材料相比热辐射率更大的材料来构成构成反射筒部9j，109j的一个端侧的金属块构件的材料。[第12实施方式]图44是本发明的第12实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所表示的光源Ik是作为质量分析装置的光离子化源等的分析仪器用光源或真空除电用光源而使用的所谓的氘灯。该氘灯Ik具备一体地连接有收纳有使氘气放电而产生光的发光部2k的大致圆筒状的发光筒部(第I筐体)3Ak、以及与该发光筒部3Ak连通并且从发光筒部3Ak的侧壁沿着发光部2k所产生的光的光轴X而突出的大致圆筒状的导光筒部(第2筐体)3Bk的玻璃制的密封容器3k。在该密封容器3k，氘气被封入有数百Pa左右。更详细而言，导光筒部3Bk的沿着光轴X的方向的一个端侧与发光筒部3Ak —体化并连通，另一个端侧被使从发光部2k产生的光出射到外部的出射窗部4k所封闭。该出射窗部4k的材质例如是MgF2 (氟化镁)、LiF (氟化锂)、石英玻璃、蓝宝石玻璃等。收纳在发光筒部3Ak的发光部2k由阴极部5k、阳极部6k、在配置在阳极部6k与阴极部5k之间的中心部形成有开孔的放电通道限制部7k、以及围绕这些而配置的收纳盒8k所构成。在该收纳盒8k的导光筒部3Bk侧的面，用于取出由发光部2k所产生的光的矩形形状的光通过口 8ak以与导光筒部3Bk的出射窗部4k相对的方式形成,并且固定有由以围绕该光通过口 8ak的方式沿着导光筒部3Bk的侧壁而以圆形形状延伸的壁部构成的固定环Sb。这样的发光部2k，在阴极5k与阳极6k之间施加电压时，使其间所存在的氘气电离并放电，通过放电通道限制部7将由此形成的等离子状态缩窄而变成高密度的等离子状态，将由此所产生的光(紫外光)从收容盒8k的光通过口 8ak朝向沿着光轴X的方向出射。再有，上述的发光部2k由竖立设置在发光筒部3Ak的端面所设置的杆部的杆销(未图不)，保持在发光筒部3Ak内。S卩，该光源Ik是光轴X相对于发光筒部3Ak的管轴交叉的侧面型的光源。在这样的密封容器3k内的出射窗部4k与连接发光筒部3Ak和导光筒部3Bk的部位之间，插入固定有大致圆筒状的反射筒部(筒状构件)9k。如图45所示，该反射筒部9k组合有多个铝制的金属块构件而成为具有比导光筒部3Bk的内径更小的外径的大致圆筒状的形状。另外，该反射筒部9k自身的内壁面被形成为沿着反射筒部9k的中心轴线而为曲面或倾斜角阶段性地变化的多段面的反射面9ak。即，反射筒部9k的中心轴方向的两端形成为锥状，以使该反射面9ak能够将光聚光于出射窗部4k的外侧的所期望的面或点。更具体而言，以从反射筒部9k的长度方向的中心部至发光筒部3Ak侧的端部由反射面9ak所包围的空间的直径缓缓缩小的方式，反射面9ak相对于反射筒部9k的中心轴即光轴X倾斜而形成。另外，以从反射筒部9k的长度方向的中心部到出射窗部4k侧的端部由反射面9ak所包围的空间的直径缓缓缩小的方式，反射面9ak相对于反射筒部9k的中心轴倾斜而形成。再有，反射面9ak的锥状部可以不是将反射筒部9k的中心轴方向的两端而是将任意一方、例如仅将发光部2k侧(一个端侧)形成为上述那样的锥状，在出射窗部4k侧(另一个端侧)将反射面9ak相对于反射筒部9k的中心轴平行而形成。该反射面9ak以能够在所期望的面或点将光聚光或发散的方式设定。这样的反射面9ak被加工成使由发光部2k产生的光可以正反射的镜面状态，例如通过将金属块构件切削加工，在对其内壁实施抛光研磨、化学研磨、电解研磨、利用从这些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用结合这些研磨的研磨方法的研磨之后，实施洗净处理或用于除去杂质气体成分的真空处理等而形成。在本实施方式中，反射筒部9k组合2个构件而形成，在像这样由多个金属块构件形成反射面9ak的情况下，由于能够减小每个金属块构件的长度与内径之比(长宽比)，因此加工整形时容易得到平坦度，其结果，反射面9ak的镜面度变高。另外，在反射筒部9k的外壁面(侧面)9bk的长度方向的一个端侧的缘部，形成有朝向其外壁面9bk的另一个端侧而沿着反射筒部9k的中心轴被切口的开口部9ck。由于像这样通过切口而设置开口部9ck，因此开口部的加工容易。另外，详细而言，开口部9ck沿着反射筒部9k的一个端侧的周缘而等间隔地形成在3个地方，相邻接的开口部9ck之间3个地方形成有用于嵌入于发光部2k的固定环8bk的突出部9dk。像这样等间隔地形成开口部9ck，其结果，由于突出部9dk也被等间隔地设置，因此，也能够确保突出部9dk自身的强度和固定时的强度。此外，在反射筒部9k的外壁面9bk的大致整个面，形成有包含高热辐射率的材料的热辐射膜10k。作为这样的热辐射膜IOk的材料，可以使用与氧化铝等的反射筒部9k的材料相比热辐射率更高的材料。另外，热辐射膜IOk例如通过由蒸镀或涂布等将构成热辐射膜IOk的材料层叠在反射筒部9k的外壁面9bk上而形成，但特别在像本实施方式那样反射筒部9k由铝构成的情况下，也可以通过对反射筒部9k的外壁面9bk进行氧化处理来形成作为热辐射膜IOk的氧化铝的层。另外，在反射筒部9k的外壁面9bk的长度方向的另一个端侧的周缘部，沿着其外壁面9bk，以成为台阶状的突出部的方式形成有被切口成圆形形状的切口部Ilk。该切口部Ilk是为了在密封容器3k内定位反射筒部9k而设置的。这样的反射筒部9k，直到突出部9dk与发光部2k的收纳盒8k相接为止，从形成有开口部9ck的一个端侧的缘部，沿着导光筒部3Bk的管轴(光轴X)而被插入，并且在弹簧构件12k沿着外壁面9bk而安装于切口部Ilk之后，导光筒部3Bk的另一个端侧被出射窗部4k封闭(图44和图46)。此时，反射筒部9k在其外壁面9bk与导光筒部3Bk的内壁面13k分离的状态下被嵌入到收纳盒8k的固定环8bk的内侧(图46)。该弹簧构件12k是金属构件，例如是由耐热性高的不锈钢或铬镍铁合金构成的反射筒部9k定位用的构件，配置在切口部Ilk与出射窗部4k之间，具有通过对反射筒部9k沿着光轴X从出射窗部4k侧向发光部2k侧施力而推碰至收纳盒8k的功能。由此，反射筒部9k在密封容器3k内的出射窗部4k与发光部2k之间，一个端侧的突出部9dk与发光部2k的收纳盒8k相接并且另一个端侧被插入到导光筒部3Bk而接近于出射窗部4k的状态下被定位。另外，在收纳盒8k的固定环8bk，在与反射筒部9k的开口部9ck对应的位置形成有开口 8ck，若反射筒部9k嵌入到收纳盒8k的固定环8bk，则在位于发光筒部3Ak内的反射筒部9k的外壁面9bk的端部，贯通反射面9ak的开口部9ck在经由开口 Sck而与发光筒部3Ak的内部空间连通的状态下配置有多个。根据以上说明的光源lk，通过将从发光筒部3Ak的发光部2k产生的光，引导至从与发光筒部3Ak连通的导光筒部3Bk到发光部2k为止被插入的反射筒部9k的内部，从而从设置在导光筒部3Bk的出射窗部4k出射。这里，由于在反射筒部9k的内壁面形成有反射面9ak，因此，从发光部2k出射的光被反射筒部9k的内部的反射面9ak反射并被从导光筒部3Bk的一个端侧引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部2k产生的光而引导至导光筒部3Bk的出射窗部4k。此时，通过适当地设定反射面9ak的倾斜角，也能够将出射窗部4k的外部的出射光的分布变成平行光、发散光、以及聚焦光，还能够提高规定的照射面上的光强度的均匀性。与此同时，能够提高从出射窗部4k而来的光的取出效率，并能够增加出射光的总光量和照射面上的光量。另外，在现有的氘灯中，从出射窗而来的光辐射图案根据与该出射窗的距离而变化，有容易产生辐射光微弱缺失的部分的倾向，但在光源Ik中，能够减少那样的光照射图案的缺失部分的产生。另外，由于在反射筒部9k的一个端侧的外壁面9bk (侧面)形成有开口部9ck，在固定环8bk的对应的位置也形成有开口 8ck，因此，能够将由发光部2k所产生的溅射物放出到反射筒部9k的外部，能够抑制溅射物对反射筒部9k的反射面9ak或低温度部的出射窗部4k的附着。其结果，能够谋求长寿命化，并且能够提高出射窗部4k的光透过率。再有，由于该开口部9ck位于发光筒部3Ak内，因此，由发光部2k所产生的溅射物在发光筒部3Ak内被放出而在发光筒部3Ak内容易被捕捉。其结果，能够进一步抑制溅射物向出射窗部4k的飞散，从而进一步延长寿命。另外，通过用铝制的金属块构件等的金属构件构成反射筒部9k自身，使镜面度高的反射面的加工变得容易，因而能够有效地将所产生的光聚光。此外，与例如在反射筒部9k的内部形成由金属等构成的反射膜的情况不同，能够抑制反复进行温度上升与下降时的、因构成材料的膨胀系数的差异而产生的反射面9ak的剥离或脱落等所引起的性能劣化或异物产生，能够实现长寿命化。而且，由于所产生的紫外光不透过，另外，不会由于紫外光而劣化，因此，能够更高效率地取出所产生的光。此外，由于反射筒部9k的外壁面9bk与导光筒部3Bk的内壁面13k分离，因此，能够防止因反射筒部9k与导光筒部3Bk的热膨胀率的差异而引起的反射筒部9k的位置偏移或者反射筒部9k或导光筒部3Bk的破损。另外，由于反射筒部9k通过被由金属构件构成的定位构件即弹簧构件12k施力而被嵌入于收纳盒8k的固定环8bk从而在密封容器3k内被定位，因此，不会由于所产生的紫外光而劣化，使反射筒部9k相对于密封容器3k的位置稳定化，能够保持从出射窗部4k而来的光的取出效率。这里，通过采用利用弹簧构件12k对收纳盒8k挤压的构造，能够使反射筒部9k相对于密封容器3k稳定地固定，并且即使产生沿着反射筒部9k的中心轴方向的热膨胀，也能够通过弹簧构件12k吸收相对于发光筒部3Ak的位置偏移。此外，如图45所示，通过在反射筒部9k的外壁面9bk的大致整个面形成热辐射膜10k，能够在反射筒部9k的内面形成比周边或封入气体更低温的区域，通过在该区域捕捉从发光筒部3Ak而来的溅射物等异物，能够抑制异物向出射窗部4k的扩散和与此相伴的光透过率的降低。另外，通过将这样的光源Ik作为光离子化源而使用在气体色谱法质量分析装置(GC/MS)或液体色谱法质量分析装置(LC/MS)这样的质量分析装置(MS)，可以实现高灵敏度化、窗材的污染的抑制、以及良好的时间响应特性。首先，通过能够飞跃地增加照射面的光量而能够提高与样品的接触概率，与现有的光离子化源相比能够大幅(接近10倍)地提高灵敏度。另外，可以实现适合于各种MS的聚光性，从如下那样的方面提高测量灵敏度。即，在MS的情况下，可以将用于在离子化室中将离子导入到识别部的电场分布集中照射于有效的部分。另外，在GC/MS的情况下，可以从离子化室的数毫米左右的开口有效地集中导入光。另外，在LC/MS的情况下，可以提高聚光于将离子导入到识别部的开孔附近的离子密度，能够使光离子化源的窗部远离样品的喷出口来抑制窗部的污染，并且由于与现有相比提高了聚光性，因此即使与离子化源远离，灵敏度也不会劣化。即，高密度的光投射到样品的高密度部而能够提高离子化效率从而实现高灵敏度化，能够通过使光离子化源的窗部远离样品的喷出口来抑制窗部的污染，并能够通过聚光于样品的喷出口来提高响应速度。[第13实施方式]图47是本发明的第13实施方式所涉及的光源的结构的截面图。图48 Ca)是图47的反射筒部的侧面图，图48 (b)是图47的反射筒部的端面图。该图所示的光源IOlk的反射筒部109k的定位构造与第12实施方式的不同。即，在内置于光源IOlk的反射筒部109k，在其外壁面109bk的出射窗部4k侧的端部，固定有作为定位构件的金属带112k。在该金属带112k，具有弹性的多个爪部112ak沿着反射筒部109k的外周而形成,金属带112k通过其端部被重叠熔接而被固定在外壁面109bk上。这样的反射筒部109k沿着导光筒部3Bk的内壁面13k而被插入到密封容器3k内，以除了金属带112k以外的外壁面109bk与内壁面13k分离的方式被固定。通过这样的构造，反射筒部109k通过金属带112k的爪部112ak的弹性力，形成在其端部的突出部109dk在被嵌入于熔接在收纳盒8k的平板状的固定环8bk的开口部的状态下被推碰至收纳盒8k，在密封容器3k内在沿着光轴X的方向上被定位。此外，反射筒部109k通过金属带112k的爪部112ak，在其外壁面109bk与导光筒部3Bk的内壁面13k保持一定距离而被分离的状态下在光轴X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒109k的金属带112k安装部，形成与该带的宽度匹配的槽，由此，可以不增大导光筒部3Bk的内径，取得大的从金属带112k至导光筒部3Bk的内壁面13k的距离，并增大爪部112ak的角度，从而能够增强爪部112ak的弹性力。通过这样的光源101k，也能够防止因反射筒部109k与导光筒部3Bk的热膨胀率的差异而引起的反射筒部109k的位置偏移或者反射筒部109k或导光筒部3Bk的破损。另夕卜，由于反射筒部109k被定位构件即金属带112k施力而被嵌入于收纳盒8k的固定环8b从而在密封容器3k内被定位，因此，使反射筒部109k相对于密封容器3k的位置稳定化，能够保持从出射窗部4k而来的光的取出效率。此外，由于在反射筒部109k的一个端侧的外壁面109bk形成有开口部109ck，在固定环Sbk不被堵塞而使开口露出，因此，能够将由发光筒部3Ak所产生的溅射物放出到反射筒部109k的外部，能够抑制溅射物对反射筒部109k的反射面109ak或低温度部的出射窗部4k的附着。[第14实施方式]图49是表示本发明的第14实施方式所涉及的光源的结构的截面图。该图所示的光源201k是将本发明适用于毛细放电管的情况下的例子。光源201k具备连接有发光筒部203Ak与导光筒部203Bk的玻璃制的密封容器203k。在该发光筒部203Ak，收纳有由阴极部205k、阳极部206k、以及配置在阳极部206k与阴极部205k之间的毛细管207k构成的发光部202k。再有，密封容器203k内封入有氢(H2)、氙(Xe)、氩(Ar)、氪(Kr)等气体。这样的发光部202k，若在阴极部205k与阳极部206k之间施加电压则使其间所存在的气体电离、放电，使电子聚焦在毛细管207k内而变成等离子状态，由此使光沿着光轴X朝向导光筒部203Bk侧出射。例如，在使用Kr作为封入气体且使用MgF2作为出射窗部4k的材料的情况下，可以进行117/122nm的波长下的发光，在使用Ar作为封入气体且使用LiF作为出射窗部4k的材料的情况下，可以进行105nm的波长下的发光。该阴极部205k也具有作为配置在分隔发光筒部203Ak与导光筒部203Bk的部位的连接构件的作用。详细而言，阴极部205k成为:以与导光筒部203Bk的出射窗部4k相对的方式形成的、为了反射筒部9k的定位用而设置与反射筒部9k的外径形状匹配的尺寸的凹陷的固定环205Ak、以及用于密封于导光筒部203Bk且与固定环205Ak匹配而可以真空保持地进行接合的密封环205Bk的双层构造。再有，也可以另外安装反射筒部9k相对于阴极部205k的定位用的构件。
在反射筒部9k组装到这样的光源201k的密封容器203k时，将阴极部205k的固定环构件205Ak和密封环205Bk分别接合于发光筒部203Ak和导光筒部203Bk。然后，在一边将反射筒部9k嵌入到固定环205Ak的内侧一边以与导光筒部203Bk的内壁面分离的方式插入之后，使固定环构件205Ak和密封环205Bk重叠而可以真空保持地进行接合来进行组装。再有，也可以在将反射筒部9k熔接于阴极部205k并固定之后，通过将导光筒部203Bk可以真空保持地接合于阴极部205k来进行组装。通过这样的光源201k，也能够防止因反射筒部9k与导光筒部203Bk的热膨胀率的差异而引起的反射筒部9k的位置偏移或者反射筒部9k或导光筒部203Bk的破损。另外，由于反射筒部9k被定位构件即弹簧构件12k施力而被嵌入于阴极部205k的固定环205Ak从而在密封容器203k内被定位，因此，使反射筒部9k相对于密封容器203k的位置稳定化，能够保持从出射窗部4k而来的光的取出效率。此外，由于在反射筒部9k的一个端侧形成开口部9ck，因此，能够将由发光筒部203Ak所产生的溅射物放出到反射筒部9k的外部，能够抑制溅射物对反射筒部9k的反射面9ak或低温度部的出射窗部4k的附着。另外，通过在反射筒部9k的外壁面9bk的长度方向的一个端侧形成热辐射膜10k，能够在接近于发光部202k的反射筒部9k的内侧形成比周边或封入气体更低温的部分，通过在该部分捕捉从发光筒部203Ak而来的溅射物等异物，能够抑制异物向出射窗部4k的扩散和与此相伴的光透过率的降低。特别地，通过在接近于发光筒部203Ak的外壁面9bk的一部分形成热辐射膜10k，外壁面9bk的一个端侧的热辐射率与外壁面9bk的另一个端侧的热辐射率相比更大，其结果，由于在接近于发光筒部203Ak的一侧、即在离出射窗部4k远的位置容易附着溅射物，因此更加降低了出射窗部4k的污染。再有，本发明不限定于上述的实施方式。例如，在反射筒部9k，109k，通过对金属构件的内壁研磨加工而形成有反射面9ak，109ak，但是也可以通过蒸镀或溅射而成膜反射面。详细而言，对铝等的金属构件或玻璃、陶瓷等的构件实施切削加工或成型加工而制作基底，并根据需要对该基底实施研磨加工后，可以在基底的镜面蒸镀或溅射铝、铑、电介质多层膜等而形成反射面。另外，反射筒部9k，109k由多个金属块构件形成，但也可以一体地形成。另外，作为反射筒部9k，109k的开口部9ck，109ck以及突出部9dk，109dk的形状，能够采用各种各样的形状。例如，如图50所示的本发明的变形例所涉及的反射筒部209k那样，也可以沿着外壁面9bk的一个端侧的周缘形成有2个地方的开口部209ck，以夹着该2个地方的开口部9ck的方式形成有2个地方的突出部209dk。另外，在上述的实施方式中，通过将反射筒部9k，109k推碰至设置在发光筒部3Ak, 203Ak侧的固定用的构件而固定，但也可以通过激光熔接或点熔接等而直接固定在固定用的构件。此时，在难以直接将反射筒部熔接在固定用构件的情况下，也可以利用嵌合等将可熔接的构造体固定在反射筒部，通过熔接该构造体与固定构件来进行固定。再有，在激光熔接的情况下，也可以隔着发光筒部3Ak，203Ak的玻璃构件来进行熔接。在图51中，作为本发明的变形例即光源301k，表示用由2种不同材料构成的金属块构件构成的反射筒部309k通过激光熔接或点熔接而固定于发光部2k的收纳盒8k的构造。详细而言，将具有开口部309Ck的不锈钢制的固定部压入并固定于由铝构成的反射筒部309k的主体部的发光部2k侧的端部，通过激光熔接或点熔接将该固定部与收纳盒8k的固定环8bk的接触部分熔融并固定。在该图所示的光源301k中，缩短了导光筒部303Bk，但能够通过使反射筒部309k与其匹配地设计来使出射光的分布成为平行光或扩散光，并且能够提高照射面上的光强度的均匀性。另外，如光源301k那样，将反射筒部309k的突出部309dk以在不阻碍荷电粒子的流动的范围内靠近放电通道限制部7k的方式在收纳盒8k内延伸而配置。由此，能够从发光部2k的内部进行利用反射筒部309k的溅射物的捕捉，能够进一步抑制溅射物对低温度部的出射窗部4k的附着。此外，若以包含反射筒部309k的突出部309dk的固定部的内壁面成为反射面的方式形成，则能够不损失从发光部2k产生的光而引导到出射窗部4k。另外，作为固定在反射筒部309k的一个端侧的熔接用的构造体，可以采用各种各样的形状的构造体。例如，图52和图53中，表示将构成图51的反射筒部309k的金属块构件中、仅作为与收纳盒8k的固定环8bk熔接固定的固定部的金属块构件作为本发明的变形例。如这些图所示的反射筒部409k，509k那样，能够将具有与反射筒部9k的开口部9ck、突出部9dk同样形成的开口部409ck和突出部409dk的不锈钢制的固定部415k、或具有与反射筒部209k的开口部209ck、突出部209dk同样形成的开口部509ck和突出部509dk的不锈钢制的固定部515k压入并固定在反射筒部409k的主体部，并将其与收纳盒8k的固定环8bk熔接。另外，如图54和图55所示，也可以在反射筒部9k的突出部9dk的前端部的外周，以突出部9dk的前端突出的方式固定不锈钢制的C型止轮等的止轮615k，将该止轮615k的突出部9dk侧的面与收纳盒8k的反射筒部固定用构件熔接而使反射筒部9k相对于发光部2k固定。此外，如图56所示，也可以将不锈钢制的薄片材715k带状地卷绕在反射筒部9k的突出部9dk的外周部并使其终端部重叠并熔接而固定。在该薄片材715k的突出部9dk的前端侧，设置有相对于反射筒部9k的中心轴垂直地延伸的多个凸缘部715ak，可以通过将该凸缘部715ak与收纳盒8k的反射筒部固定用构件熔接而固定反射筒部9k。另外，也可以通过不设置凸缘部715k而将薄片材715k与收纳盒8k的反射筒部固定用构件的接近部分熔接而固定反射筒部9k。另外，在该薄片材715k，匹配地设置有多个可以将溅射物放出到与开口部9ck对应的地方的孔部715bk。另外，在光源lk，101k，201k中，在反射筒部9k，109k的外壁面9bk，109k的一部分或全部形成有热辐射膜10k，相反，也可以在外壁面9bk，109k的另一个端侧形成与反射筒部9k, 109k的原材料相比热辐射率更低的材料。由此,相对地提高一个端侧的放热性,能够期待与热辐射膜IOk同样的效果。另外，也可以用与构成另一个端侧的金属块构件的材料相比热辐射率更大的材料来构成构成反射筒部9k, 109k的一个端侧的金属块构件的材料。这里，优选筒状构件的外壁面与第2筐体的内壁面分离。在这种情况下，能够防止因筒状构件与第2筐体的热膨胀率的差异而引起的筒状构件的位置偏移或者筒状构件或第2筐体的破损，能够使从出射窗部而来的光的取出效率稳定地提高。另外，优选筒状构件的第I筐体侧的反射面形成为锥状。在这种情况下，反射面上的光的反射角变大，使反射次数减少，由此能够使从出射窗部而来的光的取出效率稳定地提闻。另外，优选进一步设置有用于筒状构件的定位的定位构件。若具备该定位构件，则能够使筒状构件相对于第I筐体和第2筐体的位置稳定化，并使从出射窗部而来的光的取出效率稳定地提高。另外，定位构件优选包含从第2筐体的另一个端侧向一个端侧对筒状构件施力的弹簧构件、以及被弹簧构件施力的筒状构件所推碰的固定构件。如果采用该结构，则能够使筒状构件相对于第I筐体和第2筐体稳定地固定，从而能够使从出射窗部而来的光的取出效率稳定地提高。此外，定位构件优选设置于连接第I筐体与第2筐体之间的连接构件上。这样做，也能够使筒状构件相对于第I筐体和第2筐体稳定地固定，并能够使从出射窗部而来的光的取出效率稳定地提高。或者，本发明的光源优选还具备被封入到第I筐体和第2筐体的氘气，发光部具有阴极、阳极和放电通道限制部，通过放电产生光，第2筐体的一个端侧以与第I筐体连通的方式连接，筒状构件的一个端侧与第I筐体内的发光部相接，另一个端侧被插入到第2筐体内，筒状构件的反射面的至少一部分形成为锥状。根据这样的光源，第I筐体内的发光部的阴极与阳极之间所产生的放电被放电通道限制部缩窄而产生光，通过将由发光部所产生的光引导至从与第I筐体连通的第2筐体的出射窗部到发光部被插入的筒状构件的内部，从出射窗部出射。这里，由于在筒状构件的内壁面形成有反射面，因此，从发光部出射的光被筒状构件的内部的反射面反射并被从第2筐体的一个端侧引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部产生的光而引导至第2筐体的出射窗部。此外，由于反射面的至少一部分形成为锥状，因此能够将光聚光在出射窗部的外部的规定位置。其结果，能够高效率地取出所产生的光。筒状构件优选由金属材料构成。若具备这样的筒状构件，则容易进行镜面度高的反射面的加工，能够更高效率地取出所产生的光。另外，筒状构件的反射面的一个端侧和另一个端侧优选形成为锥状。在这种情况下，能够进一步提高所期望的位置的光的照射强度，能够更高效率地取出所产生的光。另外，优选还具备从第2筐体的另一个端侧向一个端侧对筒状构件施力的由金属材料构成的弹簧构件、以及嵌入有被弹簧构件施力的筒状构件且以包围发光部的开口部的方式设置的固定构件。若采用该结构，则不会由于所产生的紫外光而劣化，能够使筒状构件相对于第I筐体和第2筐体稳定地固定。此外，由于筒状构件嵌入于发光部的固定构件，因此可靠地将来自于发光部的光引导至筒状构件的内部，能够更高效率地取出产生的光。此外，优选在发光部形成有插入有筒状构件的端部的孔部。若具备该孔部，则由于筒状构件进一步接近发光部的内部而配置，因此能够更高效率地取出所产生的光。此外，优选在筒状构件的一个端侧的侧面，形成有朝向反射面贯通的开口部。若这样做，则能够将由发光部产生的溅射物放出到筒状构件的外部，能够抑制溅射物对筒状构件的反射面或出射窗部的附着。其结果，能够更高效率地取出所产生的光。另外，优选筒状构件的外壁面由与筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料构成。若采用该结构，筒状构件容易进一步被放热，能够进一步抑制出射窗部的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。此外，也可以在筒状构件的外壁面的大致整个面，形成有包含与筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜，在这种情况下，能够容易地提高筒状构件的外壁面的热辐射率，筒状构件容易进一步被放热，能够进一步抑制出射窗部的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。另外，优选筒状构件的一个端侧的热辐射率比筒状构件的另一个端侧的热辐射率大。若采用该结构，则由于能够进一步在接近于发光部的部分捕捉溅射物，因此能够进一步抑制筒状构件的反射面的大部分和出射窗部上的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。此外，也可以在筒状构件的一个端侧的外壁面形成有包含与筒状构件的另一个端侧的外壁面的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜，在这种情况下，由于能够容易使一个端侧的外壁面的热辐射率比另一个端侧的外壁面的热辐射率大，能够进一步在靠近发光部的部分捕捉溅射物，因此能够进一步抑制筒状构件的反射面的大部分和出射窗部上的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。或者，在本发明的光源中，优选发光部具有分别具有开口的阴极和阳极、以及配置在阴极与阳极之间的毛细管部，通过放电产生光，第I筐体以阴极和阳极的开口与毛细管部配置在同轴上的方式将发光部保持在内部，第2筐体的一个端侧以与第I筐体连通的方式连接，筒状构件的一个端侧与第I筐体内的阴极相接，另一个端侧被插入到第2筐体内，筒状构件的反射面的至少一部分形成为锥状。根据这样的光源，第I筐体内的发光部的阴极与阳极之间所产生的放电被毛细管部缩窄而产生光，从发光部通过阴极的开口而出射的光，被引导至从与第I筐体连通的第2筐体的出射窗部到发光部为止被插入的筒状构件的内部，从出射窗部出射。这里，由于在筒部构件的内壁面形成有反射面，因此，从发光部出射的光被筒部构件的内部的反射面反射并被从第2筐体的一个端侧引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部产生的光而引导至第2筐体的出射窗部。此外，由于反射面的至少一部分形成为锥状，因此能够将光聚光在出射窗部的外部的规定位置。其结果，能够高效地取出所产生的光。筒状构件优选由金属材料构成。若具备这样的筒状构件，则容易进行镜面度高的反射面的加工，能够将来自于发光部的光高效地聚光。另外，筒状构件的反射面的一个端侧和另一个端侧优选形成为锥状。在这种情况下，能够进一步提高所期望的位置上的光的照射强度，能够高效率地取出所产生的光。此外，优选还具备从第2筐体的另一个端侧向一个端侧对筒状构件施力的弹簧构件。若采用该结构，则能够使筒状构件相对于阴极稳定地固定。其结果，通过可靠地将来自于发光部的光引导至筒状构件的内部，能够更高效率地取出产生的光。此外，优选在发光部形成有插入有筒状构件的端部的孔部。若具备该孔部，则由于筒状构件进一步接近发光部的内部而配置，因此能够更高效率地取出所产生的光。此外，在筒状构件的一个端侧的侧面，优选形成有朝向反射面贯通的开口部。若这样做，则能够将由发光部产生的溅射物放出到筒状构件的外部，能够抑制溅射物对筒状构件的反射面或出射窗部的附着。其结果，能够更高效率地取出所产生的光。另外，优选筒状构件的外壁面由与筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料构成。若采用该结构，则筒状构件容易进一步被放热，能够进一步抑制出射窗部上的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。此外，也可以在筒状构件的外壁面的大致整个面，形成有包含与筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜，在这种情况下，能够容易地提高筒状构件的外壁面的热辐射率，筒状构件容易进一步被放热，能够进一步抑制出射窗部上的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。
另外，优选筒状构件的一个端侧的热辐射率比筒状构件的另一个端侧的热辐射率大。若采用该结构，则由于能够进一步在接近于发光部的部分捕捉溅射物，因此能够进一步抑制筒状构件的反射面的大部分和出射窗部上的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。此外，也可以在筒状构件的一个端侧的外壁面形成有包含与筒状构件的另一个端侧的外壁面的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜，在这种情况下，由于能够容易使一个端侧的外壁面的热辐射率比另一个端侧的外壁面的热辐射率大，并且能够进一步在靠近发光部的部分捕捉溅射物，因此能够进一步抑制筒状构件的反射面的大部分和出射窗部上的溅射物的附着，能够更高效率地取出所产生的光。或者，在本发明的光源中，优选发光部通过放电产生光，第2筐体的一个端侧以与第I筐体连通的方式连接，筒状构件的一个端侧与第I筐体内的发光部相接，另一个端侧被插入到第2筐体内，在筒状构件的一个端侧的侧面形成有朝向反射面贯通的开口部。根据这样的光源，从第I筐体内的发光部发出的光，被引导至从与第I筐体连通的第2筐体内到发光部为止被插入的筒状构件的内部，由此从设置于第2筐体的出射窗部出射。这里，由于在筒部构件的内壁面形成有反射面，因此，从发光部出射的光被筒部构件的内部的反射面反射并被从第2筐体的一个端侧引导至另一个端侧，其结果，能够不损失从发光部发出的光而引导至第2筐体的出射窗部。此外，由于在筒状构件的一个端侧形成有开口部，因此能够将由发光部产生的溅射物放出到筒状构件的外部，能够抑制溅射物对筒状构件的反射面或出射窗部的附着。其结果，能够谋求长寿命化，并且能够提高从出射窗部而来的光的取出效率。筒状构件的开口部优选配置在第I筐体内。在这种情况下，由发光部产生的溅射物被放出到第I筐体内，因此能够进一步抑制向出射窗部的飞散，能够更进一步地延长寿命O另外，筒状构件的开口部优选通过对筒状构件的一个端侧的缘部切口而形成。若具备该开口部，由于能够进一步在靠近发光部的部分放出溅射物，因此能够进一步抑制筒状构件的反射面的大部分和出射窗部上的溅射物的附着，能够更进一步地延长寿命。另外，优选沿着筒状构件的一个端侧的周缘而等间隔地形成有多个开口部。若采用该结构，则由于能够高效率地将溅射物放出，因此能够进一步抑制向出射窗部的飞散，能够更进一步地延长寿命。另外，筒状构件的外壁面优选由与筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料构成。若采用该结构，筒状构件容易进一步被放热，能够进一步抑制出射窗部上的溅射物的附着，能够更进一步地延长寿命。此外，也可以在筒状构件的外壁面的大致整个面，形成有包含与筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜，在这种情况下，能够容易地提高筒状构件的外壁面的热辐射率，筒状构件容易进一步被放热，能够进一步抑制出射窗部上的溅射物的附着，能够更进一步地延长寿命。另外，筒状构件的一个端侧的热辐射率优选比筒状构件的另一个端侧的热辐射率大。若采用该结构，则由于能够进一步在接近于发光部的部分捕捉溅射物，因此能够进一步抑制筒状构件的反射面的大部分和出射窗部上的溅射物的附着，能够更进一步地延长寿命。此外，也可以在筒状构件的一个端侧的外壁面形成有包含与筒状构件的另一个端侧的外壁面的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜，在这种情况下，由于能够容易使一个端侧的外壁面的热辐射率比另一个端侧的外壁面的热辐射率大，并且能够进一步在靠近发光部的部分捕捉溅射物，因此能够进一步抑制筒状构件的反射面的大部分和出射窗部上的溅射物的附着，能够更进一步地延长寿命。产业上的可利用性本发明以使内部所产生的光出射的光源作为使用用途，能够使从光出射窗而来的光的取出效率稳定地提高。
权利要求
1.一种光源，其特征在于， 具备: 第I筐体，收纳产生光的发光部； 第2筐体，一个端侧连接于所述第I筐体，并将从所述发光部产生的所述光引导至设置在另一个端侧的出射窗部；以及 筒状构件，插入固定在所述第2筐体的所述出射窗部与连接所述第I筐体和所述第2筐体的部位之间且内壁面形成为反射所述光的反射面。
2.如权利要求1所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的外壁面与所述第2筐体的内壁面分离。
3.如权利要求1或2所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的所述第I筐体侧的所述反射面形成为锥状。
4.如权利要求1 3中的任一项所述的光源,其特征在于， 还设置有用于所述筒状构件的定位的定位构件。
5.如权利要求4所述的光源，其特征在于， 所述定位构件包含: 从所述第2筐体的所述另一个端侧向所述一个端侧对所述筒状构件施力的弹簧构件； 以及 被所述弹簧构件施力的所述筒状构件所推碰的固定构件。
6.如权利要求4所述的光源，其特征在于， 所述定位构件设置在连接所述第I筐体与所述第2筐体之间的连接构件上。
7.如权利要求1所述的光源，其特征在于， 还具备被封入到所述第I筐体和所述第2筐体的氘气， 所述发光部具有阴极、阳极和放电通道限制部，通过放电产生光， 所述第2筐体的一个端侧以与所述第I筐体连通的方式连接， 所述筒状构件的一个端侧与所述第I筐体内的所述发光部相接，另一个端侧被插入到所述第2筐体内， 所述筒状构件的所述反射面的至少一部分形成为锥状。
8.如权利要求7所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件由金属材料构成。
9.如权利要求7或8所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的所述反射面的所述一个端侧和所述另一个端侧形成为锥状。
10.如权利要求7 9中的任一项所述的光源,其特征在于， 还具备: 从所述第2筐体的所述另一个端侧向所述一个端侧对所述筒状构件施力的由金属材料构成的弹簧构件；以及 嵌入有被所述弹簧构件施力的所述筒状构件且以包围所述发光部的开口部的方式设置的固定构件。
11.如权利要求7 10中的任一项所述的光源,其特征在于， 在所述发光部，形成有插入有所述筒状构件的端部的孔部。
12.如权利要求7 11中的任一项所述的光源,其特征在于， 在所述筒状构件的所述一个端侧的侧面，形成有朝向所述反射面贯通的开口部。
13.如权利要求7 12中的任一项所述的光源,其特征在于， 所述筒状构件的外壁面由与所述筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料构成。
14.如权利要求13所述的光源，其特征在于， 在所述筒状构件的外壁面的大致整个面，形成有包含与所述筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜。
15.如权利要求7 12中的任一项所述的光源,其特征在于， 所述筒状构件的所述一个端侧的热辐射率比所述筒状构件的另一个端侧的热辐射率大。
16.如权利要求15所 述的光源，其特征在于， 在所述筒状构件的所述一个端侧的外壁面，形成有包含与所述筒状构件的所述另一个端侧的外壁面的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜。
17.如权利要求1所述的光源，其特征在于， 所述发光部具有分别具有开口的阴极和阳极、以及配置在所述阴极与所述阳极之间的毛细管部，通过放电产生光， 所述第I筐体以所述阴极和所述阳极的所述开口与所述毛细管部配置在同轴上的方式，将所述发光部保持在内部， 所述第2筐体的一个端侧以与所述第I筐体连通的方式连接， 所述筒状构件的一个端侧与所述第I筐体内的所述阴极相接，另一个端侧被插入到所述第2筐体内， 所述筒状构件的所述反射面的至少一部分形成为锥状。
18.如权利要求17所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件由金属材料构成。
19.如权利要求17或18所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的所述反射面的所述一个端侧和所述另一个端侧形成为锥状。
20.如权利要求17 19中的任一项所述的光源，其特征在于， 还具备从所述第2筐体的所述另一个端侧向所述一个端侧对所述筒状构件施力的弹簧构件。
21.如权利要求17 20中的任一项所述的光源，其特征在于， 在所述发光部，形成有插入有所述筒状构件的端部的孔部。
22.如权利要求17 21中的任一项所述的光源，其特征在于， 在所述筒状构件的所述一个端侧的侧面，形成有朝向所述反射面贯通的开口部。
23.如权利要求17 22中的任一项所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的外壁面由与所述筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料构成。
24.如权利要求23所述的光源，其特征在于， 在所述筒状构件的外壁面的大致整个面，形成有包含与所述筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜。
25.如权利要求17 22中的任一项所述的光源，其特征在于，所述筒状构件的所述一个端侧的热辐射率比所述筒状构件的另一个端侧的热辐射率大。
26.如权利要求25所述的光源，其特征在于， 在所述筒状构件的所述一个端侧的外壁面，形成有包含与所述筒状构件的所述另一个端侧的外壁面的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜。
27.如权利要求1所述的光源，其特征在于， 所述发光部通过放电产生光， 所述第2筐体的一个端侧以与所述第I筐体连通的方式连接， 所述筒状构件的一个端侧与所述第I筐体内的所述发光部相接，另一个端侧被插入到所述第2筐体内， 在所述筒状构件的所述一个端侧的侧面，形成有朝向所述反射面贯通的开口部。
28.如权利要求27所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的所述开口部配置在所述第I筐体内。
29.如权利要求27或28所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的所述开口部通过对所述筒状构件的所述一个端侧的缘部切口而形成。
30.如权利要求27 29中的任一项所述的光源，其特征在于，` 沿着所述筒状构件的所述一个端侧的周缘，等间隔地形成有多个所述开口部。
31.如权利要求27 30中的任一项所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的外壁面由与所述筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料构成。
32.如权利要求31所述的光源，其特征在于， 在所述筒状构件的外壁面的大致整个面，形成有包含与所述筒状构件的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜。
33.如权利要求27 30中的任一项所述的光源，其特征在于， 所述筒状构件的所述一个端侧的热辐射率比所述筒状构件的另一个端侧的热辐射率大。
34.如权利要求33所述的光源，其特征在于， 在所述筒状构件的所述一个端侧的外壁面，形成有包含与所述筒状构件的所述另一个端侧的外壁面的材料相比热辐射率更大的材料的热辐射膜。
全文摘要
该光源(1)具备收纳产生光的发光部(2)的发光筒部(3A)；一个端侧连接于发光筒部(3A)，并将从发光部(2)产生的光引导至设置在另一个端侧的出射窗部(4)；以及插入固定在导光筒部(3B)的出射窗部(4)与连接发光筒部(3A)和出射窗部(4)的部位之间且内壁面是反射光的反射面(9a)的筒状的反射筒部(9)。
文档编号H01J61/30GK103155093SQ20118004855
公开日2013年6月12日 申请日期2011年8月17日 优先权日2010年10月4日
发明者松浦惠树 申请人:浜松光子学株式会社