专利名称:一种离子注入机台离子源的校准装置的利记博彩app
技术领域:
本实用新型涉及一种校准装置,特别涉及离子注入机台离子源的校准装置。
背景技术:
离子注入机台中,离子源的作用十分重要。通过离子源内部的灯丝和阴极产生离 子打到晶圆上,在性能维护周期内对离子源进行组装时,考虑到离子源内部的一些组件耗 损的原因需要更换,如灯丝、阴极、绝缘体等。而离子源组装的好坏影响离子注入机台的性 能维护是否成功,其中包括灯丝与阴极的位置,位置过近会导致很难产生电磁弧,位置过 远会导致灯丝与阴极的使用寿命缩短,以至缩短性能维护的时间;支撑灯丝与阴极的夹钳 与绝缘材料的固定位置,虽然夹钳与绝缘材料是紧密结合的,但是有的组件在使用过程中 会产生误差,导致夹钳的位置出现偏差与其他组件连接,使灯丝与阴极短路。在组装过程 中,为避免问题发生,需检验多次还很难保证准确率的提高。现有的组装方法中使用手动安装夹板与绝缘材料,人眼确认位置是否正确,三根 夹板是否平行,在很大程度上降低了组装的准确度。在安装灯丝与阴极的过程中,手动使用 工具撑开夹钳,把灯丝与阴极安装到夹钳上。因为为确保夹钳可以夹紧灯丝与阴极,夹钳的 紧密度很高,撑开夹钳需要很大的作用力,在这过程中会导致夹钳与绝缘材料的位置发生 变化。在调整灯丝与阴极的位置关系的时候需要撑开夹钳,在这过程中也会导致夹钳与绝 缘材料的位置发生变化以及灯丝与阴极的位置发生变化。
实用新型内容本实用新型是为解决手动撑开夹钳安装灯丝与阴极,导致组件之间位置发生变化 的缺陷,其目的在于提出一种离子注入机台离子源的校准装置。该离子注入机台离子源的校准装置,包括底座、位于该底座上并与底座一体成型 的基板,该基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽,并在该第一凹槽的 反面安装第一齿轮、该第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及第四齿轮、该第三凹 槽的反面安装第三齿轮;第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮安装在滚动带内,并且该第二齿轮 位于第一齿轮与第三齿轮之间,该第四齿轮与第二齿轮衔接匹配。优选地,第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽与底座垂直。优选地,第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽与离子注入机台的夹钳的规格大小相互匹 配。优选地,该基板是矩形体。优选地,该基板是塑钢材料。优选地,第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽所处的基板面内留有与紧靠夹钳的绝缘板 规格大小相匹配的空间。优选地,该第四齿轮离所在基板面的距离大于第一齿轮或第三齿轮离所在基板面 的距离。[0012]优选地,该第二齿轮通过摇杆控制与所在基板面的距离。优选地,远离底座的三个凹槽端分别设置与夹钳夹口大小规格匹配的第一连接 块、第二连接块、第三连接块,并且该第一连接块、第二连接块、第三连接块穿过基板分别固 定在第一齿轮、第四齿轮、第三齿轮的轴内。优选地,该连接块是钢块。优选地,该连接块是长方体。本实用新型采用的离子注入机台离子源的校准装置,在安装离子注入机台离子源 的灯丝和阴极的时候,使用摇杆对三根夹钳进行撑托,调节摇杆可以选择性的对灯丝还是 阴极进行撑托,使得在安装阴极的同时不会对灯丝造成影响。进一步地,凹槽与夹钳的规格大小相互匹配,该离子注入机台离子源的校准装置 提供的凹槽用于安置夹钳,确保夹钳的位置不发生偏移,并且确保夹钳互相平行。对夹钳进 行的操作不会对夹钳造成位置的偏移,也不会使灯丝和阴极的位置发生变化。进一步地,凹 槽所处的基板面内留有与紧靠夹钳的绝缘板规格大小相匹配的空间。绝缘板固定在该空 间,夹钳与绝缘板之间紧密结合,确保夹钳与绝缘板之间不发生偏移。
在参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式
以后,将会更清楚地了解本发明的 各个方面。其中,图Ia为离子注入机台离子源的校准装置正面结构示意图;图Ib为离子注入机台离子源的校准装置反面结构示意图;图2为离子注入机台的夹钳以及与夹钳连接的绝缘材料的结构示意图;图3a为第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮位于滚动带内的结构示意图;图北为第二齿轮与第四齿轮衔接的结构示意图;以及图4为使用离子注入机台离子源的校准装置前后对五台机台测试情况的表格示 意图。
具体实施方式
下面参照附图,对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细描述。在整个描述 中,相同的附图标记表示相同的部件。本实用新型提出的离子注入机台离子源的校准装置,能够避免手动撑开夹钳带来 组件之间位置的变化。图Ia为离子注入机台离子源的校准装置正面结构示意图;图Ib为离子注入机台 离子源的校准装置反面结构示意图。参照图Ia和图lb,离子注入机台离子源的校准装置 100,包括底座101、垂直位于底座101上并与底座101 —体成型的基板102,基板102的表面 具有相互平行的第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105,并在第一凹槽103的反面安装 第一齿轮106、第二凹槽104的反面安装带有摇杆110的第二齿轮107以及第四齿轮108、第 三凹槽105的反面安装第三齿轮109 ;第一齿轮106、第二齿轮107、第三齿轮109安装在滚 动带111内,并且该第二齿轮107位于第一齿轮106与第三齿轮109之间,该第四齿轮108 与第二齿轮107衔接匹配。[0028]第四齿轮108离所在基板面的距离大于第一齿轮106或第三齿轮109离所在基板 面的距离。第二齿轮107通过摇杆110控制与所在基板面的距离。远离底座101的三个凹槽端分别设置与离子注入机台的夹钳夹口大小规格匹配 的第一连接块112、第二连接块113、第三连接块114,并且第一连接块112、第二连接块113、 第三连接块114穿过基板101分别固定在第一齿轮106、第四齿轮108、第三齿轮109的轴 内。其中,第一连接块112、第二连接块113、第三连接块114分别外露于第一凹槽103、第二 凹槽104、第三凹槽105。在本实施例中,第一连接块112、第二连接块113、第三连接块114 是长方体钢块。在本实施例中,基板是矩形体,并为塑钢材料。图2为离子注入机台的夹钳以及与夹钳连接的绝缘材料的结构示意图。参照图2, 第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105与底座101垂直,并且第一凹槽103、第二凹槽 104、第三凹槽105与离子注入机台的第一夹钳201、第二夹钳202、第三夹钳203的规格大 小相互匹配。第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105所处的基板102面内留有与紧靠 夹钳的绝缘板204规格大小相匹配的空间。将离子注入机台的第一夹钳201、第二夹钳202、第三夹钳203安装在离子注入机 台离子源的校准装置100的第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105内,并且使绝缘板 204位于基板102面内留有与绝缘板204规格大小相匹配的空间内。安装在离子注入机台 离子源的校准装置100内夹钳和绝缘材料204紧密结合,在对夹钳进行撑开作业的时候,不 容易使夹钳与绝缘材料204左右偏移。图3a为第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮位于滚动带内的结构示意图。参照图3a, 在进行安装离子源中的灯丝的时候,需要使用摇杆110转动第二齿轮107,使第二齿轮107、 第一齿轮106、第三齿轮109位于滚动带111内,安装灯丝的具体步骤包括第一步,转动摇 杆110,第二齿轮107带动滚动带111并使第一齿轮106以及第三齿轮109转过45度角,从 而使固定在第一齿轮106以及第三齿轮109轴内第一连接块112和第三连接块114分别撑 开第一夹钳201和第三夹钳203 ;第二步,将灯丝的两端分别放置在撑开的第一夹钳201和 第三夹钳203内;第三步,与第一步中的转动方向相反,转动摇杆110带动滚动带111并使 第一齿轮106以及第三齿轮109转过45度角,第一夹钳201和第三夹钳203夹紧灯丝的两 端。图北为第二齿轮与第四齿轮衔接的结构示意图。参照图北,在进行安装离子源中 的阴极的时候,第一夹钳201和第三夹钳203中已夹紧了灯丝的两端,需要使用摇杆110转 动第二齿轮107,使第二齿轮107远离基板面运动直至与第四齿轮108衔接,安装阴极的具 体步骤包括第一步,转动摇杆110使第二齿轮107带动第四齿轮108转过45度角,从而使 固定在第四齿轮108轴内第二连接块113撑开第二夹钳202;第二步,将阴极放置在撑开的 第二夹钳202内;第三步,与第一步中的转动方向相反,转动摇杆110使第二齿轮107带动 第四齿轮108转过45度角,第二夹钳202夹紧阴极。在本实施例中齿轮转过的角度为45度,是夹钳能够被撑开的安置灯丝和阴极时 的最佳角度。本领域的普通技术人员应该理解,夹钳撑开的角度不仅仅局限在45度上,还 可以为在45度到90度范围内的其它能够安置灯丝和阴极时夹钳所张开的角度。例如,在 进行安装离子源中的灯丝的时候,第一步转动摇杆110,第二齿轮107带动滚动带111并使第一齿轮106以及第三齿轮109转过60度角,从而使固定在第一齿轮106以及第三齿轮 109轴内第一连接块112和第三连接块114分别撑开第一夹钳201和第三夹钳203,第二 步将灯丝的两端分别放置在撑开的第一夹钳201和第三夹钳203内;第三步与第一步中 的转动方向相反,转动摇杆110带动滚动带111并使第一齿轮106以及第三齿轮109转过 60度角,第一夹钳201和第三夹钳203夹紧灯丝的两端。在安装离子注入机台离子源的灯丝和阴极的时候,使用摇杆110分别对第一夹钳 201、第三夹钳203以及第二夹钳202进行撑托,调节摇杆110可以选择性的对灯丝还是阴 极进行撑托,使得在安装阴极的同时不会对灯丝造成影响。夹钳安装在离子注入机台离子 源的校准装置100以后,对夹钳进行的操作不会对夹钳造成位置的偏移,也不会使灯丝和 阴极的位置发生变化。图4为使用离子注入机台离子源的校准装置前后对五台机台测试情况的表格示 意图。参照图4,在对夹钳进行作业时,进行第一次手动操作,从七月到十一月分别对机台 1、机台2、机台3、机台4、机台5进行连续测试,七月份的测试结果失败,机台测试的成功率 为80%;进行第二次手动操作,从七月到十一月分别对机台1、机台2、机台3、机台4、机台5 进行连续测试,九月份的测试结果失败,机台测试的成功率为80% ;进行第三次手动操作, 从七月到十一月分别对机台1、机台2、机台3、机台4、机台5进行连续测试,八、九、十一月 份的测试结果失败,机台测试的成功率为40%。使用离子注入机台离子源的校准装置100, 从七月到十一月分别对机台1、机台2、机台3、机台4、机台5进行连续测试,测试准确率高, 每次测试均成功,机台测试的成功率达到了 100%。夹钳与绝缘材料始终保持紧密结合,灯 丝与阴极的位置也不容易发生变化,提高了组装的准确度。上文中,参照附图描述了本实用新型的具体实施方式
。但是,本领域中的普通技术 人员能够理解,在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下,还可以对本实用新型的具体 实施方式作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本实用新型权利要求书所限定的范围 内。
权利要求1.一种离子注入机台离子源的校准装置,包括底座、位于所述底座上并与底座一体成 型的基板,其特征在于,所述基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽,并 在所述第一凹槽的反面安装第一齿轮、所述第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及 第四齿轮、所述第三凹槽的反面安装第三齿轮;所述第一齿轮、所述第二齿轮、所述第三齿 轮安装在滚动带内,并且所述第二齿轮位于所述第一齿轮与所述第三齿轮之间,所述第四 齿轮与所述第二齿轮衔接匹配。
2.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述第一凹 槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽与所述底座垂直。
3.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述第一凹 槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽与离子注入机台的夹钳的规格大小相互匹配。
4.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述基板是 矩形体。
5.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述第一凹 槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽所处的基板面内留有与紧靠夹钳的绝缘板规格大小相匹 配的空间。
6.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述基板是 塑钢材料。
7.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述第四齿 轮离所在基板面的距离大于所述第一齿轮或所述第三齿轮离所在基板面的距离。
8.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述第二齿 轮通过所述摇杆控制与所在基板面的距离。
9.根据权利要求1所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,远离所述底 座的三个凹槽端分别设置与所述夹钳夹口大小规格匹配的第一连接块、第二连接块、第三 连接块,并且所述第一连接块、第二连接块、第三连接块穿过所述基板分别固定在所述第一 齿轮、所述第四齿轮、所述第三齿轮的轴内。
10.根据权利要求9所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述连接块 是钢块。
11.根据权利要求9所述的离子注入机台离子源的校准装置,其特征在于,所述连接块 是长方体。
专利摘要本实用新型提供了一种离子注入机台离子源的校准装置,包括底座、位于该底座上并与底座一体成型的基板,该基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽,并在该第一凹槽的反面安装第一齿轮、该第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及第四齿轮、该第三凹槽的反面安装第三齿轮;第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮安装在滚动带内,并且该第二齿轮位于第一齿轮与第三齿轮之间,该第四齿轮与第二齿轮衔接匹配。使用离子注入机台离子源的校准装置安装离子注入机台离子源的灯丝和阴极的时候,使用摇杆对三根夹钳进行撑托,可以调节摇杆对灯丝还是阴极进行撑托,使得在安装阴极的同时不会对灯丝造成影响。
文档编号H01J37/304GK201845737SQ20102026600
公开日2011年5月25日 申请日期2010年7月21日 优先权日2010年7月21日
发明者许鹖 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司